JPH05283275A - Manufacture of laminated ceramic capacitor - Google Patents

Manufacture of laminated ceramic capacitor

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JPH05283275A
JPH05283275A JP7668992A JP7668992A JPH05283275A JP H05283275 A JPH05283275 A JP H05283275A JP 7668992 A JP7668992 A JP 7668992A JP 7668992 A JP7668992 A JP 7668992A JP H05283275 A JPH05283275 A JP H05283275A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
internal electrode
ceramic green
electrode layer
laminated
ceramic capacitor
Prior art date
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Pending
Application number
JP7668992A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takeki Kamata
雄樹 鎌田
Atsuo Nagai
淳夫 長井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP7668992A priority Critical patent/JPH05283275A/en
Publication of JPH05283275A publication Critical patent/JPH05283275A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To enhance the production yield of the title capacitor by restraining delamination. CONSTITUTION:A laminated ceramic capacitor is manufactured by laminating ceramic green sheets. Each of the green sheets comprises a PET film 1 on which an internal electrode layer 2 is printed with paste, and the internal electrode layer 2 is covered with dielectric slurry 3. Since the solvent used in the dielectric slurry is not the type to dissolve the binder of the paste, the dissolution of the binder does not occur and thus the internal electrode layer 2 is prevented from swelling. As a result, the surface difference in level of each ceramic green sheet becomes extremely small, and no delamination is caused even when many ceramic green sheets are laminated.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、積層セラミックコンデ
ンサの製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の積層セラミックコンデンサの製造
方法は、まず、チタン酸バリウムを主成分とする誘電体
材料をバインダ成分を含む有機ビヒクルと混練して誘電
体スラリーを作製する。次に、この誘電体スラリーをド
クターブレード法等により支持体としてのポリエチレン
テレフタレートフィルム(以下、PETフィルムと記
す)上に塗布した後乾燥し、さらに電極材料としてのパ
ラジウム等の金属微粉を含む内部電極ペーストを用いて
その表面に内部電極層を印刷し、これを乾燥してセラミ
ックグリーンシートを作製する。そして、このセラミッ
クグリーンシートをPETフィルムから剥離後複数枚積
層し、所定の大きさに切断して積層体を作製する。次
に、この積層体を焼成し、さらに外部電極を形成して積
層セラミックコンデンサを製造している。
2. Description of the Related Art In a conventional method of manufacturing a monolithic ceramic capacitor, first, a dielectric material containing barium titanate as a main component is kneaded with an organic vehicle containing a binder component to prepare a dielectric slurry. Next, this dielectric slurry is applied onto a polyethylene terephthalate film (hereinafter referred to as a PET film) as a support by a doctor blade method or the like and then dried, and further an internal electrode containing fine metal powder such as palladium as an electrode material. An internal electrode layer is printed on the surface using a paste, and this is dried to produce a ceramic green sheet. Then, after separating the ceramic green sheets from the PET film, a plurality of them are laminated and cut into a predetermined size to produce a laminated body. Next, this laminated body is fired and external electrodes are formed to manufacture a laminated ceramic capacitor.

【0003】また、上記とは別な製造方法として、支持
体上に形成された内部電極層の上に誘電体層を形成する
電極埋め込み型のセラミックグリーンシートを積層する
製造方法も種々提案されている。
As a manufacturing method different from the above, various manufacturing methods have been proposed in which an electrode-embedded ceramic green sheet for forming a dielectric layer is laminated on an internal electrode layer formed on a support. There is.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の技術では、誘電体層上に内部電極層を形成するた
め、セラミックグリーンシートを多数枚積層したとき、
内部電極層の厚みがセラミックグリーンシート間の段差
となり、特に高積層にした場合、セラミックグリーンシ
ート間の接着が不足し、積層セラミックコンデンサがデ
ラミネイション(積層剥離)を起こすという問題を有し
ていた。
However, in the above-mentioned prior art, since the internal electrode layers are formed on the dielectric layer, when a large number of ceramic green sheets are laminated,
The thickness of the internal electrode layer causes a step between the ceramic green sheets, and especially when the number of layers is high, there is a problem that the adhesion between the ceramic green sheets is insufficient and the laminated ceramic capacitor causes delamination. ..

【0005】また、電極埋め込み型のセラミックグリー
ンシートの場合でも、誘電体スラリー中の溶剤と内部電
極ペースト中のバインダが相溶する場合、内部電極ペー
ストを塗布し乾燥させた後に誘電体スラリーを塗布する
と、誘電体スラリー中の溶剤が内部電極層中のバインダ
に浸透し、膨潤させる。このバインダの膨潤により、セ
ラミックグリーンシート中の内部電極層を有する部分と
内部電極層の無い部分の表面段差を助長させるために前
記と同様のデラミネイションを起こすという問題を有し
ていた。
Also in the case of an electrode-embedded ceramic green sheet, when the solvent in the dielectric slurry and the binder in the internal electrode paste are compatible, the internal electrode paste is applied and dried, and then the dielectric slurry is applied. Then, the solvent in the dielectric slurry permeates and swells the binder in the internal electrode layer. Due to the swelling of the binder, there is a problem that the same delamination as described above is caused to promote the surface step difference between the portion having the internal electrode layer and the portion having no internal electrode layer in the ceramic green sheet.

【0006】本発明はこのような問題点を解決するもの
で、デラミネイションの発生を抑制し、生産歩留りの高
い積層セラミックコンデンサの製造方法を提供すること
を目的とする。
The present invention solves such a problem, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a laminated ceramic capacitor which suppresses the occurrence of delamination and has a high production yield.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の積層セラミックコンデンサの製造方法は、支
持体の表面に内部電極ペーストを塗布して内部電極層を
形成し、前記内部電極ペーストに含有されているバイン
ダに対して非溶性の溶剤を含有する誘電体スラリーを前
記内部電極層を覆うように前記支持体の表面に塗布して
セラミックグリーンシートを作製し、これを積層し焼成
して積層セラミックコンデンサを製造するものである。
In order to achieve this object, a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention is to apply an internal electrode paste to the surface of a support to form an internal electrode layer, and to form the internal electrode paste. A dielectric slurry containing a solvent insoluble in the binder contained in is applied to the surface of the support so as to cover the internal electrode layers to produce a ceramic green sheet, which is laminated and fired. To produce a monolithic ceramic capacitor.

【0008】[0008]

【作用】この構成によれば、誘電体スラリーの溶剤に内
部電極ペーストのバインダに対して非溶性の溶剤を使用
しているため、支持体上に内部電極ペーストを塗布し乾
燥した後、その内部電極層上に誘電体スラリーを塗布し
ても内部電極層の膨潤が起こらず、表面段差のほとんど
ないセラミックグリーンシートが得られる。したがっ
て、このセラミックグリーンシートを用いることによ
り、各セラミックグリーンシート間の接着が強固にな
り、デラミネイションの発生しない積層セラミックコン
デンサが容易に製造できる。
According to this structure, since the solvent of the dielectric slurry is an insoluble solvent for the binder of the internal electrode paste, the internal electrode paste is applied on the support and dried, Even if the dielectric slurry is applied onto the electrode layer, the internal electrode layer does not swell, and a ceramic green sheet having almost no surface step can be obtained. Therefore, by using this ceramic green sheet, the adhesion between the ceramic green sheets becomes strong, and the laminated ceramic capacitor in which delamination does not occur can be easily manufactured.

【0009】[0009]

【実施例】以下、本発明の一実施例における積層セラミ
ックコンデンサの製造方法について、図面を参照しなが
ら説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method of manufacturing a monolithic ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0010】図1は本実施例におけるセラミックグリー
ンシートの部分断面図である。図1において、1は支持
体であるPETフィルム、2は内部電極層、3は誘電体
層である。
FIG. 1 is a partial sectional view of a ceramic green sheet according to this embodiment. In FIG. 1, 1 is a PET film that is a support, 2 is an internal electrode layer, and 3 is a dielectric layer.

【0011】次に、このようなセラミックグリーンシー
トを用いた積層セラミックコンデンサの製造方法につい
て説明する。
Next, a method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor using such a ceramic green sheet will be described.

【0012】まず、パラジウム粉末、有機バインダ成分
としてエチルセルロース、溶剤としてα−テルピネオー
ルからなる電極ペーストを作製した。また、チタン酸バ
リウムを主成分とする誘電体材料をポリブチルアルコー
ル樹脂系バインダと可塑剤とともに有機溶剤の酢酸メチ
ルアミル中に分散し、誘電体スラリーを作製した。前記
電極ペーストを支持体であるPETフィルム1の上に所
定のパターン形状で乾燥膜厚で5μmとなるようにスク
リーン印刷し、その後乾燥して内部電極層2を形成し
た。
First, an electrode paste made of palladium powder, ethyl cellulose as an organic binder component, and α-terpineol as a solvent was prepared. Further, a dielectric material containing barium titanate as a main component was dispersed in methylamyl acetate as an organic solvent together with a polybutyl alcohol resin binder and a plasticizer to prepare a dielectric slurry. The electrode paste was screen-printed on the PET film 1 as a support so as to have a dry film thickness of 5 μm in a predetermined pattern and then dried to form the internal electrode layer 2.

【0013】次に、誘電体スラリーをドクターブレード
法により、内部電極層2を形成したPETフィルム1の
片面に乾燥膜厚で20μmとなるように塗布し、さらに
乾燥して誘電体層3を形成した。これを100mm×10
0mm程度の大きさに切断してセラミックグリーンシート
を作製した。そして、このセラミックグリーンシートを
PETフィルム1から剥離した後、内部電極層2が誘電
体層3を挟んで対向するように配置して50層積層し、
さらに加圧圧着後所望の寸法に切断してグリーンチップ
を得た。そして、このグリーンチップを箱型電気炉を用
いて大気中350℃で脱脂を行った後、大気中1350
℃で焼成して焼結体を得、この焼結体に外部電極を形成
して積層セラミックコンデンサを作製した。
Next, the dielectric slurry is applied by a doctor blade method to one side of the PET film 1 on which the internal electrode layer 2 is formed so that the dry film thickness is 20 μm, and further dried to form the dielectric layer 3. did. This is 100mm × 10
A ceramic green sheet was produced by cutting into a size of about 0 mm. Then, after peeling off the ceramic green sheet from the PET film 1, 50 layers are arranged so that the internal electrode layers 2 face each other with the dielectric layer 3 interposed therebetween,
Further, after pressure bonding, it was cut into a desired size to obtain a green chip. Then, after degreasing this green chip in the atmosphere at 350 ° C. using a box-type electric furnace,
A sintered body was obtained by firing at ° C, and external electrodes were formed on this sintered body to produce a laminated ceramic capacitor.

【0014】本実施例ではこの製造工程の中間段階で次
に示す評価を実施した。まず、セラミックグリーンシー
トの内部電極層2を有する部分とそれが無い部分との厚
みの差を表面段差として測定した。次に、このセラミッ
クグリーンシートを用いて作製した焼結体のデラミネイ
ションの発生率を調査した。なお、比較のため、従来法
すなわち誘電体スラリーをドクターブレード法によりP
ETフィルム上に塗布後乾燥し、この上に内部電極層を
印刷した後乾燥したセラミックグリーンシートを従来品
Aとし、またPETフィルム上に誘電体スラリー中の溶
剤に対して非溶性のバインダを含まない内部電極ペース
トを印刷後乾燥し、この上に誘電体スラリーをドクター
ブレード法により塗布、乾燥したセラミックグリーンシ
ートを従来品Bとし、これらを用いた積層セラミックコ
ンデンサの焼結体についても同様の測定を行った。
In this example, the following evaluation was carried out at an intermediate stage of this manufacturing process. First, the difference in thickness between the portion having the internal electrode layer 2 of the ceramic green sheet and the portion not having the internal electrode layer 2 was measured as a surface step. Next, the incidence of delamination in the sintered body produced using this ceramic green sheet was investigated. For comparison, the conventional method, that is, the dielectric slurry was used for P
A ceramic green sheet which was dried on an ET film after coating, printed with an internal electrode layer on the ET film, was dried as a conventional product A, and a PET film containing a binder insoluble in the solvent in the dielectric slurry. The internal ceramic paste which is not printed is dried after printing, the dielectric slurry is applied on it by the doctor blade method, and the dried ceramic green sheet is used as the conventional product B, and the same measurement is performed on the sintered body of the laminated ceramic capacitor using these. I went.

【0015】これらの測定結果を(表1)に示す。ただ
し、(表1)におけるデラミネイション発生率は、焼結
体各200個中デラミネイションが観察された個数の割
合を示す。
The results of these measurements are shown in (Table 1). However, the delamination occurrence rate in (Table 1) shows the ratio of the number of delamination observed in each of 200 sintered bodies.

【0016】[0016]

【表1】 [Table 1]

【0017】(表1)から明らかなように、本実施例に
よる積層セラミックコンデンサは、デラミネイションの
発生が全くなく、極めて優れた効果が得られる。
As is clear from (Table 1), the laminated ceramic capacitor according to the present embodiment does not cause delamination at all and has an extremely excellent effect.

【0018】なお、本実施例では内部電極ペーストがバ
インダにエチルセルロースを、誘電体スラリーの溶剤と
してこのエチルセルロースに対して非溶性の酢酸メチル
アミルを用いた例を示したが、本発明はこのバインダと
この溶剤との組み合せに限定されるものではなく、たと
えば次のような組み合せも有効である。すなわち、エチ
ルセルロースに対しては酢酸メチルアミルのほか、乳酸
−n−イソアミル、ジエチルエーテル、ブチレングリコ
ールなどが有効である。
In this example, the internal electrode paste used ethyl cellulose as a binder and methylamyl acetate, which is insoluble in ethyl cellulose as a solvent for the dielectric slurry, was used. The combination with a solvent is not limited, and the following combinations are also effective. That is, for ethyl cellulose, lactate-n-isoamyl lactate, diethyl ether, butylene glycol and the like are effective in addition to methylamyl acetate.

【0019】また、エチルセルロースは水に対しては非
溶性であるので誘電体スラリーのバインダに水溶性のも
の、たとえばポリビニルアルコール系ポリマー、アクリ
ル系ポリマー、エチレンオキサイドポリマーなどの有機
樹脂を用いてもよい。
Further, since ethyl cellulose is insoluble in water, a water-soluble one such as polyvinyl alcohol type polymer, acrylic type polymer or ethylene oxide polymer may be used as the binder of the dielectric slurry. ..

【0020】[0020]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明
は、誘電体スラリーの溶剤に内部電極のバインダに対し
て非溶性のものを用いてセラミックグリーンシートを作
製し、このセラミックグリーンシートを積層して積層セ
ラミックコンデンサを製造することにより、デラミネイ
ションの発生しない積層セラミックコンデンサを容易に
作製することができ、積層セラミックコンデンサの生産
歩留まり向上に大きな効果をもたらす。
As is apparent from the above description, according to the present invention, a ceramic green sheet is prepared by using a solvent of the dielectric slurry which is insoluble in the binder of the internal electrode, and the ceramic green sheets are laminated. By manufacturing the monolithic ceramic capacitor in this manner, a monolithic ceramic capacitor in which delamination does not occur can be easily manufactured, and a great effect is obtained in improving the production yield of the monolithic ceramic capacitor.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例におけるセラミックグリーン
シートの部分断面図
FIG. 1 is a partial sectional view of a ceramic green sheet according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 PETフィルム(支持体) 2 内部電極層 3 誘電体層 1 PET film (support) 2 internal electrode layer 3 dielectric layer

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】支持体の表面に内部電極ペーストを塗布し
て内部電極層を形成した後前記内部電極ペーストに含有
されるバインダに対して非溶性の溶剤を含有する誘電体
スラリーを前記内部電極層を覆うように前記支持体の表
面に塗布してセラミックグリーンシートを作製し、この
セラミックグリーンシートを積層した後焼成する積層セ
ラミックコンデンサの製造方法。
1. An internal electrode paste is applied to the surface of a support to form an internal electrode layer, and then a dielectric slurry containing a solvent insoluble to the binder contained in the internal electrode paste is applied to the internal electrode. A method for producing a monolithic ceramic capacitor, wherein a ceramic green sheet is produced by coating the surface of the support so as to cover the layers, and the ceramic green sheet is laminated and then fired.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001167971A (en) * 1999-12-13 2001-06-22 Murata Mfg Co Ltd Laminated type ceramic electronic component and manufacturing method therefor
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