JPH0528045U - ウエーハ載置用ベース部材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案は、特に割れて異形となったウエーハ
の形状、大きさ及び載置位置を光学的に認識させて、ア
ライメントを行いダイシング等の加工を行う際に、ウエ
ーハ及びそれが載置されるベース部材の色が共に中間色
であるがために生じていた認識ミスを解消させたもので
ある。 【構成】 本考案は、ウエーハが載置されるベース部
材、例えばチャックテーブル又はフィルムを、ウエーハ
との間でコントラストを強くする色、例えば白又は黒に
したものである。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ウエーハを載置してその形状及び位置を光学的に検出し認識させて てアライメントし、研削又は切削するためのチャックテーブル又はフレーム等の ベース部材に関するものである。

【０００２】

【従来技術】

一般にこの種のベース部材は、その材料色例えばグレー、クリーム色又はブル ー等の中間色がそのまま用いられている。そして、従来例においては形状及び大 きさが一定の範囲で整ったウエーハを載置し、例えばストリートに沿って切削す るためのアライメントを光学的認識に基づいて行っている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

前記従来例においては、主としてウエーハの形状及び大きさが一定の範囲で整 ったものを対象とした光学的検出であるため、ウエーハが載置されるベース部材 の色が中間色であっても、ほとんど問題は生じないが、例えば割れて異形となっ た複数のウエーハが載置された場合に、その個々の形状、大きさ及び載置位置を 光学的に認識してアライメント領域及び切削領域を識別しようとするときに、ベ ース部材が中間色であるとウエーハとのコントラストが弱いため識別が困難であ って、最適なアライメントが出来ないと云う問題点を有している。 従って、従来例のベース部材においては、ウエーハとの光学的な識別に解決し なければならない課題を有している。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

前記従来例の課題を解決する具体的手段として本考案は、ウエーハが載置され るベース部材を、ウエーハの形状、大きさ及び位置が光学的に高精度に認識でき るように、ウエーハとのコントラストを強調できる色にしたことを特徴とするウ エーハ載置用ベース部材を提供するものであり、前記ベース部材が、チャックテ ーブル又はフレームのフィルムであり、且つ前記コントラストを強調した色が白 又は黒としたものである。

【０００５】

【作用】

アライメント及び切削などのためにウエーハが載置されるベース部材、例えば チャックテーブル又はフレームを、ウエーハとの間でコントラストを強くする色 にすることで、光学的な認識ミスを解消することが出来るのである。

【０００６】

【実施例】

次に本考案を図示の実施例により更に詳しく説明すると、図１に示した第１実 施例はベース部材がチャックテーブル１であり、該チャックテーブルは上下動及 び回転可能であって、且つテーブル本体２の内側に吸着面３を有している。

【０００７】 この吸着面３は、例えばポーラス材で形成され通気性を有すると共に、被加工 物であるウエーハの大きさに対応して吸着領域３ａがリング状に複数に区分され ており、一般的に使用されているものと構造的には何ら変わるところがない。

【０００８】 このようなチャックテーブル１において、少なくともウエーハが載置される上 面を、ウエーハとのコントラストを大きくするために、白又は黒にしたものであ り、それによってウエーハの形状、大きさ及び載置位置が光学的に高精度で認識 できるようにしたのである。

【０００９】 図２に示した第２実施例は、ベース部材がフレーム４であり、該フレームも一 般に使用されているものと同様に、フィルム５を介してウエーハが載置支持され る構成である。

【００１０】 このような構成のフレーム４において、少なくともウエーハが載置されるフィ ルム５を、ウエーハとのコントラストを大きくするために、白又は黒にしたもの を使用し、それによってウエーハの形状、大きさ及び載置位置が光学的に高精度 で認識できるようにしたのである。

【００１１】 例えば、前記フレーム４に図示したような、割れて異形となった複数のウエー ハ６，７，８を載置させ、これら個々のウエーハについて最適なアライメント領 域及び切削領域を判別してダイシングを遂行するために、個々のウエーハについ てその形状、大きさ及び載置位置を光学的に認識させる必要がある。

【００１２】 この光学的認識において、例えばＣＣＤカメラ等の光学的手段を使用した場合 に、フィルム５とウエーハ６，７，８とのコントラストが低いと、認識ミスが発 生し易いが、フィルム５を白又は黒にすることで、各ウエーハとのコントラスト が強くなり、認識ミスがほとんど生じなくなり高精度で認識できるようになるの である。

【００１３】

【考案の効果】

以上説明したように本考案は、ウエーハが載置されるベース部材を、ウエーハ の形状、大きさ及び位置が光学的に高精度に認識できるように、ウエーハとのコ ントラストを強調した色に着色した構成とすることにより、認識ミスがなくなっ て、ウエーハにおける最適なアライメント領域及び切削領域を判別して的確にダ イシングを遂行することが出来ると云う優れた効果を奏する。

【００１４】 又、前記ベース部材が、チャックテーブル又はフレームのフィルムであり、且 つ前記コントラストを強調した色が白又は黒としたことにより、構成が簡単で且 つ単純でありながら光学的な認識を高精度に高めることが出来ると云う優れた効 果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るベース部材の第１実施例を示す斜
視図である。

【図２】本考案に係るベース部材の第２実施例を示す平
面図である。

【符号の説明】

１ チャックテーブル ２ テーブル本体 ３ 吸着面 ３ａ 吸着領域 ４ フレーム ５ フィルム ６，７，８ ウエーハ

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエーハが載置されるベース部材を、ウ
   エーハの形状、大きさ及び位置が光学的に高精度に認識
   できるように、ウエーハとのコントラストを強調した色
   にしたことを特徴とするウエーハ載置用ベース部材。
2. 【請求項２】 ベース部材が、チャックテーブル又はフ
   レームのフィルムである請求項１に記載のウエーハ載置
   用ベース部材。
3. 【請求項３】 コントラストを強調した色が白又は黒で
   ある請求項１又は２に記載のウエーハ載置用ベース部
   材。