JPH11274272A - 認識用マーク付きウェハ - Google Patents
認識用マーク付きウェハInfo
- Publication number
- JPH11274272A JPH11274272A JP10092233A JP9223398A JPH11274272A JP H11274272 A JPH11274272 A JP H11274272A JP 10092233 A JP10092233 A JP 10092233A JP 9223398 A JP9223398 A JP 9223398A JP H11274272 A JPH11274272 A JP H11274272A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- recognition
- mark
- marks
- alignment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2223/00—Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
- H01L2223/544—Marks applied to semiconductor devices or parts
- H01L2223/5442—Marks applied to semiconductor devices or parts comprising non digital, non alphanumeric information, e.g. symbols
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
向きを正確に合せることを課題とする。
【解決手段】対角線上に４個の認識用マーク12を付けた
ことを特徴とする認識用マーク付きウェハ11。
ことを特徴とする認識用マーク付きウェハ11。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハ表面に複数
個の認識用マークを有した認識用マーク付きウェハに関
する。
個の認識用マークを有した認識用マーク付きウェハに関
する。
【０００２】
【従来の技術】周知の如く、ウェハには、該ウェハの向
きを認識できるように、図４に示すようにウェハ１にオ
リフラ（又はノッチ）２と呼ばれる加工が施されてい
る。そして、ステッパーでは、ウェハアライメントを行
う前にオリフラ（又はノッチ）２によりウェハの向きを
合せている。
きを認識できるように、図４に示すようにウェハ１にオ
リフラ（又はノッチ）２と呼ばれる加工が施されてい
る。そして、ステッパーでは、ウェハアライメントを行
う前にオリフラ（又はノッチ）２によりウェハの向きを
合せている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、オリフ
ラ（又はノッチ）２は位置精度が低く、正確にウェハの
向きを合せることができない。また、チップ取れ個数を
考慮すると１箇所にしかオリフラ（又はノッチ）２を形
成できないため、Ｘ方向やＹ方向の位置の検出は難し
い。このため、ウェハアライメントを正確に行うために
は、オリフラ合せの後に２段階（粗合せ，微細合せ）の
ウェハアライメントが必要であった。
ラ（又はノッチ）２は位置精度が低く、正確にウェハの
向きを合せることができない。また、チップ取れ個数を
考慮すると１箇所にしかオリフラ（又はノッチ）２を形
成できないため、Ｘ方向やＹ方向の位置の検出は難し
い。このため、ウェハアライメントを正確に行うために
は、オリフラ合せの後に２段階（粗合せ，微細合せ）の
ウェハアライメントが必要であった。
【０００４】本発明はこうした事情を考慮してなされた
もので、少なくとも２個の認識用マークを付けることに
より、向き及びＸＹ座標の合せ精度を高めることによ
り、オリフラ合せとアライメント粗合せを統合しえる認
識用マーク付きウェハを提供することを目的とする。
もので、少なくとも２個の認識用マークを付けることに
より、向き及びＸＹ座標の合せ精度を高めることによ
り、オリフラ合せとアライメント粗合せを統合しえる認
識用マーク付きウェハを提供することを目的とする。
【０００５】また、本発明は、認識用マークの隣りに補
助マークを付けることにより、認識用マークが肉眼で観
察できない場合でも、向きを正確に合せることができる
認識用マーク付きウェハを提供することを目的とする。
助マークを付けることにより、認識用マークが肉眼で観
察できない場合でも、向きを正確に合せることができる
認識用マーク付きウェハを提供することを目的とする。
【０００６】更に、本発明は、認識用マークを互いに異
なる形状でかつその位置を対称位置からずらした構成に
することにより、上下を認識可能な認識用マーク付きウ
ェハを提供することを目的とする。
なる形状でかつその位置を対称位置からずらした構成に
することにより、上下を認識可能な認識用マーク付きウ
ェハを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、少なくとも２
個の認識用マークを付けたことを特徴とする認識用マー
ク付きウェハである。
個の認識用マークを付けたことを特徴とする認識用マー
ク付きウェハである。
【０００８】本発明において、認識用マークの隣りに肉
眼で観察可能な補助マークを付けることが好ましい。こ
れは、認識用マークを精度的に肉眼で観察できる程度に
大きくできない場合に有効である。また、認識用マーク
を互いに異なる形状でかつその位置を対称位置からずら
した構成にすることが、ウェハの上下を認識する点で有
効である。
眼で観察可能な補助マークを付けることが好ましい。こ
れは、認識用マークを精度的に肉眼で観察できる程度に
大きくできない場合に有効である。また、認識用マーク
を互いに異なる形状でかつその位置を対称位置からずら
した構成にすることが、ウェハの上下を認識する点で有
効である。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例に係る認
識用マーク付きウェハについて、図１、図２を参照して
説明する。ここでは、図１は本実施例に係るウェハの平
面図、図２は同ウェハに設けられた認識用マークの平面
図を示す。
識用マーク付きウェハについて、図１、図２を参照して
説明する。ここでは、図１は本実施例に係るウェハの平
面図、図２は同ウェハに設けられた認識用マークの平面
図を示す。
【００１０】図中の付番11はウェハを示す。このウェハ
11の円周部には、図２に示すような４つの認識用マーク
（粗合せ用マーク）12が付けられている。この認識用マ
ーク12は肉眼で確認可能な粗合せ用のマークであり、例
えばレーザにより加工されている。また、ウェハ11の面
内には、図３に示すように、複数の微細合せ用マーク13
が形成されている。なお、微細合せマーク13は、被アラ
イメント対象のフォト工程にてパターン形成される（従
来通り）。
11の円周部には、図２に示すような４つの認識用マーク
（粗合せ用マーク）12が付けられている。この認識用マ
ーク12は肉眼で確認可能な粗合せ用のマークであり、例
えばレーザにより加工されている。また、ウェハ11の面
内には、図３に示すように、複数の微細合せ用マーク13
が形成されている。なお、微細合せマーク13は、被アラ
イメント対象のフォト工程にてパターン形成される（従
来通り）。
【００１１】こうした構成のウェハのステッパーによる
アライメント合せは、下記の粗合せ及び微細合せからな
る。
アライメント合せは、下記の粗合せ及び微細合せからな
る。
【００１２】(1) ウェハ向き合せ兼アライメント粗合せ ウェハ11面内の４箇所の認識用マーク12をＴＶカメラに
据え、画像認識することによりウェハ11の位置を検出す
る。この結果を元に、認識用マーク12が画面の中心にく
るようにウェハステージを移動することにより、ウェハ
11の向きとアライメント粗合せが行われる。
据え、画像認識することによりウェハ11の位置を検出す
る。この結果を元に、認識用マーク12が画面の中心にく
るようにウェハステージを移動することにより、ウェハ
11の向きとアライメント粗合せが行われる。
【００１３】(2) 微細合せ ウェハ面内６〜16箇所程度の微細合せ用マーク13を、専
用スコープを通してＴＶカメラに据える。専用スコープ
にも比較用のマーク14が形成されており、ウェハ11上の
マークとともに、ＴＶカメラに据える。そして、ＴＶカ
メラ上で両マーク13，14が等間隔に配列するように、ウ
ェハステージを移動することにより、ウェハのアライメ
ント微細合せが行われる。
用スコープを通してＴＶカメラに据える。専用スコープ
にも比較用のマーク14が形成されており、ウェハ11上の
マークとともに、ＴＶカメラに据える。そして、ＴＶカ
メラ上で両マーク13，14が等間隔に配列するように、ウ
ェハステージを移動することにより、ウェハのアライメ
ント微細合せが行われる。
【００１４】このように、上記実施例では、ウェハ11の
円周部に複数の認識用マーク12を付けることにより、ウ
ェハ11の向きを正確に合せることができる。また、認識
用マーク12を複数個付けることにより、Ｘ方向やＹ方向
の位置検出も可能である。よって、認識用マーク12によ
り、向き合せとＸＹ位置の検出を同時に行えば、従来の
アライメント粗合せを省略することが可能である。
円周部に複数の認識用マーク12を付けることにより、ウ
ェハ11の向きを正確に合せることができる。また、認識
用マーク12を複数個付けることにより、Ｘ方向やＹ方向
の位置検出も可能である。よって、認識用マーク12によ
り、向き合せとＸＹ位置の検出を同時に行えば、従来の
アライメント粗合せを省略することが可能である。
【００１５】なお、上記実施例では、認識用マークが４
箇所に形成されている場合について述べたが、これに限
らず、少なくとも２個の認識用マークがあればよい。
箇所に形成されている場合について述べたが、これに限
らず、少なくとも２個の認識用マークがあればよい。
【００１６】また、上記実施例では、肉眼で観察可能な
認識用マークを付けた場合について述べたが、精度的に
認識用マークを大きくできない場合は、その隣りに肉眼
で観察可能な補助マークを付けることにより人間が取り
扱う場合にも不便を生じない用にすることができる。
認識用マークを付けた場合について述べたが、精度的に
認識用マークを大きくできない場合は、その隣りに肉眼
で観察可能な補助マークを付けることにより人間が取り
扱う場合にも不便を生じない用にすることができる。
【００１７】更に、上記実施例では、複数個の認識用マ
ークの形状が同じである場合について述べたが、これに
限定されず、互いに形状が異なる認識用マークを付けて
もよい。即ち、複数個のマークの形状が同じだと、ウェ
ハの上下が認識できなくなるので、複数個のマークの形
状を場所により変えたり、あるいはマークの位置を対称
な位置からずらしてウェハの上下を認識できるようにす
ることがよい。
ークの形状が同じである場合について述べたが、これに
限定されず、互いに形状が異なる認識用マークを付けて
もよい。即ち、複数個のマークの形状が同じだと、ウェ
ハの上下が認識できなくなるので、複数個のマークの形
状を場所により変えたり、あるいはマークの位置を対称
な位置からずらしてウェハの上下を認識できるようにす
ることがよい。
【００１８】
【発明の効果】以上詳述した如く本発明によれば、少な
くとも２個の認識用マークを付けることにより、オリフ
ラ合せとアライメント粗合せを統合しえる認識用マーク
付きウェハを提供できる。
くとも２個の認識用マークを付けることにより、オリフ
ラ合せとアライメント粗合せを統合しえる認識用マーク
付きウェハを提供できる。
【００１９】また、本発明によれば、認識用マークの隣
りに肉眼で観察可能な補助マークを付けることにより、
認識用マークが肉眼で観察できない場合でも、向きを正
確に合せることができる認識用マーク付きウェハを提供
できる。
りに肉眼で観察可能な補助マークを付けることにより、
認識用マークが肉眼で観察できない場合でも、向きを正
確に合せることができる認識用マーク付きウェハを提供
できる。
【００２０】更に、本発明によれば、認識用マークを互
いに異なる形状でかつその位置を対称位置からずらした
構成にすることにより、上下を認識可能な認識用マーク
付きウェハを提供できる。
いに異なる形状でかつその位置を対称位置からずらした
構成にすることにより、上下を認識可能な認識用マーク
付きウェハを提供できる。
【図１】本発明の一実施例に係る認識用マーク付きウェ
ハの平面図を示す。
ハの平面図を示す。
【図２】図１のウェハに形成された認識用マークの平面
図を示す。
図を示す。
【図３】本発明に係る認識用マーク付きウェハをステッ
パーによりアライメント合せする際の微細合せ用マーク
と専用スコープのマークを示す。
パーによりアライメント合せする際の微細合せ用マーク
と専用スコープのマークを示す。
【図４】従来のウェハの平面図を示す。
11…認識マーク付きウェハ、 12…認識用マーク（粗合せ用マーク）、 13…微細合せ用マーク、 14…マーク。
Claims (3)
- 【請求項１】 少なくとも２個の認識用マークを付けた
ことを特徴とする認識用マーク付きウェハ。 - 【請求項２】 認識用マークの隣りに肉眼で観察可能な
補助マークを付けたことを特徴とする請求項１記載の認
識用マーク付きウェハ。 - 【請求項３】 前記認識用マークが互いに異なる形状
で、かつ位置が対称位置からずれていることを特徴とす
る請求項１記載の認識用マーク付きウェハ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10092233A JPH11274272A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 認識用マーク付きウェハ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10092233A JPH11274272A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 認識用マーク付きウェハ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11274272A true JPH11274272A (ja) | 1999-10-08 |
Family
ID=14048729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10092233A Pending JPH11274272A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 認識用マーク付きウェハ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11274272A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009038329A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | King Yuan Electronics Co Ltd | ウエハーのマーキング方法、次品ダイスのマーキング方法、ウエハーの位置決め方法及びウエハー検査機 |
-
1998
- 1998-03-23 JP JP10092233A patent/JPH11274272A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009038329A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | King Yuan Electronics Co Ltd | ウエハーのマーキング方法、次品ダイスのマーキング方法、ウエハーの位置決め方法及びウエハー検査機 |
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