JPH05273315A - 半導体試験方法および装置 - Google Patents
半導体試験方法および装置Info
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- JPH05273315A JPH05273315A JP4067908A JP6790892A JPH05273315A JP H05273315 A JPH05273315 A JP H05273315A JP 4067908 A JP4067908 A JP 4067908A JP 6790892 A JP6790892 A JP 6790892A JP H05273315 A JPH05273315 A JP H05273315A
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- Japan
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- test
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体装置の試験に関し，多数個の同時測定
をを目的とする。 【構成】 １）試験装置本体と被試験デバイスを搭載し
たテスト・ヘッド間を電磁波で通信し，試験条件を該テ
スト・ヘッド内で設定するように構成する。 ２）試験条件信号(k) を発信する発信機14と，試験パタ
ーンのＨ／Ｌ情報信号(l) および期待値情報信号(m) を
送信する発信機15, 16と, 良否信号(n) を受信する受信
機17と, DCバイアス条件設定情報信号(p) を受信する受
信機24とを有する試験装置本体と, 試験条件信号(k) を
受信する受信機18と, Ｈ／Ｌ情報信号(l) を受信する受
信機20と, 期待値情報信号(m) を受信する受信機21と,
良否信号(n) を送信する送信機22と，DCバイアス条件設
定情報信号(p) を発信する発信機23とを有するテスト・
ヘッドとを有し, 該試験装置本体とテスト・ヘッドの送
受信が電磁波を介して行われるように構成する。
をを目的とする。 【構成】 １）試験装置本体と被試験デバイスを搭載し
たテスト・ヘッド間を電磁波で通信し，試験条件を該テ
スト・ヘッド内で設定するように構成する。 ２）試験条件信号(k) を発信する発信機14と，試験パタ
ーンのＨ／Ｌ情報信号(l) および期待値情報信号(m) を
送信する発信機15, 16と, 良否信号(n) を受信する受信
機17と, DCバイアス条件設定情報信号(p) を受信する受
信機24とを有する試験装置本体と, 試験条件信号(k) を
受信する受信機18と, Ｈ／Ｌ情報信号(l) を受信する受
信機20と, 期待値情報信号(m) を受信する受信機21と,
良否信号(n) を送信する送信機22と，DCバイアス条件設
定情報信号(p) を発信する発信機23とを有するテスト・
ヘッドとを有し, 該試験装置本体とテスト・ヘッドの送
受信が電磁波を介して行われるように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置の試験方法お
よび装置に関する。近年，半導体装置の高集積化，大容
量化が急速に進んでいる。とりわけ，半導体メモリの試
験工程でも大容量化に伴い１個のデバイスにかかる試験
時間が膨大となってきているため，多数個デバイスを同
時に測定する技術を開発する必要がある。
よび装置に関する。近年，半導体装置の高集積化，大容
量化が急速に進んでいる。とりわけ，半導体メモリの試
験工程でも大容量化に伴い１個のデバイスにかかる試験
時間が膨大となってきているため，多数個デバイスを同
時に測定する技術を開発する必要がある。
【０００２】
【従来の技術】図５(A),(B) は従来の一般的な半導体試
験装置の構成図である。図５(A) は試験装置本体の構成
図，図５(B) はテスト・ヘッドの構成図である。
験装置の構成図である。図５(A) は試験装置本体の構成
図，図５(B) はテスト・ヘッドの構成図である。
【０００３】図５(A) のコントローラ１は試験条件や試
験フロー等のプログラムにより，プログラマブル電源
４，タイミングジェネレータ２，入出力電圧５等を制御
する。これらの装置から発生された波形は，ケーブルａ
〜ｊを介して図５(B) のテスト・ヘッドに接続される。
テスト・ヘッドの中のピン・カードを介して被測定デバ
イス (DUT: Device under Test) に所定の波形，電圧が
印加される（なお，符号６，７，８は図１で説明す
る）。
験フロー等のプログラムにより，プログラマブル電源
４，タイミングジェネレータ２，入出力電圧５等を制御
する。これらの装置から発生された波形は，ケーブルａ
〜ｊを介して図５(B) のテスト・ヘッドに接続される。
テスト・ヘッドの中のピン・カードを介して被測定デバ
イス (DUT: Device under Test) に所定の波形，電圧が
印加される（なお，符号６，７，８は図１で説明す
る）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来例では，試験装置
本体とテスト・ヘッドを接続するケーブルは不可欠であ
り，ケーブルは装置の膨大化に伴い，時には４〜５ｍの
長さになり，その長さ分の補正が必要となり，また, 試
験システムやそのスペースが増大し，配線が長いため測
定に誤差が入りやすく，また外力によるケーブルのショ
ートや断線が問題であった。
本体とテスト・ヘッドを接続するケーブルは不可欠であ
り，ケーブルは装置の膨大化に伴い，時には４〜５ｍの
長さになり，その長さ分の補正が必要となり，また, 試
験システムやそのスペースが増大し，配線が長いため測
定に誤差が入りやすく，また外力によるケーブルのショ
ートや断線が問題であった。
【０００５】また，半導体メモリの試験では前記のよう
に同時測定数の増加が望まれるが，現状では２個または
４個のテスト・ヘッドの同時測定が限界である。本発明
は半導体試験装置において，多数個の同時測定を可能と
することを目的とする。
に同時測定数の増加が望まれるが，現状では２個または
４個のテスト・ヘッドの同時測定が限界である。本発明
は半導体試験装置において，多数個の同時測定を可能と
することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題の解決は， １）試験装置本体と被試験デバイスを搭載したテスト・
ヘッド間を電磁波で通信し，試験条件を該テスト・ヘッ
ド内で設定する半導体試験方法，あるいは ２）本体側コントローラ１と，該本体側コントローラで
発生された試験条件信号(k) を発信する発信機14と，該
本体側コントローラより転送された試験パターンを受け
タイミング・ジェネレータ２によりＨ／Ｌ情報信号(l)
および期待値情報信号(m) をそれぞれ発信機15, 16へ転
送するパターンジェネレータ６と, 後記テスト・ヘッド
からの良否信号(n) を受信して該本体側コントローラに
送る受信機17と, 該テスト・ヘッドからのDCバイアス条
件設定情報信号(p) を受信して該本体側コントローラに
送る受信機24とを有する試験装置本体と, テスト・ヘッ
ド側コントローラ19と, 前記試験条件信号(k) を受信し
該テスト・ヘッド側コントローラ19に送る受信機18と,
前記Ｈ／Ｌ情報信号(l) を受信する受信機20と, 該Ｈ／
Ｌ情報信号(l) により波形を発生させるフォーマッタ７
と, 該波形を出力するドライバ９と，前記期待値情報信
号(m) を受けディジタルコンペアに入力する受信機21
と, 測定値と設定値を比較して該ディジタルコンペアに
入力するコンパレータ10と, 該ディジタルコンペアの出
力の良否信号(n) を送信する送信機22と,DCバイアス条
件設定情報信号(p) を発信する発信機23とを有するテス
ト・ヘッドとを有し, 該試験装置本体とテスト・ヘッド
の送受信が電磁波を介して行われるように構成される半
導体試験装置により達成される。
ヘッド間を電磁波で通信し，試験条件を該テスト・ヘッ
ド内で設定する半導体試験方法，あるいは ２）本体側コントローラ１と，該本体側コントローラで
発生された試験条件信号(k) を発信する発信機14と，該
本体側コントローラより転送された試験パターンを受け
タイミング・ジェネレータ２によりＨ／Ｌ情報信号(l)
および期待値情報信号(m) をそれぞれ発信機15, 16へ転
送するパターンジェネレータ６と, 後記テスト・ヘッド
からの良否信号(n) を受信して該本体側コントローラに
送る受信機17と, 該テスト・ヘッドからのDCバイアス条
件設定情報信号(p) を受信して該本体側コントローラに
送る受信機24とを有する試験装置本体と, テスト・ヘッ
ド側コントローラ19と, 前記試験条件信号(k) を受信し
該テスト・ヘッド側コントローラ19に送る受信機18と,
前記Ｈ／Ｌ情報信号(l) を受信する受信機20と, 該Ｈ／
Ｌ情報信号(l) により波形を発生させるフォーマッタ７
と, 該波形を出力するドライバ９と，前記期待値情報信
号(m) を受けディジタルコンペアに入力する受信機21
と, 測定値と設定値を比較して該ディジタルコンペアに
入力するコンパレータ10と, 該ディジタルコンペアの出
力の良否信号(n) を送信する送信機22と,DCバイアス条
件設定情報信号(p) を発信する発信機23とを有するテス
ト・ヘッドとを有し, 該試験装置本体とテスト・ヘッド
の送受信が電磁波を介して行われるように構成される半
導体試験装置により達成される。
【０００７】
【作用】本発明は従来例のケーブルを電磁波に置き換え
て試験装置本体とテスト・ヘッド間の多重通信を行うこ
とにより，多数個の同時測定を可能としている。
て試験装置本体とテスト・ヘッド間の多重通信を行うこ
とにより，多数個の同時測定を可能としている。
【０００８】図１(A),(B) は本発明の原理説明図であ
る。図１(A) は試験装置本体の構成図，図１(B) はテス
ト・ヘッドの構成図である。
る。図１(A) は試験装置本体の構成図，図１(B) はテス
ト・ヘッドの構成図である。
【０００９】コントローラ１で発生された試験条件にし
たがって試験条件発生器により条件がデータ化され，そ
のデータを発信機14によりテスト・ヘッドへと転送す
る。転送されたデータはコントローラ19によりプログラ
マブル電源４，入出力電源５やDCユニット３の設定値を
与える。
たがって試験条件発生器により条件がデータ化され，そ
のデータを発信機14によりテスト・ヘッドへと転送す
る。転送されたデータはコントローラ19によりプログラ
マブル電源４，入出力電源５やDCユニット３の設定値を
与える。
【００１０】コントローラ１よりパターンジェネレータ
６へ試験パターンが転送され，タイミング・ジェネレー
タ２によりリアルタイムにＨレベル，Ｌレベルが発信機
15へ送られる。発信器15はＨ→ＬまたはＬ→Ｈの変化が
あった場合に信号をテスト・ヘッドに転送する。その信
号を受信機20で受け, 先に転送されている波形情報とと
もにフォーマッタ７で波形生成し，ドライバ９で波形を
測定ボード12に出力する。
６へ試験パターンが転送され，タイミング・ジェネレー
タ２によりリアルタイムにＨレベル，Ｌレベルが発信機
15へ送られる。発信器15はＨ→ＬまたはＬ→Ｈの変化が
あった場合に信号をテスト・ヘッドに転送する。その信
号を受信機20で受け, 先に転送されている波形情報とと
もにフォーマッタ７で波形生成し，ドライバ９で波形を
測定ボード12に出力する。
【００１１】出力の判定はまずパターンジェネレータ６
より発生した期待値が変化した時点で発信機16によりテ
スト・ヘッドへ転送し, 受信機21で受け, 出力電源５の
設定値と測定ボード12からの値とを入力したコンパレー
タ10の出力をデジタル・コンペア８で判定し，良否情報
を発信機22で試験装置本体へ転送し，受信機17で受信し
コントローラ１へ結果を返す。
より発生した期待値が変化した時点で発信機16によりテ
スト・ヘッドへ転送し, 受信機21で受け, 出力電源５の
設定値と測定ボード12からの値とを入力したコンパレー
タ10の出力をデジタル・コンペア８で判定し，良否情報
を発信機22で試験装置本体へ転送し，受信機17で受信し
コントローラ１へ結果を返す。
【００１２】以上の構成により，試験装置本体とテスト
・ヘッドを分離独立させることができる。上記のよう
に，本発明では, 試験装置本体側から試験条件，Ｈ／Ｌ
情報，期待値情報を別々に転送し，テスト・ヘッド側で
波形生成，電圧設定，出力の比較を行い，出力の比較結
果を本体側に転送している。
・ヘッドを分離独立させることができる。上記のよう
に，本発明では, 試験装置本体側から試験条件，Ｈ／Ｌ
情報，期待値情報を別々に転送し，テスト・ヘッド側で
波形生成，電圧設定，出力の比較を行い，出力の比較結
果を本体側に転送している。
【００１３】なお図１で，信号(p) は電源電流およびリ
ーク電流等の直流試験の測定データをテストヘッドから
試験装置本体に送る信号である。また，11はDCユニット
（電流計および電圧計）をデバイスに接続するためのリ
レーおよびドライバ９とコンパレータ10をデバイスに接
続するためのリレーである。
ーク電流等の直流試験の測定データをテストヘッドから
試験装置本体に送る信号である。また，11はDCユニット
（電流計および電圧計）をデバイスに接続するためのリ
レーおよびドライバ９とコンパレータ10をデバイスに接
続するためのリレーである。
【００１４】測定ボード12は品種ごとに作成するプリン
ト板で，これをテストヘッドにセットし, ビンカードと
デバイスを接続する役割をする。
ト板で，これをテストヘッドにセットし, ビンカードと
デバイスを接続する役割をする。
【００１５】
【実施例】図２は本発明の実施例の構成図である。図に
おいて，Ａは図１(A) で示した半導体試験装置の本体，
Ｃ１〜Ｃｎは良否判定結果を受信する受信機17であり，
それぞれ別のバスを介してコントローラに接続されてい
る。また, Ｂ１〜Ｂｎは図１(B) で示したテスト・ヘッ
ドで，本体Ａから発信された試験条件を受信し, 測定波
形を生成する。
おいて，Ａは図１(A) で示した半導体試験装置の本体，
Ｃ１〜Ｃｎは良否判定結果を受信する受信機17であり，
それぞれ別のバスを介してコントローラに接続されてい
る。また, Ｂ１〜Ｂｎは図１(B) で示したテスト・ヘッ
ドで，本体Ａから発信された試験条件を受信し, 測定波
形を生成する。
【００１６】ここで，本体Ａの発信機グループから発信
された電波は，Ｂ１〜Ｂｎへ同一情報が転送され同一試
験条件となる。この例ではテスト・ヘッドＢ１〜Ｂｎは
すべて同一周波数で同一試験条件になるとしたが，別々
の周波数であってもよい。また本体が複数コントロール
ある場合は，任意の本体がテスト・ヘッドＢ１〜Ｂｎを
選ぶことができる。
された電波は，Ｂ１〜Ｂｎへ同一情報が転送され同一試
験条件となる。この例ではテスト・ヘッドＢ１〜Ｂｎは
すべて同一周波数で同一試験条件になるとしたが，別々
の周波数であってもよい。また本体が複数コントロール
ある場合は，任意の本体がテスト・ヘッドＢ１〜Ｂｎを
選ぶことができる。
【００１７】図３，図４は本体とテスト・ヘッド間の通
信方式として実施例に使用したFM変調方式のブロック図
である。図３は試験装置本体側で，デバイスの各ピンご
とのＨ／Ｌ情報がFM変調器31で変調され，各ピンのＨ／
Ｌ情報を混合器32で混合して発信機33でテストヘッド側
に送信する。
信方式として実施例に使用したFM変調方式のブロック図
である。図３は試験装置本体側で，デバイスの各ピンご
とのＨ／Ｌ情報がFM変調器31で変調され，各ピンのＨ／
Ｌ情報を混合器32で混合して発信機33でテストヘッド側
に送信する。
【００１８】図４はテストヘッド側で，本体側からの信
号を受信機41で受け, 分周器42で各ピンごとのピンカー
ドの復調器43に分周され, フォーマッタ43’, ドライバ
44を経て各ピンに入力され，デバイス出力とコンパレー
タ45と比較され良否判定を行いその結果が変調器46から
混合器47に送られる。各ピンの変調器からの信号を混合
器47で混合して発信機48より試験装置本体側に送られ
る。
号を受信機41で受け, 分周器42で各ピンごとのピンカー
ドの復調器43に分周され, フォーマッタ43’, ドライバ
44を経て各ピンに入力され，デバイス出力とコンパレー
タ45と比較され良否判定を行いその結果が変調器46から
混合器47に送られる。各ピンの変調器からの信号を混合
器47で混合して発信機48より試験装置本体側に送られ
る。
【００１９】実施例では試験装置本体とテスト・ヘッド
間の通信方式としてFM変調方式を用いたが，通常の通信
方式であればどんな方式でも利用可能である。
間の通信方式としてFM変調方式を用いたが，通常の通信
方式であればどんな方式でも利用可能である。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば，試験装置本体１台で多
数個のテスト・ヘッドを制御できるため，安いコストで
超多数個デバイスの同時測定ができ，１個当たりの試験
時間が大幅に短縮することができた。
数個のテスト・ヘッドを制御できるため，安いコストで
超多数個デバイスの同時測定ができ，１個当たりの試験
時間が大幅に短縮することができた。
【図１】 本発明の原理説明図
【図２】 本発明の実施例の構成図
【図３】 本体とテスト・ヘッド間の通信方式として実
施例に使用したFM変調方式のブロック図(1)
施例に使用したFM変調方式のブロック図(1)
【図４】 本体とテスト・ヘッド間の通信方式として実
施例に使用したFM変調方式のブロック図(2)
施例に使用したFM変調方式のブロック図(2)
【図５】 従来の一般的な半導体試験装置の構成図
１ 本体側コントローラ ２ タイミングジェネレータ ３ DCユニット ４ プログラマブル電源 ５ 入出力電源 ６ パターンジェネレータ ７ フォーマッタ ８ デジタル・コンペア器 ９ ドライバ 10 コンパレータ 14, 15, 16 本体側発信機 17, 24 本体側受信機 18, 20, 21 テスト・ヘッド側受信機 19 テスト・ヘッド側コントローラ 22, 23 テスト・ヘッド側発信機
Claims (2)
- 【請求項１】 試験装置本体と被試験デバイスを搭載し
たテスト・ヘッド間を電磁波で通信し，試験条件を該テ
スト・ヘッド内で設定することを特徴とする半導体試験
方法。 - 【請求項２】 本体側コントローラ１と，該本体側コン
トローラで発生された試験条件信号(k) を発信する発信
機14と，該本体側コントローラより転送された試験パタ
ーンを受けタイミング・ジェネレータ２によりＨ／Ｌ情
報信号(l) および期待値情報信号(m) をそれぞれ発信機
15, 16へ転送するパターンジェネレータ６と, 後記テス
ト・ヘッドからの良否信号(n) を受信して該本体側コン
トローラに送る受信機17と, 該テスト・ヘッドからのDC
バイアス条件設定情報信号(p)を受信して該本体側コン
トローラに送る受信機24とを有する試験装置本体と,テ
スト・ヘッド側コントローラ19と, 前記試験条件信号
(k) を受信し該テスト・ヘッド側コントローラ19に送る
受信機18と, 前記Ｈ／Ｌ情報信号(l) を受信する受信機
20と, 該Ｈ／Ｌ情報信号(l) により波形を発生させるフ
ォーマッタ７と, 該波形を出力するドライバ９と，前記
期待値情報信号(m) を受けディジタルコンペアに入力す
る受信機21と, 測定値と設定値を比較して該ディジタル
コンペアに入力するコンパレータ10と, 該ディジタルコ
ンペアの出力の良否信号(n) を送信する送信機22と，DC
バイアス条件設定情報信号(p) を発信する発信機23とを
有するテスト・ヘッドとを有し, 該試験装置本体とテス
ト・ヘッドの送受信が電磁波を介して行われるように構
成されることを特徴とする半導体試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4067908A JPH05273315A (ja) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | 半導体試験方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4067908A JPH05273315A (ja) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | 半導体試験方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05273315A true JPH05273315A (ja) | 1993-10-22 |
Family
ID=13358476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4067908A Withdrawn JPH05273315A (ja) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | 半導体試験方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05273315A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998022829A1 (fr) * | 1996-11-15 | 1998-05-28 | Advantest Corporation | Testeur de dispositif a circuit integre |
| GB2339918B (en) * | 1998-02-05 | 2002-11-27 | Advantest Corp | Optical driver, optical output type voltage sensor and IC testing apparatus using them |
| JP2007532884A (ja) * | 2004-04-08 | 2007-11-15 | フォームファクター， インコーポレイテッド | 無線テストカセット |
-
1992
- 1992-03-26 JP JP4067908A patent/JPH05273315A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998022829A1 (fr) * | 1996-11-15 | 1998-05-28 | Advantest Corporation | Testeur de dispositif a circuit integre |
| GB2322203A (en) * | 1996-11-15 | 1998-08-19 | Advantest Corp | Integrated circuit device tester |
| US6157200A (en) * | 1996-11-15 | 2000-12-05 | Advantest Corporation | Integrated circuit device tester |
| GB2339918B (en) * | 1998-02-05 | 2002-11-27 | Advantest Corp | Optical driver, optical output type voltage sensor and IC testing apparatus using them |
| US6586953B1 (en) | 1998-02-05 | 2003-07-01 | Advantest Corporation | Optically driven driver, optical output type voltage sensor, and IC testing equipment using these devices |
| JP2007532884A (ja) * | 2004-04-08 | 2007-11-15 | フォームファクター， インコーポレイテッド | 無線テストカセット |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990608 |