JPH0527277A

JPH0527277A - 走査ビームの光量制御方法

Info

Publication number: JPH0527277A
Application number: JP3203189A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Sano; 洋佐野
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1991-07-18
Filing date: 1991-07-18
Publication date: 1993-02-05
Anticipated expiration: 2012-11-12
Also published as: JP2675695B2

Abstract

(57)【要約】【目的】走査ビームの光量を走査位置によらず一定レ
ベルに保たれる様に走査ビームの光量を制御する。【構成】ＡＯＤ２により偏向された偏向ビームＬ_dの
光量はセンサ５により計測される。その光量信号Ｖ_dの
データに基づいて、ＣＰＵ１１は有効範囲内にある各走
査位置における光量信号Ｖ_dの極大値の最小値を求め、
その最小値に経験値αを乗じた値を与える振幅制御信号
Ｖ_mを有効範囲内にある各走査位置について求める。こ
れらの振幅制御信号Ｖ_m及び周波数制御信号Ｖ_tに基づ
いて、ＡＯＤ２の動作は制御される。更にＥＷＳ２０上
において有効範囲外にある各走査位置における振幅制御
信号Ｖ_mを補正して、走査ビームの光量を高精度で制御
できる。【効果】走査ビームの光量変動を十分に減少させるこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、光偏向素子により偏
向された光ビームの光量を制御する方法に関するもので
ある。更に具体的には、音響光学素子を用いた光偏向素
子により偏向された光ビームにより感光フィルムやガラ
ス乾板等の感光材料を走査する高速描画装置等に適用さ
れる技術であって、音響光学素子に印加される制御信号
を適切に補正することにより、走査ビームの光量変動を
除去しようとするものである。

【０００２】

【従来の技術】周知の通り、二酸化テルル単結晶等の音
響光学媒体と、音響光学媒体の一側面に接着された圧電
素子とを有するＡＯＤ（音響光学偏向器）は、光の進路
を変える音響光学効果を有する。即ち、圧電素子に電気
信号を加えて横波超音波を発生させ、この横波超音波を
媒体中に伝搬させると、媒体中を通るレーザービームは
媒体内の屈折率の周期的変動により回折される。特に、
Ｂｒａｇｇ回折の一次回折光が、回折効率が高いことか
ら実用に供されている。しかも、回折される方向は超音
波の周波数に比例するので、ＡＯＤを利用すれば、周波
数変調により光の方向を制御することができる。この様
な特性に基づき、ＡＯＤは画像記録装置等の光偏向素子
として広く用いられている。

【０００３】しかし、回折光の強度、即ち光量は横波超
音波の周波数に依存して変化するため、一定の振幅を有
し、且つ周波数が周期的に変動する超音波を音響光学媒
体内に伝搬させると、回折光の光量は回折される方向に
よって異なることとなる。従って、回折光により感光材
料上を走査することにより感光材料を露光すると、感光
材料上の走査位置ごとに感光量が異なるため、画像濃度
を一定基準で記録することができないという不具合が生
じる。

【０００４】この様な問題点を解決する方法として考え
出された技術としては、特開昭５９−１６０１２８号公
報に開示されたものがある。即ち、当該技術は、ＡＯＤ
により回折される回折光（以下、原則的に回折を偏向と
呼ぶことにする）の光量が常に最大光量（回折効率が最
高）となる様に、超音波の振幅を各周波数ごとに適切に
調整しようとするものである。その様な調整手段とし
て、通過域特性が適切に設計されたバンドパスフィルタ
が用いられる。

【０００５】図１４は、当該技術の電気的構成を模式的
に示したブロック図である。同図に示す様に、電圧制御
発振器（以下、ＶＣＯと呼ぶ）１４の出力はバンドパス
フィルタ１８を介して増幅器（以下、アンプという）１
９に入力される。その結果、ＶＣＯ１４より発振された
周波数信号は、バンドパスフィルタ１８の減衰特性に従
って、各周波数ごとに異なる量だけ減衰され、その減衰
された周波数信号に基づいてアンプ１９から駆動信号Ｖ
_dがＡＯＤ２に加えられる。従って、バンドパスフィル
タ１８の減衰特性を適切に調整すれば、ＡＯＤ２により
偏向されたレーザービームＬ_dの光量を一定レベルに保
つことが可能となる。その様なバンドパスフィルタ１８
の減衰特性の設定は、次の様にして行われる。

【０００６】即ち、予めＡＯＤ２の駆動信号Ｖ_dの周波
数及び電力を変えて、偏向されたレーザービームＬ_dの
光量を計測し、偏向効率（入射したレーザービームＬ_i
の光量をＰＩ，偏向されたレーザービームＬ_dの光量を
Ｐとすると、偏向効率はＰ／ＰＩで表される。）を求め
る。そして得られたデータから、各周波数ごとに偏向効
率が最大となる駆動信号Ｖ_dの電力を求めると、図１５
に示す様に駆動信号の電力とその周波数との関係は２次
曲線によって近似されることになる。従って、バンドパ
スフィルタ１８の減衰特性が、図１５の２次曲線に対応
する様に、フィルタの設計を行えば良いこととなる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来の技術は以上の様
に構成されているので、確かに偏向ビームの光量の変動
を抑えることができる利点を有している。しかし、ＡＯ
Ｄの駆動信号の電力補正手段としてバンドパスフィルタ
を用いている等のため、次の様な問題点が発生してい
た。

【０００８】まず第１に、本補正方法においては、
駆動信号の電力と偏向ビームの光量とが線形であるとの
仮定を前提として駆動信号の電力と周波数との関係を２
次曲線で近似していたが、実際には駆動信号の電力と偏
向ビームの光量とは非線形な関係にある。そのため、実
際に偏向ビームの光量を計測すると、得られる最高偏向
効率は図１６に破線で示す様な理想的な直線にはなら
ず、実際には図１６に実線で示す様な曲線となる。この
様に本補正方法は，原理的に偏向ビームの光量変動を十
分に抑制することができないという問題点を有してい
る。

【０００９】第２に、駆動信号の電力と周波数との
関係を示す曲線を忠実に反映したフィルタ特性を実現す
ることが困難であるという問題点を、本技術は有してい
る。即ち、駆動信号の電力と周波数との関係は図１５に
示した様な２次曲線で精度良く近似できるとは限らず、
両者の関係を示す曲線が２次曲線から少し変形した様な
関数、例えば図１７（ａ）に実線で示す様な関数形とし
て表される場合には、その様な関数形を反映した減衰特
性を有するフィルタを構成することは容易でない。仮に
多般構成のフィルタにより実現するとしても、回路構成
が複雑化する欠点がある。

【００１０】更に、特定周波数において極端な偏向効率
の変化が生じた場合には、本補正方法ではその様な変化
に対応することができない。例えば、図１７（ｂ）に示
す様に特定周波数で急激に電力を変化させる必要がある
場合においては、フィルタの減衰特性上、その様な駆動
信号を作成することは不可能である。

【００１１】この様に本補正方法においては、駆動信号
の電力と周波数との関係が様々な形に変化した場合（こ
れらの変化は、ＡＯＤ自身の特性のバラツキ等により生
じる）に、その様な変化に柔軟に対応することができな
いといえる。

【００１２】第３に本技術は、偏向ビームの測定と
フィルタの減衰特性の調整とに多大な時間と労力とを要
し、すばやく駆動信号を補正することができないという
問題点をも有している。

【００１３】第４に本技術は、温度変化等の環境条
件の変化に対して柔軟に対応できないという問題を有し
ている。即ち、ＡＯＤの特性は周囲温度の変化によって
変化するため、ＡＯＤにより偏向された光の偏向効率も
また、周囲温度の変化に依存することとなる。従って、
温度変化に伴って駆動信号の電力を調整する必要が生じ
るが、本技術の様にフィルタの減衰特性により駆動信号
の電力を調整する方法では、温度変化に伴う偏向効率の
変動に追従して、減衰特性を微妙にコントロールするこ
とは至難な技である。もちろんフィルタ自身の特性も温
度により変動するため、上記コントロールを一層困難な
ものとしている。

【００１４】以上述べた諸問題点は、既述した通り、本
技術が電力補正手段としてバンドパスフィルタを利用し
ている点に起因して発生しているものである。

【００１５】この発明は、この様な問題点を解消すべく
なされたものであり、その目的とするところは、光偏向
素子により偏向された走査ビームの光量を走査位置によ
らず一定レベルに保つための補正を容易に行うことがで
き、しかも環境条件の変化や素子の特性のバラツキ等に
も柔軟に対応できる走査ビームの光量制御方法を提供す
ることである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】この発明の第１の構成
は、制御信号に応じて光ビームを偏向し、且つその偏向
角を変化させる光偏向素子を用いて光ビームを走査する
際の走査ビームの光量を制御する方法に関する。即ち、
（ａ）制御信号の周波数及び振幅を所定の範囲内で変
化させて走査ビームの光量を計測し、走査ビームの第１
の光量データを得る。そして、（ｂ）第１の光量デー
タから、周波数に関する所定の範囲の内、有効範囲とし
て予め規定された範囲内にある制御信号の各周波数毎に
走査ビームの光量の極大値を求めるとともに、（ｃ）
周波数のそれぞれの値について求められた光量の極大値
のデータの中で最小値となる光量値を求め、その最小値
に所定の定数値を乗じて補正する。更に、（ｄ）有効
範囲内にある制御信号の各周波数毎に、ステップ（ｃ）
により得られた光量値を与える制御信号の振幅を、ステ
ップ（ｂ）により得られた第１の光量データより求め、
（ｅ）ステップ（ｄ）により求められた各周波数毎の
制御信号の振幅データに基づいて光偏向素子を駆動しつ
つ、光ビームを走査するようにしたものである。

【００１７】又、この発明の第２の構成では、第１の構
成に係る走査ビームの光量制御方法において、ステップ
（ｅ）を、（ｅ−１）ステップ（ｄ）により求められ
た各周波数毎の制御信号の振幅データに基づいて光ビー
ムを走査し、且つ走査ビームの光量を計測することによ
り、走査ビームの第２の光量データを得、（ｅ−２）第
２の光量データから、有効範囲内における光量の最小値
を求めるとともに、（ｅ−３）有効範囲内にある周波
数毎に、第２の光量値とステップ（ｅ−２）により求め
られた光量の最小値との差分データを求め、（ｅ−４）
差分データを用いて、ステップ（ｄ）により各周波数
毎に得られた制御信号の振幅データを補正し、更に（ｅ
−５）ステップ（ｅ−４）により補正された各周波数
毎の制御信号の振幅データに基づいて光偏向素子を駆動
しつつ、光ビームを走査する様にしたものである。

【００１８】更にこの発明の第３の構成では、第２の構
成に係る走査ビームの光量制御方法において、ステップ
（ｅ−５）を、（ｅ−５−１）ステップ（ｅ−４）に
より補正された各周波数毎の制御信号の振幅データに基
づいて、周波数に関する所定の範囲内で光ビームを走査
し、且つ走査ビームの光量を計測することにより、走査
ビームの第３の光量データを得、（ｅ−５−２）第３
の光量データを参照しつつ、周波数に関する所定の範囲
の内、有効範囲を除いた所定の範囲内における制御信号
の振幅データを修正するとともに、（ｅ−５−３）ス
テップ（ｅ−４）により補正された各周波数毎の制御信
号の振幅データ及びステップ（ｅ−５−２）により補正
された制御信号の振幅データとに基づいて光偏向素子を
駆動しつつ、光ビームを走査する様にしたものである。

【００１９】

【作用】この発明の第１の構成では、走査ビームの光量
の計測によって取得された第１の光量データから各周波
数ごとに光量の最大値が求められ、それらの光量の極大
値を比較することにより光量の極大値の最小値が算出さ
れる。更に、係る最小値に所定の定数値を乗じた値を与
える制御信号の振幅データが各周波数ごとに求められ、
得られた振幅データに基づいて光偏向素子が駆動され
る。従って、光偏向素子により偏向された走査ビームの
光量は、上記最小値近傍の値となる。

【００２０】又、この発明の第２の構成では、第１の構
成で得られた振幅データに基づいて更に走査ビームの光
量が計測され、第２の光量データが作成される。更にこ
の第２の光量データより、走査ビームの走査の有効範囲
内において、当該範囲内の光量の最小値と各周波数にお
ける第２の光量値との差分データが求められ、この差分
データを利用して、第１の構成で得られた振幅データが
補正される。そして、この補正された振幅データに基づ
いて光偏向素子が駆動され、偏向ビームが走査される。
従って、有効範囲内には、殆ど光量レベルが一定となる
走査ビームが走査される。

【００２１】更にこの発明の第３の構成では、走査ビー
ムの走査範囲の内、有効範囲以外の所定の範囲内におけ
る制御信号の振幅データが、第３の光量データに基づき
補正される。従って、有効範囲内において走査ビームが
走査される始期における走査ビームの光量は一定レベル
に保たれる。

【００２２】

【実施例】

（１）装置の構成及び概略動作図１は、この発明の一実施例である高速描画装置の電気
的及び光学的構成を模式的に示した図である。同図に示
す様に本装置は、光学系ＯＰとＡＯＤ制御基板１０とＥ
ＷＳ（エンジニアリングワークステーション）２０とに
大別される。

【００２３】ここに光学系ＯＰは、レーザー発振器１，
ＡＯＤ２，走査レンズ３，リレーレンズ系４及び光電変
換素子を含むセンサ５を備えている。尚、ＡＯＤ２の動
作は後述する様にＡＯＤ制御基板１０において生成され
た制御信号Ｖ_dによって制御される。

【００２４】まずレーザー発振器１より発振されたレー
ザービームＬ_iは、制御信号Ｖ_dに応じてＡＯＤ２によ
り偏向される。そして偏向ビームＬ_dは、後述する制御
信号Ｖ_dの補正処理が完了した場合には、走査レンズ３
により集光され、走査レンズ３の像面位置に配置された
感光材料の走査面ＰＬ上を走査することとなる。しかし
制御信号Ｖ_dの補正処理実行中においては、走査面ＰＬ
は図１に示す位置から取り除かれており、走査レンズ３
により集光された偏向ビームＬ_dは、リレーレンズ系4
を介してセンサ５の受光面上に集光される。これによ
り、偏向ビームＬ_dの光量Ｐが、走査面ＰＬ上を偏向ビ
ームＬ_dが走査する際の走査時間の関数として表される
光量信号Ｖ_pとして検出される。

【００２５】一方、ＡＯＤ制御基板１０は、ＡＯＤ２の
制御信号Ｖ_dを生成するＶＣＯ１４，アンプ１５及びＡ
ＯＤドライバ１６を備えており、しかもＶＣＯ１４及び
ＡＯＤドライバ１６を制御するＣＰＵ１１をも備えてい
る。更に、ＡＯＤ制御基板１０は、センサ５の出力信号
である光量信号Ｖ_pを光量データとして格納するデータ
メモリ１７，ＶＣＯ１４に印加すべき周波数制御信号Ｖ
_t（ＶＣＯ１４の制御電圧に相当）を格納するメモリ12
及びＡＯＤドライバ１６に印加すべき振幅制御信号Ｖ_m
を格納するメモリ１３をも有している。

【００２６】ＡＯＤ制御基板１０において中核をなすＣ
ＰＵ１１は、次の様な機能を有する。即ち、基準クロッ
ク１１ａを有するＣＰＵ１１はデータメモリ１７に対し
てアドレス制御信号Ｖ_Aを与え、このアドレス制御信号
Ｖ_Aに応じてデータメモリ１７中の所定のアドレスへ、
光量信号Ｖ_pを格納する。そしてＣＰＵ１１は随時各ア
ドレスに格納された光量信号Ｖ_pをデータメモリ１７よ
り読出し、後述する補正処理に従って振幅制御信号Ｖ_m
を求め、その結果をメモリ１３へ格納する。又、ＣＰＵ
１１は基準クロック１１ａに基づいて周波数制御信号Ｖ
_tを生成し、その結果をメモリ１２に格納する。尚、振
幅制御信号Ｖ_mと周波数制御信号Ｖ_tとは、同期化され
た信号である。

【００２７】さらにＣＰＵ１１は、メモリ１２，１３よ
りそれぞれ周波数制御信号Ｖ_t及び振幅制御信号Ｖ_mを
読出し、これらの信号Ｖ_t，Ｖ_mをそれぞれＶＣＯ１４
及びＡＯＤドライバ１６へ出力する。

【００２８】一方、ＥＷＳ２０はデータバス３０を介し
てＡＯＤ制御基板１０と接続されており、ＣＰＵ１１を
通じて振幅制御信号Ｖ_mや光量信号Ｖ_p等の各種データ
が、ＥＷＳ２０へ伝送される。そしてＥＷＳ２０へ伝送
された各種データは、インターフェース（Ｉ／Ｆ）２１
を介してＥＷＳ２０のＣＰＵ２２へ送られ、所定の処理
がなされた後、ＣＲＴディスプレイ等のディスプレイ２
５へグラフィック化されて出力される。

【００２９】又、ＣＰＵ２２にはキーボード２３及びマ
ウス２４が接続されており、これらの入力手段を通じ
て、オペレータはディスプレイ２５の画面上に表示され
た各種データを補正することができる。そして、補正さ
れた振幅制御信号Ｖ_m′に関するデータがデータバス３
０を通じてＣＰＵ１１へ送られることとなり、ＣＰＵ１
１は、補正された振幅制御信号Ｖ_m′を新たな振幅制御
信号としてメモリ１３へ格納することとなる。（２）振幅制御信号Ｖ_mの補正処理既述した通り、走査面ＰＬ上を走査される偏向ビームＬ
_dの光量は変動する。従って、この変動を除去するため
には、制御信号Ｖ_dの振幅を補正する必要がある。そこ
で、本実施例においては、以下に示す第１〜第３の補正
方法に基づいて、振幅制御信号Ｖ_mの補正処理が行われ
る。以下、第１〜第３の補正方法について、順次、フロ
ーチャートを参照しつつ説明することとする。

【００３０】（Ａ）第１の補正方法図２は、第１の補正方法の手順を示すフローチャートで
ある。

【００３１】ステップＳＡ１実際にＡＯＤ２を駆動して偏向ビームＬ_dを走査し、光
量信号Ｖ_pのデータ作成を行う。即ち、各周波数ｆごと
に（走査面ＰＬにおいては、各走査位置ｘごとに）制御
信号Ｖ_dの振幅を変えて、光量信号Ｖ_pの周波数依存性
及び振幅依存性を計測する。詳細は、ステップＳＡ１１
〜ＳＡ１７に示す通りである。

【００３２】まずステップＳＡ１１においては、周波数
ｆの初期値ｆ₁の設定が行われる（ｆ＝ｆ₁）。即ち、
ＶＣＯ１４から周波数ｆ₁の信号が発振される様な周波
数制御信号Ｖ_t1がメモリ１２より読出され、ＣＰＵ１１
よりＶＣＯ１４に印加される。尚、本実施例において
は、周波数ｆをステップ幅Δｆで初期値ｆ₁から最終値
ｆ_sまで変化するものとしている。実用的には、初期値
ｆ₁は１２０ＭＨ_z，最終値ｆ_sは７０ＭＨ_z，ステッ
プ幅Δｆは５０ＫＨ_zである。

【００３３】次にステップＳＡ１２においては、振幅制
御信号Ｖ_om（補正前の振幅制御信号を示す。）の初期値
設定が行われる。本実施例では、振幅制御信号Ｖ_m（Ｖ
_om）を０Ｖから最終値Ｖ_meまでステップ幅ΔＶ_mで変化
する。実用的には、最終値Ｖ_meは１０Ｖであり、ステッ
プ幅ΔＶ_mは１０／２５６Ｖである。尚、振幅制御信号
Ｖ_omに関するこれらのデータは、予めメモリ１３ａに格
納されている。以上より、初期値Ｖ_om1は、ステップ幅
ΔＶ_mに等しくなる（Ｖ_om1＝ΔＶ_m）。

【００３４】次にステップＳＡ１３においては、ＡＯＤ
２を周波数ｆ₁，振幅Ｖ_om1の制御信号Ｖ_dで駆動した
場合の偏向ビームＬ_dの光量Ｐ₁が計測される。

【００３５】そして、光量信号Ｖ_P1がデータメモリ１７
に格納される。

【００３６】ステップＳＡ１４においては、振幅制御電
圧Ｖ_omが最終値Ｖ_meに等しいか否かが、ＣＰＵ１１によ
り判定される。即ち、Ｖ_om≧Ｖ_meとなるまで振幅制御電
圧Ｖ_omをステップ幅ΔＶ_mずつ増大して、各振幅制御信
号Ｖ_omにおける偏向ビームＬ_dの光量Ｐ_iが計測される
（ステップＳＡ１５）。

【００３７】次にステップＳＡ１６においては、周波数
ｆが最終値ｆ_sに等しいか否かが、ＣＰＵ１１により判
定される。もしｆ＞ｆ_sならば、周波数ｆが最終値ｆ_s
となるまで周波数ｆをステップ幅Δｆずつ減じ、各周波
数ｆにおける光量Ｐ_iの振幅制御信号依存性のデータが
計測されることとなる。

【００３８】ステップＳＡ２ステップＳＡ１により光量データの作成が完了したなら
ば、次に光量データより各周波数ｆにおける光量信号Ｖ
_pの極大値についてのデータを作成し、更にこの極大値
についてのデータの中から最小値Ｐ_minを求める処理を
行う。そして、最小値Ｐ_minに定数値αを乗じる処理を
引き続いて行う。もちろん、これらの処理はＣＰＵ１１
によって行われる。

【００３９】ここで、図３はステップＳＡ１により作成
された光量データの一例を示す図であり、横軸は振幅制
御信号Ｖ_om（又はＶ_m）を表わし、縦軸は光量信号Ｖ_p
（又は光量Ｐ）を表している。又、図３においては、便
宜上、各周波数ｆごとに対応する光量信号Ｖ_pの曲線
を、走査面ＰＬ上の走査位置の各座標ｘ（ｘ₁，ｘ
₂…）ごとの曲線として示している。これらの曲線よ
り、光量信号Ｖ_pと振幅制御信号Ｖ_omとは非線形な関係
にあることが理解される。

【００４０】そして、図３に示す各走査位置ｘごと（但
し、後述する有効範囲内に限る）の光量信号Ｖ_pの曲線
について極大値（ｐ_m1，ｐ_m2 …）を求め、それらを図
案化したのが図４である。同図において、横軸は走査位
置ｘを表しており、縦軸は光量信号Ｖ_pの極大値Ｐ_max
を表している。尚、横軸において、走査位置ｘ_oから走
査位置ｘ_eまでの範囲は有効範囲と呼ばれる範囲に相当
しており、図４はこの有効範囲内にある走査位置ｘにつ
いての極大値Ｐ_maxを求めた結果を示している。

【００４１】この有効範囲（但し、一走査に限る）と
は、偏向ビームＬ_dの走査範囲中、偏向ビームＬ_dの光
量Ｐ_iが一定レベルを中心として変動する様になるまで
の光量Ｐ_iの立上がり範囲及びその一定レベルから光量
Ｐ_iが０になるまでの光量Ｐ_iの立下がり範囲（光量Ｐ
_iの立上がりは、ＡＯＤ２に制御信号Ｖ_dが印加されて
から、ＡＯＤ２内の音響媒体中をその一方の端面から他
方の端面にまで超音波が伝達するまでに要する時間に起
因したＡＯＤ２自身の遅延特性により生じるものであ
る。光量Ｐ_iの立下がりも同様である。）を除いた偏向
ビームＬ_dの走査範囲である。尚、図６に模式的に示す
様に、走査面ＰＬの位置に感光材料３１を配置して実際
に画像信号等を感光材料３１上に記録する場合には、有
効範囲ｌ、すなわち走査位置ｘ₀と走査位置ｘ_eの間隔
が一走査幅となる。

【００４２】次に極大値Ｐ_maxの最小値Ｐ_minが、各走
査位置ｘにおける極大値Ｐ_maxの値を相互に比較するこ
とにより上記極大値Ｐ_maxのデータから抽出される。図
４の場合においては、走査位置ｘ₂における極大値Ｐ_m2
が最小値Ｐ_minとなる。

【００４３】更に、ここで定数値α（０＜α≦１）なる
パラメータを導入し、抽出した最小値Ｐ_minと定数値α
との積算が行われる。即ち、最小値Ｐ_minは、最小値Ｐ
_min ^*（Ｐ_min ^*＝α・Ｐ_min）に修正される。この様
な積算を行うのは、光量Ｐの時間的な変動を考慮して、
極大値Ｐ_maxの最小値として少し低めの値Ｐ_min ^*を設
定しておこうとするためである。尚、通常は定数値αと
しては、１近傍の値が用いられる。

【００４４】ステップＳＡ３次に、各周波数ｆにおいて、光量信号Ｖ_pが最小値Ｐ
_min ^*を与える振幅制御信号Ｖ_mが求められる。即ち、
第１の補正においては、有効範囲内における全ての走査
位置ｘにおける光量信号Ｖ_pが最小値Ｐ_min ^*となる様
に、振幅制御信号Ｖ_omを補正しようとするものである。
尚、極大値Ｐ_maxの最小値Ｐ_min ^*を補正の基準となる
べき光量信号に設定するのは、可能な限り走査ビームの
光量Ｐを大きく取りたいという意図の現れである。この
様な補正は、再び図３に示した光量データに基づいて行
われる。

【００４５】そこで図３の光量データを概観すると、走
査位置ｘによっては、光量信号Ｖ_pとして最小値Ｐ_min
^*を与える振幅制御電圧Ｖ_mが２つ存在する場合があ
る。例えば、走査位置ｘ₁については、光量信号Ｖ_pが
最小値Ｐ_min ^*となる振幅制御信号Ｖ_mは、Ｖ_m1と
Ｖ_m1′である。同様に走査位置ｘ₂についても、求める
べき振幅制御信号Ｖ_mはＶ_m2とＶ_m2′の２つである。こ
れは、光量Ｐと駆動信号Ｖ_dの振幅とが非線形であるこ
とにより生じる結果である。

【００４６】そこで、本補正においては、光量信号Ｐ
_min ^*を与える振幅制御電圧Ｖ_mが２つ存在する場合に
は、光量信号Ｖ_pと振幅制御信号Ｖ_mとの関係を示す曲
線が単調増加している範囲内に存在する振幅制御信号Ｖ
_mを、補正値として採用することにする。

【００４７】この様な約束に従って、有効範囲内におけ
る光量信号Ｐ_min ^*を与える振幅制御信号Ｖ_mを求め、
その結果をグラフィク化したのが、図５である。尚、第
１の補正では有効範囲内（ｘ_o≦ｘ≦ｘ_e）についての
み振幅制御信号Ｖ_mを補正するものである。従って、有
効範囲外にある走査位置、即ち、光量Ｐの立上がり範囲
（０≦ｘ＜ｘ_o）及び立下がり範囲（ｘ_e＜ｘ≦ｘ_s）
については、振幅制御信号Ｖ_mは補正を受けないので、
図５に示された上記範囲内における補正後の振幅制御信
号Ｖ_mは、補正前の振幅制御信号Ｖ_omに相当している。

【００４８】ステップＳＡ４そこで、以上のステップにより求められた振幅制御信号
Ｖ_m（第１の補正値Ｖ_mAと呼ぶ）を、新たな振幅制御信
号Ｖ_mとして用いることにする。即ち、第１の補正値Ｖ
_mAは、振幅制御信号Ｖ_mとしてメモリ１３に格納され
る。そして、実際に感光材料３１上に偏向ビームＬ_dを
走査する場合には、第１の補正値Ｖ_mAはＣＰＵ１１によ
ってメモリ１３から読出され、ＡＯＤドライバ１６へ与
えられる。その結果、ＡＯＤ２により偏向される偏向ビ
ームＬ_dの有効範囲内における光量Ｐは、原理的には常
に均一となることが期待される。

【００４９】（Ｂ）第２の補正方法以上述べた通り、第１の補正方法によれば、偏向ビーム
Ｌ_dの光量信号Ｖ_pは有効範囲内では常に最小値Ｐ_min
^*となる様に制御されるものと期待される。しかし、実
際には、偏向ビームＬ_dの光量信号Ｖ_pは有効範囲内で
均一とならず、最小値Ｐ_min ^*を中心として変動する。

【００５０】ここで図７は、第１の補正値Ｖ_mAを用いて
ＡＯＤ２を駆動した場合に計測された光量信号Ｖ_pを示
す図である。同図に示す通り、ｘ_o≦ｘ≦ｘ_eの範囲に
おいては、最小値Ｐ_min ^*を中心として僅かながら変動
する。その変動率ΔＶ_p／Ｐ_min ^*は約３％である（以
後、変動率ΔＶ_p／Ｐ_min ^*を便宜上、変動率ΔＶ_p／
Ｐ_minと記載することにする。）。これは、ＡＯＤ２自
身の特性のバラツキや周囲環境の微妙な変化に伴うＡＯ
Ｄ２の特性の微少な変化やセンサ５自身の特性の微少な
変化等による影響が積算された結果によるものと思われ
る。

【００５１】そこで、以下のステップにおいては、上記
光量信号Ｖ_pの変動量ΔＶ_pを除去すべく、更に第１の
補正値Ｖ_mAを補正することが行われる。その様な補正
は、以下に述べる様に光量信号Ｖ_pの変動量ΔＶ_p（＝
Ｖ_p−Ｐ_min ^*）を利用することにより行われる。

【００５２】ここに、図８は第２の補正方法の手順を示
すフローチャートである。以下、図８に基づいて、説明
を進めることとする。

【００５３】ステップＳＢ１まず第１の補正値Ｖ_mAを振幅制御信号Ｖ_mとしてＡＯＤ
２を駆動し、各周波数ｆ（各走査位置ｘ）における光量
信号Ｖ_pを計測する。尚、光量測定時における光量信号
Ｖ_pのバラツキを次のステップＳＢ２で補正するため
に、本ステップＳＢ１では、数回の計測が行われる。

【００５４】ステップＳＢ２次にステップＳＢ１で求められた光量信号Ｖ_pのデータ
を平滑化する。この平滑化は、例えば、走査位置ｘにお
ける光量信号Ｖ_pのデータがｎ回計測されたならば、ｎ
個のデータの平均値＜Ｖ_p＞をその走査位置ｘにおける
光量信号Ｖ_pとして採用することにより行われる。尚、
この結果得られる光量信号Ｖ_pのデータは、前述の図７
に示したものに相当している。又、本ステップＳＢ２を
含めて、以後のステップＳＢ３〜ＳＢ７は全てＣＰＵ１
１によって行われる。

【００５５】ステップＳＢ３次に、前ステップＳＢ２で求められた光量信号Ｖ_pのデ
ータに基づいて、有効範囲内における光量信号Ｖ_pの最
小値Ｐ_Lの算出が行われる。

【００５６】例えば図７に示した光量信号Ｖ_pの場合に
は、ＣＰＵ１１は、走査位置ｘ_Lにおける光量信号Ｖ_p
を最小値Ｐ_Lとして判断することになる。

【００５７】ステップＳＢ４更に、有効範囲内で、各走査位置ｘ（各周波数ｆ）にお
ける光量信号Ｖ_pと前ステップＳＢ３で求めた最小値Ｐ
_Lとの差分データΔＰ_Lが算出される。その様な差分デ
ータΔＰ_Lを図示したものが、図９に示す分布である。

【００５８】ステップＳＢ５前ステップＳＢ４で算出した差分データΔＰ_Lを、ＡＯ
Ｄ２の遅延特性を考慮して、−ｘ方向にシフトする処理
が行われる。ここで、ＡＯＤ２における遅延時間を時間
ｔ_d、偏向ビームＬ_dの走査速度を速度Ｖ_sとして表す
ならば、差分データΔＰ_Lの−ｘ方向へのシフト量ｘ_d
は、ｘ_d＝Ｖ_s・ｔ_dで表される。尚、ＡＯＤ２の遅延
時間ｔ_dは、ＡＯＤ２の音響媒体中を伝播する超音波の
音速をＶ_u，超音波の音響媒体中の伝播長をｌ_uとすれ
ば、ｔ_d＝ｌ_u／Ｖ_uの関係式により算出される。

【００５９】ここに図１６は、上記シフト処理がなされ
た後の差分データΔＰ_L′示す図である。

【００６０】ステップＳＢ６最後に、前ステップＳＢ５でシフトされた差分データΔ
Ｐ_L′に経験値βを乗算し、第１の補正値Ｖ_mAからそれ
らの値β・（ΔＰ_L）′を減算する。

【００６１】そして減算により得られた新たな振幅制御
信号Ｖ_mが、第２の補正値Ｖ_mBとして、メモリ１３に格
納される。即ち、Ｖ_mB＝Ｖ_mA−β・（ΔＰ_L′）とな
る。

【００６２】ここで経験値βの値としては、例えば振幅
制御信号Ｖ_mを０Ｖから１０Ｖの範囲内で２５６ステッ
プで変える場合には、約０．７が最適値となることが、
実際に経験値βの値を変えて光量信号Ｖ_pを計測するこ
とにより求められている。

【００６３】尚、上記補正処理後の振幅制御信号Ｖ_mBを
図１１に示す。同図においては、参考のために、第１の
補正値Ｖ_mAも示されている。即ち、曲線３２が第１の補
正値Ｖ_mAであり、曲線３３が第２の補正値Ｖ_mBである。

【００６４】この様な第２の補正値Ｖ_mBに基づいてＡＯ
Ｄ２を駆動し光量信号Ｖ_pを計測すると、有効範囲内に
おける光量信号Ｖ_pの変動率ΔＶ_p／Ｐ_minを約１％に
まで減少させることが可能となる。

【００６５】尚、本補正方法において第１の補正値Ｖ_mA
と差分データ（ΔＰ_L′）との減算を行うことができる
のは、第１の補正方法において、有効範囲内の各走査位
置ｘにおける最小値Ｐ_min ^*を与える振幅制御信号Ｖ_m
の決定に際し、図３のＶ_p−Ｖ_m曲線の単調増加範囲内
にある振幅制御信号Ｖ_mを採用したことによるためであ
る。

【００６６】もし、この様な処理を行わなかったなら
ば、第２の補正方法により第１の補正値Ｖ_mAを小さくし
たにもかかわらず、光量信号Ｖ_pが逆に増加し、却って
光量信号Ｖ_pの変動率ΔＶ_p／Ｐ_minが大きくなるとい
う不具合が生じていた筈である。これでは、従来の技術
の様に、光量信号Ｖ_pと振幅制御信号Ｖ_mとの関係が非
線形であるにもかかわらず、線形近似して補正値を計算
する事と同様になってしまうことになる。

【００６７】しかし、本実施例においては、第１補正時
にその様な非線形性を考慮して補正処理がなされている
ため、上述の様な逆効果は生じないこととなる。

【００６８】（Ｃ）第３の補正方法第２の補正値Ｖ_mBにより光量信号Ｖ_pの変動率ΔＶ_p／
Ｐ_minを約１％に減少させることが可能となったが、更
に変動率ΔＶ_p／Ｐ_minを小さくするために、第２の補
正値Ｖ_mBを補正する。

【００６９】即ち、第１及び第２の補正においては、有
効範囲内において振幅制御信号Ｖ_mの補正処理が行われ
てきた。その結果、光量信号Ｖ_pの変動率ΔＶ_p／Ｐ
_minを約１％にまで抑える事が可能となった。しかし、
本装置により更に一層正確な画像記録を行うとするに
は、更に光量信号Ｖ_pの変動率ΔＶ_p／Ｐ_minを小さく
することが望まれる。

【００７０】そこで現在の１％程度の変動率ΔＶ_p／Ｐ
_minを生じさせている原因を考察すると、この変動は主
として光量立上がり時のオーバーシュートによるもので
あると考えることができる。このオーバーシュートは、
ＡＯＤ２の遅延特性に帰因するものであり、現象論的に
は次の様に解釈される。

【００７１】即ち、ＡＯＤ２に制御信号Ｖ_dを印加して
ＡＯＤ２の圧電素子を駆動しても、しばらくの間は音響
媒体内を伝播する超音波の振幅が小さいため、その様な
超音波により回折さた偏向ビームＬ_dの光量ＰはＡＯＤ
２に印加した制御信号Ｖ_dの電力に見合うだけの光量Ｐ
となっていないものと考えられる。その結果、光量Ｐを
急激に増加させるためには、制御信号Ｖ_dの電力を一層
急激に増加させる必要が生じる。その後、音響媒体内を
伝播する超音波の振幅はＡＯＤ２に印加された制御信号
Ｖ_dの電力に対応したものとなるため、逆に光量信号Ｖ
_pの立上がり時間の終了時、即ち有効範囲の始点ｘ₀近
傍においては、ＡＯＤ２に印加している制御信号Ｖ_dの
電力が適性値を越えた値になってしまうものと考えられ
る。その結果、走査位置ｘ₀近傍において、光量信号Ｖ
_pにオーバーシュートが生じるものである。

【００７２】そこで以上の様な考察を踏まえて、第３の
補正が行われる。即ち、０≦ｘ≦ｘ_oの範囲内における
振幅制御信号Ｖ_mのみを遂次修正することによって、オ
ーバーシュートによる光量信号Ｖ_pの変動を抑圧するこ
とが可能となる。但しこの場合には、有効範囲内におけ
る振幅制御信号Ｖ_m，従って第２の補正値Ｖ_mBは修正さ
れない様にする必要がある。

【００７３】この様な補正は、第２の補正方法において
行われた〔Ｖ_mA−β・（ΔＰ_L′）〕という処理に際し
て、０≦ｘ≦ｘ_oの範囲内についてのみ経験値βの値を
適宜修正し、有効範囲内では経験値βの値は第２の補正
時に用いた値を用いて上記減算を行うことにより実現可
能となる。係る技術的思想に基づく補正が、ここでいう
第３の補正方法に該当する。

【００７４】ここに図１２は、第３の補正方法における
手順を示すフローチャートである。以下、このフローチ
ャート及び図１に基づいて、上記経験値βの修正がどの
様に行われるかを詳述する。

【００７５】ステップＳＣ１先ず第２の補正値Ｖ_mBがＣＰＵ１１によって読出され、
ＡＯＤドライバ１６へ与えられる。その後、ＡＯＤ２に
よって偏向された偏向ビームＬ_dの光量Ｐが計測され、
光量信号Ｖ_pとしてデータメモリ１７に格納される。
尚、本ステップＳＣ１においても、次のステップＳＣ２
における平滑化のため、光量Ｐの計測は数回行われる。

【００７６】ステップＳＣ２次に光量信号Ｖ_pの平滑化が、ＣＰＵ１１によって行わ
れ、再び平滑化後の光量信号Ｖ_pがデータメモリ１７に
格納される。この処理は、第２の補正方法において既述
した通りである。

【００７７】ステップＳＣ３次に本補正においては、平滑化さた光量信号Ｖ_p及び第
２の補正値Ｖ_mBがＣＰＵ１１によってそれぞれデータメ
モリ１７、メモリ１３から読出され、その後それらのデ
ータはデータバス３０を介してＥＷＳ２０内のＣＰＵ２
２へ伝送される。

【００７８】そしてＣＰＵ２２は、キーボード２３又は
マウス２４を介して入力されるオペレータの指令信号に
従って、ＡＯＤ制御基板１０より伝送されたデータを処
理し、処理後のデータをディスプレイ２５の画面上にグ
ラフィック化して出力することとなる。例えば、光量信
号Ｖ_pに関するデータは、ディスプレイ２５の画面上に
おいて図７に示す如く表示され、第２の補正値Ｖ_mBに関
するデータは、ディスプレイ２５の画面上において図５
又は図１１に示す如く表示される。

【００７９】これによりオペレータは、即座に光量信号
Ｖ_pのデータ及び第２の補正値Ｖ_mBのデータを視覚によ
り認識することができる。更にオペレータは、キーボー
ド２３又はマウス２４を用いて指令信号を入力すること
によって、ディスプレイ２５の画面上に表示された第２
の補正値Ｖ_mBを画面上で修正することができる。

【００８０】ステップＳＣ４次に光量Ｐの立上がり範囲（０≦ｘ＜ｘ_o）内における
第２の補正値Ｖ_mBの補正が行われる。この様な補正は、
立上がり範囲内の各走査位置において経験値βを変える
ことにより行われる。

【００８１】即ち、立上がり範囲内の各走査位置におい
ても、第２の補正値Ｖ_mBはＶ_mB＝Ｖ_mA−β（ΔＰ_L′）
によって表されるので、各走査位置ごとに経験値βを変
えることにより、第２の補正値Ｖ_mBが補正される。従っ
て、経験値βは走査位置ｘの関数として表されることと
なり、その様な修正後の経験値βを、以後、経験値β′
（ｘ）として記述することとする。又、補正後の第２の
補正値Ｖ_mBをも、以後、単に振幅制御信号Ｖ_mとして記
述することにする。従って、本補正における振幅制御信
号Ｖ_mとは、Ｖ_m＝Ｖ_mA−β′（ｘ）（ΔＰ_L′）によ
って表される量となる。

【００８２】そこで、オペレータはディスプレイ２５の
画面上に表示された振幅制御信号Ｖ_mのデータを参照し
つつ、キーボード２３又はマウス２４を介してＣＰＵ２
２へ経験値β′（ｘ）（０≦ｘ＜ｘ_o）に関するデータ
を入力する。ＣＰＵ２２は、これらのデータを受けてた
だちに新たな振幅制御信号Ｖ_mを前述の式によって計算
し、新たな振幅制御信号Ｖ_mのデータを再びディスプレ
イ２５の画面上に表示する。

【００８３】この様な補正後の振幅制御電圧Ｖ_mの一例
を示したのが図１３であり、便宜上、ディスプレイ２５
の画面上に表示されるデータの内、立上がり範囲（０≦
ｘ＜ｘ_o）及び有効範囲（ｘ_o≦ｘ≦ｘ_e）の一部分に
ついてのデータを示している。同図において、実線３４
は第２の補正値Ｖ_mBを示しており、各破線３５〜３７は
立上がり範囲内の経験値β′（ｘ）を種々変えて得られ
たシミュレーション結果を示している。

【００８４】尚、前述したオーバーシュートの原因につ
いての現象論的考察に基づけば、補正された振幅制御信
号Ｖ_mを表す曲線形としては、図１３の破線３５の様な
曲線、即ち、立上がり初期時は曲線の傾きの絶対値｜ｄ
Ｖ_m／ｄｘ｜は大きく、立上がり終了時（ｘ_o近傍）は
傾きの絶対値｜ｄＶ_m／ｄｘ｜が小さい曲線が最適であ
ることが容易に理解されるところである。従って、オペ
レータは、その様な曲線形となる様に経験値β′（ｘ）
を思考錯誤して修正することとなる。但し、オペレータ
はその様な修正を繰り返す程、最適な経験値β′（ｘ）
をすばやく決定することができる様になる。

【００８５】ステップＳＣ５前ステップＳＣ４において補正された振幅制御信号Ｖ_m
（以後、振幅制御信号Ｖ_m′と記載する。）のデータ
は、ＣＰＵ２２よりデータバス３０を介してＣＰＵ１１
へ送られた後、メモリ１３へ新たな振幅制御信号Ｖ_mと
して格納される。そして、この新たな振幅制御信号
Ｖ_m′に基づいて、改めて各周波数ｆにおける偏向ビー
ムＬ_dの光量Ｐが計測される。

【００８６】そして、その計測結果である光量信号
Ｖ_p′はＣＰＵ１１によってデータメモリ１７より読出
され、再びデータバス３０を介してＣＰＵ２２へ伝送さ
れた後、ディスプレイ２５の画面上へグラフィク出力さ
れる。

【００８７】ステップＳＣ６一方、ＣＰＵ２２は伝送されてきた新たな光量信号
Ｖ_p′に関するデータに基づいて、有効範囲内における
光量信号Ｖ_p′の変動率ΔＶ_p′／Ｐ_min＝（Ｖ_p′−
Ｐ_min）／Ｐ_min求め、その変動率（ΔＶ_p′）／Ｐ
_minの最大値が、許容の範囲内にあるか否かを判断す
る。

【００８８】ここに言う許容範囲とは、変動率（Δ
Ｖ_p′）／Ｐ_minが０．８％以内にあることである。こ
の０．８％以内の変動率とは、センサ５の感度が２５６
レベルである事を考えると、ほぼ光量計測時のノイズ量
に相当しているものと考えられる量である。尚、本補正
方法に依れば、光量信号Ｖ_p′の変動率（ΔＶ_p′）／
Ｐ_minを実際に０．８％程度にまで減少させることか可
能である。

【００８９】もし、光量信号Ｖ_p′の変動率ΔＶ_p′／
Ｐ_minが０．８％よりも大ならば、再びステップＳＣ４
へ戻って、既述した一連の補正処理が行われることとな
る。

【００９０】一方，光量信号Ｖ_p′の変動率ΔＶ_p′／
Ｐ_minが許容範囲ならば、本補正処理は終了し、現時点
における振幅制御信号Ｖ_m′が第３の補正値Ｖ_mcとして
再びデータバス３０を介してＣＰＵ１１へ伝送され、メ
モリ１３へ格納される。

【００９１】そして、以後の偏向ビームＬ_dの走査にあ
たっては、この第３の補正値Ｖ_mc及び周波数制御信号Ｖ
_tに基づいて偏向ビームＬ_dの光量が制御されることと
なる。

【００９２】なお、上述の第３の補正においては、走査
位置０≦ｘ≦ｘ₀の範囲内についてのみ経験値βの値を
適宜修正することにより、同範囲における振幅制御信号
Ｖ_mを修正する実施例を説明したが、走査位置０≦ｘ≦
ｘ₀の範囲内についてのみ振幅制御信号Ｖ_mを直接修正
しても、オーバーシュートを補正できることは無論であ
る。

【００９３】以上第１〜第３の補正について説明した
が、これらの補正は、図１に示す装置を用いることによ
り、オンライン上で実施できるので、光量補正作業を簡
略化し、その結果光量補正作業にかかる時間及び労力を
削減することができる。

【００９４】

【発明の効果】以上説明した通り請求項１記載の発明に
よれば、走査ビームの光量を計測し、かつ走査ビームの
光量を制御するための最適な制御信号の振幅データを容
易に且つ素早く算出することができる効果がある。

【００９５】更に、本発明は光偏向素子によって偏向さ
れる走査ビームの光量を、光偏向素子に入射する光ビー
ムから得られる最大の光量に保ちつつ、有効範囲内にお
ける走査ビームの光量変動を抑えることができる効果を
も有する。

【００９６】又、請求項２記載の発明によれば、環境の
変化や素子等の特性の変動等にも柔軟に対応して、請求
項１記載の発明よりも更に走査ビームの光量変動を小さ
くすることができる効果がある。

【００９７】又、請求項３記載の発明によれば、請求項
２記載の発明による場合よりもより一層走査ビームの光
量変動を減少させることができる。具体的には、光量計
測時のノイズ量と同レベルにまで、光量変動を減少させ
ることが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例である高速描画装置の構成
を模式的に示したブロック図である。

【図２】第１の補正方法の手順を示すフローチャートで
ある。

【図３】光量データを示す説明図である。

【図４】各走査位置における光量信号の極大値を示す説
明図である。

【図５】振幅制御信号を示す説明図である。

【図６】感光フィルムと有効範囲との関係を示す説明図
である。

【図７】第１の補正処理後に計測された光量信号を示す
説明図である。

【図８】第２の補正方法を示すフローチャートである。

【図９】差分データを示す説明図である。

【図１０】シフトされた差分データを示す説明図であ
る。

【図１１】第２の補正処理が施された振幅制御信号を示
す説明図である。

【図１２】第３の補正方法の手順を示すフローチャート
である。

【図１３】第３の補正処理が施された振幅制御信号を示
す説明図である。

【図１４】従来技術の電気的構成を示した図である。

【図１５】駆動信号の電力を示す図である。

【図１６】光量計測により得られる最高偏向効率を示す
説明図である。

【図１７】駆動信号の一例を示す説明図である。

【符号の説明】

ＯＰ光学系Ｐ光量Ｌ_d 偏向ビームＰＬ走査面Ｖ_p 光量信号Ｖ_d 制御信号Ｖ_m 振幅制御信号Ｖ_t 周波数制御信号１レーザー発振器２ＡＯＤ５センサ１０ＡＯＤ制御基板１１ＣＰＵ１２メモリ１３メモリ１４ＶＣＯ１６ＡＯＤドライバ２０ＥＷＳ２２ＣＰＵ２３キーボード２４マウス２５ディスプレイ３０データバス３１感光材料

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】制御信号に応じて光ビームを偏向し、且
つその偏向角を変化させる光偏向素子を用いて光ビーム
を走査する際の走査ビームの光量を制御する方法であっ
て、（ａ）前記制御信号の周波数及び振幅を所定の範囲内
で変化させて前記走査ビームの光量を計測し、走査ビー
ムの第１の光量データを得るステップと、（ｂ）前記第１の光量データから、前記周波数に関す
る前記所定の範囲の内、有効範囲として予め規定された
範囲内にある前記制御信号の各周波数毎に前記走査ビー
ムの光量の極大値を求めるステップと、（ｃ）前記周波数のそれぞれの値について求められた
前記光量の極大値のデータの中で最小値となる光量値を
求め、当該最小値に所定の定数値を乗じて当該最小値を
補正するステップと、（ｄ）前記有効範囲内にある前記制御信号の各周波数
ごとに、前記ステップ（ｃ）により得られた前記補正後
の最小値を与える前記制御信号の振幅を、前記ステップ
（ｂ）により得られた前記第１の光量データより求める
ステップと、（ｅ）前記ステップ（ｄ）により求められた前記各周
波数ごとの前記制御信号の振幅データに基づいて前記光
偏向素子を駆動しつつ、前記光ビームを走査するステッ
プ、とを備えた走査ビームの光量制御方法。
【請求項２】請求項１記載の走査ビームの光量制御方
法において、前記ステップ（ｅ）が、（ｅ−１）前記ステップ（ｄ）により求められた前記
各周波数毎の前記制御信号の振幅データに基づいて前記
光ビームを走査し、且つ前記走査ビームの光量を計測す
ることにより、前記走査ビームの第２の光量データを得
るステップと、（ｅ−２）前記第２の光量データから、前記有効範囲
内における前記光量の最小値を求めるステップと、（ｅ−３）前記有効範囲内にある周波数毎に、前記第
２の光量値と前記ステップ（ｅ−２）により求められた
前記光量の最小値との差分データを求めるステップと、（ｅ−４）前記差分データを用いて、前記ステップ
（ｄ）により前記各周波数毎に得られた前記制御信号の
振幅データを補正するステップと、（ｅ−５）前記ステップ（ｅ−４）により補正された
前記各周波数毎の前記制御信号の振幅データに基づいて
前記光偏向素子を駆動しつつ、前記光ビームを走査する
ステップと、を備えることを特徴とする走査ビームの光
量制御方法。
【請求項３】請求項２記載の走査ビームの光量制御方
法において、前記ステップ（ｅ−５）が、（ｅ−５−１）前記ステップ（ｅ−４）により補正さ
れた前記各周波数毎の前記制御信号の振幅データに基づ
いて、前記周波数に関する前記所定の範囲内で前記光ビ
ームを走査し、且つ前記走査ビームの光量を計測するこ
とにより、前記走査ビームの第３の光量データを得るス
テップと、（ｅ−５−２）前記第３の光量データを参照しつつ、
前記周波数に関する前記所定の範囲の内、前記有効範囲
を除いた範囲内における前記制御信号の振幅データを修
正するステップと、（ｅ−５−３）前記ステップ（ｅ−４）により補正さ
れた前記各周波数毎の前記制御信号の振幅データ及び前
記ステップ（ｅ−５−２）により補正された前記制御信
号の振幅データとに基づいて前記光偏向素子を駆動しつ
つ、前記光ビームを走査するステップと、を備えることを特徴とする走査ビームの光量制御方法。