JPH0527027B2 - - Google Patents
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- JPH0527027B2 JPH0527027B2 JP5882284A JP5882284A JPH0527027B2 JP H0527027 B2 JPH0527027 B2 JP H0527027B2 JP 5882284 A JP5882284 A JP 5882284A JP 5882284 A JP5882284 A JP 5882284A JP H0527027 B2 JPH0527027 B2 JP H0527027B2
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- furnace
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Landscapes
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はフローテイング・ゾーン法による単結
晶の製造等に用いられるイメージ炉の観察窓の構
造に関するものである。
晶の製造等に用いられるイメージ炉の観察窓の構
造に関するものである。
（従来技術とその問題点）
イメージ炉は、回転楕円面鏡から成る反射鏡の
一方の焦点に熱光源をおき、もう一方の焦点に試
料をおいて熱光源から出た光（輻射線）を試料側
の焦点に集光し、試料を加熱するものである。こ
の装置には反射鏡を１個の回転楕円面のみで構成
する単楕円型反射鏡が２個の回転楕円面の組み合
わせで構成される双楕円型、更に反射鏡を３個以
上の回転楕円面の組み合わせで構成する多楕円型
とがある。
一方の焦点に熱光源をおき、もう一方の焦点に試
料をおいて熱光源から出た光（輻射線）を試料側
の焦点に集光し、試料を加熱するものである。こ
の装置には反射鏡を１個の回転楕円面のみで構成
する単楕円型反射鏡が２個の回転楕円面の組み合
わせで構成される双楕円型、更に反射鏡を３個以
上の回転楕円面の組み合わせで構成する多楕円型
とがある。
第１図は、双楕円型のイメージ炉の加熱炉の部
分を示す縦断面図である。
分を示す縦断面図である。
図において１０１が反射鏡であり、その反射鏡
面１０２ａ，１０２ｂはそれぞれF1F2を焦点と
する楕円をＸ軸上に回転させた回転楕円面と
F2F3を焦点とする楕円をＸ軸上に回転させた回
転楕円面で構成される。１０３ａ，１０３ｂはそ
れぞれ反射鏡面１０２ａ，１０２ｂの焦点にF1，
F3に置かれた熱光源ランプでハロゲンランプな
どが使用される。１０４は上側試料、１０５は下
側試料であり、１０６は加熱溶融された溶融域
（モルテンゾーン）である。また１０７は炉心管
であり、石英のような耐熱性透明ガラスでできて
いる。
面１０２ａ，１０２ｂはそれぞれF1F2を焦点と
する楕円をＸ軸上に回転させた回転楕円面と
F2F3を焦点とする楕円をＸ軸上に回転させた回
転楕円面で構成される。１０３ａ，１０３ｂはそ
れぞれ反射鏡面１０２ａ，１０２ｂの焦点にF1，
F3に置かれた熱光源ランプでハロゲンランプな
どが使用される。１０４は上側試料、１０５は下
側試料であり、１０６は加熱溶融された溶融域
（モルテンゾーン）である。また１０７は炉心管
であり、石英のような耐熱性透明ガラスでできて
いる。
一方、上側試料１０４は上側試料チヤツク１０
８を介して上シヤフト１０９に固定され、上シヤ
フト１０９は上シヤフト送り機構（図示せず）に
より上下に移動できる。また下側試料１０５は下
側試料チヤツク１１０を介して下シヤフト１１１
に固定され、下シヤフト１１１は下シヤフト送り
機構（図示せず）により、上下に移動できる。更
に反射鏡１０１の内側１１２はＯリング１１３，
１１４でシールされ、外気との気密が保たれてい
る。炉心管内には例えば不活性ガスなどの雰囲気
を流して、加熱時の試料の酸化等を防いでいる。
８を介して上シヤフト１０９に固定され、上シヤ
フト１０９は上シヤフト送り機構（図示せず）に
より上下に移動できる。また下側試料１０５は下
側試料チヤツク１１０を介して下シヤフト１１１
に固定され、下シヤフト１１１は下シヤフト送り
機構（図示せず）により、上下に移動できる。更
に反射鏡１０１の内側１１２はＯリング１１３，
１１４でシールされ、外気との気密が保たれてい
る。炉心管内には例えば不活性ガスなどの雰囲気
を流して、加熱時の試料の酸化等を防いでいる。
第２図は従来の観察窓構造を有する双楕円型イ
メージ炉の横断面図である。
メージ炉の横断面図である。
図において２０１が反射鏡であり、２０２ａ，
２０２ｂは反射鏡面、２０３ａ，２０３ｂは熱光
源のランプ２０４が試料、２０５が石英の炉心管
である。ガラス板２０６を介して観察窓２０８か
ら内部を見ると試料を見ることができる。
２０２ｂは反射鏡面、２０３ａ，２０３ｂは熱光
源のランプ２０４が試料、２０５が石英の炉心管
である。ガラス板２０６を介して観察窓２０８か
ら内部を見ると試料を見ることができる。
しかしながら従来のイメージ炉は、２０７ａ及
び２０７ｂのような経路をたどつた光線が、観察
窓周辺の反射鏡で反射し、その光線が試料２０４
に達し反射するため、観察窓２０８を通して試料
を見ると、試料の表面に熱光源のランプのフイラ
メントの像が映つてしまい、試料を加熱溶融する
過程において、その表面の変化の状態を詳細に観
察することができないという欠点を有している。
び２０７ｂのような経路をたどつた光線が、観察
窓周辺の反射鏡で反射し、その光線が試料２０４
に達し反射するため、観察窓２０８を通して試料
を見ると、試料の表面に熱光源のランプのフイラ
メントの像が映つてしまい、試料を加熱溶融する
過程において、その表面の変化の状態を詳細に観
察することができないという欠点を有している。
（発明の目的）
本発明の目的は、観察窓から試料を見た場合、
その表面にフイラメントの像が映らないようなイ
メージ炉を提供することにある。
その表面にフイラメントの像が映らないようなイ
メージ炉を提供することにある。
（発明の構成）
本発明によれば、試料加熱部観察窓の内部周辺
を高反射率回転楕円反射鏡面と異なる面により構
成することを特徴とするイメージ炉が得られる。
を高反射率回転楕円反射鏡面と異なる面により構
成することを特徴とするイメージ炉が得られる。
（構成の詳細な説明）
本発明は、上述の構成を取ることにより従来技
術の問題点を解決した。すなわち、試料加熱部の
観察窓の内部周辺を高反射率回転楕円鏡面でない
面にすることにより、試料加熱部表面に熱光源の
ランプのフイラメントの像が映らないようにし
た。
術の問題点を解決した。すなわち、試料加熱部の
観察窓の内部周辺を高反射率回転楕円鏡面でない
面にすることにより、試料加熱部表面に熱光源の
ランプのフイラメントの像が映らないようにし
た。
実施例 １
以下、本発明について実施例を示す図面を参照
して説明する。
して説明する。
第３図は、本発明の第１の実施例を示した双楕
円型イメージ炉の横断面図である。
円型イメージ炉の横断面図である。
図において３０１が反射鏡であり、３０２ａ，
３０２ｂは反射鏡面、３０３ａ，３０３ｂは熱光
源ランプ、３０４が試料、３０５が石英の炉心管
である。ガラス板３０６を介して観察窓３０８か
ら内部を見ると試料を見ることができる。観察窓
の内面周辺の反射鏡部分に平面部分３０９を設け
ることにより、従来３０７ａ，３０７ｂのような
経路を通つて試料表面に達し反射していた光線
は、試料に到達せずに全く関係ない方向に進むこ
とになる。なお、ここでは平面部分を設けたイメ
ージ炉について説明してきたが、例えば円錐面、
球面など回転楕円鏡面以外の面を有するイメージ
炉でもよく、同様の効果を生ずる。
３０２ｂは反射鏡面、３０３ａ，３０３ｂは熱光
源ランプ、３０４が試料、３０５が石英の炉心管
である。ガラス板３０６を介して観察窓３０８か
ら内部を見ると試料を見ることができる。観察窓
の内面周辺の反射鏡部分に平面部分３０９を設け
ることにより、従来３０７ａ，３０７ｂのような
経路を通つて試料表面に達し反射していた光線
は、試料に到達せずに全く関係ない方向に進むこ
とになる。なお、ここでは平面部分を設けたイメ
ージ炉について説明してきたが、例えば円錐面、
球面など回転楕円鏡面以外の面を有するイメージ
炉でもよく、同様の効果を生ずる。
実施例 ２
第４図は、本発明の第２の実施例を示した双楕
円型イメージ炉の横断面図である。
円型イメージ炉の横断面図である。
図において４０１が反射鏡であり、４０２ａ，
４０２ｂは反射鏡面、４０３ａ，４０３ｂは熱光
源ランプ、４０４が試料、４０５が石英の炉心管
である。ガラス板４０６を介して観察窓４０８か
ら内部を見ると試料を見ることができる。観察窓
の内面周辺の回転楕円面部分４０９の反射率を低
くすることにより、従来４０７ａ，４０７ｂのよ
うな経路を通つて試料表面に達し反射していた光
線はほとんど反射せずに、大部分は散乱あるいは
楕円面の表面に吸収され試料に到達しなくなる。
ここで、観察窓の内面周辺の回転楕円面部分４０
９の反射率を低くするには、表面をヤスリで削り
光を散乱させる、あるいは表面に黒色の塗料をぬ
り光の吸収率を大きくするなどの方法がある。
４０２ｂは反射鏡面、４０３ａ，４０３ｂは熱光
源ランプ、４０４が試料、４０５が石英の炉心管
である。ガラス板４０６を介して観察窓４０８か
ら内部を見ると試料を見ることができる。観察窓
の内面周辺の回転楕円面部分４０９の反射率を低
くすることにより、従来４０７ａ，４０７ｂのよ
うな経路を通つて試料表面に達し反射していた光
線はほとんど反射せずに、大部分は散乱あるいは
楕円面の表面に吸収され試料に到達しなくなる。
ここで、観察窓の内面周辺の回転楕円面部分４０
９の反射率を低くするには、表面をヤスリで削り
光を散乱させる、あるいは表面に黒色の塗料をぬ
り光の吸収率を大きくするなどの方法がある。
（発明の効果）
従来のイメージ炉では試料表面に映つていた熱
光源のランプのフイラメントの像が、本発明によ
るイメージ炉では全く映らなくなり、試料が溶融
するまでの表面の変化の様子を詳細に観察するこ
とができ、本発明による効果は非常に大きい。以
上、本発明の実施例として平面部分を新しく設け
たイメージ炉について説明してきたが、この部分
は高反射率回転楕円鏡面以外の面であれば任意の
面でよく、同様の効果を生ずることは明らかであ
る。
光源のランプのフイラメントの像が、本発明によ
るイメージ炉では全く映らなくなり、試料が溶融
するまでの表面の変化の様子を詳細に観察するこ
とができ、本発明による効果は非常に大きい。以
上、本発明の実施例として平面部分を新しく設け
たイメージ炉について説明してきたが、この部分
は高反射率回転楕円鏡面以外の面であれば任意の
面でよく、同様の効果を生ずることは明らかであ
る。
なお、ここでは双楕円型のイメージ炉について
説明してきたが、単楕円型あるいは多楕円型のイ
メージ炉についても本発明は適用でき同様の効果
を生じる。
説明してきたが、単楕円型あるいは多楕円型のイ
メージ炉についても本発明は適用でき同様の効果
を生じる。
更に、以上の説明で述べた熱光源ランプとして
は、ハロゲンランプ、キセノンランプ、水銀ラン
プ等の任意のランプの使用が可能である。
は、ハロゲンランプ、キセノンランプ、水銀ラン
プ等の任意のランプの使用が可能である。
第１図は、双楕円型イメージ炉の加熱炉の部分
を示す縦断面図で、第２図は従来の観察窓構造を
有する双楕円型イメージ炉の横断面図で、第３図
は本発明の第１の実施例を示した双楕円型イメー
ジ炉の横断面図で、第４図は本発明の第２の実施
例を示した双楕円型イメージ炉の横断面図であ
る。 図において、１０１……反射鏡、１０３ａ，１
０３ｂ……熱光源ランプ、１０４……上側試料、
１０５……下側試料、１０７……炉心管、１０８
……上側試料チヤツク、１０９……上シヤフト、
１１０……下側試料チヤツク、１１１……下シヤ
フト、１１３，１１４……Ｏリング、３０６……
ガラス板、３０８……観察窓。
を示す縦断面図で、第２図は従来の観察窓構造を
有する双楕円型イメージ炉の横断面図で、第３図
は本発明の第１の実施例を示した双楕円型イメー
ジ炉の横断面図で、第４図は本発明の第２の実施
例を示した双楕円型イメージ炉の横断面図であ
る。 図において、１０１……反射鏡、１０３ａ，１
０３ｂ……熱光源ランプ、１０４……上側試料、
１０５……下側試料、１０７……炉心管、１０８
……上側試料チヤツク、１０９……上シヤフト、
１１０……下側試料チヤツク、１１１……下シヤ
フト、１１３，１１４……Ｏリング、３０６……
ガラス板、３０８……観察窓。
Claims (1)
- １ 一個または複数個の回転楕円面からなる反射
鏡の一方の焦点に熱光源を配し、他の一方の焦点
に配した試料に光を集中して加熱するイメージ炉
において、試料加熱部観察窓の内部周辺を高反射
率回転楕円反射鏡面と異なる面により構成するこ
とを特徴とするイメージ炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5882284A JPS60202286A (ja) | 1984-03-27 | 1984-03-27 | イメ−ジ炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5882284A JPS60202286A (ja) | 1984-03-27 | 1984-03-27 | イメ−ジ炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60202286A JPS60202286A (ja) | 1985-10-12 |
| JPH0527027B2 true JPH0527027B2 (ja) | 1993-04-19 |
Family
ID=13095322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5882284A Granted JPS60202286A (ja) | 1984-03-27 | 1984-03-27 | イメ−ジ炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60202286A (ja) |
-
1984
- 1984-03-27 JP JP5882284A patent/JPS60202286A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60202286A (ja) | 1985-10-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |