JPH0511497Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0511497Y2 JPH0511497Y2 JP1986138910U JP13891086U JPH0511497Y2 JP H0511497 Y2 JPH0511497 Y2 JP H0511497Y2 JP 1986138910 U JP1986138910 U JP 1986138910U JP 13891086 U JP13891086 U JP 13891086U JP H0511497 Y2 JPH0511497 Y2 JP H0511497Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- optical system
- sample
- image
- fixed
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 31
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 22
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 5
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、移動可能な加熱炉内の状態を観察す
るための炉内観察装置に関し、特にイメージ炉
（フローテイングゾーン方式等で単結晶を成長さ
せる装置）の内部における試料の溶融状態を観察
するための炉内観察装置に関する。
るための炉内観察装置に関し、特にイメージ炉
（フローテイングゾーン方式等で単結晶を成長さ
せる装置）の内部における試料の溶融状態を観察
するための炉内観察装置に関する。
まずイメージ炉の概念を説明した上で従来の技
術について言及する。
術について言及する。
イメージ炉は、回転楕円面鏡からなら加熱炉の
一方の焦点に熱光源を置き、もう一方の焦点に試
料を置いて熱光源から出た光を試料の焦点に集光
し試料を加熱するものである。この装置には加熱
炉を１個の回転楕円面のみで構成する単楕円型、
加熱炉が２個の回転楕円面の組み合せで構成され
る双楕円型、さらに加熱炉を３個以上の回転楕円
面の組み合せで構成する多楕円型とがある。以下
の説明では双楕円型イメージ炉を例として説明す
る。
一方の焦点に熱光源を置き、もう一方の焦点に試
料を置いて熱光源から出た光を試料の焦点に集光
し試料を加熱するものである。この装置には加熱
炉を１個の回転楕円面のみで構成する単楕円型、
加熱炉が２個の回転楕円面の組み合せで構成され
る双楕円型、さらに加熱炉を３個以上の回転楕円
面の組み合せで構成する多楕円型とがある。以下
の説明では双楕円型イメージ炉を例として説明す
る。
第２図は、双楕円型イメージ炉の加熱炉の部分
を示す縦断面図である。図において２０１が加熱
炉であり、その反射鏡面２０２ａ，２０２ｂはそ
れぞれF1，F2を焦点とする楕円をＸ軸上に回転
させた回転楕円面とF2，F3を焦点とする楕円を
Ｘ軸上に回転させた回転楕円面で構成される。そ
れぞれ反射鏡面２０２ａ，２０２ｂの焦点F1，
F3におかれる熱光源ランプ２０３ａ，２０３ｂ
はハロゲンランプなどが使用される。
を示す縦断面図である。図において２０１が加熱
炉であり、その反射鏡面２０２ａ，２０２ｂはそ
れぞれF1，F2を焦点とする楕円をＸ軸上に回転
させた回転楕円面とF2，F3を焦点とする楕円を
Ｘ軸上に回転させた回転楕円面で構成される。そ
れぞれ反射鏡面２０２ａ，２０２ｂの焦点F1，
F3におかれる熱光源ランプ２０３ａ，２０３ｂ
はハロゲンランプなどが使用される。
上側試料２０４は上シヤフト２０８に固定さ
れ、上シヤフト２０８は上シヤフト送り・回転機
構（図示せず）により上下移動・回転ができる。
また下側試料２０５は下シヤフト２１０に固定さ
れ、下シヤフト回転機構（図示せず）により回転
できる。上側試料２０４および下側試料２０５は
石英のような耐熱性透明ガラスでできている炉心
管２０７に収納されている。上側試料２０４の先
端と下側試料の先端が接触する部分は加熱溶融さ
れた溶融域が形成されている。
れ、上シヤフト２０８は上シヤフト送り・回転機
構（図示せず）により上下移動・回転ができる。
また下側試料２０５は下シヤフト２１０に固定さ
れ、下シヤフト回転機構（図示せず）により回転
できる。上側試料２０４および下側試料２０５は
石英のような耐熱性透明ガラスでできている炉心
管２０７に収納されている。上側試料２０４の先
端と下側試料の先端が接触する部分は加熱溶融さ
れた溶融域が形成されている。
加熱炉２０１は加熱炉送り機構（図示せず）に
より上下移動できる。
より上下移動できる。
このイメージ炉では、炉内の密閉された環境下
で試料を溶融し、試料の加熱温度ならびに溶融速
度等を微小制御するため、試料の溶融状態を炉外
でモニタすることが重要となる。
で試料を溶融し、試料の加熱温度ならびに溶融速
度等を微小制御するため、試料の溶融状態を炉外
でモニタすることが重要となる。
次に、イメージ炉の内部の試料の溶融状態を観
察する従来の炉内観察装置について説明する。
察する従来の炉内観察装置について説明する。
第３図は従来の炉内観察装置の分解斜視図であ
る。図において、加熱炉３０１内の試料から出た
光は、加熱炉に固定された観察光学系３０２を通
り光路変換ならびに平行光にされ観察光学系３０
３へ伝送される。続いてイメージ炉を収納する図
示しない筐体に固定された観察光学系３０３およ
び観察光学系３０４によつて光路変換され、TV
カメラ３０５の図示しない撮像面に像を結ぶ仕組
みになつている。すなわち、観察光学系３０２が
加熱炉３０１と共に移動しても、観察光学系３０
３との間は平行光で空間的に結合されているた
め、観察光学系３０２，３０３間の距離の変化に
依存することなく、TVカメラの撮像面に像が得
られる。
る。図において、加熱炉３０１内の試料から出た
光は、加熱炉に固定された観察光学系３０２を通
り光路変換ならびに平行光にされ観察光学系３０
３へ伝送される。続いてイメージ炉を収納する図
示しない筐体に固定された観察光学系３０３およ
び観察光学系３０４によつて光路変換され、TV
カメラ３０５の図示しない撮像面に像を結ぶ仕組
みになつている。すなわち、観察光学系３０２が
加熱炉３０１と共に移動しても、観察光学系３０
３との間は平行光で空間的に結合されているた
め、観察光学系３０２，３０３間の距離の変化に
依存することなく、TVカメラの撮像面に像が得
られる。
TVカメラは所定位置に固定されており、ケー
ブル３０６でTVモニタ３０７につなぐことによ
つて試料の溶融状態をモニタすることができる。
ブル３０６でTVモニタ３０７につなぐことによ
つて試料の溶融状態をモニタすることができる。
上述した従来のイメージ炉の炉内観察装置は観
察光学系３０２〜３０４のほか、TVカメラ３０
５、ケーブル３０６及びTVモニタ３０７により
炉内の試料溶融状態をモニタしているので、イメ
ージ炉専用のTVカメラ３０５、ケーブル３０６
及びTVモニタ３０７が必要であり、またそのた
めモニタ設備の大型化、モニタ操作のはん雑化、
およびケーブル引き回しに伴なう対人的危険性の
誘発という種々の欠点がある。
察光学系３０２〜３０４のほか、TVカメラ３０
５、ケーブル３０６及びTVモニタ３０７により
炉内の試料溶融状態をモニタしているので、イメ
ージ炉専用のTVカメラ３０５、ケーブル３０６
及びTVモニタ３０７が必要であり、またそのた
めモニタ設備の大型化、モニタ操作のはん雑化、
およびケーブル引き回しに伴なう対人的危険性の
誘発という種々の欠点がある。
本考案の目的は、観察光学系を用い、固定した
モニタスクリーンに移動する加熱炉内の試料溶融
状態を写すことにより、上記の各欠点を解決でき
る炉内観察装置を提供することにある。
モニタスクリーンに移動する加熱炉内の試料溶融
状態を写すことにより、上記の各欠点を解決でき
る炉内観察装置を提供することにある。
本考案の炉内観察装置は、第１の方向およびこ
の第１の方向の逆方向に移動可能な炉の内部を観
察する炉内観察装置において、固定されたモニタ
スクリーンと、前記炉に取り付けられ前記炉の内
部の所定の位置からの光を前記炉の外への前記第
１の方向の平行光線に交換する第１の光学系と、
この第１の光学系からの平行光線を受けて前記モ
ニタスクリーンに前記炉の内部の所定の位置の像
を結ぶ固定された第２の光学系とを含んで構成さ
れる。
の第１の方向の逆方向に移動可能な炉の内部を観
察する炉内観察装置において、固定されたモニタ
スクリーンと、前記炉に取り付けられ前記炉の内
部の所定の位置からの光を前記炉の外への前記第
１の方向の平行光線に交換する第１の光学系と、
この第１の光学系からの平行光線を受けて前記モ
ニタスクリーンに前記炉の内部の所定の位置の像
を結ぶ固定された第２の光学系とを含んで構成さ
れる。
次に、本考案について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本考案の一実施例を示す概念図であ
る。本実施例は加熱炉１、第１観察光学系である
観察光学系２、第２観察光学系である観察光学系
３および観察光学系４、ならびにモニタスクリー
ン５を含んでいる。
る。本実施例は加熱炉１、第１観察光学系である
観察光学系２、第２観察光学系である観察光学系
３および観察光学系４、ならびにモニタスクリー
ン５を含んでいる。
加熱炉１内の試料から出た光は、加熱炉に固定
された観察光学系２を通り光路変換ならびに上向
きの平行光にされイメージ炉を収納する図示しな
い筐体に固定された観察光学系３へ伝送される。
続いて筐体に固定された観察光学系３および観察
光学系４によつて光路変換され、筐体に固定され
たモニタスクリーン５に像を結ぶ仕組になつてい
る。
された観察光学系２を通り光路変換ならびに上向
きの平行光にされイメージ炉を収納する図示しな
い筐体に固定された観察光学系３へ伝送される。
続いて筐体に固定された観察光学系３および観察
光学系４によつて光路変換され、筐体に固定され
たモニタスクリーン５に像を結ぶ仕組になつてい
る。
すなわち、観察光学系２と加熱炉１とが共に上
下方向に移動しても、観察光学系３との間は上向
きの平行光で空間的に結合されているため、観察
光学系２，３間の距離の変化に依存することな
く、モニタスクリーン５に加熱炉１内の試料の像
が得られる。
下方向に移動しても、観察光学系３との間は上向
きの平行光で空間的に結合されているため、観察
光学系２，３間の距離の変化に依存することな
く、モニタスクリーン５に加熱炉１内の試料の像
が得られる。
以上、詳しく説明したように本考案は、光学系
を介して炉内の光学像を固定のモニタスクリーン
に写すことにより、炉が移動しても移動すること
のないモニタスクリーンに炉内の状態を写し出し
観察できる。
を介して炉内の光学像を固定のモニタスクリーン
に写すことにより、炉が移動しても移動すること
のないモニタスクリーンに炉内の状態を写し出し
観察できる。
また、専用のTVカメラ、ケーブル及びTVモ
ニタを使用しないため、モニタ設備の小型化、簡
便化が図られるとともにケーブル引き回し等によ
る体人的危険性を回避できるという効果がある。
ニタを使用しないため、モニタ設備の小型化、簡
便化が図られるとともにケーブル引き回し等によ
る体人的危険性を回避できるという効果がある。
第１図は本考案の一実施例を示す分解斜視図、
第２図はイメージ炉の断面図、第３図は従来の炉
内観察装置の分解斜視図である。 １，２０１，３０１……加熱炉、２〜４，３０
２〜３０４……観察光学系、５……モニタスクリ
ーン。
第２図はイメージ炉の断面図、第３図は従来の炉
内観察装置の分解斜視図である。 １，２０１，３０１……加熱炉、２〜４，３０
２〜３０４……観察光学系、５……モニタスクリ
ーン。
Claims (1)
- 第１の方向およびこの第１の方向の逆方向に移
動可能な炉の内部を観察する炉内観察装置におい
て、固定されたモニタスクリーンと、前記炉に取
り付けられ前記炉の内部の所定の位置からの光を
前記炉の外への前記第１の方向の平行光線に交換
する第１の光学系と、この第１の光学系からの平
行光線を受けて前記モニタスクリーンに前記炉の
内部の所定の位置の像を結ぶ固定された第２の光
学系とを含むことを特徴とする炉内観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986138910U JPH0511497Y2 (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986138910U JPH0511497Y2 (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6344148U JPS6344148U (ja) | 1988-03-24 |
| JPH0511497Y2 true JPH0511497Y2 (ja) | 1993-03-22 |
Family
ID=31044320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986138910U Expired - Lifetime JPH0511497Y2 (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0511497Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53178A (en) * | 1976-06-23 | 1978-01-05 | Sumitomo Heavy Industries | Method of detecting leak point by using laser rays |
| JPS60200890A (ja) * | 1984-03-27 | 1985-10-11 | Nec Corp | イメ−ジ炉 |
-
1986
- 1986-09-09 JP JP1986138910U patent/JPH0511497Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53178A (en) * | 1976-06-23 | 1978-01-05 | Sumitomo Heavy Industries | Method of detecting leak point by using laser rays |
| JPS60200890A (ja) * | 1984-03-27 | 1985-10-11 | Nec Corp | イメ−ジ炉 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6344148U (ja) | 1988-03-24 |
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