JPH05267844A

JPH05267844A - 多層配線セラミックス基板の製造方法

Info

Publication number: JPH05267844A
Application number: JP6532292A
Authority: JP
Inventors: Keizo Miyata; 恵造宮田; Minoru Ohara; 実大原
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 1992-03-23
Filing date: 1992-03-23
Publication date: 1993-10-15
Anticipated expiration: 2010-12-18
Also published as: JPH07118580B2

Abstract

(57)【要約】【目的】複数のグリーンシートを積層・一体化するに際
して、各グリーンシートの膨潤・変形等を生じることな
く、効率よく各グリーンシートを積み重ねて相互に接着
することができる多層配線セラミックス基板の製造方法
を提供する。【構成】各グリーンシートに紫外線硬化樹脂材料から成
る接着剤を塗布する工程と、その塗布後に接着剤に紫外
線を照射する工程と、その照射後に各グリーンシートを
積み重ねて相互に接着を行う工程とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、多層配線セラミックス
基板の製造方法に関し、特に、必要に応じてビアホール
の穿設、ビアホールの穴埋め印刷、配線パターンの印刷
等が施された複数枚のグリーンシートを積層・一体化し
た後、焼成することにより、多層配線セラミックス基板
を製造する方法において、複数のグリーンシートを積み
重ねる際にそれらを相互に接着する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】多層配線セラミックス基板の製造方法に
おいては、一般にシート積層法が用いられている。

【０００３】この種のシート積層法を用いて多層配線セ
ラミックス基板を製造する具体的な方法としては、例え
ば特公平２−２１６７３号公報に開示されているものが
知られている。この方法においては、複数のグリーンシ
ートにビアホールを穿設した後に、スクリーン印刷によ
り、該ビアホールを導体ペーストにより穴埋すると共
に、各グリーンシート上に配線パターンを印刷し、次い
で、これらのグリーンシートを積み重ねると共に接着剤
により相互に仮接着し、しかる後に、これを加熱・加圧
することにより各グリーンシートを積層・一体化し、さ
らに焼成することにより多層配線セラミックス基板を製
造するようにしている。そして、この方法においては、
ビアホールの穿設及び穴埋め、配線パターンの印刷、並
びに各グリーンシートの積層に際して、画像処理装置を
用いることにより、これらの各作業工程におけるグリー
ンシートの印刷装置等に対する位置決め精度、あるい
は、積層時における各グリーンシートの相互の位置決め
精度を向上させるようにしている。しかしながら、こ
の種の製造方法においては、特に、グリーンシートを積
み重ねて相互に接着する際に、粘着性樹脂材料や熱硬化
性樹脂材料から成る接着剤が一般に使用されており、こ
のような接着剤を用いていたために、次のような不都合
があった。

【０００４】すなわち、粘着性樹脂材料から成る接着剤
は、その粘性が高いために、スクリーン印刷手法等によ
りグリーンシートに塗布することが困難であり、また、
塗布量のコントロールを行い難く、塗布作業の自動化を
図ることが困難であるという不都合があった。

【０００５】また、熱硬化性樹脂材料から成る接着剤に
あっては、接着力を生ぜしめるためには、加熱する工程
が必要となり、各グリーンシートの相互の接着作業に時
間がかかり、また、加熱による各グリーンシートの収縮
・変形が生じてしまうという不都合があった。

【０００６】さらに、これらの接着剤においては、その
組成成分に溶剤が含まれているため、接着に際して、そ
の溶剤が各グリーンシートに浸透して各グリーンシート
が膨潤・変形するという不都合もあった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる不都合
を解消し、多層配線セラミックス基板をシート積層法に
より製造する方法において、各グリーンシートを積層・
一体化するに際して、各グリーンシートの膨潤・変形等
を生じることなく、効率よく各グリーンシートを積み重
ねて相互に接着することができる多層配線セラミックス
基板の製造方法を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明はかかる目的を達
成するために、必要に応じてビアホールの穿設、ビアホ
ールの穴埋め印刷及び配線パターンの印刷を施した複数
のグリーンシートを積み重ねて加熱・加圧することによ
り積層・一体化し、さらに、その積層体を焼成すること
により多層配線セラミックス基板を製造する方法におい
て、前記複数のグリーンシートを積み重ねる際に、各グ
リーンシートに紫外線硬化樹脂材料から成る接着剤を塗
布する工程と、該塗布後に該接着剤に紫外線を照射する
工程と、該照射後に各グリーンシートを積み重ねて相互
に接着を行う工程とを備えたことを特徴とする。

【０００９】さらに、前記各グリーンシートへの前記接
着剤の塗布は転写印刷により行うことを特徴とする。

【００１０】

【作用】本発明によれば、前記各グリーンシートに塗布
された紫外線硬化樹脂材料から成る接着剤は、これに紫
外線を照射することにより接着力を発揮し、この状態で
各グリーンシートを積み重ねることにより各グリーンシ
ートが相互に接着される。

【００１１】この場合、紫外線硬化樹脂材料は比較的粘
性が低いものであるので、スクリーン印刷や転写印刷等
により各グリーンシートに前記接着剤をその量をコント
ロールしつつ塗布することが可能となる。

【００１２】そして、該接着剤は、紫外線を非常に短時
間照射するだけで、接着力を発揮するので、各グリーン
シートを相互に積み重ねて相互に接着する作業を比較的
短時間で行うことが可能となる。

【００１３】また、紫外線硬化樹脂材料は溶剤を含んで
いないので、これを各グリーンシートに塗布しても、各
グリーンシートの膨潤・変形を防止することが可能とな
る。

【００１４】また、前記各グリーンシートへの前記接着
剤の塗布は転写印刷により行うことにより、該接着剤の
塗布量をスクリーン印刷等に較べて少量なものとするこ
とが可能となる。

【００１５】

【実施例】本発明の一例を図１乃至図７に従って説明す
る。図１は多層配線セラミックス基板の製造方法を説明
するためのフローチャート、図２乃至図７はその工程説
明図である。

【００１６】図１に示すように、多層配線セラミックス
基板を製造する際には、まず、ドクターブレード法等に
より、セラミックス材料から長尺帯状のグリーンシート
１（図２（ａ）参照）を成膜する。

【００１７】この場合、グリーンシート１の厚さは、0.
1 〜0.5mm 程度であることが好ましく、本実施例では、
例えば、0.1mm とした。また、グリーンシート１を構成
するセラミックス材料としては、アルミナセラミックス
や、アルミナとガラスとを混合してなる低温焼成用のガ
ラスセラミックスが用いられる。

【００１８】次いで、図１及び図２（ａ）に示すよう
に、パンチング加工により、各グリーンシート１から、
略方形状のグリーンシート２を枠抜きすると共に、後述
の位置決めに際して使用される位置決め穴３ａ〜３ｄを
該グリーンシート２の周縁部に穿設し、さらに、ビアホ
ール４を該グリーンシート２の所定の箇所に穿設する。

【００１９】この場合、ビアホール４は、例えば、図２
（ａ）中、仮想線により相互に間隔を存して区分けされ
た４個の区画ｘ内に穿設され、各区画ｘには、該グリー
ンシート２に対応する層の１個分が得られるようになっ
ている。

【００２０】次いで、図１及び図２（ｂ）に示すよう
に、スクリーン印刷手法により、各グリーンシート２の
各ビアホール４が導体ペースト５により穴埋めされ、さ
らに、図１及び図２（ｃ）に示すように、スクリーン印
刷により、各グリーンシート２の各区画ｘに所定の配線
パターン６が印刷される。

【００２１】この場合、これらの印刷は、例えば、図３
に示すような装置を用いて次のように行われる。

【００２２】すなわち、図３において、７はグリーンシ
ート２を載架する載架台、８はスクリーン印刷装置、９
ａ〜９ｄはグリーンシート２の前記位置決め穴３ａ〜３
ｄに対応して載架台７の上方に所定の位置関係で配置さ
れた撮像部、１０は各撮像部９ａ〜９ｄから得られる像
をモニタ１０ａ上に表示する画像処理装置であり、載架
台７は、スクリーン印刷装置８に向かってガイドレール
１１，１１上を移動自在に設けられたスライド基台１２
上に水平方向に微小な移動及び回転を行い得るように支
持され、また、該載架台７上に載架されるグリーンシー
ト２を図示しない吸引手段により吸着・保持するように
している。

【００２３】かかる装置を用いて、例えばビアホール４
の穴埋め印刷を行う際には、まず、グリーンシート２
が、その各位置決め穴３ａ〜３ｄを各撮像部９ａ〜９ｄ
に概略対向させた状態で載架台７上に載架されると共に
吸着・保持され、各位置決め穴３ａ〜３ｄの像が画像処
理装置１０のモニタ１０ａ上に表示される。そして、こ
の状態で、各位置決め穴３ａ〜３ｄの像がモニタ１０ａ
上で所定の位置にくるように載架台７がスライド基台１
２上で適宜、移動あるいは回転され、これにより、グリ
ーンシート２が所定の位置に位置決めされる。

【００２４】次いで、該グリーンシート２が載架台７及
びスライド基台１２と共に、スクリーン印刷装置８の所
定の位置に搬入され、この状態で、該スクリーン印刷装
置８により、グリーンシート２のビアホール４に穴埋め
印刷が施される。

【００２５】この時、スクリーン印刷装置８は、上記の
ように、グリーンシート２の各位置決め穴３ａ〜３ｄが
画像処理装置１０のモニタ１０ａ上で所定の位置にくる
ように位置決めされた状態で搬入されたときに、該グリ
ーンシート２の各ビアホール４の位置に導体ペースト５
を印刷するようになっており、これにより、グリーンシ
ート２の各ビアホール４の穴埋め印刷が精度良くなされ
る。

【００２６】また、グリーンシート２への配線パターン
６の印刷も、上記のような装置を用いて、ビアホール４
の穴埋め印刷と全く同様に行われ、これにより、グリー
ンシート２の所定の位置に精度よく配線パターン６が印
刷される。

【００２７】尚、これらの印刷に際して、導体ペースト
５や配線パターン６用の金属材料としては、アルミナセ
ラミックスから成るグリーンシート２にあっては、モリ
ブデンやタングステンが用いられ、ガラスセラミックス
から成るグリーンシート２にあっては、銀や、銀とパラ
ジウムとの混合物もしくは銅が用いられる。

【００２８】かかる穴埋め印刷及び配線印刷を行った後
に、図１及び図４に示すように、下層のグリーンシート
２の上面部に紫外線硬化樹脂材料から成る接着剤１３
が、例えば転写印刷により印刷・塗布され、さらに、そ
の塗布後に該グリーンシート２の接着剤１３に紫外線が
照射され、これにより、該接着剤１３に接着力を生ぜし
める。本実施例においては、紫外線硬化樹脂として、協
立化学産業（株）製のワールドロックＸ−８９００また
はＸ−８９０１を用いた。

【００２９】かかる接着剤１３の転写印刷及び紫外線の
照射は図４に示すような装置を用いて次のように行われ
る。

【００３０】すなわち、図４において、１４はグリーン
シート２を載架する載架台、１５は載架台１４に向かっ
て昇降自在に設けられた転写印刷装置、１６は紫外線照
射装置であり、載架台１４は転写印刷装置１５の下方位
置からガイドレール１７，１７上を紫外線照射装置１６
に向かって移動自在に設けられ、また、該載架台１４上
に載架されるグリーンシート２を図示しない吸引手段に
より吸着・保持するようにしている。また、紫外線照射
装置１６の内部には、図示しない高圧水銀ランプ等の光
源が設けられている。

【００３１】かかる装置を用いて、グリーンシート２の
接着剤１３を塗布し、さらに紫外線を照射する際には、
まず、グリーンシート２が載架台１４上に載架されると
共に吸着・保持され、この時、該グリーンシート２は、
例えばその端面や位置決め穴３ａ〜３ｄを用いて載架台
１４上に位置決めされる。そして、この状態で、転写印
刷装置１５により、該グリーンシート２の上面部の周縁
部及び前記各区画ｘの間の箇所に、図示のようなパター
ンで接着剤１３が印刷・塗布される。

【００３２】この場合、転写印刷装置１５は、エッチン
グにより所定のパターンで溝が形成された金属板（図示
しない）を備えるものであり、その金属板の溝に接着剤
１３を充填し、溝部外の過剰な接着剤１３を除去した後
に、該金属板にシリコンゴムを押し当て接着剤をゴム上
に転写させた後、シリコンゴムをグリーンシートに押し
当て、ゴム上の接着剤をグリーンシートに転写させるこ
とにより、溝内の接着剤１３をグリーンシート２上に転
写するようにしている。

【００３３】尚、かかる転写印刷に際しては、前述の画
像処理装置１０等を用いて載架台１４上にグリーンシー
ト２を位置決めするようにすれば、高精度でグリーンシ
ート２の所定の位置に接着剤１３を塗布するようにする
ことも可能である。

【００３４】次いで、かかる接着剤１３の印刷・塗布後
に、該グリーンシート２が載架台１４と共に紫外線照射
装置１６の内部に搬入され、該紫外線照射装置１６の内
部において、該グリーンシート２に塗布された接着剤１
３に紫外線が照射される。これにより、該接着剤１３が
接着力を発揮するようになる。

【００３５】この場合、接着剤１３の膜厚を５〜２０μ
ｍ、紫外線の光度を８０Ｗ／ｃｍとすると、紫外線の照
射時間は、２〜１５秒程度が適当であり、本実施例で
は、例えば、接着剤１３の膜厚を７〜８μｍとし、紫外
線の照射時間を５〜１０秒とした。

【００３６】尚、接着剤１３の印刷・塗布は、転写印刷
の他に、スクリーン印刷によっても行うことが可能であ
るが、転写印刷の方がスクリーン印刷よりも接着剤１３
の膜厚をより薄くできるので、本実施例では、転写印刷
により接着剤１３を塗布するようにした。

【００３７】次に、接着剤１３を下層のグリーンシート
２に印刷・塗布した後に、図１並びに図５乃至図７に示
すように、該グリーンシート２に上層のグリーンシート
２が積み重ねられて、接着剤１３により相互に接着され
る。

【００３８】この場合、かかるグリーンシート２の積み
重ね及び接着は図５に示すような装置を用いて、次のよ
うに行われる。

【００３９】すなわち、図５において、この装置は、前
述の穴埋め印刷あるいは配線印刷の場合に用いた装置と
同様に、グリーンシート２を載架して吸着・保持する載
架台１８と、その上方に配置され、画像処理装置１９に
接続された撮像部２０ａ〜２０ｄとを備え、載架台１８
は、ガイドレール２１，２１上をスライド基台２２を介
して同図実線示の位置から同図仮想線示の位置まで移動
可能に設けられている。これらの構成は、前述の穴埋め
印刷あるいは配線印刷の場合に用いた装置と全く同一で
ある。

【００４０】また、この装置は、同図仮想線の位置に移
動される載架台１８上のグリーンシート２を真空吸引に
より吸着・保持するシート保持装置２３が該載架台１８
に向かって昇降自在に設けられている。

【００４１】かかる装置を用いて、下層のグリーンシー
ト２に上層のグリーンシート２を積み重ねる際には、ま
ず、図５に示すように、上層のグリーンシート２がその
各位置決め穴３ａ〜３ｄを撮像部２０ａ〜２０ｄに概略
対向させた状態で載架台１８上に載架されて吸着・保持
され、さらに、前述の穴埋め印刷あるいは配線印刷の場
合と全く同様にして、画像処理装置１９のモニタ１９ａ
に表示される位置決め穴３ａ〜３ｄの像を見ながら載架
台１８をスライド基台２２上で、適宜、移動あるいは回
転させることにより、該グリーンシート２が所定の位置
に位置決めされる。

【００４２】次いで、該グリーンシート２が載架台１８
及びスライド基台２２と共に同図実線示の位置から仮想
線示の位置、すなわち、シート保持装置２３の下方位置
に移動される。そして、この状態で、シート保持装置２
３が該グリーンシート２に向かって下降されて、該グリ
ーンシート２を吸着・保持し、さらに、載架台１８によ
るグリーンシート２の吸着・保持が解除されると共に、
該グリーンシート２が、図６に示すように、シート保持
装置２３に吸着保持された状態で該シート保持装置２３
と共に載架台１８から上昇・離脱される。

【００４３】次いで、上記の場合と全く同様にして、図
６に示すように、前記接着剤１３を塗布した下層のグリ
ーンシート２が載架台１８上に載架されて吸着・保持さ
れると共に画像処理装置１９を用いて位置決めされ、こ
の状態で、該グリーンシート２が、載架台１８及びスラ
イド基台２２と共に、シート保持装置２３の直下位置に
移動される。

【００４４】この時、上層のグリーンシート２及び下層
のグリーンシート２は、いずれも画像処理装置１９を用
いて位置決めされたので、両グリーンシート２，２の各
位置決め穴３ａ〜３ｄは精度よく上下に対向することと
なる。

【００４５】次いで、シート保持装置２３に吸着・保持
された上層のグリーンシート２が、該シート保持装置２
３と共に下層のグリーンシート２に向かって下降され、
これにより、図７に示すように、載架台１８上で、上層
のグリーンシート２が下層のグリーンシート２に積み重
ねられると共に、前記接着剤１３により相互に接着され
る。

【００４６】以下、かかる作業を必要に応じて繰り返す
ことにより、多層配線セラミックス基板を得るのに必要
な枚数のグリーンシート２が順次、積み重ねられると共
に、相互に接着される。

【００４７】かかる各グリーンシート２の積み重ね・接
着に際しては、前述したように、紫外線硬化樹脂材料か
ら成る溶剤を含まない接着剤１３を用いていると共に、
該接着剤１３の膜厚を転写印刷により比較的薄いものと
したので、各グリーンシートが膨潤・変形するようなこ
とはなく、各グリーンシート２は、精度よく所定の位置
関係で積み重ねられる。

【００４８】かかる後には、図１に示すように、上記の
ように積み重ねて相互に接着したグリーンシート２が、
加熱・加圧されて積層・一体化され、さらにこの積層・
一体化したもの（以下、積層体という）を前記各区画ｘ
の外形線の位置で切断することにより、該積層体から多
層配線セラミックス基板に対応する部分のみが取り出さ
れると共に、接着剤１３を塗布した部分が除去される。

【００４９】そして、図１に示すように、このようにし
て得た個々の多層配線セラミックス基板に対応する積層
体を、焼成し、さらに必要に応じて、これに表面配線印
刷、再度の焼成及び外形切断等を施すことにより多層配
線セラミックス基板が得られる。

【００５０】尚、積層体の焼成は、アルミナセラミック
スから成るものにあっては、非酸化雰囲気中で例えば15
00〜1600℃の高温で行われ、ガラスセラミックスから成
るものにあっては、空気中もしくは窒素雰囲気中で例え
ば８５０℃〜１０００℃の比較的低温で行われる。

【００５１】さらに、本実施例では、画像処理装置付き
の印刷機を用い、位置決め穴を認識して位置合わせする
方法を示したが、ガイドピンを用いた上の印刷機でビア
ホールの穴埋め印刷及び配線パターンの印刷を行った後
に、該配線パターンを画像処理装置で認識して位置合わ
せする方法も可能である。

【００５２】また、グリーンシートの積み重ねは、下層
のグリーンシートに上層のグリーンシートを順次積み上
げる例を示したが、上層のグリーンシートに下層のグリ
ーンシートを順次積み重ねてゆく方式をとることができ
るのはもちろんである。

【００５３】また、本発明は、所定のビアホール及び配
線層を有するグリーンシートを積層して形成するＱＦ
Ｐ、ＰＧＡ等の半導体装置用パッケージにも適用できる
ことはいうまでもなく、本発明において多層配線セラミ
ックス基板とは、これらのパッケージも含む概念であ
る。

【００５４】

【発明の効果】上記の説明から明らかなように、本発明
においては、複数のグリーンシートを積み重ねる際に、
各グリーンシートに紫外線硬化樹脂材料から成る接着剤
を塗布し、該接着剤により各グリーンシートを相互に接
着するようにしている。この紫外線硬化樹脂は溶剤を含
まないから接着剤による各グリーンシートの膨潤・変形
を防止することができる。さらに、紫外線硬化樹脂材料
から成る接着剤は、紫外線を短時間、照射するだけで比
較的強力な接着力を発揮するので、各グリーンシートの
積み重ね・接着作業を比較的短時間で効率よく行うこと
ができる。

【００５５】また、紫外線硬化樹脂材料から成る接着剤
は、紫外線を照射する前は粘度が低いから、その塗布作
業をスクリーン印刷や転写印刷によりその塗布量をコン
トロールしつつ容易に自動化することができ、作業効率
をさらに向上させることができる。

【００５６】特に、転写印刷を用いた場合には、接着剤
の塗布量を比較的少ないものにコントロールすることが
でき、各グリーンシートの膨潤・変形を確実に防止する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の多層配線セラミックス基板の製造方法
の一例を説明するためのフローチャートである。

【図２】図１の製造方法における工程説明図である。

【図３】図１の製造方法における工程説明図である。

【図４】図１の製造方法における工程説明図である。

【図５】図１の製造方法における工程説明図である。

【図６】図１の製造方法における工程説明図である。

【図７】図１の製造方法における工程説明図である。

【符号の説明】

２…グリーンシート、６…配線パターン、１３…接着
剤、１６…紫外線照射装置。

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【手続補正書】

【提出日】平成５年３月１８日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００３

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００３】この種のシート積層法を用いて多層配線セ
ラミックス基板を製造する具体的な方法としては、例え
ば特公平２−２１６７３号公報に開示されているものが
知られている。この方法においては、複数のグリーンシ
ートにビアホールを穿設した後に、スクリーン印刷によ
り、該ビアホールを導体ペーストにより穴埋めすると共
に、各グリーンシート上に配線パターンを印刷し、次い
で、これらのグリーンシートを積み重ねると共に接着剤
により相互に仮接着し、しかる後に、これを加熱・加圧
することにより各グリーンシートを積層・一体化し、さ
らに焼成することにより多層配線セラミックス基板を製
造するようにしている。そして、この方法においては、
ビアホールの穿設及び穴埋め、配線パターンの印刷、並
びに各グリーンシートの積層に際して、画像処理装置を
用いることにより、これらの各作業工程におけるグリー
ンシートの印刷装置等に対する位置決め精度、あるい
は、積層時における各グリーンシートの相互の位置決め
精度を向上させるようにしている。しかしながら、この
種の製造方法においては、特に、グリーンシートを積み
重ねて相互に接着する際に、粘着性樹脂材料や熱硬化性
樹脂材料から成る接着剤が一般に使用されており、この
ような接着剤を用いていたために、次のような不都合が
あった。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１７】この場合、グリーンシート１の厚さは、0.
1 〜0.8 mm程度であることが好ましく、本実施例では、
例えば、0.1mm とした。また、グリーンシート１を構成
するセラミックス材料としては、アルミナ、ムライト、
窒化アルミニウム、セラミック粉末（アルミナ、ムライ
ト、コージェライト等）とガラスとを混合してなる低温
焼成用のガラスセラミックスが用いられる。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５０】尚、積層体の焼成は、アルミナやムライト
の場合非酸化雰囲気中で例えば1500〜1600℃、窒化アル
ミニウムの場合同じく非酸化雰囲気中で例えば1750〜18
50℃の高温で行われ、ガラスセラミックスの場合には空
気中もしくは窒素雰囲気中で例えば 850〜1000℃の比較
的低温で行われる。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】必要に応じてビアホールの穿設、ビアホー
ルの穴埋め印刷及び配線パターンの印刷を施した複数の
グリーンシートを積み重ねて加熱・加圧することにより
積層・一体化し、さらに、その積層体を焼成することに
より多層配線セラミックス基板を製造する方法におい
て、前記複数のグリーンシートを積み重ねる際に、各グ
リーンシートに紫外線硬化樹脂材料から成る接着剤を塗
布する工程と、該塗布後に該接着剤に紫外線を照射する
工程と、該照射後に各グリーンシートを積み重ねて相互
に接着を行う工程とを備えたことを特徴とする多層配線
セラミックス基板の製造方法。
【請求項２】前記各グリーンシートへの前記接着剤の塗
布は転写印刷により行うことを特徴とする請求項１記載
の多層配線セラミックス基板の製造方法。