JPH0526645A - 原子間力顕微鏡およびその制御方法 - Google Patents
原子間力顕微鏡およびその制御方法Info
- Publication number
- JPH0526645A JPH0526645A JP3180864A JP18086491A JPH0526645A JP H0526645 A JPH0526645 A JP H0526645A JP 3180864 A JP3180864 A JP 3180864A JP 18086491 A JP18086491 A JP 18086491A JP H0526645 A JPH0526645 A JP H0526645A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cantilever
- force microscope
- twist
- set value
- atomic force
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
- G01Q10/04—Fine scanning or positioning
- G01Q10/06—Circuits or algorithms therefor
- G01Q10/065—Feedback mechanisms, i.e. wherein the signal for driving the probe is modified by a signal coming from the probe itself
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 原子間力顕微鏡に関し、特に、溝形状等の垂
直に近い壁面を有する試料を安定に精度良く測定できる
ようにする。 【構成】 レーザー７と４分割フォトダイオード９で構
成した光てこによりカンチレバー６のねじれとたわみを
検出し、フィードバック信号発生回路１０、１１によ
り、各々が一定値になるように制御しながら走査を行
い、各制御電圧の合計をコンピュータ１３により画像化
する。
直に近い壁面を有する試料を安定に精度良く測定できる
ようにする。 【構成】 レーザー７と４分割フォトダイオード９で構
成した光てこによりカンチレバー６のねじれとたわみを
検出し、フィードバック信号発生回路１０、１１によ
り、各々が一定値になるように制御しながら走査を行
い、各制御電圧の合計をコンピュータ１３により画像化
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、深い溝形状等を安定に
精度良く測定する原子間力顕微鏡に関するものである。
精度良く測定する原子間力顕微鏡に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、固体表面を原子オーダで観察でき
る装置として原子間力顕微鏡（以後ＡＦＭと呼ぶ）が開
発されている。ＡＦＭでは微小な力を検出するために、
探針を有する長さ１００μｍ程度のカンチレバーが必要
である。ＡＦＭの制御方法を図５に示す。探針１２を試
料４に近づけると、探針と試料との間に働く原子間力に
よりカンチレバー６にたわみが生じる。このたわみ量を
一定に保つようにフィードバック信号発生回路１０を通
してＺ方向圧電体３を制御しながら、試料表面を走査す
る。この走査は、圧電体駆動装置５とＸ，Ｙ方向の圧電
体１、２により行われる。上記フィードバックにおける
制御量が試料表面の凹凸に相当し、したがって、この制
御量をコンピュータ１３等により画像化することでＡＦ
Ｍ像が得られる。
る装置として原子間力顕微鏡（以後ＡＦＭと呼ぶ）が開
発されている。ＡＦＭでは微小な力を検出するために、
探針を有する長さ１００μｍ程度のカンチレバーが必要
である。ＡＦＭの制御方法を図５に示す。探針１２を試
料４に近づけると、探針と試料との間に働く原子間力に
よりカンチレバー６にたわみが生じる。このたわみ量を
一定に保つようにフィードバック信号発生回路１０を通
してＺ方向圧電体３を制御しながら、試料表面を走査す
る。この走査は、圧電体駆動装置５とＸ，Ｙ方向の圧電
体１、２により行われる。上記フィードバックにおける
制御量が試料表面の凹凸に相当し、したがって、この制
御量をコンピュータ１３等により画像化することでＡＦ
Ｍ像が得られる。
【０００３】このカンチレバーのたわみ量は変位測定部
１６により測定される。この変位測定部には、現在、光
てこ、レーザー干渉計、トンネル電流などが用いられて
いる。ＡＦＭの分解能は探針の先端曲率半径に依存し、
曲率半径が小さいほど分解能は上がる。現在のところ２
００から３００Åの曲率の探針が作製され、このカンチ
レバーを用いてマイカ等の原子像が観察されている。一
方、ＡＦＭを用いてグレーティング等の深い溝形状を有
する試料の測定も行われている。このような測定には、
探針の先端曲率が小さいのと同時に、溝部の底まで届く
ような、細長い形状の探針が用いられる。
１６により測定される。この変位測定部には、現在、光
てこ、レーザー干渉計、トンネル電流などが用いられて
いる。ＡＦＭの分解能は探針の先端曲率半径に依存し、
曲率半径が小さいほど分解能は上がる。現在のところ２
００から３００Åの曲率の探針が作製され、このカンチ
レバーを用いてマイカ等の原子像が観察されている。一
方、ＡＦＭを用いてグレーティング等の深い溝形状を有
する試料の測定も行われている。このような測定には、
探針の先端曲率が小さいのと同時に、溝部の底まで届く
ような、細長い形状の探針が用いられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記のような
探針を用いて測定を行う場合、溝部の壁面が垂直に近い
ような形状の試料では、探針の側面が走査中に溝部の壁
面に衝突する。この状態ではカンチレバーのたわみはほ
とんど生じることがなく、試料と探針間の距離はそのま
まの状態で走査が続けられる。その結果、正確なＡＦＭ
像が得られないばかりでなく、探針やカンチレバーが破
壊されることもある。
探針を用いて測定を行う場合、溝部の壁面が垂直に近い
ような形状の試料では、探針の側面が走査中に溝部の壁
面に衝突する。この状態ではカンチレバーのたわみはほ
とんど生じることがなく、試料と探針間の距離はそのま
まの状態で走査が続けられる。その結果、正確なＡＦＭ
像が得られないばかりでなく、探針やカンチレバーが破
壊されることもある。
【０００５】本発明は、このような従来の原子間力顕微
鏡の制御方法の課題を考慮し、垂直に近い側面形状を有
するような試料でも、精度良く観察することが可能な原
子間力顕微鏡およびその制御方法を提供することを目的
とする。
鏡の制御方法の課題を考慮し、垂直に近い側面形状を有
するような試料でも、精度良く観察することが可能な原
子間力顕微鏡およびその制御方法を提供することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】カンチレバーのねじれと
たわみを検出する。検出されたねじれが設定値以上にな
ると同時にカンチレバーから試料を遠ざけるように制御
する。カンチレバーのねじれは、レーザーと２分割光検
出器あるいは４分割光検出器を用いた光てこにより測定
する。
たわみを検出する。検出されたねじれが設定値以上にな
ると同時にカンチレバーから試料を遠ざけるように制御
する。カンチレバーのねじれは、レーザーと２分割光検
出器あるいは４分割光検出器を用いた光てこにより測定
する。
【０００７】
【作用】細長い形状の探針を用いて、溝部等の壁面が垂
直に近いような形状の試料を観察すると、探針の側面が
走査中に壁面に衝突し、カンチレバーのねじれが設定値
以上になる。ここで上記制御方法によれば、、探針やカ
ンチレバーが試料の壁面により破壊されることなく走査
することが可能となる。また、このねじれは探針が壁面
上部に達するまで検出されるため、この制御量をたわみ
から得られる制御量に付加し、画像化することにより、
精度良くＡＦＭ像が得られる。
直に近いような形状の試料を観察すると、探針の側面が
走査中に壁面に衝突し、カンチレバーのねじれが設定値
以上になる。ここで上記制御方法によれば、、探針やカ
ンチレバーが試料の壁面により破壊されることなく走査
することが可能となる。また、このねじれは探針が壁面
上部に達するまで検出されるため、この制御量をたわみ
から得られる制御量に付加し、画像化することにより、
精度良くＡＦＭ像が得られる。
【０００８】また、設定値以上にねじれを検出したとき
は、ねじれが設定値に達するまで走査をその場所で停止
すれば、さらに安定した観察が可能になるとともに、高
速走査も可能となる。
は、ねじれが設定値に達するまで走査をその場所で停止
すれば、さらに安定した観察が可能になるとともに、高
速走査も可能となる。
【０００９】
【実施例】以下、具体例について詳細に述べる。図１
は、本発明の原子間力顕微鏡およびその制御方法の第１
実施例を示す概略図である。試料は、Ｘ，Ｙ，Ｚの３方
向の圧電体１、２、３で形成されたトライポッド型の微
動機構上に設置した。試料４の走査は、圧電体駆動装置
５により発生した電圧をＸ、Ｙ方向の圧電体に印加する
ことにより行った。カンチレバー６のたわみとねじれ
は、出力５ｍＷの半導体レーザー７から出射されたレー
ザー光をレンズ８によりカンチレバー上に集光し、その
反射光を４分割フォトダイオード９により検出する光て
こにより検出した。前記４分割フォトダイオードにおい
て、試料と反対側へのカンチレバーのたわみにより生じ
るレーザー光の変位方向の分割部をＡ，Ｃとし、他の部
分をＢ，Ｄとする。各分割部分Ａ、Ｂ，Ｃ，Ｄの出力を
それぞれａ、ｂ、ｃ、ｄとすると、たわみは（ａ＋ｃ）
−（ｂ＋ｄ）で算出され、ねじれは（ａ＋ｂ）−（ｃ＋
ｄ）の絶対値として算出される。算出されたたわみ、ね
じれの各々に対して設定値と比較し、制御信号を出すフ
ィードバック信号発生回路１０、１１を設け、発生した
制御電圧をＺ方向の圧電体に印加する。カンチレバーの
たわみは試料表面の凹凸に応じて変化するため、制御電
圧を、算出されたたわみが設定値よりも大きくなるとき
は、試料がカンチレバーから離れる方向、即ち、圧電体
がＺ方向へ縮むように印加し、逆に設定値よりも小さく
なるときは、試料がカンチレバーに近づく方向、即ち、
圧電体がＺ方向へ延びるように印加した。またカンチレ
バーのねじれは、観察試料に垂直に近い形状部分が存在
するとき、カンチレバー先端部に設けた探針１２が衝突
することにより生じるため、制御電圧を、算出されたね
じれが設定値よりも大きくなるときは、試料がカンチレ
バーから離れる方向に印加した。ただし上記制御時にお
いて、ねじれが設定値より大きくなったときには、たわ
みによる制御は働かせずに、設定値に達してから制御を
再開した。上記の制御方法によりたわみとねじれを一定
値になるように制御しながら走査を行った。試料表面の
ＡＦＭ像は上記のたわみとねじれによる各々の制御電圧
の合計をコンピュータ１３あるいはストレージオシロス
コープにより画像化することにより得られた。
は、本発明の原子間力顕微鏡およびその制御方法の第１
実施例を示す概略図である。試料は、Ｘ，Ｙ，Ｚの３方
向の圧電体１、２、３で形成されたトライポッド型の微
動機構上に設置した。試料４の走査は、圧電体駆動装置
５により発生した電圧をＸ、Ｙ方向の圧電体に印加する
ことにより行った。カンチレバー６のたわみとねじれ
は、出力５ｍＷの半導体レーザー７から出射されたレー
ザー光をレンズ８によりカンチレバー上に集光し、その
反射光を４分割フォトダイオード９により検出する光て
こにより検出した。前記４分割フォトダイオードにおい
て、試料と反対側へのカンチレバーのたわみにより生じ
るレーザー光の変位方向の分割部をＡ，Ｃとし、他の部
分をＢ，Ｄとする。各分割部分Ａ、Ｂ，Ｃ，Ｄの出力を
それぞれａ、ｂ、ｃ、ｄとすると、たわみは（ａ＋ｃ）
−（ｂ＋ｄ）で算出され、ねじれは（ａ＋ｂ）−（ｃ＋
ｄ）の絶対値として算出される。算出されたたわみ、ね
じれの各々に対して設定値と比較し、制御信号を出すフ
ィードバック信号発生回路１０、１１を設け、発生した
制御電圧をＺ方向の圧電体に印加する。カンチレバーの
たわみは試料表面の凹凸に応じて変化するため、制御電
圧を、算出されたたわみが設定値よりも大きくなるとき
は、試料がカンチレバーから離れる方向、即ち、圧電体
がＺ方向へ縮むように印加し、逆に設定値よりも小さく
なるときは、試料がカンチレバーに近づく方向、即ち、
圧電体がＺ方向へ延びるように印加した。またカンチレ
バーのねじれは、観察試料に垂直に近い形状部分が存在
するとき、カンチレバー先端部に設けた探針１２が衝突
することにより生じるため、制御電圧を、算出されたね
じれが設定値よりも大きくなるときは、試料がカンチレ
バーから離れる方向に印加した。ただし上記制御時にお
いて、ねじれが設定値より大きくなったときには、たわ
みによる制御は働かせずに、設定値に達してから制御を
再開した。上記の制御方法によりたわみとねじれを一定
値になるように制御しながら走査を行った。試料表面の
ＡＦＭ像は上記のたわみとねじれによる各々の制御電圧
の合計をコンピュータ１３あるいはストレージオシロス
コープにより画像化することにより得られた。
【００１０】なお、本実施例では、たわみとねじれの各
々に対してフィードバック信号発生器を設けＺ方向圧電
体を制御したが、探針と試料壁面が衝突することにより
生じるねじれ（ａ＋ｂ）−（ｃ＋ｄ）が正になる方向へ
走査しているときは、ａ−ｄの値が一定値になるように
制御すればたわみとねじれが一定値になる。この場合に
は、ａ−ｄの値が設定値より大きくなるときは、試料が
カンチレバーから離れる方向に制御電圧をＺ方向圧電体
に印加し、小さくなるときは近づく方向に印加した。試
料表面のＡＦＭ像はこの制御電圧を画像化することによ
り得られた。同様に、衝突によるねじれ（ａ＋ｂ）−
（ｃ＋ｄ）が負になる方向へ走査しているときは、ｂ−
ｃの値が一定値になるように制御すればよい。
々に対してフィードバック信号発生器を設けＺ方向圧電
体を制御したが、探針と試料壁面が衝突することにより
生じるねじれ（ａ＋ｂ）−（ｃ＋ｄ）が正になる方向へ
走査しているときは、ａ−ｄの値が一定値になるように
制御すればたわみとねじれが一定値になる。この場合に
は、ａ−ｄの値が設定値より大きくなるときは、試料が
カンチレバーから離れる方向に制御電圧をＺ方向圧電体
に印加し、小さくなるときは近づく方向に印加した。試
料表面のＡＦＭ像はこの制御電圧を画像化することによ
り得られた。同様に、衝突によるねじれ（ａ＋ｂ）−
（ｃ＋ｄ）が負になる方向へ走査しているときは、ｂ−
ｃの値が一定値になるように制御すればよい。
【００１１】次に本発明の第２実施例における原子間力
顕微鏡のたわみおよびねじれの検出部分の概略図を図２
に示す。カンチレバー６の先端部に設けた探針１２が試
料４より力を受け前記カンチレバーにたわみやねじれが
生じる。カンチレバーのねじれはレーザー７、集光レン
ズ８と２分割フォトダイオード１４を用いた光てこによ
り、前記２分割フォトダイードの各出力の差の絶対値と
して算出される。また、たわみはカンチレバーの背面側
（試料と反対側）に１ｎｍ程度の距離を離して設置され
た導電性の探針１５に１Ｖから５Ｖのバイアス電圧を印
加し、カンチレバーと前記探針１５間に流れるトンネル
電流値として検出した。試料の走査およびねじれ、たわ
みによるＺ方向圧電体へのフィードバック、さらに制御
電圧の画像化は実施例１と同様に行った。
顕微鏡のたわみおよびねじれの検出部分の概略図を図２
に示す。カンチレバー６の先端部に設けた探針１２が試
料４より力を受け前記カンチレバーにたわみやねじれが
生じる。カンチレバーのねじれはレーザー７、集光レン
ズ８と２分割フォトダイオード１４を用いた光てこによ
り、前記２分割フォトダイードの各出力の差の絶対値と
して算出される。また、たわみはカンチレバーの背面側
（試料と反対側）に１ｎｍ程度の距離を離して設置され
た導電性の探針１５に１Ｖから５Ｖのバイアス電圧を印
加し、カンチレバーと前記探針１５間に流れるトンネル
電流値として検出した。試料の走査およびねじれ、たわ
みによるＺ方向圧電体へのフィードバック、さらに制御
電圧の画像化は実施例１と同様に行った。
【００１２】さらに本発明の第３実施例の原子間力顕微
鏡およびその制御方法の概略図を図３に示す。カンチレ
バー６のたわみとねじれは、４分割フォトダイオード９
をもちいた光てこにより第１の実施例と同様の方法で算
出した。試料の走査は、圧電体駆動装置５により発生し
た電圧をＸ、Ｙ方向の圧電体１、２に印加することによ
り行った。ただし、この走査はカンチレバーのねじれが
設定値以上になったときにはその場所で停止し、設定値
に達したとき再開する。すなわち、算出したねじれ（ａ
＋ｂ）−（ｃ＋ｄ）の絶対値を圧電体駆動装置へフィー
ドバックし、ねじれが設定値内にあるときだけ走査を継
続した。上記制御を加えることにより、観察時の安定性
が向上し、１０Ｈｚ以上の高速走査においてもカンチレ
バーが破壊されなかった。なお、たわみおよびねじれの
検出方法としては第１実施例の方法を用いたが、第２実
施例により算出してもよい。
鏡およびその制御方法の概略図を図３に示す。カンチレ
バー６のたわみとねじれは、４分割フォトダイオード９
をもちいた光てこにより第１の実施例と同様の方法で算
出した。試料の走査は、圧電体駆動装置５により発生し
た電圧をＸ、Ｙ方向の圧電体１、２に印加することによ
り行った。ただし、この走査はカンチレバーのねじれが
設定値以上になったときにはその場所で停止し、設定値
に達したとき再開する。すなわち、算出したねじれ（ａ
＋ｂ）−（ｃ＋ｄ）の絶対値を圧電体駆動装置へフィー
ドバックし、ねじれが設定値内にあるときだけ走査を継
続した。上記制御を加えることにより、観察時の安定性
が向上し、１０Ｈｚ以上の高速走査においてもカンチレ
バーが破壊されなかった。なお、たわみおよびねじれの
検出方法としては第１実施例の方法を用いたが、第２実
施例により算出してもよい。
【００１３】さらに本発明の第４実施例の原子間力顕微
鏡およびその制御方法の概略図を図４に示す。試料の走
査およびカンチレバー６のたわみとねじれは、第１の実
施例と同様の方法で行った。また、Ｚ方向への試料の制
御は、ねじれの変化のみにより行われ、ねじれが設定値
より大きくなったときは、ねじれが一定値になるように
試料４がカンチレバーから離れようにフィードバック信
号発生回路１０によりＺ方向圧電体３に電圧を印加し
た。試料表面のＡＦＭ像はたわみ量と上記ねじれによる
制御電圧の合計をコンピュータ１３あるいはストレージ
オシロスコープにより画像化することにより得られた。
なお、たわみおよびねじれの検出方法としては第１実施
例の方法を用いたが、第２実施例により算出してもよ
い。
鏡およびその制御方法の概略図を図４に示す。試料の走
査およびカンチレバー６のたわみとねじれは、第１の実
施例と同様の方法で行った。また、Ｚ方向への試料の制
御は、ねじれの変化のみにより行われ、ねじれが設定値
より大きくなったときは、ねじれが一定値になるように
試料４がカンチレバーから離れようにフィードバック信
号発生回路１０によりＺ方向圧電体３に電圧を印加し
た。試料表面のＡＦＭ像はたわみ量と上記ねじれによる
制御電圧の合計をコンピュータ１３あるいはストレージ
オシロスコープにより画像化することにより得られた。
なお、たわみおよびねじれの検出方法としては第１実施
例の方法を用いたが、第２実施例により算出してもよ
い。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、グレーティング等の深
い溝形状や、垂直に近い壁面を有する試料を測定する
際、カンチレバーや探針を破壊することなく、精度よく
測定できる原子間力顕微鏡が得られる。
い溝形状や、垂直に近い壁面を有する試料を測定する
際、カンチレバーや探針を破壊することなく、精度よく
測定できる原子間力顕微鏡が得られる。
【図１】本発明の第１実施例における原子間力顕微鏡お
よびその制御方法を示す概略図である。
よびその制御方法を示す概略図である。
【図２】本発明の第２実施例における原子間力顕微鏡の
たわみおよびねじれの検出部分の概略を示す斜視図であ
る。
たわみおよびねじれの検出部分の概略を示す斜視図であ
る。
【図３】本発明の第３実施例における原子間力顕微鏡お
よびその制御方法を示す概略図である。
よびその制御方法を示す概略図である。
【図４】本発明の第４実施例における原子間力顕微鏡お
よびその制御方法を示す概略図である。
よびその制御方法を示す概略図である。
【図５】従来の原子間力顕微鏡およびその制御方法を示
す概略図である。
す概略図である。
１ Ｘ方向圧電体
２ Ｙ方向圧電体
３ Ｚ方向圧電体
４ 試料
５ 圧電体駆動装置
６ カンチレバー
７ 半導体レーザー
８ 集光レンズ
９ ４分割フォトダイオード
１０、１１ フィードバック信号発生回路
１２、１５ 探針
１３ コンピュータ
１４ ２分割フォトダイオード
１６ 変位測定部
Claims (11)
- 【請求項１】カンチレバーのねじれとたわみを検出し、
前記ねじれを一定の設定値に保ちながら走査することを
特徴とする原子間力顕微鏡の制御方法。 - 【請求項２】検出されたカンチレバーのねじれが設定値
以上になると同時にカンチレバーから試料を遠ざけるこ
とを特徴とする請求項１に記載の原子間力顕微鏡の制御
方法。 - 【請求項３】カンチレバーのたわみを一定の設定値に保
ちながら走査することを特徴とする請求項１または２に
記載の原子間力顕微鏡の制御方法。 - 【請求項４】検出されたカンチレバーのたわみが設定値
以上になると同時にカンチレバーから試料を遠ざけ、前
記設定値以下になると同時にカンチレバーに試料を近づ
けることを特徴とする請求項３に記載の原子間力顕微鏡
の制御方法。 - 【請求項５】カンチレバーのねじれの設定値が０である
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の原子
間力顕微鏡の制御方法。 - 【請求項６】カンチレバーのねじれが設定値以上になる
と同時に走査を停止し、ねじれが設定値になると走査を
開始することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記
載の原子間力顕微鏡の制御方法。 - 【請求項７】カンチレバーのねじれを一定の設定値に保
ちながら走査し、前記ねじれによる制御量とたわみ量の
合計を画像化することで試料表面像を得ることを特徴と
する原子間力顕微鏡。 - 【請求項８】カンチレバーのねじれとたわみを一定の設
定値に保ちながら走査し、前記ねじれによる制御量とた
わみによる制御量の合計を画像化することで試料表面像
を得ることを特徴とする原子間力顕微鏡。 - 【請求項９】レーザーと２分割光検出器を具備した光て
こによりカンチレバーのねじれを検出することを特徴と
する請求項７または８に記載の原子間力顕微鏡。 - 【請求項１０】レーザーと４分割光検出器を具備した光
てこによりカンチレバーのねじれとたわみを検出するこ
とを特徴とする請求項７または８に記載の原子間力顕微
鏡。 - 【請求項１１】探針をカンチレバーに接近させ前記探針
と前記カンチレバー間のトンネル電流を検出することに
よりカンチレバーのたわみを検出することを特徴とする
請求項７〜９のいずれかに記載の原子間力顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3180864A JPH0526645A (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | 原子間力顕微鏡およびその制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3180864A JPH0526645A (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | 原子間力顕微鏡およびその制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0526645A true JPH0526645A (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=16090693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3180864A Pending JPH0526645A (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | 原子間力顕微鏡およびその制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0526645A (ja) |
-
1991
- 1991-07-22 JP JP3180864A patent/JPH0526645A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4603036B2 (ja) | マクロカンチレバーのような複数のマイクロ及びナノメカニカル要素の変位を検出するためのシステム及び方法 | |
| EP0394962B1 (en) | Atomic force microscope | |
| US6880386B1 (en) | Method and device for simultaneously determining the adhesion, friction, and other material properties of a sample surface | |
| US4987303A (en) | Micro-displacement detector device, piezo-actuator provided with the micro-displacement detector device and scanning probe microscope provided with the piezo-actuator | |
| US6642517B1 (en) | Method and apparatus for atomic force microscopy | |
| JPH0774735B2 (ja) | サンプルの表面構造の寸法の測定装置及び方法 | |
| US5497656A (en) | Method of measuring a surface profile using an atomic force microscope | |
| Zhang et al. | An autofocusing measurement system with a piezoelectric translator | |
| JPH0526645A (ja) | 原子間力顕微鏡およびその制御方法 | |
| JP3859588B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法 | |
| KR20080110234A (ko) | 원자 탐침 현미경의 헤드 모듈부 | |
| JP2967965B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡用スキャナ及びそれを備える走査型プローブ顕微鏡 | |
| JP3008583B2 (ja) | 原子間力顕微鏡およびその制御方法 | |
| WO2022137600A1 (ja) | 探針の評価方法およびｓｐｍ | |
| JPH0727560A (ja) | 走査型探針顕微鏡及びその制御方法 | |
| JP3892184B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
| Haikka | Implementation of a cantilever deflection measurement for a do-it-yourself atomic force microscope | |
| JP2694783B2 (ja) | 原子間力顕微鏡 | |
| Huang et al. | Development of an optical pickup system for measuring the displacement of the micro cantilever in scanning probe microscope | |
| JPH0980060A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
| JPH06258068A (ja) | 原子間力顕微鏡 | |
| CN118202250A (zh) | 用探针扫描样品的方法和装置 | |
| JPH0886792A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
| JP2624008B2 (ja) | 走査型トンネル顕微鏡 | |
| JPH0771951A (ja) | 走査型探針顕微鏡の制御方法 |