JPH05264851A - ガイド溝付光導波路 - Google Patents
ガイド溝付光導波路Info
- Publication number
- JPH05264851A JPH05264851A JP4062552A JP6255292A JPH05264851A JP H05264851 A JPH05264851 A JP H05264851A JP 4062552 A JP4062552 A JP 4062552A JP 6255292 A JP6255292 A JP 6255292A JP H05264851 A JPH05264851 A JP H05264851A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- optical waveguide
- optical
- fitting pin
- substrate
- Prior art date
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- Pending
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- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、導波路回路もしくは光ファイバと正
確に調心を行って接続することができるガイド溝付光導
波路を提供することを目的とする。 【構成】断面略Ｖ字形状の位置合わせ用溝を有する基板
および前記基板上に形成され、導波路回路を有する導波
路層からなる光導波路本体と、前記位置合わせ用溝に載
置され、被接続部材の光ファイバおよび前記導波路回路
を接続するための嵌合ピンと、前記光導波路本体の被接
続端部近傍にそれぞれ配置され、前記嵌合ピンを押える
２つの押え蓋部材とを具備することを特徴としている。
確に調心を行って接続することができるガイド溝付光導
波路を提供することを目的とする。 【構成】断面略Ｖ字形状の位置合わせ用溝を有する基板
および前記基板上に形成され、導波路回路を有する導波
路層からなる光導波路本体と、前記位置合わせ用溝に載
置され、被接続部材の光ファイバおよび前記導波路回路
を接続するための嵌合ピンと、前記光導波路本体の被接
続端部近傍にそれぞれ配置され、前記嵌合ピンを押える
２つの押え蓋部材とを具備することを特徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光通信の分野において使
用される光部品に関し、特に、光導波路もしくは光ファ
イバと接続されるガイド溝付光導波路に関する。
用される光部品に関し、特に、光導波路もしくは光ファ
イバと接続されるガイド溝付光導波路に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のガイド溝付光導波路は、図２に示
すように、断面略Ｖ字形状の２つの位置合わせ用溝２０
が形成された基板２１と、位置合わせ用溝２０に載置さ
れた嵌合ピン２２を押える押え蓋２３とから構成されて
いる。基板２１の表面上には、導波路回路２４を有する
導波路層２５が形成されている。基板２１と押え蓋２３
とは、接着剤等により半永久的に固着されている。ま
た、基板２１と押え蓋２３の固定は、着脱が可能になる
ように、図３に示すようにクリップ３０で行ったり、ね
じ止めにより行う場合もある。
すように、断面略Ｖ字形状の２つの位置合わせ用溝２０
が形成された基板２１と、位置合わせ用溝２０に載置さ
れた嵌合ピン２２を押える押え蓋２３とから構成されて
いる。基板２１の表面上には、導波路回路２４を有する
導波路層２５が形成されている。基板２１と押え蓋２３
とは、接着剤等により半永久的に固着されている。ま
た、基板２１と押え蓋２３の固定は、着脱が可能になる
ように、図３に示すようにクリップ３０で行ったり、ね
じ止めにより行う場合もある。
【０００３】また、嵌合ピン２２を固定する方法として
は、図４（Ａ）に示すように、位置合わせ用溝２０と押
え蓋２３の凹部４０とにより形成される空間を、嵌合ピ
ン２２がその空間に載置されたときにクリアランスが生
じるように設定して、嵌合ピン２２の挿入を容易にする
方法、図４（Ｂ）に示すように、位置合わせ用溝２０の
２つの溝側面４１と押え蓋２３の凹部４０の底面４２と
の３点で嵌合ピン２２を固定する方法、並びに位置合わ
せ用溝２０と押え蓋２３の凹部４０とにより形成される
空間を、嵌合ピン２２がその空間に載置されたときにク
リアランスが生じないように設定するか、または嵌合ピ
ン２２の径をその空間よりも僅かに大きくし、さらに嵌
合ピン２２の材料に弾性材料を用いて、その空間に嵌合
ピン２２を嵌入する方法がある。いずれの方法において
も数μｍ以下の非常に高い精度で嵌合ピンを固定するこ
と望まれている。
は、図４（Ａ）に示すように、位置合わせ用溝２０と押
え蓋２３の凹部４０とにより形成される空間を、嵌合ピ
ン２２がその空間に載置されたときにクリアランスが生
じるように設定して、嵌合ピン２２の挿入を容易にする
方法、図４（Ｂ）に示すように、位置合わせ用溝２０の
２つの溝側面４１と押え蓋２３の凹部４０の底面４２と
の３点で嵌合ピン２２を固定する方法、並びに位置合わ
せ用溝２０と押え蓋２３の凹部４０とにより形成される
空間を、嵌合ピン２２がその空間に載置されたときにク
リアランスが生じないように設定するか、または嵌合ピ
ン２２の径をその空間よりも僅かに大きくし、さらに嵌
合ピン２２の材料に弾性材料を用いて、その空間に嵌合
ピン２２を嵌入する方法がある。いずれの方法において
も数μｍ以下の非常に高い精度で嵌合ピンを固定するこ
と望まれている。
【０００４】このように構成されているガイド溝付光導
波路は、光ファイバを内挿した光コネクタ２６と光学的
に調心されて接続されている。
波路は、光ファイバを内挿した光コネクタ２６と光学的
に調心されて接続されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】光導波路には、シリコ
ン基板上に屈折率が異なるＳｉＯ2 を堆積させて導波路
回路を形成する石英系光導波路と、リチウム・ナイトラ
イド（ＬＮ）等の特殊な半導体上に薄膜を成膜して導波
路回路を形成する半導体系光導波路がある。このうち、
石英系光導波路は、高温中でＳｉＯ2 を堆積させるの
で、堆積後に常温に冷却すると、シリコンとＳｉＯ2 の
熱膨張率の差によりシリコン基板が変形（反り）が生じ
る。変形の程度は、シリコン基板の厚さおよびＳｉＯ2
層の厚さの割合により異なる。
ン基板上に屈折率が異なるＳｉＯ2 を堆積させて導波路
回路を形成する石英系光導波路と、リチウム・ナイトラ
イド（ＬＮ）等の特殊な半導体上に薄膜を成膜して導波
路回路を形成する半導体系光導波路がある。このうち、
石英系光導波路は、高温中でＳｉＯ2 を堆積させるの
で、堆積後に常温に冷却すると、シリコンとＳｉＯ2 の
熱膨張率の差によりシリコン基板が変形（反り）が生じ
る。変形の程度は、シリコン基板の厚さおよびＳｉＯ2
層の厚さの割合により異なる。
【０００６】上記の光導波路に位置合わせ用溝を形成
し、この位置合わせ用溝に嵌合ピンを載置して押え蓋に
より固定する場合、図５（Ａ）に示すように、基板５０
には変形が生じており、押え蓋５１は機械加工により平
坦に作製されているので、両者を組み合わせたときに、
中央部５２では両者は接触するが、両端部５３では両者
が離れてしまう。このため、中央部５２では、図５
（Ｃ）に示すように、嵌合ピン５４が両者により形成さ
れる空間内に確実に固定されるが、両端部５３では、図
５（Ｂ）に示すように、嵌合ピン５４は空間内に確実に
固定されない。したがって、光導波路と光コネクタを接
続する際に、光導波路の導波路回路と光コネクタの光フ
ァイバとの調心が正確に行われない。
し、この位置合わせ用溝に嵌合ピンを載置して押え蓋に
より固定する場合、図５（Ａ）に示すように、基板５０
には変形が生じており、押え蓋５１は機械加工により平
坦に作製されているので、両者を組み合わせたときに、
中央部５２では両者は接触するが、両端部５３では両者
が離れてしまう。このため、中央部５２では、図５
（Ｃ）に示すように、嵌合ピン５４が両者により形成さ
れる空間内に確実に固定されるが、両端部５３では、図
５（Ｂ）に示すように、嵌合ピン５４は空間内に確実に
固定されない。したがって、光導波路と光コネクタを接
続する際に、光導波路の導波路回路と光コネクタの光フ
ァイバとの調心が正確に行われない。
【０００７】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、導波路回路もしくは光ファイバと正確に調心を行
って接続することができるガイド溝付光導波路を提供す
ることを目的とする。
あり、導波路回路もしくは光ファイバと正確に調心を行
って接続することができるガイド溝付光導波路を提供す
ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、断面略Ｖ字形
状の位置合わせ用溝を有する基板および前記基板上に形
成され、導波路回路を有する導波路層からなる光導波路
本体と、前記位置合わせ用溝に載置され、被接続部材の
光ファイバおよび前記導波路回路を接続するための嵌合
ピンと、前記光導波路本体の被接続端部近傍にそれぞれ
配置され、前記嵌合ピンを押える２つの押え蓋部材とを
具備することを特徴とするガイド溝付光導波路を提供す
る。
状の位置合わせ用溝を有する基板および前記基板上に形
成され、導波路回路を有する導波路層からなる光導波路
本体と、前記位置合わせ用溝に載置され、被接続部材の
光ファイバおよび前記導波路回路を接続するための嵌合
ピンと、前記光導波路本体の被接続端部近傍にそれぞれ
配置され、前記嵌合ピンを押える２つの押え蓋部材とを
具備することを特徴とするガイド溝付光導波路を提供す
る。
【０００９】ここで、基板の材料としては、シリコン等
を用いることができる。
を用いることができる。
【００１０】導波路層を構成する材料としては、石英ガ
ラス等を用いることができる。また、導波路層を基板上
に形成する方法としては、火炎堆積法等を用いることが
できる。
ラス等を用いることができる。また、導波路層を基板上
に形成する方法としては、火炎堆積法等を用いることが
できる。
【００１１】位置合わせ用溝は、嵌合ピンを載置できる
断面形状を有していればよい。したがって、断面略Ｖ字
形状とは、断面Ｖ字だけでなく、断面台形状であっても
よい。
断面形状を有していればよい。したがって、断面略Ｖ字
形状とは、断面Ｖ字だけでなく、断面台形状であっても
よい。
【００１２】押え蓋部材の材料としては、金属、シリコ
ン、セラミック等を用いることができる。
ン、セラミック等を用いることができる。
【００１３】嵌合ピンの材料としては、金属、超硬合
金、セラミック等を用いることができる。
金、セラミック等を用いることができる。
【００１４】なお、被接続部材とは、ＭＴコネクタのよ
うな光ファイバを内挿した部材等を意味する。
うな光ファイバを内挿した部材等を意味する。
【００１５】
【作用】本発明のガイド溝付光導波路は、２つの押え蓋
部材を被接続端部近傍にそれぞれ配置している。このた
め、導波路層を形成する際に変形が生じた基板において
も嵌合ピンを確実に固定することができる。すなわち、
２つの押え蓋部材を用いているので、基板と押え蓋部材
は、被接続端部近傍において離れずに組み合わされる。
これにより、基板の変形に関係なく、両者により形成さ
れる空間内に嵌合ピンを固定することができる。したが
って、光導波路と光コネクタを接続する際に、光導波路
の導波路回路と光コネクタの光ファイバとの調心が正確
に行われる。
部材を被接続端部近傍にそれぞれ配置している。このた
め、導波路層を形成する際に変形が生じた基板において
も嵌合ピンを確実に固定することができる。すなわち、
２つの押え蓋部材を用いているので、基板と押え蓋部材
は、被接続端部近傍において離れずに組み合わされる。
これにより、基板の変形に関係なく、両者により形成さ
れる空間内に嵌合ピンを固定することができる。したが
って、光導波路と光コネクタを接続する際に、光導波路
の導波路回路と光コネクタの光ファイバとの調心が正確
に行われる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して具体
的に説明する。
的に説明する。
【００１７】図１は本発明のガイド溝付光導波路の一実
施例を示す概略図である。図中１０は、長さ２０mm、幅
８mm、厚さ１mmであるシリコン基板を示す。シリコン基
板１０上には、導波路層１１が形成されている。導波路
層１１には、導波路回路１２が形成されている。この導
波路回路１２は、シリコン基板１０上に石英を火炎堆積
法により約５０μｍ堆積させ、この石英をフォトリソグ
ラフィー法によりパターニングし、エッチングして形成
する。なお、導波路層１１を形成した後のシリコン基板
１０の変形（反り）、すなわち、両端部を接地した状態
で中央部が浮き上がる高さは、長さ２０mmに対して７μ
ｍである。
施例を示す概略図である。図中１０は、長さ２０mm、幅
８mm、厚さ１mmであるシリコン基板を示す。シリコン基
板１０上には、導波路層１１が形成されている。導波路
層１１には、導波路回路１２が形成されている。この導
波路回路１２は、シリコン基板１０上に石英を火炎堆積
法により約５０μｍ堆積させ、この石英をフォトリソグ
ラフィー法によりパターニングし、エッチングして形成
する。なお、導波路層１１を形成した後のシリコン基板
１０の変形（反り）、すなわち、両端部を接地した状態
で中央部が浮き上がる高さは、長さ２０mmに対して７μ
ｍである。
【００１８】また、シリコン基板１０には、断面が略Ｖ
字形状である２つの位置合わせ用溝１３が形成されてい
る。シリコン基板１０の２つの被接続端部１４近傍に
は、長さ５mm、幅８mmであり、シリコンからなる押え蓋
１５が載置され接着剤により固定されている。押え蓋１
５には、あらかじめ位置合わせ用溝１３に対応する位置
に凹部１６が形成されている。この位置合わせ用溝１３
と凹部１６により嵌合ピンが挿入される空間が形成され
る。
字形状である２つの位置合わせ用溝１３が形成されてい
る。シリコン基板１０の２つの被接続端部１４近傍に
は、長さ５mm、幅８mmであり、シリコンからなる押え蓋
１５が載置され接着剤により固定されている。押え蓋１
５には、あらかじめ位置合わせ用溝１３に対応する位置
に凹部１６が形成されている。この位置合わせ用溝１３
と凹部１６により嵌合ピンが挿入される空間が形成され
る。
【００１９】上記のような構成のガイド溝付光導波路で
は、２つの押え蓋１５は、シリコン基板１０の２つの被
接続端部１４近傍でシリコン基板１０と当接する。この
ため、押え蓋１５の両端部１５ａおよび１５ｂ、すなわ
ち長さ５mmにおいて位置合わせ用溝１３と凹部１６とに
より形成される空間のクリアランスの差が０．５μｍ以
下となり、ほぼ設計通りであり、嵌合ピンを確実に固定
することができた。
は、２つの押え蓋１５は、シリコン基板１０の２つの被
接続端部１４近傍でシリコン基板１０と当接する。この
ため、押え蓋１５の両端部１５ａおよび１５ｂ、すなわ
ち長さ５mmにおいて位置合わせ用溝１３と凹部１６とに
より形成される空間のクリアランスの差が０．５μｍ以
下となり、ほぼ設計通りであり、嵌合ピンを確実に固定
することができた。
【００２０】また、このガイド溝付光導波路を光コネク
タと光学的に接続したところ、正確に調心を行って接続
されたことが確認された。
タと光学的に接続したところ、正確に調心を行って接続
されたことが確認された。
【００２１】本実施例では、位置合わせ用溝と凹部とに
より形成される空間を、嵌合ピンがその空間に載置され
たときにクリアランスが生じるように設定しているが、
位置合わせ用溝の２つの溝側面と凹部の底面との３点で
嵌合ピンを固定する方法、および位置合わせ用溝と凹部
とにより形成される空間を、嵌合ピンの径をその空間よ
りも僅かに大きくし、さらに嵌合ピンの材料に弾性材料
を用いて、その空間に嵌合ピンを嵌入する方法を用いて
嵌合ピンを固定してもよい。
より形成される空間を、嵌合ピンがその空間に載置され
たときにクリアランスが生じるように設定しているが、
位置合わせ用溝の２つの溝側面と凹部の底面との３点で
嵌合ピンを固定する方法、および位置合わせ用溝と凹部
とにより形成される空間を、嵌合ピンの径をその空間よ
りも僅かに大きくし、さらに嵌合ピンの材料に弾性材料
を用いて、その空間に嵌合ピンを嵌入する方法を用いて
嵌合ピンを固定してもよい。
【００２２】
【発明の効果】以上説明した如く本発明のガイド溝付光
導波路は、光導波路本体の基板と押え蓋部材とにより形
成される空間に嵌合ピンを確実に固定し、導波路回路も
しくは光ファイバと正確に調心を行って接続することが
できるものである。
導波路は、光導波路本体の基板と押え蓋部材とにより形
成される空間に嵌合ピンを確実に固定し、導波路回路も
しくは光ファイバと正確に調心を行って接続することが
できるものである。
【図１】本発明のガイド溝付光導波路の一実施例を示す
概略図。
概略図。
【図２】従来のガイド溝付光導波路およびその接続の状
態を示す概略図。
態を示す概略図。
【図３】従来のガイド溝付光導波路を示す概略図。
【図４】（Ａ），（Ｂ）は、従来のガイド溝付光導波路
において位置合わせ用溝と押え蓋とにより形成される空
間と、嵌合ピンとの関係を説明するための図。
において位置合わせ用溝と押え蓋とにより形成される空
間と、嵌合ピンとの関係を説明するための図。
【図５】（Ａ）〜（Ｃ）は従来のガイド溝付光導波路に
おいて発生する変形を説明するための図。
おいて発生する変形を説明するための図。
１０…シリコン基板、１１…導波路層、１２…導波路回
路、１３…位置合わせ用溝、１４…被接続端部、１５…
押え蓋、１５ａ，１５ｂ…両端部、１６…凹部、２０…
位置合わせ用溝、２１…基板、２２…嵌合ピン、２３…
押え蓋、２４…導波路回路、２５…導波路層、２６…光
コネクタ。
路、１３…位置合わせ用溝、１４…被接続端部、１５…
押え蓋、１５ａ，１５ｂ…両端部、１６…凹部、２０…
位置合わせ用溝、２１…基板、２２…嵌合ピン、２３…
押え蓋、２４…導波路回路、２５…導波路層、２６…光
コネクタ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 史朗 東京都千代田区丸の内２丁目６番１号 古 河電気工業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 断面略Ｖ字形状の位置合わせ用溝を有す
る基板および前記基板上に形成され、導波路回路を有す
る導波路層からなる光導波路本体と、前記位置合わせ用
溝に載置され、被接続部材の光ファイバおよび前記導波
路回路を接続するための嵌合ピンと、前記光導波路本体
の被接続端部近傍にそれぞれ配置され、前記嵌合ピンを
押える２つの押え蓋部材とを具備することを特徴とする
ガイド溝付光導波路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4062552A JPH05264851A (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | ガイド溝付光導波路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4062552A JPH05264851A (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | ガイド溝付光導波路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05264851A true JPH05264851A (ja) | 1993-10-15 |
Family
ID=13203537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4062552A Pending JPH05264851A (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | ガイド溝付光導波路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05264851A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0718649A1 (en) * | 1994-12-23 | 1996-06-26 | ITALTEL SOCIETA ITALIANA TELECOMUNICAZIONI s.p.a. | Self-aligning coupling system between optical fibres and waveguides |
| JP6183529B1 (ja) * | 2016-11-24 | 2017-08-23 | 住友ベークライト株式会社 | 光導波路フィルムおよび光学部品 |
-
1992
- 1992-03-18 JP JP4062552A patent/JPH05264851A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0718649A1 (en) * | 1994-12-23 | 1996-06-26 | ITALTEL SOCIETA ITALIANA TELECOMUNICAZIONI s.p.a. | Self-aligning coupling system between optical fibres and waveguides |
| JP6183529B1 (ja) * | 2016-11-24 | 2017-08-23 | 住友ベークライト株式会社 | 光導波路フィルムおよび光学部品 |
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