JPH05256917A - 電子ビームテスタシステム - Google Patents
電子ビームテスタシステムInfo
- Publication number
- JPH05256917A JPH05256917A JP3295350A JP29535091A JPH05256917A JP H05256917 A JPH05256917 A JP H05256917A JP 3295350 A JP3295350 A JP 3295350A JP 29535091 A JP29535091 A JP 29535091A JP H05256917 A JPH05256917 A JP H05256917A
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- Withdrawn
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 17
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】電子ビームテスタで半導体装置の故障解析を実
施する際、良品と不良品との電位分布像を比較して行う
が、その為には毎回真空系から被測定半導体装置を出し
入れせねばならず、解析に時間を要する。 【構成】本発明は二つの真空系１，６及び二つの電子ビ
ーム系２，７を有し、それぞれの２次電子検出器出力信
号１１，１２の差分を取り差分出力信号１３を生成し、
画像処理装置１７のＣＲＴに差分画像を表示する。 【効果】本発明により、実時間で二つの被測定半導体装
置の電位分布像の差分画像が観察可能になり、解析時間
を短縮できる効果がある。
施する際、良品と不良品との電位分布像を比較して行う
が、その為には毎回真空系から被測定半導体装置を出し
入れせねばならず、解析に時間を要する。 【構成】本発明は二つの真空系１，６及び二つの電子ビ
ーム系２，７を有し、それぞれの２次電子検出器出力信
号１１，１２の差分を取り差分出力信号１３を生成し、
画像処理装置１７のＣＲＴに差分画像を表示する。 【効果】本発明により、実時間で二つの被測定半導体装
置の電位分布像の差分画像が観察可能になり、解析時間
を短縮できる効果がある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子ビームテスタにか
し、特に実時間差分画像電子ビームテスタシステムに関
する。
し、特に実時間差分画像電子ビームテスタシステムに関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来の電子ビームテスタは図２に示す様
に真空系１、電子銃２、ＸＹステージ５、２次電子検出
器３、電子ビームパルス発生器１５、画像信号処理装置
１７、被測定半導体装置４、ＬＳＩテスタ２０を有して
いる。
に真空系１、電子銃２、ＸＹステージ５、２次電子検出
器３、電子ビームパルス発生器１５、画像信号処理装置
１７、被測定半導体装置４、ＬＳＩテスタ２０を有して
いる。
【０００３】次に動作について説明する。ＬＳＩテスタ
２０により被測定半導体装置４を動作させ、同時にＬＳ
Ｉテスタ２０からのトリガ信号１６と同期してパルス電
子ビームを被測定半導体装置４のチップ表面に走査し、
放出された２次電子を２次電子検出器３で検出して画像
信号処理装置１７で電位分布像をＣＲＴ上に表示させ
る。
２０により被測定半導体装置４を動作させ、同時にＬＳ
Ｉテスタ２０からのトリガ信号１６と同期してパルス電
子ビームを被測定半導体装置４のチップ表面に走査し、
放出された２次電子を２次電子検出器３で検出して画像
信号処理装置１７で電位分布像をＣＲＴ上に表示させ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来の電子ビーム
テスタでは、半導体装置の故障解析において、良品の電
位分布像と不良品の電位分布像を比較する際、一回一回
被測定半導体装置を真空系から出し入れして、良品と不
良品の電位分布像をそれぞれ写真かメモリ上に記録して
比較を行わなければならないため、解析に時間を要する
というような問題点があった。
テスタでは、半導体装置の故障解析において、良品の電
位分布像と不良品の電位分布像を比較する際、一回一回
被測定半導体装置を真空系から出し入れして、良品と不
良品の電位分布像をそれぞれ写真かメモリ上に記録して
比較を行わなければならないため、解析に時間を要する
というような問題点があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の電子ビームテス
タシステムは、図１に示すように、二つの真空系１，６
及び二つの電子ビーム系２，７を有し、それぞれのパル
ス電子ビームをＬＳＩテスタ２０と同期させて同一周
期、同一パルス幅で走査させてそれぞれの２次電子検出
器３，８からの検出器出力信号１１，１２を差動増幅器
１４により差分を取って差分出力信号１３を生成し、実
時間で二つの被測定半導体装置４，９の電位分布像の差
分画像が観察可能な画像信号処理装置１７を備えてい
る。
タシステムは、図１に示すように、二つの真空系１，６
及び二つの電子ビーム系２，７を有し、それぞれのパル
ス電子ビームをＬＳＩテスタ２０と同期させて同一周
期、同一パルス幅で走査させてそれぞれの２次電子検出
器３，８からの検出器出力信号１１，１２を差動増幅器
１４により差分を取って差分出力信号１３を生成し、実
時間で二つの被測定半導体装置４，９の電位分布像の差
分画像が観察可能な画像信号処理装置１７を備えてい
る。
【０００６】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例の電子ビームテスタシステ
ムのブロック図である。二つの独立した真空系１，６は
同一の構造であり、同一の電子銃２，７、２次電子検出
器３，８、ＸＹステージが設けてあり、かつテストパタ
ーン信号１９、電子ビームパルス発生器１５、ＸＹステ
ージコントロール信号１８は共通に用いている。例えば
被測定半導体装置４に不良品サンプルを被測定半導体装
置９に良品サンプルを用いて両者を比較しながら半導体
装置の故障解析を実施する際、ＬＳＩテスタ２０のテス
トパタン信号１９により二つの被測定半導体装置を並列
に動作させながらトリガ信号１６に同期したパルス電子
ビームを照射し、試料表面から放出される２次電子をそ
れぞれの２次電子検出器３，８で検出し、その検出器出
力信号１１，１２の差分を差動増幅器１４によって取
り、その差分出力１３を画像信号処理装置１７のＣＲＴ
上に差分電位分布像として表示する。
る。図１は本発明の一実施例の電子ビームテスタシステ
ムのブロック図である。二つの独立した真空系１，６は
同一の構造であり、同一の電子銃２，７、２次電子検出
器３，８、ＸＹステージが設けてあり、かつテストパタ
ーン信号１９、電子ビームパルス発生器１５、ＸＹステ
ージコントロール信号１８は共通に用いている。例えば
被測定半導体装置４に不良品サンプルを被測定半導体装
置９に良品サンプルを用いて両者を比較しながら半導体
装置の故障解析を実施する際、ＬＳＩテスタ２０のテス
トパタン信号１９により二つの被測定半導体装置を並列
に動作させながらトリガ信号１６に同期したパルス電子
ビームを照射し、試料表面から放出される２次電子をそ
れぞれの２次電子検出器３，８で検出し、その検出器出
力信号１１，１２の差分を差動増幅器１４によって取
り、その差分出力１３を画像信号処理装置１７のＣＲＴ
上に差分電位分布像として表示する。
【０００７】本発明の電子ビームテスタシステムによ
り、良品と不良品の電位分布像を実時間で差分画像とし
て観察可能となり、半導体装置の故障解析時間を非常に
短縮できる。
り、良品と不良品の電位分布像を実時間で差分画像とし
て観察可能となり、半導体装置の故障解析時間を非常に
短縮できる。
【０００８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、二つの真
空系及び二つの電子ビーム系を有し、それぞれのパルス
の電子ビームをＬＳＩテスタと同期させて同一周期・同
一パルス幅で操作させてそれぞれの２次電子検出器から
の出力信号の差分を取ることにより実時間で二つの被測
定半導体装置の電位分布像の差分画像観察可能となり、
半導体装置の故障解析の時間を短縮できるという効果が
ある。
空系及び二つの電子ビーム系を有し、それぞれのパルス
の電子ビームをＬＳＩテスタと同期させて同一周期・同
一パルス幅で操作させてそれぞれの２次電子検出器から
の出力信号の差分を取ることにより実時間で二つの被測
定半導体装置の電位分布像の差分画像観察可能となり、
半導体装置の故障解析の時間を短縮できるという効果が
ある。
【図１】本発明の一実施例のブロック図。
【図２】従来技術のブロック図。
１ 真空系 ２ 電子銃 ３ ２次電子検出器 ４ 被測定半導体装置 ５ ＸＹステージ ６ 真空系 ７ 電子銃 ８ ２次電子検出器 ９ 被測定半導体装置 １０ ＸＹステージ １１ 検出器出力 １２ 検出器出力 １３ 差分出力 １４ 差動増幅器 １５ 電子ビームパルス発生器 １６ トリガ信号 １７ 画像信号処理装置 １８ ＸＹステージコントロール信号 １９ テストパタン信号 ２０ ＬＳＩテスタ
Claims (1)
- 【請求項１】 電子ビーム系、２次電子検出器、被測定
試料を載置するＸＹステージを内包した真空系と、電子
ビームパルス発生器と、ＬＳＩテスタと、画像信号処理
装置とを備えた電子ビームテスタシステムにおいて、前
記真空系を２つ備え、それぞれの真空系のパルス電子ビ
ームをＬＳＩテスタと同期させて同一周期・同一パルス
幅で非測定試料表面上を走査させてそれぞれの２次電子
検出器からの出力信号の差分を取り、この差分出力を画
像信号処理装置により２つの被測定試料の電位分布像の
差分画像として表示することを特徴とする電子ビームテ
スタシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3295350A JPH05256917A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | 電子ビームテスタシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3295350A JPH05256917A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | 電子ビームテスタシステム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05256917A true JPH05256917A (ja) | 1993-10-08 |
Family
ID=17819473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3295350A Withdrawn JPH05256917A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | 電子ビームテスタシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05256917A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6815960B2 (en) | 2001-08-27 | 2004-11-09 | Seiko Epson Corporation | Electron beam test system and electron beam test method |
-
1991
- 1991-11-12 JP JP3295350A patent/JPH05256917A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6815960B2 (en) | 2001-08-27 | 2004-11-09 | Seiko Epson Corporation | Electron beam test system and electron beam test method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990204 |