JPH05254089A - スクリーン印刷機 - Google Patents
スクリーン印刷機Info
- Publication number
- JPH05254089A JPH05254089A JP4054813A JP5481392A JPH05254089A JP H05254089 A JPH05254089 A JP H05254089A JP 4054813 A JP4054813 A JP 4054813A JP 5481392 A JP5481392 A JP 5481392A JP H05254089 A JPH05254089 A JP H05254089A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- printing
- screen
- printing machine
- damage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Screen Printers (AREA)
- Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】スクリーンマスクの破損をいち早く検出する装
置を設け、アラームの発信もしくは印刷動作の停止など
を自動的に行なうための一連の装置を設ける。 【効果】スクリーン印刷機の移動中におけるスクリーン
マスクの破損を早期に検出することができる。また、量
産中の不適正なパターンの印刷を最少限にとどめ、良品
歩留り率が向上する。
置を設け、アラームの発信もしくは印刷動作の停止など
を自動的に行なうための一連の装置を設ける。 【効果】スクリーン印刷機の移動中におけるスクリーン
マスクの破損を早期に検出することができる。また、量
産中の不適正なパターンの印刷を最少限にとどめ、良品
歩留り率が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高精細厚膜ハイブリッド
ＩＣ用のスクリーン印刷機に係り、特に、スクリーンマ
スク破損による印刷作業の失敗を最小限にくい止めるこ
とが可能な、スクリーン印刷機に関する。
ＩＣ用のスクリーン印刷機に係り、特に、スクリーンマ
スク破損による印刷作業の失敗を最小限にくい止めるこ
とが可能な、スクリーン印刷機に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の印刷機の構造は基本的に、スクリ
ーンマスク，ステージ及びスキージによって構成される
ことが「新しいスクリーン印刷技術とその高精度化・各
種トラブル対策」：ソフト技研出版部、１９８６年１０
月６日発行に示されている。
ーンマスク，ステージ及びスキージによって構成される
ことが「新しいスクリーン印刷技術とその高精度化・各
種トラブル対策」：ソフト技研出版部、１９８６年１０
月６日発行に示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この印刷機では、例え
ば電子部品の量産工程において、自動化ラインでの印刷
作業中にマスクの破損が発生した場合、その破損の早期
検知が難しく、不適正なパターンを多量に印刷してしま
い、製品の歩留りが極端に悪くなるという問題点があっ
た。
ば電子部品の量産工程において、自動化ラインでの印刷
作業中にマスクの破損が発生した場合、その破損の早期
検知が難しく、不適正なパターンを多量に印刷してしま
い、製品の歩留りが極端に悪くなるという問題点があっ
た。
【０００４】本発明の目的は、第一段階として、スクリ
ーン印刷機の稼働中におけるスクリーンマスクの破損を
早期に検出することである。また、第二段階として、前
記スクリーンマスクの破損早期検出情報を用いて、量産
中の不適正なパターンの印刷を最少限にとどめ、良品歩
留り率の向上に寄与するものである。
ーン印刷機の稼働中におけるスクリーンマスクの破損を
早期に検出することである。また、第二段階として、前
記スクリーンマスクの破損早期検出情報を用いて、量産
中の不適正なパターンの印刷を最少限にとどめ、良品歩
留り率の向上に寄与するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の手段として、本発明は、その第一段階としてスクリー
ンマスクの破損をいち早く検出する装置を設け、第二段
階として、アラームの発信もしくは印刷動作の停止など
を自動的に行なうための装置を設けたものである。
の手段として、本発明は、その第一段階としてスクリー
ンマスクの破損をいち早く検出する装置を設け、第二段
階として、アラームの発信もしくは印刷動作の停止など
を自動的に行なうための装置を設けたものである。
【０００６】スクリーンマスクの破損検知装置は、レー
ザ光線によるマスク形状破損検知センサを用い、光学的
にマスクの破損を検知するようにした。この時スクリー
ンマスクのメッシュを構成する素線の一部に、少なくと
も一本の透光性光ファイバを用いた。また別のマスク破
損検知装置として、スクリーンマスクのテンションを測
定するための圧力センサ、または印刷されたパターンが
正常か否かを判定できるパターン認識装置を用いた。
ザ光線によるマスク形状破損検知センサを用い、光学的
にマスクの破損を検知するようにした。この時スクリー
ンマスクのメッシュを構成する素線の一部に、少なくと
も一本の透光性光ファイバを用いた。また別のマスク破
損検知装置として、スクリーンマスクのテンションを測
定するための圧力センサ、または印刷されたパターンが
正常か否かを判定できるパターン認識装置を用いた。
【０００７】
【作用】従来の印刷機の構造は基本的に、スクリーンマ
スク，ステージ及びスキージによって構成されている。
通常、電子部品の量産工程では、印刷回数が増えること
によりスクリーンマスクの破損が生じる確率が高くな
る。スクリーンマスクが破損すると、適正なパターンの
形成が困難となり、その結果、基板の損失が増大したり
するなどの弊害を生じる。本発明による印刷機は、スク
リーンマスクの破損を生じた場合、まず、その第一段階
として、破損検知装置がその破損を早期に検知する。さ
らに、その検知情報を受けて、一連の印刷動作の自動的
な停止もしくはアラームの発信により適切な対応を可能
にする。
スク，ステージ及びスキージによって構成されている。
通常、電子部品の量産工程では、印刷回数が増えること
によりスクリーンマスクの破損が生じる確率が高くな
る。スクリーンマスクが破損すると、適正なパターンの
形成が困難となり、その結果、基板の損失が増大したり
するなどの弊害を生じる。本発明による印刷機は、スク
リーンマスクの破損を生じた場合、まず、その第一段階
として、破損検知装置がその破損を早期に検知する。さ
らに、その検知情報を受けて、一連の印刷動作の自動的
な停止もしくはアラームの発信により適切な対応を可能
にする。
【０００８】破損検知装置の動作について、実施例を用
いて説明する。
いて説明する。
【０００９】
〈実施例１〉図１（ａ）〜（ｃ）に本発明の１実施例を
示す。この図は本発明によるスクリーン印刷機の基本的
な構造及び動作原理を示している。
示す。この図は本発明によるスクリーン印刷機の基本的
な構造及び動作原理を示している。
【００１０】印刷機の基本的な構造はスクリーンマスク
１，ステージ２及びスキージ３によって構成される。印
刷動作は、ステージ２上にセットされた被印刷体である
基板４に所定の形状にパターン形成されたスクリーンマ
スク１を重ね、その上にペースト５を準備し、スキージ
３を摺動させることによって、基板４上に所定のパター
ンを印刷する。
１，ステージ２及びスキージ３によって構成される。印
刷動作は、ステージ２上にセットされた被印刷体である
基板４に所定の形状にパターン形成されたスクリーンマ
スク１を重ね、その上にペースト５を準備し、スキージ
３を摺動させることによって、基板４上に所定のパター
ンを印刷する。
【００１１】まず、図１（ａ）に示すように、スクリー
ン印刷機を用いて、基板４にパターンを印刷する動作の
前に、印刷機の一部に固定された、レーザ発信装置６及
びレーザ受信装置７からなるマスク破損検知装置によっ
て、スクリーンマスク１が正常であることを確認する。
マスクの異常がないことを確認した後、レーザ光線８を
止めて、図１（ｂ）に示すように、スキージ３を摺動し
て印刷を開始する。同様の動作を繰り返すことにより、
所定数の印刷を行なう。所定数の印刷を終了する前にマ
スク破損が生じた場合には、図１（ｃ）に示すように、
レーザ光線８が受信装置７に届かないことによってマス
クの破損を検知することができた。更に、この検知信号
を受けて自動的に印刷機，印刷動作を停止し、アラーム
を発するようにした。これにより、スクリーンマスク１
の破損を早期に検出することができ、量産中の不適正な
パターンの印刷を最小限にとどめることができ、良品歩
留り率が大幅に向上した。
ン印刷機を用いて、基板４にパターンを印刷する動作の
前に、印刷機の一部に固定された、レーザ発信装置６及
びレーザ受信装置７からなるマスク破損検知装置によっ
て、スクリーンマスク１が正常であることを確認する。
マスクの異常がないことを確認した後、レーザ光線８を
止めて、図１（ｂ）に示すように、スキージ３を摺動し
て印刷を開始する。同様の動作を繰り返すことにより、
所定数の印刷を行なう。所定数の印刷を終了する前にマ
スク破損が生じた場合には、図１（ｃ）に示すように、
レーザ光線８が受信装置７に届かないことによってマス
クの破損を検知することができた。更に、この検知信号
を受けて自動的に印刷機，印刷動作を停止し、アラーム
を発するようにした。これにより、スクリーンマスク１
の破損を早期に検出することができ、量産中の不適正な
パターンの印刷を最小限にとどめることができ、良品歩
留り率が大幅に向上した。
【００１２】図１の実施例では、スクリーンマスク１の
下面に検知装置を設けた例について示したが、この検知
装置はスクリーンマスク１の上面、もしくは上，下両面
に設けても良い。
下面に検知装置を設けた例について示したが、この検知
装置はスクリーンマスク１の上面、もしくは上，下両面
に設けても良い。
【００１３】〈実施例２〉図２（ａ）〜（ｂ）に本発明
の他の実施例を示す。
の他の実施例を示す。
【００１４】図２（ａ）に示すように、スクリーン印刷
機を用いて、基板４にパターンを印刷する動作の前に、
印刷機のスキージ３の一部に固定された、スクリーンマ
スク１のテンションを測定するための圧力センサ９から
なるマスク破損検知装置によって、スクリーンマスク１
のテンションが正常であることを確認し、印刷を開始す
る。同様の動作を繰り返すことにより、所定数の印刷を
行なう。所定数の印刷を終了する前にマスク破損が生じ
た場合には、図２（ｂ）に示すように、スクリーンマス
ク１のテンションが正常な状態とは著しく異なることに
よってマスクの破損を検知することができた。更に、こ
の検知信号を受けて自動的に印刷機，印刷動作を停止
し、もしくはアラームを発するようにした。
機を用いて、基板４にパターンを印刷する動作の前に、
印刷機のスキージ３の一部に固定された、スクリーンマ
スク１のテンションを測定するための圧力センサ９から
なるマスク破損検知装置によって、スクリーンマスク１
のテンションが正常であることを確認し、印刷を開始す
る。同様の動作を繰り返すことにより、所定数の印刷を
行なう。所定数の印刷を終了する前にマスク破損が生じ
た場合には、図２（ｂ）に示すように、スクリーンマス
ク１のテンションが正常な状態とは著しく異なることに
よってマスクの破損を検知することができた。更に、こ
の検知信号を受けて自動的に印刷機，印刷動作を停止
し、もしくはアラームを発するようにした。
【００１５】〈実施例３〉図３に本発明の他の実施例を
示す。
示す。
【００１６】スクリーン印刷機を用いて、基板４にパタ
ーンを印刷した後に、印刷機の一部に固定された、印刷
されたパターンを撮影するためのカメラ１０，パターン
が正常か否かを判定するためのパターン認識装置１１か
らなるマスク破損検知装置によって、印刷されたパター
ン１２を確認する。予めインプットされたパターン認識
情報との対照によって、印刷されたパターン１２が正常
であることを確認し、次の印刷動作を開始する。同様の
動作を繰り返すことにより、所定数の印刷を行なう。所
定数の印刷を終了する前にマスク破損が生じた場合に
は、印刷されたパターン１２が正常でないことを発見す
ることによってマスクの破損を検知することができた。
更に、この検知信号を受けて自動的に印刷機の動作を停
止し、もしくはアラームを発するようにした。
ーンを印刷した後に、印刷機の一部に固定された、印刷
されたパターンを撮影するためのカメラ１０，パターン
が正常か否かを判定するためのパターン認識装置１１か
らなるマスク破損検知装置によって、印刷されたパター
ン１２を確認する。予めインプットされたパターン認識
情報との対照によって、印刷されたパターン１２が正常
であることを確認し、次の印刷動作を開始する。同様の
動作を繰り返すことにより、所定数の印刷を行なう。所
定数の印刷を終了する前にマスク破損が生じた場合に
は、印刷されたパターン１２が正常でないことを発見す
ることによってマスクの破損を検知することができた。
更に、この検知信号を受けて自動的に印刷機の動作を停
止し、もしくはアラームを発するようにした。
【００１７】〈実施例４〉図４に本発明の他の実施例を
示す。
示す。
【００１８】スクリーンマスク１のメッシュを構成する
素線の一部に組み込まれた透光性の光ファイバ１３，発
光源１４及び印刷機の一部に固定された光ファイバの受
信装置１５からなるマスク破損検知装置によって、スク
リーンマスク１が正常であることを確認する。マスクの
異常がないことを確認し、印刷動作を開始する。同様の
動作を繰り返すことにより、所定数の印刷を行なう。所
定数の印刷を終了する前にマスク破損が生じた場合に
は、光ファイバが受信装置１５に光が届かないことによ
ってマスクの破損を検知することができた。更に、この
検知信号を受けて自動的に印刷機，印刷動作を停止し、
アラームを発するようにした。
素線の一部に組み込まれた透光性の光ファイバ１３，発
光源１４及び印刷機の一部に固定された光ファイバの受
信装置１５からなるマスク破損検知装置によって、スク
リーンマスク１が正常であることを確認する。マスクの
異常がないことを確認し、印刷動作を開始する。同様の
動作を繰り返すことにより、所定数の印刷を行なう。所
定数の印刷を終了する前にマスク破損が生じた場合に
は、光ファイバが受信装置１５に光が届かないことによ
ってマスクの破損を検知することができた。更に、この
検知信号を受けて自動的に印刷機，印刷動作を停止し、
アラームを発するようにした。
【００１９】本実施例の発光源は通常の可視光線の他レ
ーザ光線などであって良い。
ーザ光線などであって良い。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、スクリーン印刷機の稼
働中のスクリーンマスクの破損を早期に検出することが
できる。また、スクリーンマスクの破損早期検出によっ
て、量産中の不適正なパターンの印刷を最少限にとど
め、良品歩留り率の向上に寄与することができる。
働中のスクリーンマスクの破損を早期に検出することが
できる。また、スクリーンマスクの破損早期検出によっ
て、量産中の不適正なパターンの印刷を最少限にとど
め、良品歩留り率の向上に寄与することができる。
【００２１】なお、実施例として、厚膜ハイブリッドＩ
Ｃ用の印刷の例を示したが、本発明は雑誌，ポスタの印
刷など一般の他の印刷分野でも利用することができる。
Ｃ用の印刷の例を示したが、本発明は雑誌，ポスタの印
刷など一般の他の印刷分野でも利用することができる。
【図１】本発明の実施例１によるスクリーン印刷機の構
造及び動作原理を示す断面図。
造及び動作原理を示す断面図。
【図２】本発明の実施例２によるスクリーン印刷機の構
造及び動作原理を示す断面図。
造及び動作原理を示す断面図。
【図３】本発明の実施例３によるスクリーン印刷機の動
作原理を示す説明図。
作原理を示す説明図。
【図４】本発明の実施例４によるスクリーン印刷機の動
作原理を示す説明図。
作原理を示す説明図。
１…スクリーンマスク、２…ステージ、３…スキージ、
４…基板、５…ペースト、６…レーザ発信装置、７…レ
ーザ受信装置、８…レーザ光線。
４…基板、５…ペースト、６…レーザ発信装置、７…レ
ーザ受信装置、８…レーザ光線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長谷川 満 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社日 立製作所日立研究所内 (72)発明者 加藤 修治 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社日 立製作所日立研究所内
Claims (5)
- 【請求項１】スクリーンマスクを用いる印刷機におい
て、印刷作業時におけるマスクの破損検知装置を具備
し、マスクの破損を検知した時に印刷動作の停止もしく
はアラームを発する機能を備えたことを特徴とするスク
リーン印刷機。 - 【請求項２】請求項１において、前記マスク破損検知装
置として、レーザ光線によるマスク形状破損検知センサ
を用い、光学的にマスクの破損を検知するスクリーン印
刷機。 - 【請求項３】請求項１において、前記マスク破損検知装
置として、前記スクリーンマスクのテンションを測定す
るための圧力センサを具備したスクリーン印刷機。 - 【請求項４】請求項１において、前記マスク破損検知装
置として、印刷されたパターンが正常か否かを判定でき
るパターン認識装置を具備したスクリーン印刷機。 - 【請求項５】請求項２において、前記マスク破損検知セ
ンサとして、前記スクリーンマスクのメッシュを構成す
る素線の一部に、少なくとも一本の透光性光ファイバを
用いたスクリーン印刷機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4054813A JPH05254089A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | スクリーン印刷機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4054813A JPH05254089A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | スクリーン印刷機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05254089A true JPH05254089A (ja) | 1993-10-05 |
Family
ID=12981148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4054813A Pending JPH05254089A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | スクリーン印刷機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05254089A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0884183A2 (fr) * | 1997-06-12 | 1998-12-16 | Saint-Gobain Vitrage | Equipement de surveillance dans un dispositif automatique de sérigraphie |
| JP2011189673A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Panasonic Corp | スクリーン印刷機及びスクリーン印刷機におけるマスクのテンション計測方法 |
-
1992
- 1992-03-13 JP JP4054813A patent/JPH05254089A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0884183A2 (fr) * | 1997-06-12 | 1998-12-16 | Saint-Gobain Vitrage | Equipement de surveillance dans un dispositif automatique de sérigraphie |
| EP0884183A3 (fr) * | 1997-06-12 | 1999-05-26 | Saint-Gobain Vitrage | Equipement de surveillance dans un dispositif automatique de sérigraphie |
| JP2011189673A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Panasonic Corp | スクリーン印刷機及びスクリーン印刷機におけるマスクのテンション計測方法 |
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