JPH0524956A - 高密度繊維強化複合材料の製造装置および製造方法 - Google Patents

高密度繊維強化複合材料の製造装置および製造方法

Info

Publication number
JPH0524956A
JPH0524956A JP18617591A JP18617591A JPH0524956A JP H0524956 A JPH0524956 A JP H0524956A JP 18617591 A JP18617591 A JP 18617591A JP 18617591 A JP18617591 A JP 18617591A JP H0524956 A JPH0524956 A JP H0524956A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
composite material
reinforced composite
porous fiber
gas
reaction tube
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP18617591A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0672070B2 (ja
Inventor
Masatake Sakagami
正剛 阪上
Koichi Iwata
幸一 岩田
Makoto Kawase
誠 川瀬
Tomoyuki Wakamatsu
智之 若松
Masafumi Ajiri
雅文 阿尻
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP18617591A priority Critical patent/JPH0672070B2/ja
Publication of JPH0524956A publication Critical patent/JPH0524956A/ja
Publication of JPH0672070B2 publication Critical patent/JPH0672070B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Porous Artificial Stone Or Porous Ceramic Products (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 多孔質繊維強化複合材料の表面上への煤の付
着を防止し、多孔質繊維強化複合材料の内部まで十分に
低気孔率化を行なうことのできる高密度繊維強化複合材
料の製造装置および製造方法を提供する。 【構成】 反応管11内に配置された多数の粒子18
は、ガス導入口からガス排出口に向かって流れるガスの
圧力によって押上げられて浮遊し、反応管11内に固定
された多孔質繊維強化複合材料13に衝突する。この状
態で、CVI法によって多孔質繊維強化複合材料の気孔
内にマトリックスを形成する。浮遊する多数の粒子は、
多孔質繊維強化複合材料の表面への煤の付着を防止し、
さらに気孔が煤によって閉塞されるのを防止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、高密度繊維強化複合
材料の製造装置および製造方法に関するものであり、よ
り特定的には、CVI法によって多孔質繊維強化複合材
料の気孔内にマトリックスを形成することによって、多
孔質繊維強化複合材料の低気孔率化を行なう高密度繊維
強化複合材料の製造装置および製造方法に関するもので
ある。高密度繊維強化複合材料は、スペースシャトルの
外壁および核融合炉の第1壁のような耐熱構造材やブレ
ーキ摩擦材などに利用されている。
【0002】
【従来の技術】高気孔率の繊維強化複合材料を低気孔率
化する技術としては、たとえば、炭素繊維強化炭素複合
材料の場合、「炭素繊維産業」(森田健一著、近代編集
社)p176〜178に記載されているように、樹脂
(ピッチ)含浸法、CVD(Chemical Vapor Depositio
n )法、加圧含浸炭化法などがある。これらの方法で
は、複合材料基材へのマトリックス原料の浸透に限界が
ある。複合材料基材の表面層近傍においては、マトリッ
クス原料の含浸により低気孔率化が図れるが、深奥部に
おいては、マトリックス原料が浸透しにくく高気孔率の
まま残ることがある。複合材料基材の深奥部までマトリ
ックス原料を浸透させるために、たとえば、樹脂含浸法
では、低粘度の樹脂を用いることも考えられる。しか
し、低粘度の樹脂は、炭化させたときの歩留りが悪く、
全体的には低気孔率化を実現することができない。
【0003】近年注目されている低気孔率化技術が、C
eram.Eng.SCI.PROC.Vol.6.p
694〜p706(1985)に開示されている。この
文献に開示された方法では、CVI法(Chemica
l Vapor Infiltration)によっ
て、マトリックスが炭素またはセラミックス(SiC、
Si3 4 、SiO2 、TiC、Al2 3 、B4 C、
TiN、BN等)である多孔質繊維強化複合材料の気孔
内にマトリックスを形成することによって、多孔質繊維
強化複合材料の低気孔率化を行なっている。
【0004】図1は、上記文献に開示された高密度繊維
強化複合材料の製造装置の図解的断面図である。図示す
る装置は、ガス導入口とガス排出口とを有する反応管1
と、反応管1を加熱するヒータ4とを備えている。反応
管1の内壁面には、ホルダ2の媒介によって、多孔質繊
維強化複合材料3が保持されている。ガス導入口から反
応管1内に導入された反応ガスおよびキャリアガスは、
多孔質繊維強化複合材料3を通過した後、ガス排出口か
ら外部へ排出される。
【0005】図2は、多孔質繊維強化複合材料3の気孔
5内にマトリックス6を形成している様子を示す図解的
拡大断面図である。マトリックス6の原料となる反応ガ
スとしてメチルトリクロロシランガス(CH3 Cl3
i)が使用され、反応ガスの濃度を調整するためのキャ
リアガスとして水素ガス(H2 )が使用される。この場
合、下記の反応式によって、メチルトリクロロシランガ
スがシリコンカーバイドおよび塩化水素に分解し、シリ
コンカーバイドは図2に示すように、多孔質繊維強化複
合材料3の気孔5内にマトリックス6として堆積され
る。
【0006】 CH3 Cl3 Si+H2 →SiC+3HCl+H2
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記反応式に見られる
ようなメチルトリクロロシランガスの分解は、主とし
て、メチルトリクロロシランガスの分子が多孔質繊維強
化複合材料3に衝突するときに起こる。これに加えて、
気相中で反応ガスの分子同士が衝突した場合にもメチル
トリクロロシランガスの分解が起こる。気相中で発生し
た分解生成物は煤7として浮遊し、多孔質繊維強化複合
材料3の表面上に付着する。その結果、多孔質繊維強化
複合材料3の表面に露出している気孔5の開孔部が煤7
によって覆われてしまい、その口径が小さくなってしま
う。そのために、反応ガスと多孔質繊維強化複合材料3
との衝突によって生ずる反応ガスの分解は、主として、
多孔質繊維強化複合材料3の表面で起こるようになる。
言換えれば、多孔質繊維強化複合材料3の表面でのみマ
トリックス6の形成が行なわれ、多孔質繊維強化複合材
料3の内部でのマトリックスの形成が起こりにくくな
る。
【0008】多孔質繊維強化複合材料3の内部の気孔内
にまでマトリックス6を十分に形成するためには、多孔
質繊維強化複合材料3の表面に付着した煤7の層を間欠
的にかき落とさなければならない。そのような余分な工
程を備えることは、製造効率上好ましくない。
【0009】この発明の目的は、多孔質繊維強化複合材
料の表面上への煤の付着を防止し、多孔質繊維強化複合
材料の内部まで十分に低気孔率化を行なうことのできる
高密度繊維強化複合材料の製造装置を提供することであ
る。
【0010】この発明の他の目的は、多孔質繊維強化複
合材料の表面上への煤の付着を防止し、効率的な低気孔
率化を行なうことのできる高密度繊維強化複合材料の製
造方法を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】この発明に従った高密度
繊維強化複合材料の製造装置は、CVI法によって多孔
質繊維強化複合材料の気孔内にマトリックスを形成する
ことによって、多孔質繊維強化複合材料の低気孔率化を
行なうものであって、反応管と、ガス供給手段と、加熱
手段と、多数の粒子と、保持手段とを備える。反応管
は、ガス導入口とガス排出口とを有している。ガス供給
手段は、ガス導入口を通して反応管内にマトリックスの
原料となる反応ガスとキャリアガスとを供給する。加熱
手段は、反応管を加熱する。多数の粒子は、反応管内に
配置され、ガス導入口からガス排出口に向かって流れる
ガスの圧力によって押上げられて浮遊する。保持手段
は、多孔質繊維強化複合材料を、反応管内の粒子の浮遊
領域に位置させるように保持する。
【0012】この発明に従った高密度繊維強化複合材料
の製造方法は、CVI法によって多孔質繊維強化複合材
料の気孔内にマトリックスを形成することによって、多
孔質繊維強化複合材料の低気孔率化を行なうものであっ
て、下記の工程を備える。
【0013】a.ガス導入口とガス排出口とを有する反
応管内に多孔質繊維強化複合材料を配置する工程。
【0014】b.反応管内に多数の粒子を配置する工
程。 c.ガス導入口を通して反応管内にマトリックスの原料
となる反応ガスとキャリアガスとを導入する工程。
【0015】d.ガス導入口からガス排出口に向かって
流れるガスの圧力によって多数の粒子を押上げて浮遊さ
せる工程。
【0016】e.浮遊する粒子と多孔質繊維強化複合材
料とを衝突させながら、多孔質繊維強化複合材料の気孔
内にマトリックスを形成する工程。
【0017】
【発明の作用効果】この発明によれば、次のような作用
効果が得られる。
【0018】反応ガスの分子同士の衝突によって気相中
で煤が発生するが、この煤の一部は浮遊する粒子の表面
に付着する。そのため、多孔質繊維強化複合材料の表面
上に付着する煤の量は、図1および図2を参照して説明
したような従来の装置および方法に比べて、少なくな
る。さらに、浮遊する粒子は、常に、多孔質繊維強化複
合材料の表面に衝突するので、多孔質繊維強化複合材料
の表面上に付着した煤は衝突粒子によってかき落とされ
る。こうして、多孔質繊維強化複合材料の表面上への煤
の付着を防止し、多孔質繊維強化複合材料の内部まで低
気孔率化を効率よく行なうことができる。
【0019】
【実施例】図3に図示されている高密度繊維強化複合材
料の製造装置は、ガス導入口とガス排出口とを有する反
応管11と、この反応管11を加熱するヒータ14と、
を備えている。反応管11の内壁面には、ホルダ12の
媒介によって多孔質繊維強化複合材料13が固定保持さ
れている。反応管11内には、さらに、固定部材20、
多数のボール19および多数の粒子18が配置されてい
る。固定部材20は、ガスの通過を許容するたとえば発
泡金属から作られており、反応管11の内壁に固定され
る。ボール19はたとえばセラミックス製のボールであ
り、固定部材20上に置かれる。粒子18は、たとえば
セラミックス製の微粉末であり、その粒径は好ましくは
100〜200μmである。多数の粒子18は、ボール
19によって下方から支えられている。
【0020】反応管11内には、ガス導入口を通して、
マトリックスの原料となる反応ガスとキャリアガスとが
導入される。このガスは、固定部材20、ボール19、
粒子18および多孔質繊維強化複合材料13を通過し
て、ガス排出口から外部へ排出される。反応ガスとし
て、たとえば、プロピレン(CH3 CHCH2 )が使用
され、キャリアガスとして、たとえば、窒素が使用され
る。
【0021】多数のボール19上に堆積した多数の粒子
18は、ガス導入口からガス排出口に向かって流れるガ
スの圧力によって上方に押上げられて浮遊する。図3
は、多数の粒子18が浮遊している状態を示している。
浮遊する多数の粒子18は、多孔質繊維強化複合材料1
8の表面に衝突する。
【0022】反応ガスとしてのプロピレンガスは、下記
の反応式によって分解し、炭素を生成する。この炭素
は、多孔質繊維強化複合材料13の気孔内にマトリック
スとなって堆積し、多孔質繊維強化複合材料13の密度
を高める。
【0023】CH3 CHCH2 →3C+3H2 図4を参照して、多孔質繊維強化複合材料13の気孔内
にマトリックス16が効率よく形成されることを説明す
る。反応ガスとしてのプロピレンは、多孔質繊維強化複
合材料13に衝突した際、分解して炭素を生成する。こ
の炭素は、多孔質繊維強化複合材料13の気孔15内に
マトリックスとして堆積する。気相中においても、反応
ガスの分子同士が衝突して煤17を生成する。浮遊する
煤17の一部は流動している粒子18の表面上に付着す
る。したがって、多孔質繊維強化複合材料13の表面上
に付着する煤17の量は少なくなる。また、多孔質繊維
強化複合材料13の表面上に煤17が付着したとして
も、この表面には常に流動している粒子18が衝突する
ので、多孔質繊維強化複合材料13の表面上に付着した
煤は粒子18によってかき落とされる。こうして、多孔
質繊維強化複合材料13の表面上への煤17の付着を防
止する。多孔質繊維強化複合材料13の表面に露出して
いる気孔15の開孔部は煤によって閉塞されないので、
反応ガスは多孔質繊維強化複合材料13の内部にまで十
分に流れ、内部の気孔15内でマトリックスを形成す
る。その結果、最終的に、高密度の繊維強化複合材料が
得られる。
【0024】多孔質繊維強化複合材料は、好ましくは、
強化繊維として、ウィスカ、短繊維、ペーパー、フェル
ト、長繊維、不織布、二次元織布および三次元織布から
なる群より選ばれた少なくとも一種を含み、その組成
は、SiC、Si3 4 、B、および炭素からなる群よ
り選ばれた少なくとも一種を含む。さらに、多孔質繊維
強化複合材料は、好ましくは、マトリックスとして、S
iC、Si3 4 、SiO2 、TiC、Al2 3 、B
4 C、TiN、BNおよび炭素からなる群より選ばれた
少なくとも一種を含む。
【0025】実施例1 (1) 反応管の中に、石英砂とC/C(カーボン/カ
ーボン)コンポジット(10mm×10mm、気孔率4
0%)を入れた。C/Cコンポジットは、石英砂の上方
の反応管内壁面に固定された。
【0026】(2) 反応管の下部より、プロピレンガ
ス(反応ガス)と窒素ガス(キャリアガス)との混合ガ
スを導入し、石英砂をガス圧によって流動させた。流動
する石英砂は、C/Cコンポジットを包んで衝突してい
た。この状態で、800℃でCVI法を10時間行なっ
た。
【0027】(3) C/Cコンポジットを取出して気
孔率を測定したところ、15%であった。
【0028】比較例1 石英砂を用いずに、実施例1とほぼ同じ条件でCVIを
1時間行なった。C/Cコンポジットの表面は煤で覆わ
れており、この内部にはほとんどカーボンマトリックス
は形成されていなかった。
【0029】実施例2 (1) 反応管の中に、石英砂と三次元織カーボンファ
イバ(10mm×10mm、気孔率60%)とを入れ
た。三次元織カーボンファイバは、石英砂の上方の反応
管の内壁に固定された。
【0030】(2) 反応管の下部より反応ガスとして
四塩化珪素およびメタンを導入し、さらにキャリアガス
として、窒素を導入した。この導入されたガス圧によっ
て、石英砂は流動し、三次元織カーボンファイバを包ん
で衝突するようになった。この状態で、500℃でCV
Iを20時間行なった。
【0031】反応管内では、下記の反応が行なわれた。 SiCl4 +CH4 →SiC+4HCl (3) 三次元織カーボンファイバを取出して観察した
ところ、気孔率20%の炭素繊維強化炭化珪素となって
いた。
【0032】比較例2 石英砂を用いずに、実施例2とほぼ同じ条件でCVIを
2時間行なった。三次元織カーボンファイバの表面は煤
で覆われ、その内部にはほとんど炭化珪素が形成されて
いなかった。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の高密度繊維強化複合材料の製造装置の図
解的断面図である。
【図2】従来の装置において、多孔質繊維強化複合材料
の気孔内にマトリックスを形成している様子を図解的に
示す拡大断面図である。
【図3】本発明に従った高密度繊維強化複合材料の製造
装置の一実施例の図解的断面図である。
【図4】本発明の方法によって多孔質繊維強化複合材料
の気孔内にマトリックスを形成している様子を図解的に
示す拡大断面図である。
【符号の説明】
11 反応管 12 ホルダ 13 多孔質繊維強化複合材料 14 ヒータ 15 気孔 16 マトリックス 17 煤 18 粒子 19 ボール 20 固定部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若松 智之 兵庫県伊丹市昆陽北一丁目1番1号 住友 電気工業株式会社伊丹製作所内 (72)発明者 阿尻 雅文 宮城県仙台市荒巻字青葉

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 CVI法によって多孔質繊維強化複合材
    料の気孔内にマトリックスを形成することによって、多
    孔質繊維強化複合材料の低気孔率化を行なう高密度繊維
    強化複合材料の製造装置であって、 ガス導入口とガス排出口とを有する反応管と、 前記ガス導入口を通して前記反応管内に前記マトリック
    スの原料となる反応ガスとキャリアガスとを供給するガ
    ス供給手段と、 前記反応管を加熱する加熱手段と、 前記反応管内に配置され、前記ガス導入口から前記ガス
    排出口に向かって流れるガスの圧力によって押上げられ
    て浮遊する多数の粒子と、 前記反応管内の前記粒子の浮遊領域に、前記多孔質繊維
    強化複合材料を保持する保持手段と、 を備える、高密度繊維強化複合材料の製造装置。
  2. 【請求項2】 前記粒子は、粒径100〜200μmの
    セラミックス微粉末である、請求項1に記載の製造装
    置。
  3. 【請求項3】 前記ガスの通過を許容するように前記反
    応管内に固定された固定部材と、 前記固定部材上に配置され、前記多数の粒子を下方から
    支える多数のボールと、 をさらに備える、請求項1に記載の製造装置。
  4. 【請求項4】 前記多孔質繊維強化複合材料は、強化繊
    維として、ウィスカ、短繊維、ペーパー、フェルト、長
    繊維、不織布、二次元織布および三次元織布からなる群
    より選ばれた少なくとも一種を含む、請求項1に記載の
    製造装置。
  5. 【請求項5】 前記多孔質繊維強化複合材料は、強化繊
    維として、SiC、Si3 4 、B、および炭素からな
    る群より選ばれた少なくとも一種を含む、請求項1に記
    載の製造装置。
  6. 【請求項6】 前記多孔質繊維強化複合材料は、マトリ
    ックスとして、SiC、Si3 4 、SiO2 、Ti
    C、Al2 3 、B4 C、TiN、BNおよび炭素から
    なる群より選ばれた少なくとも一種を含む、請求項1に
    記載の製造装置。
  7. 【請求項7】 CVI法によって多孔質繊維強化複合材
    料の気孔内にマトリックスを形成することによって、多
    孔質繊維強化複合材料の低気孔率化を行なう高密度繊維
    強化複合材料の製造方法であって、 ガス導入口とガス排出口とを有する反応管内に多孔質繊
    維強化複合材料を配置する工程と、 前記反応管内に多数の粒子を配置する工程と、 前記ガス導入口を通して前記反応管内に前記マトリック
    スの原料となる反応ガスとキャリアガスとを導入する工
    程と、 前記ガス導入口から前記ガス排出口に向かって流れるガ
    スの圧力によって前記多数の粒子を押上げて浮遊させる
    工程と、 前記浮遊する粒子と前記多孔質繊維強化複合材料とを衝
    突させながら、前記多孔質繊維強化複合材料の気孔内に
    マトリックスを形成する工程と、 を備える、高密度繊維強化複合材料の製造方法。
  8. 【請求項8】 前記粒子は、粒径100〜200μmの
    セラミックス微粉末である、請求項7に記載の製造方
    法。
  9. 【請求項9】 前記多孔質繊維強化複合材料は強化繊維
    として、ウィスカ、短繊維、ペーパー、フェルト、長繊
    維、不織布、二次元織布および三次元織布からなる群よ
    り選ばれた少なくとも一種を含む、請求項7に記載の製
    造方法。
  10. 【請求項10】 前記多孔質繊維強化複合材料は、強化
    繊維として、SiC、Si3 4 、B、および炭素から
    なる群より選ばれた少なくとも一種を含む、請求項7に
    記載の製造方法。
  11. 【請求項11】 前記多孔質繊維強化複合材料は、マト
    リックスとして、SiC、Si3 4 、SiO2 、Ti
    C、Al23 、B4 C、TiN、BNおよび炭素から
    なる群より選ばれた少なくとも一種を含む、請求項7に
    記載の製造方法。
JP18617591A 1991-07-25 1991-07-25 高密度繊維強化複合材料の製造装置および製造方法 Expired - Lifetime JPH0672070B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18617591A JPH0672070B2 (ja) 1991-07-25 1991-07-25 高密度繊維強化複合材料の製造装置および製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18617591A JPH0672070B2 (ja) 1991-07-25 1991-07-25 高密度繊維強化複合材料の製造装置および製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0524956A true JPH0524956A (ja) 1993-02-02
JPH0672070B2 JPH0672070B2 (ja) 1994-09-14

Family

ID=16183705

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18617591A Expired - Lifetime JPH0672070B2 (ja) 1991-07-25 1991-07-25 高密度繊維強化複合材料の製造装置および製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0672070B2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6302080B1 (en) 1998-07-31 2001-10-16 Denso Corporation Fuel injection system having pre-injection and main injection
JP2002211984A (ja) * 2001-01-16 2002-07-31 National Institute For Materials Science SiC又はC繊維/SiC複合材料の製造方法
JP2007514306A (ja) * 2003-12-09 2007-05-31 シュンク・コーレンストッフテヒニーク・ゲーエムベーハー 被処理物を受けるための支持体及び支持体の製造方法
KR20190068316A (ko) * 2017-12-08 2019-06-18 한국세라믹기술원 화학 기상 침착 장치
KR20190068323A (ko) * 2017-12-08 2019-06-18 한국세라믹기술원 화학 기상 침착 장치
CN111226057A (zh) * 2017-10-19 2020-06-02 赛峰集团陶瓷 复合材料摩擦部件的制造方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6302080B1 (en) 1998-07-31 2001-10-16 Denso Corporation Fuel injection system having pre-injection and main injection
US6644269B2 (en) 1998-07-31 2003-11-11 Denso Corporation Fuel injection system having pre-injection and main injection
JP2002211984A (ja) * 2001-01-16 2002-07-31 National Institute For Materials Science SiC又はC繊維/SiC複合材料の製造方法
JP2007514306A (ja) * 2003-12-09 2007-05-31 シュンク・コーレンストッフテヒニーク・ゲーエムベーハー 被処理物を受けるための支持体及び支持体の製造方法
CN111226057A (zh) * 2017-10-19 2020-06-02 赛峰集团陶瓷 复合材料摩擦部件的制造方法
US11530727B2 (en) 2017-10-19 2022-12-20 Centre National De La Recherche Scientifique Process for manufacturing a composite friction component
KR20190068316A (ko) * 2017-12-08 2019-06-18 한국세라믹기술원 화학 기상 침착 장치
KR20190068323A (ko) * 2017-12-08 2019-06-18 한국세라믹기술원 화학 기상 침착 장치

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0672070B2 (ja) 1994-09-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4600893B2 (ja) 特に炭素、炭化シリコンについての耐火性物質の化学気相浸透方法、及びその方法の応用
US7393514B2 (en) Carbide nanofibrils and method of making same
JPS62242B2 (ja)
JP2007332020A (ja) 物品の製造方法、組成物及び物品
JP2013510789A (ja) カーボンナノチューブを基板上に合成する方法
JP2001115342A (ja) 微細気相成長炭素繊維製造装置、微細気相成長炭素繊維の製造方法、微細気相成長炭素繊維付着防止装置及び微細気相成長炭素繊維
US5202158A (en) Apparatus for and method of producing high density fiber reinforced composite material
JPH0524956A (ja) 高密度繊維強化複合材料の製造装置および製造方法
US5472650A (en) Method of making chemical vapor infiltrated composites
Shin et al. Deposition of diamond coatings on particles in a microwave plasma-enhanced fluidized bed reactor
US5322711A (en) Continuous method of covering inorganic fibrous material with particulates
JP2018529605A (ja) 流動床反応器及び多結晶シリコン顆粒の製造方法
US5527747A (en) Rapid process for the preparation of diamond articles
JP2006131451A (ja) 単結晶引き上げ用ルツボとその製造方法
JP2011184243A (ja) クロロシランの製造装置
JP4000258B2 (ja) 気相成長炭素繊維の製造方法
JPS59190232A (ja) 光フアイバ母材の製造方法
JPH035386A (ja) 高密度繊維強化複合材料の製造方法
EP0424922B1 (en) Carbonaceous fibers and production process therefor
JP2019081684A (ja) 炭化ケイ素マトリックス複合材料の製造方法
TWI360584B (en) Apparatus for fabrication of carbon nanotubes
RU2166425C1 (ru) Связующее для изготовления абразивных элементов и инструментов (варианты) и способ их изготовления
JP4309499B2 (ja) 気相成長炭素繊維連続製造装置
JPH0791695B2 (ja) 炭素繊維の製造装置
JPS59184800A (ja) 気相法による炭素繊維の製造法

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19950228