JPH05240478A - クリーンルーム装置 - Google Patents
クリーンルーム装置Info
- Publication number
- JPH05240478A JPH05240478A JP3912192A JP3912192A JPH05240478A JP H05240478 A JPH05240478 A JP H05240478A JP 3912192 A JP3912192 A JP 3912192A JP 3912192 A JP3912192 A JP 3912192A JP H05240478 A JPH05240478 A JP H05240478A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- air
- area
- cleanness
- outside
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単でランニングコストの安いクリーンシス
テムを提供する。 【構成】 システムとしての外気の取り込みはエアー１
７のみであり、クリーン度の良いクリーンエリア１２の
外気としての取り込みエアーは、１１のクリーン度の悪
いエリアからの取り込みエアー１９である。このような
構成にすることにより、例えばクリーン度の悪いエリア
がクラス１０００程度であれば、クリーン度の良いエリ
ア（例えばクラス１）の取り込みエアーに特別な外気処
理用フィルターを持つ必要がなくなり、直接ＵＬＰＡフ
ィルターにエアーを入れることが可能となる。外気処理
用フィルターが減ることからシステムが簡単となるうえ
に、ランニングコストの安いシステムが可能となる。
テムを提供する。 【構成】 システムとしての外気の取り込みはエアー１
７のみであり、クリーン度の良いクリーンエリア１２の
外気としての取り込みエアーは、１１のクリーン度の悪
いエリアからの取り込みエアー１９である。このような
構成にすることにより、例えばクリーン度の悪いエリア
がクラス１０００程度であれば、クリーン度の良いエリ
ア（例えばクラス１）の取り込みエアーに特別な外気処
理用フィルターを持つ必要がなくなり、直接ＵＬＰＡフ
ィルターにエアーを入れることが可能となる。外気処理
用フィルターが減ることからシステムが簡単となるうえ
に、ランニングコストの安いシステムが可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム装置に
関するものである。
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、クリーンルームに関する技術とし
てクリーンレベルの向上、ランニングコストの低減につ
いての開発が、盛んにおこなわれている。以下に従来の
クリーンルームの構造について述べる。
てクリーンレベルの向上、ランニングコストの低減につ
いての開発が、盛んにおこなわれている。以下に従来の
クリーンルームの構造について述べる。
【０００３】図２は従来のクリーンルームの構造を表わ
す。図２において１はクリーン度の悪いクリーンエリ
ア、２はクリーン度の良いクリーンエリア、３，４は外
部への排気エアー、５，６はリターンエアー、７，９は
外部から取り入れるエアー、８，１０は外気エアー処理
用フィルターである。以上のように構成されたクリーン
ルームについて以下その動作について説明する。クリー
ン度を確保するためのフィルター（例えばＨＥＰＡ，Ｕ
ＬＰＡフィルター）を通ったエアーはクリーンエリアか
ら直接外部に排気されるエアー（熱排気、酸排気、ガス
排気など）と、リターンエリアを通って再度上記フィル
ターを通すリターンエアーからなる。排気されたエアー
に対し室圧バランスを取るため及びクリーンルーム内で
作業する人に適切な酸素を供給するために、外部に排気
されたエアーにみあった量のフレッシュエアーを外部か
ら取り入れる。
す。図２において１はクリーン度の悪いクリーンエリ
ア、２はクリーン度の良いクリーンエリア、３，４は外
部への排気エアー、５，６はリターンエアー、７，９は
外部から取り入れるエアー、８，１０は外気エアー処理
用フィルターである。以上のように構成されたクリーン
ルームについて以下その動作について説明する。クリー
ン度を確保するためのフィルター（例えばＨＥＰＡ，Ｕ
ＬＰＡフィルター）を通ったエアーはクリーンエリアか
ら直接外部に排気されるエアー（熱排気、酸排気、ガス
排気など）と、リターンエリアを通って再度上記フィル
ターを通すリターンエアーからなる。排気されたエアー
に対し室圧バランスを取るため及びクリーンルーム内で
作業する人に適切な酸素を供給するために、外部に排気
されたエアーにみあった量のフレッシュエアーを外部か
ら取り入れる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、クリーン度の良い（例えばクラス１）領
域を作る場合、ＵＬＰＡフィルターを用いることはもち
ろんのこと、外部からの取り込みエアーに対しクラス１
０００程度のクリーン度が要求されるため、クラス数百
万の取り込みエアーに対し何段ものフィルターを必要と
する。クリーンレベルが異なるクリーンルームを複数以
上構成する場合、クリーン度に応じた取り入れエアーの
処理システムが必要となりシステムが複雑になることお
よび、ランニングコストの高いシステムとなる。
来の構成では、クリーン度の良い（例えばクラス１）領
域を作る場合、ＵＬＰＡフィルターを用いることはもち
ろんのこと、外部からの取り込みエアーに対しクラス１
０００程度のクリーン度が要求されるため、クラス数百
万の取り込みエアーに対し何段ものフィルターを必要と
する。クリーンレベルが異なるクリーンルームを複数以
上構成する場合、クリーン度に応じた取り入れエアーの
処理システムが必要となりシステムが複雑になることお
よび、ランニングコストの高いシステムとなる。
【０００５】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、簡単でランニングコストの安いシステムを示す。
で、簡単でランニングコストの安いシステムを示す。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を解決するため
に本発明は、２以上のクリーンレベルの異なるクリーン
ルームの場合、クリーン度の悪い領域のクリーンエアー
を、クリーン度の良い領域で必要な外部から取り入れる
エアーとして用いる構造を有する。
に本発明は、２以上のクリーンレベルの異なるクリーン
ルームの場合、クリーン度の悪い領域のクリーンエアー
を、クリーン度の良い領域で必要な外部から取り入れる
エアーとして用いる構造を有する。
【０００７】
【作用】この構成によって、簡素でランニングコストの
安いクリーンシステムが可能となる。
安いクリーンシステムが可能となる。
【０００８】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。図１は本発明の実施例におけるクリ
ーンルームの構造を示すものである。図１において、１
１はクリーン度の悪いクリーンエリア、１２はクリーン
度の良いクリーンエリア、１３，１４は外部への排気エ
アー、１５，１６はリターンエアー、１７は外部から取
り入れるエアー、１８は外気エアー処理用フィルター、
１９は別クリーンルームからの取り込みエアー、２０は
無機イオン吸着フィルター、２１は電気的中和システム
である。
しながら説明する。図１は本発明の実施例におけるクリ
ーンルームの構造を示すものである。図１において、１
１はクリーン度の悪いクリーンエリア、１２はクリーン
度の良いクリーンエリア、１３，１４は外部への排気エ
アー、１５，１６はリターンエアー、１７は外部から取
り入れるエアー、１８は外気エアー処理用フィルター、
１９は別クリーンルームからの取り込みエアー、２０は
無機イオン吸着フィルター、２１は電気的中和システム
である。
【０００９】以上のように構成されたクリーンルームに
ついて、以下その動作を説明する。システムとしての外
気の取り込みは１７のみであり、クリーン度の良いクリ
ーンエリア１２の外気としての取り込みエアーは、１１
のクリーン度の悪いエリアからの取り込みエアー１９で
ある。
ついて、以下その動作を説明する。システムとしての外
気の取り込みは１７のみであり、クリーン度の良いクリ
ーンエリア１２の外気としての取り込みエアーは、１１
のクリーン度の悪いエリアからの取り込みエアー１９で
ある。
【００１０】このような構成にすることにより、例えば
クリーン度の悪いエリアがクラス１０００程度であれ
ば、クリーン度の良いエリア（例えばクラス１）の取り
込みエアーに特別な外気処理用フィルターを持つ必要が
なくなり、直接ＵＬＰＡフィルターにエアーを入れるこ
とが可能となる。外気処理用フィルターが減ることから
システムが簡単となるうえに、ランニングコストの安い
システムが可能となる。クリーン度の良いエリア（例え
ばクラス１）のエアーの品質をあげるため、１９の別ク
リーンルームからの取り込みエアーのラインに無機イオ
ン吸着フィルター２０、あるいは電気的中和システム２
１（例えばイオン発生装置）を入れる構造がある。
クリーン度の悪いエリアがクラス１０００程度であれ
ば、クリーン度の良いエリア（例えばクラス１）の取り
込みエアーに特別な外気処理用フィルターを持つ必要が
なくなり、直接ＵＬＰＡフィルターにエアーを入れるこ
とが可能となる。外気処理用フィルターが減ることから
システムが簡単となるうえに、ランニングコストの安い
システムが可能となる。クリーン度の良いエリア（例え
ばクラス１）のエアーの品質をあげるため、１９の別ク
リーンルームからの取り込みエアーのラインに無機イオ
ン吸着フィルター２０、あるいは電気的中和システム２
１（例えばイオン発生装置）を入れる構造がある。
【００１１】
【発明の効果】以上のように本発明は、クリーンレベル
の異なる領域からなるクリーンルームにおいて、クリー
ン度の悪い領域のクリーンエアーを、クリーン度の良い
領域で必要な外部から取り入れるエアーとして用いる構
造をもつことにより、簡単でランニングコストの安いク
リーンシステムを提供するものである。
の異なる領域からなるクリーンルームにおいて、クリー
ン度の悪い領域のクリーンエアーを、クリーン度の良い
領域で必要な外部から取り入れるエアーとして用いる構
造をもつことにより、簡単でランニングコストの安いク
リーンシステムを提供するものである。
【図１】本発明のクリーンルーム装置の実施例を示す図
【図２】従来例を示す図
１１ クリーン度の悪いクリーンエリア １２ クリーン度の良いクリーンエリア １３，１４ 外部への排気エアー １５，１６ リターンエアー １７ 外部から取り入れるエアー １８ 外気エアー処理用フィルター １９ 別クリーンルームからの取り込みエアー
Claims (1)
- 【請求項１】２個以上のクリーンレベルの異なる領域か
らなるクリーンルームにおいて、クリーン度の悪い領域
のクリーンエアーを、クリーン度の良い領域で必要な外
部から取り入れるエアーとして用いる構造をもったクリ
ーンルーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3912192A JPH05240478A (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | クリーンルーム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3912192A JPH05240478A (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | クリーンルーム装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05240478A true JPH05240478A (ja) | 1993-09-17 |
Family
ID=12544265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3912192A Pending JPH05240478A (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | クリーンルーム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05240478A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115013950A (zh) * | 2022-06-21 | 2022-09-06 | 安徽龙振建设有限公司 | 一种绿色建筑的空气净化控制方法及系统 |
-
1992
- 1992-02-26 JP JP3912192A patent/JPH05240478A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115013950A (zh) * | 2022-06-21 | 2022-09-06 | 安徽龙振建设有限公司 | 一种绿色建筑的空气净化控制方法及系统 |
| CN115013950B (zh) * | 2022-06-21 | 2024-01-30 | 安徽龙振建设有限公司 | 一种绿色建筑的空气净化控制方法及系统 |
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