JPH05232016A - シ―ト状物体の特性測定装置 - Google Patents

シ―ト状物体の特性測定装置

Info

Publication number
JPH05232016A
JPH05232016A JP23622191A JP23622191A JPH05232016A JP H05232016 A JPH05232016 A JP H05232016A JP 23622191 A JP23622191 A JP 23622191A JP 23622191 A JP23622191 A JP 23622191A JP H05232016 A JPH05232016 A JP H05232016A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
sheet
paper
wavelength
moisture
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP23622191A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2932783B2 (ja
Inventor
Tomoyuki Yamada
知行 山田
Hitoshi Hara
仁 原
Takashi Chiba
隆司 千葉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP23622191A priority Critical patent/JP2932783B2/ja
Publication of JPH05232016A publication Critical patent/JPH05232016A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2932783B2 publication Critical patent/JP2932783B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3554Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for determining moisture content
    • G01N21/3559Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for determining moisture content in sheets, e.g. in paper
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/359Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using near infrared light
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G01N21/4738Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
    • G01N21/474Details of optical heads therefor, e.g. using optical fibres
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/86Investigating moving sheets
    • G01N2021/8609Optical head specially adapted
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/86Investigating moving sheets
    • G01N2021/8663Paper, e.g. gloss, moisture content

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 薄い紙から厚い紙まで紙による透過・散乱が
充分に行われ,感度が高く光の減衰量が少なく,シ―ト
の温度変化に起因する測定誤差の少ないシ―ト状物体の
特性測定装置を提供する。 【構成】 少なくとも水分により吸収を受ける波長の光
と水分に吸収されない波長の光をシ―ト状物体に照射
し,そのシ―ト状物体で散乱・透過した光を受光する受
光素子を有し,前記受光素子からの信号に基づいてシ―
ト状物体の物理的特性を測定するシ―ト状物体の特性測
定装置において,前記シ−ト状物体3を挟んで周辺に折
返し部を有する上部反射板30及び下部反射板31が配
置され,前記シ―ト状物体3と下部反射板31の間に両
面が鏡面加工された遮蔽板32を配置するとともに,水
分により吸収を受ける波長として温度依存性のない等吸
収点の波長を用いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は,シ―ト状物体に含まれ
る水分量を測定する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図7〜9は,抄紙機等においてシ―ト状
物体の水分量を測定する水分計の従来例を示す。
【0003】図7において,1は投光部,2は受光部
で,これらは被測定体である紙3を挾んで対向配置され
ている。投光部1では,光源6からの光がレンズ7で平
行光とされ,更にチョッパ―・ホイ―ル8で断続光とさ
れた後,照射窓4を介して紙3に照射される。チョッパ
―・ホイ―ル8には水分による吸収を受ける1.94μ
mの光(測定光)を透過するフィルタ9と,水分による
吸収を受けない1.8μmの光(比較光)を透過するフ
ィルタ10とが設けられ,回転に従い測定光と比較光と
を交互に紙3に照射する。受光部2では,入射窓5より
紙3を透過した光が入射し,レンズ11で集束され受光
素子12に集光される。この受光素子12では測定光M
と比較光Rとを時系列的に検出し,演算器13に与えR
/Mの演算を行い出力する。
【0004】図8に示す従来例では,投光部1において
光源6からの光をレンズ7で平行光とし,チョッパ―・
ホイ―ル8′で断続光とした後,照射窓4より紙3に照
射する。このチョッパ―・ホイ―ルには図7の従来例の
ようなフィルタは載置されておらず,ホイ―ルは専ら迷
光の影響を除去するためにだけ使用される。照射窓4よ
り照射された白色光は紙3を挾んで投光部1と受光部2
の対向面に設けられた乱反射面16,17で多重反射さ
れ,照射窓4とずれた位置に設けられた入射窓5より受
光部2内に入る。
【0005】受光部2において,入射光はビ―ムスプリ
ッタ18で2分され,一方は測定光を透過するフィルタ
9,レンズ11を経て受光素子12に導かれ,他方は比
較光を透過するフィルタ10,レンズ11′を経て受光
素子12′に導かれる。受光素子12で検出された測定
光Mと受光素子12′で検出された比較光Rは同時に演
算器13に与えられ,R/Mの演算が行なわれ出力され
る。
【0006】図9は更に他の従来例を示すもので,紙3
を挟んで防塵ガラス22,23で開口部が覆われた球面
鏡20,21が配置されている。この例においては光源
6から放射され,前記2種類のフィルタを有するチョッ
パ―・ホイ―ル8で断続光とされた光は照射窓5を介し
て紙3に照射される。そして紙3を透過または紙で散乱
した光は球の内面で反射して再び紙を照射することより
紙を複数回透過して受光素子12に達する。検出された
光は図5で示した例と同様に演算器(図示せず)でR/
Mの演算が行なわれ,紙の水分量に関連した電気信号が
出力される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の装置におい
て,図7に示す構成のものは,構造が簡単で,光量減衰
も少ないという利点が有る半面,測定対象は紙1枚であ
るため,この紙の厚さが薄い場合は感度のよいものが得
られないという問題が有る,また,図8に示す構成のも
のは,投光部と受光部の光軸がずらされて設けられてい
るため紙との会合回数は多くなるが,紙で散乱した光は
最大180°の拡がりがあることを考えると,紙と一回
しか会合しない光も含まれており感度的に必ずしも満足
できるものではなかった。また,一回透過光の影響を少
なくするために光軸のずれ量を大きくすると光量が減少
するという問題があった(従来例では投光部と受光部の
光軸のずれ量を60mm程度とし,上下の反射板との間
隔を6〜8mm程度に設計している)。
【0008】また,図9に示す構成のものは,紙により
透過散乱させた回数の少ない光(水分子と充分に会合し
ていない低感度の光)が検出光の大部分を占め,水分検
出感度が低いという問題がある。更にこの方法では薄い
紙と厚い紙では感度が異なるので紙質の影響が大きくな
るという問題がある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する為の
本発明の構成は,少なくとも水分により吸収を受ける波
長の光と水分に吸収されない波長の光をシ―ト状物体に
照射し,そのシ―ト状物体で散乱・透過した光を受光す
る受光素子を有し,前記受光素子からの信号に基づいて
前記シ―ト状物体の物理的特性を測定するシ―ト状物体
の特性測定装置において,前記シ−ト状物体を挟んで周
辺に折返し部を有する上部反射板及び下部反射板が配置
され,前記シ―ト状物体と下部反射板の間に両面が鏡面
加工された遮蔽板を配置するとともに,前記水分により
吸収を受ける波長として温度依存性のない等吸収点の波
長を用いたことを特徴とするものである。
【0010】
【作用】投光部から入射した光は紙を透過または紙で散
乱し上部反射板と遮蔽板の間を外周方向に広がる。その
光は更に,上部反射板,紙,下部反射板の間で透過・散
乱を繰返しながら外周方向に伝搬し,折返し部で反射し
て更に透過・散乱を繰返しながら中心部に向かう。この
光の一部は下部反射板で反射した後,遮蔽板の裏側に回
り込み下部反射板と遮蔽板の間で反射して受光素子に達
する。等吸収点の波長の測定光は紙の温度に吸収度が左
右されないので,より正確な水分測定が可能となる。
【0011】
【実施例】以下,図面に従い本発明を説明する。図1は
本発明の装置の一実施例を示す要部断面斜視図である。
図において30は紙に対向する側が鏡面加工された上部
反射板であり,中央に投光孔30aが形成され,外周部
に折返しリング30bが形成されている。この折返しリ
ング30bは凸状のリングとされ,内周は鏡面の垂線に
対して断面が60゜程度の斜辺を有している。31は紙
に対向する側が鏡面加工された下部反射板であり,中央
に受光孔31aが形成され,外周部に折返しリング31
bが形成されている。この折返しリング31bは凸状の
リングとされ,内周は鏡面の垂線に対して断面が60゜
程度の斜辺を有している。
【0012】32は両面が鏡面加工され,一方の面の中
央部に表面が鏡面に加工された円錘状の突起(円錘ミラ
―)33を有する遮蔽板である。この遮蔽板32は下部
反射板31と紙3の間の空間に複数の支柱(図示せず)
で下部反射板の折返しリング31bの上部と同程度の高
さに固定され,円錘ミラ―33を受光孔31a側に向け
て配置されている。なお,遮蔽板32の中心は上部,下
部の反射板30,31の軸心に合せた方が好ましい。
【0013】上記上部,下部反射板30,31は含有水
分を測定すべき紙3を挟んで必要な許容幅を考慮した上
で可能な限り近接して配置され,投光空間34および受
光空間35を形成する。なお,図では省略しているが投
光孔30aの上方には水分による吸収を受ける1.94
μmを中心波長とする測定光と,水分による吸収を受け
ない1.8μmの比較光を放射する光源が配置され,受
光素子12の後段には,この素子の出力に基づいて含有
水分の演算を行う演算部等水分測定装置として必要な構
成要素が備えられている。
【0014】この様な構成において,投光部から紙面上
に照射された光のうち紙の表面で散乱した光は上部反射
板30で,透過した光は遮蔽板32で反射されて再び紙
3に戻される。この様にして紙3で透過・散乱して周囲
に伝搬した光は,主に上部反射板30の反射面で反射さ
れて中心部へ戻され,更に紙3による透過・散乱を繰り
返して受光部に達する。遮蔽板32の下の円錘ミラ―3
3は到達した光を有効に受光素子へ導く働きをする。
【0015】なお,本出願人は上部,下部の反射板3
0,31の外径を60mm,上部折返しリング30aの
リングの高さh1 を2.5mm,下部折返しリング31
bのリングの高さh2 を5.0mm,折返しリング30
a,30bから紙までの間隙h3 ,h4 をそれぞれ2.
0mm,遮光板の直径を30mm,遮光板の表面から紙
までの間隙を2.0mm,投光孔の直径を3mm,受光
孔の直径を18mmとして試作し,他の条件は従来と同
様として実験を行った。
【0016】図2,図3は図8に示す従来装置と上記本
発明の装置を用いて6種類の紙の測定信号(R/M)か
らMW(単位面積当たりの水分重量)を求め,これらの
値から紙の水分率(MW/BW×100%…BW=単位
面積当たりの紙の重量)を計算し,±0.1%の精度の
範囲で測定できる様にした場合の検量線を示すものであ
る(なお,ここでいう±0.1%の精度とは水分の含有
量を例えば5%とした場合に,その測定誤差が4.9%
〜5.1%の範囲にある場合をいい,(R/M)N は紙
がない場合の信号を基準として規格化して表わしたもの
である)。即ち,従来装置においては図2に示す様に±
0.1%の精度を得るのに5本の検量線を必要とした
が,本発明の装置では図3に示すように3本の検量線で
測定することができる。
【0017】ところで,水は吸収スペクトルの温度依存
性を持つことが知られている。図4は公知(昭和57年
3月(株)共立出版発行;水および水溶液)の氷及び水
の近赤外線吸収スペクトルの温度依存性を示すものであ
り,波長と吸収度の関係を示している。図中点線で示す
部分は波長1.94μmの部分であり,水のいずれの温
度においても吸収度が最も高く,水分計としての感度向
上の為にはこの波長付近を選択する必要がある(従って
図7〜9に示す従来例では1.94μm(5150cm
-1〜5155cm-1)の波長のフィルタを用いてい
る)。そして,この波長においては図からも明らかな様
に各温度における吸収度が異なっているので,紙温が変
わると水の吸収度が変わり測定誤差が生じてしまう。
【0018】そして,本発明においては,周辺に折返し
部を有する上部反射板及び下部反射板を配置し,シ―ト
状物体と下部反射板の間に両面が鏡面加工された遮蔽板
を配置したので,従来に比較して感度が格段に向上し前
述の温度変化による測定誤差の影響を更に受ける様にな
った。例えば,1.94μmの波長を使用して坪量70
g/m2 程度の晒しクラフトの水分を測定した場合,紙
温度が13℃と40℃では水分率誤差が0.3%(真値
10%のものが10.3%になる)程度生じるという問
題があった。そこで本発明者等は測定の中心波長を前記
公知文献に基づいて水の等吸収点である5150cm-1
(波長1.957μm)程度とし,紙の温度を13℃と
40℃として実験を行ったが,この波長では水分率誤差
を少なくすることはできなかった。これは紙に含まれる
水分が結合水と自由水で構成されている為,自由水の場
合よりも等吸収点が短波長側にシフトする為と考えられ
る。
【0019】図5は3種類の測定波長と坪量70g/m
2 程度の晒しクラフトを用い,紙温度を13℃と40℃
として水分を測定した場合の中心波長と検量線の温度依
存性を示す図である。なお,この実験では紙の水分によ
り吸収される波長を(M),紙の繊維により吸収される
波長を(C),水分にも繊維にも影響を受けない波長
(R)の3つの波長を用いた3波長方式により演算を行
った。図中MWは単位面積当たりの水分重量,CWは単
位面積当たりの繊維重量である。図によれば,1.92
6μmと1.549μmの波長の場合は13℃から40
℃と温度が27℃変化した場合,矢印で示すように検量
線が変化して検量線のずれが大きなものとなる。しか
し,波長を1.936μmとした場合は検量線がほとん
ど重なり温度による影響が生じない。
【0020】図6は紙温の違いに起因する中心波長と水
分率誤差の関係を示している。図によれば測定精度が±
0.2の範囲に入る波長は1.933〜1.939μm
の範囲であることが分る。従ってこの発明では測定に用
いる中心波長を1.933〜1.939μmの範囲とす
る。なお,測定波長はフィルタにより選択する方法のほ
かレ―ザ等の単色光を用いることも可能である。
【0021】
【発明の効果】以上実施例とともに具体的に説明した様
に本発明によれば, 投光孔から入射した光は,はじめ紙を透過または散
乱するが,これらの光は遮蔽板と上部反射板との間で反
射して複数回紙と会合する。そして遮蔽板の外周に達し
た時点で一部の光が下部反射板と遮蔽板の裏側に回り込
み反射を繰返しながら受光素子に達する。一方反射板の
更に外周へ向かって紙との会合を繰返した光は折返しリ
ングで折返して再び遮蔽板の外周に達し,一部は遮蔽板
の裏側に回り込み透過・散乱を繰返しながら受光素子に
達する。その結果,紙を例えば一回だけ透過した水分検
出感度の低い光が受光素子側へ達することがなくなるの
で感度が向上する。 折返しリングで光を受光素子側(中心方向)へ戻す
構造の為,光の閉込め効果が高くなり,検出光量が多く
低坪量紙(例えば30g/m◆程度)から高坪量(例え
ば150g/m◆程度)まで同一の光学系で測定可能と
なる。 水分子と充分に会合し,なおかつ薄い紙から厚い紙
まで紙による透過・散乱が充分に成された光が検出され
るため,紙質の影響が小さくなる。 光が折返しリングで折返すため,従来と同じ光路長
の光を得るのに小さな測定面積で済む。 測定波長を1.933〜1.939μmとしている
ので紙温の変化による水分率誤差を0.2%程度に押え
ることができる。などの効果がある。
【0022】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のシ―ト状物体の物理量測定装置の一実
施例を示す断面構成図である。
【図2】従来装置における測定信号(R/M)とMWと
検量線の関係を示す図である。
【図3】本発明の装置における測定信号(R/M)とM
Wと検量線の関係を示す図である。
【図4】氷及び水の近赤外線吸収スペクトルの温度依存
性を示す図である。
【図5】3種類の波長を用いた検量線の温度依存性を示
す図である。
【図6】紙温の違いに起因する中心波長と水分率誤差の
関係を示す図である。
【図7】従来装置の実施例を示す構成図である。
【図8】従来装置の他の実施例を示す構成図である。
【図9】従来装置の他の実施例を示す構成図である。
【符号の説明】
3 サンプル紙 30 上部反射板 30a 投光孔 30b 折返しリング 31 下部反射板 31a 受光孔 31b 折返しリング 32 遮蔽板 33 円錘ミラ―
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成3年9月19日
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0021
【補正方法】変更
【補正内容】
【0021】
【発明の効果】以上実施例とともに具体的に説明した様
に本発明によれば, 投光孔から入射した光は,はじめ紙を透過または散
乱するが,これらの光は遮蔽板と上部反射板との間で反
射して複数回紙と会合する。そして遮蔽板の外周に達し
た時点で一部の光が下部反射板と遮蔽板の裏側に回り込
み反射を繰返しながら受光素子に達する。一方反射板の
更に外周へ向かって紙との会合を繰返した光は折返しリ
ングで折返して再び遮蔽板の外周に達し,一部は遮蔽板
の裏側に回り込み透過・散乱を繰返しながら受光素子に
達する。その結果,紙を例えば一回だけ透過した水分検
出感度の低い光が受光素子側へ達することがなくなるの
で感度が向上する。 折返しリングで光を受光素子側(中心方向)へ戻す
構造の為,光の閉込め効果が高くなり,検出光量が多く
低坪量紙(例えば30g/m2程度)から高坪量(例え
ば150g/m2程度)まで同一の光学系で測定可能と
なる。 水分子と充分に会合し,なおかつ薄い紙から厚い紙
まで紙による透過・散乱が充分に成された光が検出され
るため,紙質の影響が小さくなる。 光が折返しリングで折返すため,従来と同じ光路長
の光を得るのに小さな測定面積で済む。 測定波長を1.933〜1.939μmとしている
ので紙温の変化による水分率誤差を0.2%程度に押え
ることができる。などの効果がある。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも水分により吸収を受ける波長
    の光と水分に吸収されない波長の光をシ―ト状物体に照
    射し,そのシ―ト状物体で散乱・透過した光を受光する
    受光素子を有し,前記受光素子からの信号に基づいて前
    記シ―ト状物体の物理的特性を測定するシ―ト状物体の
    特性測定装置において,前記シ−ト状物体を挟んで周辺
    に折返し部を有する上部反射板及び下部反射板が配置さ
    れ,前記シ―ト状物体と下部反射板の間に両面が鏡面加
    工された遮蔽板を配置するとともに,前記水分により吸
    収を受ける波長として温度依存性のない等吸収点の波長
    を用いたことを特徴とするシ―ト状物体の特性測定装
    置。
JP23622191A 1991-09-17 1991-09-17 シ―ト状物体の特性測定装置 Expired - Lifetime JP2932783B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23622191A JP2932783B2 (ja) 1991-09-17 1991-09-17 シ―ト状物体の特性測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23622191A JP2932783B2 (ja) 1991-09-17 1991-09-17 シ―ト状物体の特性測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05232016A true JPH05232016A (ja) 1993-09-07
JP2932783B2 JP2932783B2 (ja) 1999-08-09

Family

ID=16997580

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23622191A Expired - Lifetime JP2932783B2 (ja) 1991-09-17 1991-09-17 シ―ト状物体の特性測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2932783B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018189659A (ja) * 2018-09-11 2018-11-29 横河電機株式会社 赤外線水分計

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018189659A (ja) * 2018-09-11 2018-11-29 横河電機株式会社 赤外線水分計

Also Published As

Publication number Publication date
JP2932783B2 (ja) 1999-08-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3741465B2 (ja) デュアルビーム同調性分光計
US4302108A (en) Detection of subsurface defects by reflection interference
US4429225A (en) Infrared thickness measuring device
US6078042A (en) Calibration standard for infrared absorption gauge
CN107345904B (zh) 基于光学吸收和干涉法检测气体浓度的方法及装置
US5087817A (en) Infrared ray moisture meter
US3471698A (en) Infrared detection of surface contamination
JPH0467889B2 (ja)
KR840002359B1 (ko) 적외선 필름 두께 측정기
JPH0587733A (ja) シ―ト状物体の特性測定装置
JPH05232016A (ja) シ―ト状物体の特性測定装置
JP3871415B2 (ja) 分光透過率測定装置
CN113483996A (zh) 一种光学元件高透射率高反射率测量装置及测量方法
CN206594055U (zh) 水分测定装置
JP2587023Y2 (ja) シート状物体の水分測定装置
JP6642667B2 (ja) 赤外線水分計
JP7069786B2 (ja) 検出装置
JP2010091428A (ja) 走査光学系
JP3057270B2 (ja) シ―ト状物体の特性測定装置
JPH0335145A (ja) 分光分析の透過測定装置
JP3325690B2 (ja) ガス濃度測定装置
JP2576457Y2 (ja) シ―ト状物体の特性測定装置
JPH03225258A (ja) シート状物体の特性測定装置
JP2016011920A (ja) 赤外線水分計
JP2906613B2 (ja) 水分量測定装置