JPH0523200U - エリア型電子線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 照射領域前後のウエブ案内用フリ−ロ−ルの
芯出し精度の向上。 【構成】 電子線照射装置本体１における照射室４の底
部遮蔽体部分は開閉可能の遮蔽蓋５として構成されてい
る。遮蔽蓋は被照射ウエブ７を通すとき下げられ、照射
室内は開放される。照射領域前後の従来遮蔽蓋側に取付
けられていたフリ−ロ−ル１０、１１は、電子線照射装
置本体の固定部に取付けられたフリ−ロ−ル支持部材１
７に軸支取付ける。両ロ−ルの芯出しはその取付け時に
行われ、芯出し精度が向上し、搬送時のウエブの位置ず
れが発生しない。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、電子線照射室内に被照射ウエブの案内用フリ−ロ−ルを有するエリ ア型電子線照射装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

図３は電子線照射室の底部遮蔽体部分が開閉できる遮蔽蓋として構成されてい るエリア型電子線照射装置の概略正面図であり、図４は電子線照射時の電子線照 射装置の内部構成図、図５は遮蔽蓋を降ろしたときの電子線照射装置の構成状況 図である。電子線照射装置本体１は架台２で支持されており、その中央上部に電 子線源及び加速部を収容した真空チャンバ３を有する。電子線照射装置本体１に おける電子線照射室４の底部遮蔽体部分、例えば前面、後面、側面及び底面の遮 蔽体部分は昇降して開閉可能の遮蔽蓋５として構成され、ピストンとシリンダに よる油圧操作機構６によって、昇降操作される。電子線照射に先立ち被照射ウエ ブ７を照射室４に通すとき、あるいは照射室内を点検するとき図５に示すように 、遮蔽蓋５は下げられ、照射室４は開放される。

【０００３】 電子線照射時、遮蔽蓋５は操作機構６によって上げられ、図４に示すように、 照射室４は閉鎖される。被照射ウエブ７は、入口側予備室８に導入され、フリ− ロ−ル９、フリ−ロ−ル１０及び同１１で案内されて照射窓１２とビ−ムキャッ チャ１３間の照射領域を通過し、フリ−ロ−ル１４で案内されて出口側予備室１ ５から出る。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

かかる従来の電子線照射装置にあっては、照射室４内に被照射ウエブ７を通し 易くすることをも考慮し、照射領域前後のフリ−ロ−ル１０、１１は遮蔽蓋５側 に取り付け、遮蔽蓋５を下げたとき、これらロ−ル１０、１１も下がるように構 成されている。遮蔽蓋５は油圧操作機構６によって昇降操作されるが、この操作 機構６の停止位置精度、特に遮蔽蓋５を上げたときの停止位置精度は、大重量、 大構造物の遮蔽蓋５による照射室２の閉鎖には充分なものであるが、遮蔽蓋５を 昇降開閉させる度に上昇停止位置に多少のバラツキが生じ、これに伴いフリ−ロ −ル１０、１１の位置もまた変化する。操作機構６は電子線照射装置の図示しな い後側にも左右２個設けられており、遮蔽蓋５の上昇停止位置のバラツキにより フリ−ロ−ル１０、１１の軸線位置が変化する。この変化により、フリ−ロ−ル ９と１０、フリ−ロ−ル１０と１１、或いはフリ−ロ−ル１１と１４のそれぞれ 二つのロ−ルの軸線の平行度が損なわれる。図６に示すように、二つのロ−ルＡ 、Ｂが平行に配置されない場合、被照射ウエブ７は搬送につれてその位置が一点 鎖線で示すようにずれてしまい、ウエブ７に対する電子線照射が適切に行われな いという事態が発生する。そこで従来の装置では、ウエブ７を通す度に毎回フリ −ロ−ル１０、１１の芯出しを行わねばならず、フリ−ロ−ルの軸支位置を上下 に微調節できるように芯出し調節機構が設けられていた。

【０００５】 本考案は、照射領域前後に配置されるフリ−ロ−ルを遮蔽蓋から分離し、遮蔽 蓋の昇降開閉の度にフリ−ロ−ルの芯出しを行わずに済むようにした電子線照射 装置を提供することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案は、照射室の底部の遮蔽体部分が開閉可能の遮蔽蓋として構成されてい るエリア型電子線照射装置において、照射領域の前後の位置に配置されるフリ− ロ−ルが、電子線照射装置本体の固定部に軸支取付けられていることを特徴とす るものである。

【０００７】

【作用】

照射領域前後の位置に配置されるフリ−ロ−ルは遮蔽蓋ではなく、電子線照射 装置本体の固定部に軸支取付けられているから、その取付け時に芯出しを一度行 うだけで良く、芯出し精度もフリ−ロ−ル軸支部取付けの機械的精度まで向上さ せることができる。

【０００８】

【実施例】

本考案の一実施例について図面を参照して説明する。図１は電子線照射時、遮 蔽蓋を上昇させたときの電子線照射装置の内部構成図、図２は遮蔽蓋を降ろした ときの電子線照射装置の構成状況図であり、図３ないし図６と同一符号は同等部 分を示す。照射窓１２は真空チャンバ３の下端部に設けられた支持部材１６に取 付けられており、この支持部材１６の端部にフリ−ロ−ル支持部材１７が取付け 固定されてフリ−ロ−ル１０及び同１１をそれぞれ軸支しており、フリ−ロ−ル １０、１１は遮蔽蓋５ではなく、電子線照射装置本体１の固定部に軸支取付けら れている。

【０００９】 被照射ウエブ７を通す場合、照射室４の底部遮蔽体部分、例えば前面、後面、 側面及び底面の遮蔽体部分を形成する開閉可能の遮蔽蓋５を下げ、照射室４を開 放する。ウエブ７の通し作業が済むと再び遮蔽蓋５を上げ、照射室４を閉鎖する が、フリ−ロ−ル１０、１１は電子線照射装置本体１の固定部に軸支取付けされ ているから、この取付け時に一度ロ−ルの芯出しを行えばフリ−ロ−ル１０、１ １の位置は遮蔽蓋５の昇降開閉に影響されない。ウエブ７の通し作業時、フリ− ロ−ル１０、１１は下げられないが、ロ−ル周囲には充分な空間があるから通し 作業に影響を与えることはない。なお、上述の実施例では、電子線照射装置本体 １を水平に位置させたものを示したが、電子線照射装置本体１を垂直に位置させ て電子線照射装置を構成してもよく、この場合には遮蔽蓋５は左右、横方向に開 閉される。

【００１０】

【考案の効果】

本考案は以上説明したように、照射領域前後の位置に配置されるフリ−ロ−ル は遮蔽蓋ではなく、電子線照射装置本体の固定部に軸支取付けられているから、 その取付け時に芯出しを一度行うだけで良く、芯出し精度もフリ−ロ−ル軸支部 取付けの機械的精度まで向上させることができ、被照射ウエブを電子線照射装置 内において位置ずれを生ずることなく搬送することができるから、ウエブに電子 線を的確に照射することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例の構成図である。

【図２】遮蔽蓋を降ろしたときの構成状況図である。

【図３】電子線照射装置の正面図である。

【図４】従来例の構成図である。

【図５】従来例の遮蔽蓋を降ろしたときの構成状況図で
ある。

【図６】フリ−ロ−ル位置変化時における被照射ウエブ
位置ずれの説明図である。

【符号の説明】

1 電子線照射装置本体 3 真空チャンバ 4 電子線照射室 5 遮蔽蓋 7 被照射ウエブ 10 フリ−ロ−ル 11 フリ−ロ−ル 12 照射窓 13 ビ−ムキャッチャ 16 支持部材 17 フリ−ロ−ル支持部材

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子線照射室の底部遮蔽体部分が開閉可
   能の遮蔽蓋として構成されているエリア型電子線照射装
   置において、照射領域の前後の位置に配置されるフリ−
   ロ−ルが、電子線照射装置本体の固定部に軸支取付けら
   れていることを特徴とする電子線照射装置。