JPH05230440A

JPH05230440A - 研磨用加工液

Info

Publication number: JPH05230440A
Application number: JP4060948A
Authority: JP
Inventors: Takayuki Kasai; 孝之河西; Kousuke Gotou; 亢亮後藤
Original assignee: FDK Corp
Current assignee: FDK Corp
Priority date: 1992-02-18
Filing date: 1992-02-18
Publication date: 1993-09-07

Abstract

(57)【要約】【目的】単位時間当りの研磨量が多い場合であっても
切り粉等を確実に外部に排出することができ、より精密
な研磨作業を短時間で行うことのできる研磨用加工液を
提供すること。【構成】本発明の研磨用加工液は、各種加工液に対
し、発泡性の良好な界面活性材を混入することにより構
成される。そして元となる加工液の一例を示すと、例え
ば１リットルの純水中にダイヤモンドパウダーを数〜数
十重量％，シリコンオイルまたはグリス（砥粒分散のた
め）を０〜数重量％混入してなる。そして界面活性材と
しては、例えばアルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム
や脂肪酸アルキロールアミドやラウリル硫酸エステル等
が適しており、１種或いは複数種を混合したものを用
い、それを０．５〜３０重量％（好ましくは、１２重量
％前後）を上記元となる加工液中に混入する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、研磨用加工液に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】通常、フェライト，セラミック等の焼結
材の表面研磨加工を行うには、すずやアルミニウム等の
軟質な金属やプラスチック等からなる定盤上に治具の下
面に接着固定した加工物であるワークの加工面を接触配
置する。そして、定盤を回転させることによりワークを
自転等させる。この時、定盤上に微細なダイヤモンド等
の砥粒を混入させた加工液を滴下させ、定盤とワークと
の間に供給させる。すると、加工液によりワークが若干
持ち上げられて両者の間に間隙が生じる共に、その間隙
内で砥粒が両者を擦り・削りながら進むことによりワー
クの表面を磨いたり、鏡面仕上げをしたりすることがで
きる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
の加工液を用いた研磨の場合には、以下に示す問題を有
する。すなわち、例えばワークの面積が大きいなど単位
時間当りの研磨量が多い場合には、必然的に加工液に混
入する砥粒の量が多くなるが、これにともない単位時間
当りに発生する切り粉や研磨使用後の砥粒の量が増加す
る。すると、その切り粉等の排出が十分に行うことがで
きず、ワークと定盤との間に残ってしまう。そしてその
残留した切り粉がワークと接触しその表面に傷等を生じ
させてしまう。また、これを解決するために使用する加
工液の供給量自体を多くすることも考えられるが、そう
するとワークと定盤との間に存在する液体の量が増加
し、両者の間隔が大きくなり、単位時間当りの研磨量が
著しく減少し、さらに充分に砥粒が加工物に接触できず
に研磨不良となる。

【０００４】本発明は、上記した背景に鑑みてなされた
もので、その目的とするところは、単位時間当りの研磨
量が多い場合であっても切り粉等を確実に外部に排出す
ることができ、より精密な研磨作業を短時間で行うこと
のできる研磨用加工液を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、本発明に係る研磨用加工液では、回転する定盤上
に加工物を載置することによりその加工物の定盤への対
向面を研磨する際に、前記定盤と前記加工物との間に供
給されるダイヤモンド等の砥粒が混入された加工液であ
って、その加工液に発泡性の良好な界面活性剤を混入さ
せた。

【０００６】そして、前記発泡性の良好な界面活性剤と
しては、特にアルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム，
脂肪酸アルキロールアミド，アルキルアリルスルホネー
ト並びにラリウル硫酸エステルのうち少なくとも一種か
ら構成されることが望ましいことが、実験した結果明ら
かになった。。

【０００７】さらに、前記界面活性剤を加工液に対して
０．５〜３０重量％混入することが好ましい。すなわ
ち、０．５重量％未満だと、切り粉等を排出するために
十分な発泡効果が期待できない。一方、３０重量％を越
えると、加工液中の液体の占める割合が多くなり、加工
物と定盤すなわち砥粒との間隙が大きくなり加工不良或
いは不能となるからである。

【０００８】

【作用】上記加工液を定盤上に滴下する。すると、その
滴下された加工液は、定盤の回転にともない移動し、そ
の定盤と加工物との間に供給する。すると、加工物は、
加工液中に混入された砥粒によりその表面が削られ、研
磨される。そして、発泡性の良好な界面活性材を混入し
た加工液を用いると、切り粉等の固体の排出が良好とな
り、加工面の表面粗さの程度が１桁程度向上する。

【０００９】これは、以下のことが原因と考えられる。
すなわち、研磨（研削）されて切り粉等が発生すると、
液体に対する固体（砥粒並びに切り粉等）の存在比が大
きくなり、流動性が悪くなる。しかし、この研磨の際に
加工液内に混入された発泡性の良好な界面活性材が研削
圧により発泡し、泡を生じる。すると、その泡により、
加工液中の液体（泡を含む）の容積が膨脹し、結局、液
体に対する上記固体の存在比率が少なくなり、流動性が
向上し、スムーズに加工物と定盤との間から固体が排出
される。そして、液体の容積の膨脹分は、泡であるた
め、加工物を上方に押上げてその加工物と定盤との間隔
を大きくすることはない。

【００１０】

【実施例】以下、本発明に係る研磨用加工液の好適な実
施例について詳述する。本例では、従来から用いられて
いる各種加工液に対し、発泡性の良好な界面活性材を混
入したものを研磨用の加工液としている。すなわち、元
となる加工液の一例を示すと、１リットルの純水中にダ
イヤモンドパウダーを数〜数十重量％，シリコンオイル
またはグリス（砥粒分散のため）を０〜数重量％混入し
たものがある。なお、各混合比は、対象となるワークの
材質，大きさ等により適宜設定される。

【００１１】また、本発明に用いられる界面活性材とし
ては、例えばアルキルベンゼンスルホン酸ナトリウムや
脂肪酸アルキロールアミドやラウリル硫酸エステル等が
適している。そして、混入する界面活性材は、１種類で
も良く或いは複数種を混合状態で用いたものでも良い。
さらに、混入する際には、その混入比率を０．５〜３０
重量％とするのが好ましく、さらに好ましくは、１２重
量％前後とするのが最も効果が良い。

【００１２】そして、界面活性材の混入量を調整するこ
とにより、膜厚、すなわち、加工物と定盤との間隔を調
整することが容易に行える。

【００１３】なお、上記した実施例で示した加工液の成
分は、一例を示したに過ぎず、本発明はこれに限定され
ることなく種々の成分からなる加工液に対して適用する
ことができ、さらに、混入する界面活性材としても上記
したものに限られず、要は切り粉のスムーズな排出を行
うことのできる発泡性の良好なものであればよいのであ
る。

【００１４】

【発明の効果】以上のように、本発明に係る研磨用加工
液では、発泡性の良好な界面活性材を混入したため、そ
の発泡効果により切り粉のスムーズな排出をすることが
できる。その結果、切り粉が加工面に残って傷を付ける
ことがなく、加工精度が向上し、しかも、たとえ単位時
間当りに大量の研磨加工をして、多量の切り粉が発生す
るようなものであっても、確実に切り粉を排出させ研磨
作業を行うことができる。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転する定盤上に加工物を載置すること
によりその加工物の定盤への対向面を研磨する際に、前
記定盤と前記加工物との間に供給されるダイヤモンド等
の砥粒が混入された加工液であって、その加工液に発泡
性の良好な界面活性剤を混入させたことを特徴とする研
磨用加工液。
【請求項２】前記界面活性剤がアルキルベンゼンスル
ホン酸ナトリウム，脂肪酸アルキロールアミド，アルキ
ルアリルスルホネート並びにラリウル硫酸エステルのう
ち少なくとも一種から構成されたことを特徴とする請求
項１に記載の研磨用加工液。
【請求項３】前記界面活性剤が加工液に対して０．５
〜３０重量％混入されたことを特徴とする請求項１また
は２に記載の研磨用加工液。