JPH05226731A

JPH05226731A - レーザ発振器

Info

Publication number: JPH05226731A
Application number: JP5708392A
Authority: JP
Inventors: Tadashi Oshima; 正大島; Ryoji Koseki; 良治小関
Original assignee: Shibuya Kogyo Co Ltd
Current assignee: Shibuya Corp
Priority date: 1992-02-07
Filing date: 1992-02-07
Publication date: 1993-09-03

Abstract

(57)【要約】【構成】循環通路１内のレーザガスは、ターボブロア
１２によって矢印方向に循環されるようになっている。
ターボブロア１２のハウジング１３内は循環通路１と連
通しており、該ハウジング１３内の大気は第２排気通路
１４を介して外部に排出される。これにより、ハウジン
グ１３内は循環通路１内よりも低圧となり、循環通路１
内のレーザガスは、わずかづつ第２排気通路１４を介し
て外部に排出される。そして、上記ハウジング１３内に
オリフィス２４を設けるとともに第２排気通路１４にコ
ントロールバルブ２３を設けている。【効果】上記第２排気通路１４を、循環通路１内の圧
力を一定に維持するための圧力調整通路として兼用でき
るので、それら両通路を別個に設けていた従来に比較す
ると流体通路の構成が簡略になる。

Description

【発明の詳細な説明】

【産業上の利用分野】本発明はレーザ発振器に関し、よ
り詳しくはレーザガスを循環させる循環通路とその付属
部分の改良に関する。

【従来の技術】従来、レーザ発振器として、内部にレー
ザガスを介在させる循環通路と、上記循環通路に一端を
接続するとともに他端を真空ポンプに接続して上記循環
通路内の大気を排出する第１排気通路と、上記循環通路
に一端を接続するとともに他端をレーザガス供給源に接
続して上記循環通路内にレーザガスを供給するガス供給
通路と、上記循環通路の所要位置に設けられて該循環通
路内に介在するレーザガスを循環させるブロアと、上記
循環通路と連通するブロアのハウジングに接続されて、
該ハウジング内の大気を排出して循環通路内よりもハウ
ジング内を低圧にする第２排気通路とを備えたものは知
られている（例えば、特開平２−１１９３号公報）。

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のレーザ発振器では、先ず循環通路内を真空にしたの
ち該循環通路内にレーザガスを供給し、次に循環通路内
のレーザガスの圧力を所定圧力に維持して、上記ブロア
によってレーザガスを循環させるようにしている。この
ような従来の装置では、上記第１排気通路および第２排
気通路とは別に、循環通路内のレーザガスの圧力を一定
に維持するために圧力調整通路および圧力調整手段が必
須となっていた。したがって、上記従来の装置では、流
体通路の構成が複雑になり、メンテナンスが煩雑である
という欠点があった。

【課題を解決するための手段】このような事情に鑑み、
本発明は、上述したレーザ発振器において、上記ブロア
のハウジング内あるいは第２排気通路に、上記循環通路
内のレーザガスの圧力を調整する圧力調整手段を設けた
ものである。

【作用】このような構成によれば、ブロアのハウジング
内あるいは第２排気通路に圧力調整手段を設けているの
で、該第２排気通路を循環通路内のレーザガスの圧力を
所定圧力に維持する圧力調整通路として兼用することが
できる。そのため、圧力調整通路および圧力調整手段
を、上記第１排気通路と第２排気通路とは別個に設ける
必要がない。したがって、従来に比較して流体通路の構
成を簡略化することができるので、メンテナンスも容易
なものとなる。

【実施例】以下図示実施例について本発明を説明する
と、図１において、１はレーザガスを循環させる循環通
路であり、この循環通路１は第１排気通路２を介して真
空ポンプ３に接続してあり、上記第１排気通路２には開
閉弁としての第１ソレノイドバルブ４を設けている。上
記真空ポンプ３を作動させた状態で第１ソレノイドバル
ブ４を開放することによって、循環通路１内の大気を排
出するようにしている。また、循環通路１はガス供給通
路５を介してレーザガスの供給源であるガスボンベ６に
接続してあり、ガス供給通路５には、その上流側から下
流側にむけてレーザガスを所定圧力に減圧するレギュレ
ータ７、ガスの流量を調整するメータリングバルブ８お
よび開閉弁としての第２ソレノイドバルブ９を設けてい
る。したがって、上記第１排気通路２を介して循環通路
１内から大気を排出した後に第２ソレノイドバルブ９を
開放すると、所定流量のレーザガスがガス供給通路５を
介して循環通路１内に供給されるようになっている。循
環通路１の所要位置には、後に詳述するターボブロア１
２を設けてあり、このターボブロア１２を作動させるこ
とによって、循環通路１内に供給されたレーザガスを矢
印方向に循環流通させることができる。このターボブロ
ア１２のハウジング１３には、そのハウジング１３内の
大気を排出する第２排気通路１４を接続している。また
循環通路１の一部を構成する放電管１５には一対の電極
１６，１６’を設けてあり、これら両電極１６，１６’
に高圧電源１７から電圧を印加することによって、該放
電管１５内でレーザ光線を励起するようにしている。さ
らに、上記循環通路１の所要位置には、循環通路１内を
循環流通するレーザガスを冷却する冷却器１８と、循環
通路１内のレーザガスの圧力を計測する圧力計１９を設
けている。上述した構成は基本的に従来公知のレーザ発
振器と変わるところはない。しかして、本実施例では、
上記第２排気通路１４の下流側端部１４ａを上記第１排
気通路２に接続してあり、これにより上記真空ポンプ３
を第２排気通路１４の大気排出手段として兼用するよう
にしている。また、本実施例では、第２排気通路１４を
圧力調整通路として兼用できるようにしている。すなわ
ち、第２排気通路１４における下流側の位置には、開閉
弁としての第３ソレノイドバルブ２２を設けるととも
に、それよりも上流側の位置に圧力調整手段としてコン
トロールバルブ２３を設けている。また、第２排気通路
１４の上流側端部１４ｂを接続したハウジング１３内に
も、圧力調整手段としてのオリフィス２４を設けてい
る。本実施例ではこのように構成することで、真空ポン
プ３の作動状態において第３ソレノイドバルブ２２を開
放すると、ターボブロア１２のハウジング１３内と第２
排気通路１４および第１排気通路２の一部を介して、循
環通路１内のガスが少量づつ排出されるようになり、そ
れによって、循環通路１内のレーザガスの圧力を常に一
定の圧力となるようにしている。また、このように循環
通路１内のレーザガスを排出することで放電管１５の位
置でレーザ光線を励起することに伴って劣化したレーザ
ガスが排出される一方、上記ガス供給通路５を介して新
鮮なレーザガスが循環通路１内に供給されているので、
循環通路１内には常に所定の純度以上のレーザガスが流
通するようになっている。次に、図２に基づいてターボ
ブロア１２の構成を説明すると、ターボブロア１２は、
ターボ翼２５とそれを回転させるモータ２６とから構成
している。ターボ翼２５は概略キャップ状のケーシング
２７内に収納してあり、このケーシング２７に上記モー
タ２６のケーシング２８を一体に連結し、これらによっ
て上述したハウジング１３を構成するようにしている。
上記ターボ翼２５を収納したケーシング２７は、循環通
路１となる図示しない導管に連結してあり、それによっ
て、このケーシング２７の内部空間を循環通路１の一部
としている。そして、モータ２６が作動されるとターボ
翼２５が高速回転されるので、循環通路１内に介在する
レーザガスは矢印方向に給送されるようになり、これに
よりレーザガスを循環通路１内で循環させることができ
る。モータ２６のケーシング２８の両端面には、貫通孔
２８ａ，２８ｂを穿設してあり、これら貫通孔２８ａ，
２８ｂ内に設けた転がり軸受２９によって回転軸３０を
回転自在に軸支している。そして、この回転軸３０のフ
ロント側端部は、ターボ翼２５側のケーシング２７の貫
通孔２７ａを貫通させてケーシング２７内に位置させる
とともに、上記ターボ翼２５を嵌着するようにしてい
る。一方、ケーシング２８におけるリヤ側の貫通孔２８
ｂを貫通させた回転軸３０のリヤ側端部は、ケーシング
２８の一部を構成する皿状のカバー３１によって覆って
あり、このカバー３１に電源ケーブル３２を気密を保持
して貫通させている。また上記カバー３１には、上記第
２排気通路１４のフロント側端部１４ｂを接続してい
る。さらに本実施例では、回転軸３０を貫通させたケー
シング２７の貫通孔２７ａにおけるフロント側開口の位
置に、薄板からなる環状部材３３を取り付けてあり、こ
の環状部材３３の内周部によって貫通孔２７ａのフロン
ト側の開口を絞るようにしている。このように本実施例
では、環状部材３３の内周部によって上述したオリフィ
ス２４を構成している。本実施例のターボブロア１２
は、上述のように構成しているので、上記ケーシング２
７の貫通孔２７ａ、ケーシング２８の内部空間と両貫通
孔２８ａ，２８ｂおよびカバー３１の内部空間が連通し
ている。そのため、それらを介して、つまりハウジング
１３の内部空間を介して上記循環通路１と第２排気通路
１４とが連通している。したがって、前述したように、
真空ポンプ３を作動させた状態で第３ソレノイドバルブ
２２を開放すると、第２排気通路１４を介してハウジン
グ１３の内部空間の大気を排出することができるととも
に、ハウジング１３の内部空間は循環通路１内よりも低
圧となる。これにより、循環通路１内のレーザガスがハ
ウジング１３の内部空間と第２排気通路１４を介して排
出されるようになる。そのため、モータ２６の回転軸３
０が高速回転されることに伴って、転がり軸受２９に充
填したグリースの蒸発物がケーシング２８内に充満した
としても、そのような蒸発物が循環通路１内に侵入する
ことはない。したがって、循環通路１内のレーザガス
が、ケーシング２８内に生じたグリースの蒸発物などに
よって汚染されることを防止することができる。さらに
本実施例では、循環通路１内のレーザガスをハウジング
１３内と第２排気通路１４とを介して排出することがで
き、しかも上記圧力調整手段としてのオリフィス２４と
コントロールバルブ２３とを備えているので、循環通路
１内を流通するレーザガスを所定圧力に調整することが
できる。このように本実施例では、上記第２排気通路１
４を、循環通路１内の圧力を一定に維持する圧力調整通
路として兼用できるので、第２排気通路１４とは別に圧
力調整通路を設ける必要があった従来と比較すると、流
体通路の構成を簡略化することができる。しかも、第２
排気通路１４の下流側端部１４ａは第１排気通路２に接
続されているので、真空ポンプ３は一個だけ設ければよ
い。なお、上記実施例では、ターボブロア１２のハウジ
ング１３内に圧力調整手段としてのオリフィス２４を設
けるとともに第２排気通路１４にも圧力調整手段として
のコントロールバルブ２３を設けているが、いずれか１
つは省略しても良い。

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、従来に
比較して流体通路の構成を簡略化することができるとい
う効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の一実施例を示す全体の回路図

【図２】図１に記載した構成部材の断面図

【符号の説明】

１循環通路２第１排気通路３真
空ポンプ５ガス供給通路６ガスボンベ１２
ターボブロア１３ハウジング１４第２排気通路１４ａ
下流側端部２３コントロールバルブ２４オリフ
ィス

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】内部にレーザガスを介在させる循環通路
と、上記循環通路に一端を接続するとともに他端を真空
ポンプに接続して上記循環通路内の大気を排出する第１
排気通路と、上記循環通路に一端を接続するとともに他
端をレーザガス供給源に接続して上記循環通路内にレー
ザガスを供給するガス供給通路と、上記循環通路の所要
位置に設けられて該循環通路内に介在するレーザガスを
循環させるブロアと、上記循環通路と連通するブロアの
ハウジングに接続されて、該ハウジング内の大気を排出
して循環通路内よりもハウジング内を低圧にする第２排
気通路とを備えたレーザ発振器において、上記ブロアのハウジング内あるいは第２排気通路に、上
記循環通路内のレーザガスの圧力を調整する圧力調整手
段を設けたことを特徴とするレーザ発振器。