JPH05221660A - ガラス微粒子堆積方法 - Google Patents
ガラス微粒子堆積方法Info
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- JPH05221660A JPH05221660A JP5973092A JP5973092A JPH05221660A JP H05221660 A JPH05221660 A JP H05221660A JP 5973092 A JP5973092 A JP 5973092A JP 5973092 A JP5973092 A JP 5973092A JP H05221660 A JPH05221660 A JP H05221660A
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/14—Other methods of shaping glass by gas- or vapour- phase reaction processes
- C03B19/1415—Reactant delivery systems
- C03B19/1423—Reactant deposition burners
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
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- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
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- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガラス微粒子の堆積効率を低下させることな
く多孔質ガラス層の有効長を大きくすることのできるガ
ラス微粒子堆積方法（ＯＶＤ法）を提供する。 【構成】 ＯＶＤ法において、各バーナ４１、４２がス
トロークＳO の中間領域ＳM にあるときは、該各バーナ
４１、４２を一定間隔かつ一定の向きに保持し、各バー
ナ４１、４２がストロークＳO の各端部領域ＳL 、ＳR
にあるときは、それぞれ、ストローク端側から第１番目
のバーナを動かすことなく、少なくとも同第２番目のバ
ーナをストローク端側に向けて傾斜させる。 【効果】 ストロークＳO の中間領域ＳM では、各バー
ナ４１、４２が一定間隔かつ一定の向きに保持されるの
で、ロッド３１の外周面に対するガラス微粒子の堆積効
率が高まり、ストロークＳO の各端部領域ＳL 、ＳR で
は、それぞれ、ストローク端側から第２番目のバーナが
所定のストローク端側に向けて傾斜されるので、多孔質
ガラス層３２の両テーパ部３３、３４が短く仕上がる。
く多孔質ガラス層の有効長を大きくすることのできるガ
ラス微粒子堆積方法（ＯＶＤ法）を提供する。 【構成】 ＯＶＤ法において、各バーナ４１、４２がス
トロークＳO の中間領域ＳM にあるときは、該各バーナ
４１、４２を一定間隔かつ一定の向きに保持し、各バー
ナ４１、４２がストロークＳO の各端部領域ＳL 、ＳR
にあるときは、それぞれ、ストローク端側から第１番目
のバーナを動かすことなく、少なくとも同第２番目のバ
ーナをストローク端側に向けて傾斜させる。 【効果】 ストロークＳO の中間領域ＳM では、各バー
ナ４１、４２が一定間隔かつ一定の向きに保持されるの
で、ロッド３１の外周面に対するガラス微粒子の堆積効
率が高まり、ストロークＳO の各端部領域ＳL 、ＳR で
は、それぞれ、ストローク端側から第２番目のバーナが
所定のストローク端側に向けて傾斜されるので、多孔質
ガラス層３２の両テーパ部３３、３４が短く仕上がる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＯＶＤ法（外付けＣＶ
Ｄ法）を介してロッドの外周面に多孔質ガラス層を形成
するためのガラス微粒子堆積方法に関する。
Ｄ法）を介してロッドの外周面に多孔質ガラス層を形成
するためのガラス微粒子堆積方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ用、イメージファイバ用、ラ
イトガイド用、ロッドレンズ用などの各種母材を作製す
るとき、図２に例示するＯＶＤ法（外付けＣＶＤ法）が
広く採用されている。
イトガイド用、ロッドレンズ用などの各種母材を作製す
るとき、図２に例示するＯＶＤ法（外付けＣＶＤ法）が
広く採用されている。
【０００３】図２に例示するＯＶＤ法の場合、ガラス微
粒子堆積用のロッド１１がその軸心線を中心に回転し、
所定のガス（Ｈ2 、Ｏ2 、ＳｉＣｌ4 、Ａｒなど）が供
給されて燃焼状態に保持されるガラス微粒子合成用の各
バーナ２１、２２が、図示しない往復動機構を介してロ
ッド１１の軸線方向沿いに往復動する。
粒子堆積用のロッド１１がその軸心線を中心に回転し、
所定のガス（Ｈ2 、Ｏ2 、ＳｉＣｌ4 、Ａｒなど）が供
給されて燃焼状態に保持されるガラス微粒子合成用の各
バーナ２１、２２が、図示しない往復動機構を介してロ
ッド１１の軸線方向沿いに往復動する。
【０００４】このとき、燃焼状態の各バーナ２１、２２
では気相反応（火炎加水分解反応）が起こり、当該反応
により生成されたスート状のガラス微粒子が各バーナ２
１、２２の先端よりロッド１１の外周面上に噴射かつ堆
積されるので、ロッド１１の外周面上に、堆積したガラ
ス微粒子による多孔質ガラス層１２が形成される。
では気相反応（火炎加水分解反応）が起こり、当該反応
により生成されたスート状のガラス微粒子が各バーナ２
１、２２の先端よりロッド１１の外周面上に噴射かつ堆
積されるので、ロッド１１の外周面上に、堆積したガラ
ス微粒子による多孔質ガラス層１２が形成される。
【０００５】ＯＶＤ法を介して多孔質ガラス層１２を形
成するとき、多孔質ガラス層１２の両端部にテーパ部１
３、１４が不可避的に生じる。これは、各バーナ２１、
２２が図２の左側領域に到来したとき、一方のバーナ２
１によるバーナ火炎が外側へ拡散し、かつ、他方のバー
ナ２２によるバーナ火炎が多孔質ガラス層１２の左端部
にまで十分達しないからである。このような現象は、各
バーナ２１、２２が図２の右側領域に到来したときにも
生じる。
成するとき、多孔質ガラス層１２の両端部にテーパ部１
３、１４が不可避的に生じる。これは、各バーナ２１、
２２が図２の左側領域に到来したとき、一方のバーナ２
１によるバーナ火炎が外側へ拡散し、かつ、他方のバー
ナ２２によるバーナ火炎が多孔質ガラス層１２の左端部
にまで十分達しないからである。このような現象は、各
バーナ２１、２２が図２の右側領域に到来したときにも
生じる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この種の多孔質ガラス
層１２としては、自明のとおり、両端のテーパ部１３、
１４が短いものほどよく、これが材料の歩留りひいては
多孔質ガラス層１２の有効長を左右する。
層１２としては、自明のとおり、両端のテーパ部１３、
１４が短いものほどよく、これが材料の歩留りひいては
多孔質ガラス層１２の有効長を左右する。
【０００７】かかる観点から既存のＯＶＤ法を検討した
場合、これには、つぎのような技術的課題が残されてい
る。たとえば、図２に例示したＯＶＤ法の場合、各バー
ナ２１、２２が大きな間隔で一定に保持されているの
で、既述のテーパ現象を抑制することができず、多孔質
ガラス層１２の両テーパ部１３、１４が長くなる。その
対策として、各バーナ２１、２２相互を接近させてこれ
らの間隔を小さくすることが考えられるが、こうした場
合には、各バーナ２１、２２の火炎が干渉し合うので、
ガラス微粒子の堆積効率が低下する。ゆえに、既存のＯ
ＶＤ法によるときは、多孔質ガラス層の有効長とガラス
微粒子の堆積効率、これらのいずれか一方を犠牲にせざ
るを得ない。
場合、これには、つぎのような技術的課題が残されてい
る。たとえば、図２に例示したＯＶＤ法の場合、各バー
ナ２１、２２が大きな間隔で一定に保持されているの
で、既述のテーパ現象を抑制することができず、多孔質
ガラス層１２の両テーパ部１３、１４が長くなる。その
対策として、各バーナ２１、２２相互を接近させてこれ
らの間隔を小さくすることが考えられるが、こうした場
合には、各バーナ２１、２２の火炎が干渉し合うので、
ガラス微粒子の堆積効率が低下する。ゆえに、既存のＯ
ＶＤ法によるときは、多孔質ガラス層の有効長とガラス
微粒子の堆積効率、これらのいずれか一方を犠牲にせざ
るを得ない。
【０００８】本発明はこのような技術的課題に鑑み、ガ
ラス微粒子の堆積効率を低下させることなく多孔質ガラ
ス層の有効長を大きくすることのできるガラス微粒子堆
積方法を提供しようとするものである。
ラス微粒子の堆積効率を低下させることなく多孔質ガラ
ス層の有効長を大きくすることのできるガラス微粒子堆
積方法を提供しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は所期の目的を達
成するために下記の手段を特徴とする。すなわち、自己
の軸心線を中心に回転しているガラス微粒子堆積用ロッ
ドと、ロッドの軸線方向に隣接する間隔を保持して先端
をロッドの外周面に向けている複数のガラス微粒子合成
用バーナとを、ロッドの軸線方向に沿う一定のストロー
クで相対移動させつつ、各バーナから噴射されたガラス
微粒子をロッドの外周面上に堆積させて、その外周面上
に多孔質ガラス層を形成するガラス微粒子の堆積方法に
おいて、前記各バーナが前記ストロークの端部領域を除
く中間領域にあるときには、これらバーナを一定間隔か
つ一定の向きに保持すること、および、前記各バーナが
前記ストロークの端部領域にあるときには、ストローク
端側から第１番目のバーナを動かすことなく、同第２番
目のバーナを含む少なくとも一つ以上のバーナをストロ
ーク端側に向けて傾斜させることを特徴とする。
成するために下記の手段を特徴とする。すなわち、自己
の軸心線を中心に回転しているガラス微粒子堆積用ロッ
ドと、ロッドの軸線方向に隣接する間隔を保持して先端
をロッドの外周面に向けている複数のガラス微粒子合成
用バーナとを、ロッドの軸線方向に沿う一定のストロー
クで相対移動させつつ、各バーナから噴射されたガラス
微粒子をロッドの外周面上に堆積させて、その外周面上
に多孔質ガラス層を形成するガラス微粒子の堆積方法に
おいて、前記各バーナが前記ストロークの端部領域を除
く中間領域にあるときには、これらバーナを一定間隔か
つ一定の向きに保持すること、および、前記各バーナが
前記ストロークの端部領域にあるときには、ストローク
端側から第１番目のバーナを動かすことなく、同第２番
目のバーナを含む少なくとも一つ以上のバーナをストロ
ーク端側に向けて傾斜させることを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明に係るガラス微粒子堆積方法（ＯＶＤ
法）の場合、ガラス微粒子堆積用のロッドとガラス微粒
子合成用の各バーナとを一定のストロークで所定方向へ
相対移動させつつ、各バーナから噴射されたガラス微粒
子をロッドの外周面に堆積させて、その外周面上に多孔
質ガラス層を形成するとき、ストロークの中間領域と端
部領域とでバーナ姿勢を異ならせる。
法）の場合、ガラス微粒子堆積用のロッドとガラス微粒
子合成用の各バーナとを一定のストロークで所定方向へ
相対移動させつつ、各バーナから噴射されたガラス微粒
子をロッドの外周面に堆積させて、その外周面上に多孔
質ガラス層を形成するとき、ストロークの中間領域と端
部領域とでバーナ姿勢を異ならせる。
【００１１】すなわち、各バーナがストロークの中間領
域にあるときには、各バーナ火炎が干渉し合うことのな
いように、これらバーナを一定間隔かつ一定の向きに保
持することにより、ロッドの外周面に対するガラス微粒
子の堆積効率を高め、各バーナがストロークの端部領域
にあるときには、たとえば、ストローク端側から第２番
目のバーナをそのストローク端側に向けて傾斜させるこ
とにより、多孔質ガラス層の端部側へ集中的にガラス微
粒子を噴射かつ堆積させ、多孔質ガラス層の両端に生じ
るテーパ部を短くする。
域にあるときには、各バーナ火炎が干渉し合うことのな
いように、これらバーナを一定間隔かつ一定の向きに保
持することにより、ロッドの外周面に対するガラス微粒
子の堆積効率を高め、各バーナがストロークの端部領域
にあるときには、たとえば、ストローク端側から第２番
目のバーナをそのストローク端側に向けて傾斜させるこ
とにより、多孔質ガラス層の端部側へ集中的にガラス微
粒子を噴射かつ堆積させ、多孔質ガラス層の両端に生じ
るテーパ部を短くする。
【００１２】
【実施例】本発明に係るガラス微粒子堆積方法の一実施
例について、図面を参照して説明する。
例について、図面を参照して説明する。
【００１３】図１において、３１は外周面にガラス微粒
子が堆積される石英系のロッドを示し、４１、４２はガ
ラス微粒子合成用のバーナをそれぞれ示す。
子が堆積される石英系のロッドを示し、４１、４２はガ
ラス微粒子合成用のバーナをそれぞれ示す。
【００１４】石英系のロッド３１は、コア用ガラスの
み、あるいは、コア用ガラスとクラッド用ガラスとから
なる。場合により、ロッド３１の外周面上にすでに多孔
質ガラス層が形成されていることもある。ロッド３１
は、これの軸心線を中心に回転させるために、たとえ
ば、ガラス旋盤（図示せず）にセットされて回転自在に
両端支持される。
み、あるいは、コア用ガラスとクラッド用ガラスとから
なる。場合により、ロッド３１の外周面上にすでに多孔
質ガラス層が形成されていることもある。ロッド３１
は、これの軸心線を中心に回転させるために、たとえ
ば、ガラス旋盤（図示せず）にセットされて回転自在に
両端支持される。
【００１５】ガラス微粒子合成用の各バーナ４１、４２
は、中心部から外周部に向けて同心状に重り合った多数
のガス流路を有する多重管構造からなり、これらのガス
流路には、燃料ガス（例：Ｈ2 、炭化水素など）、助燃
ガス（Ｏ2 ）、気相のガラス原料ガス（例：ＳｉＣｌ
4 ）、緩衝ガス（例：Ａｒ）を供給するためのガス供給
系（図示せず）が接続される。
は、中心部から外周部に向けて同心状に重り合った多数
のガス流路を有する多重管構造からなり、これらのガス
流路には、燃料ガス（例：Ｈ2 、炭化水素など）、助燃
ガス（Ｏ2 ）、気相のガラス原料ガス（例：ＳｉＣｌ
4 ）、緩衝ガス（例：Ａｒ）を供給するためのガス供給
系（図示せず）が接続される。
【００１６】これらのバーナ４１、４２は、基体４３の
上に起倒自在に取りつけられて、通常は互いに平行した
状態で直立するように保持されている。各バーナ４１、
４２を起倒自在にするための手段としては、公知ないし
周知の機構が採用される。その一例として、正逆回転自
在なモータと、当該モータに連結された回転軸とを含む
回転復帰機構をあげることができ、この例の場合は、各
バーナ４１、４２が、モータにより回転する回転軸に取
りつけられて傾斜したり起立したりする。他の一例とし
て、回転軸とバネとカム、または、回転軸と歯車などを
含む回転復帰機構をあげることができ、この例の場合
も、必要に応じて、モータが組み合わされる。各バーナ
４１、４２を、直立状態から傾斜状態へと姿勢変更さ
せ、あるいは、傾斜状態から直立状態に姿勢復帰させる
ために、ロッド３１の軸線方向に沿う所定位置には、位
置センサ、リミットスイッチのごとき位置検出手段（図
示せず）が配置され、これが前記起倒手段の動力部に接
続される。したがって、当該起倒手段の動力部は、かか
る位置検出手段からの指令信号を受けてタイムリーにオ
ン−オフ制御される。図示例でのバーナ数は２本である
が、３本以上のバーナが基体４３上に取りつけられるこ
ともある。
上に起倒自在に取りつけられて、通常は互いに平行した
状態で直立するように保持されている。各バーナ４１、
４２を起倒自在にするための手段としては、公知ないし
周知の機構が採用される。その一例として、正逆回転自
在なモータと、当該モータに連結された回転軸とを含む
回転復帰機構をあげることができ、この例の場合は、各
バーナ４１、４２が、モータにより回転する回転軸に取
りつけられて傾斜したり起立したりする。他の一例とし
て、回転軸とバネとカム、または、回転軸と歯車などを
含む回転復帰機構をあげることができ、この例の場合
も、必要に応じて、モータが組み合わされる。各バーナ
４１、４２を、直立状態から傾斜状態へと姿勢変更さ
せ、あるいは、傾斜状態から直立状態に姿勢復帰させる
ために、ロッド３１の軸線方向に沿う所定位置には、位
置センサ、リミットスイッチのごとき位置検出手段（図
示せず）が配置され、これが前記起倒手段の動力部に接
続される。したがって、当該起倒手段の動力部は、かか
る位置検出手段からの指令信号を受けてタイムリーにオ
ン−オフ制御される。図示例でのバーナ数は２本である
が、３本以上のバーナが基体４３上に取りつけられるこ
ともある。
【００１７】各バーナ４１、４２を支持している基体４
３は、ロッド３１の軸線方向沿いに配置された周知のト
ラバース機構（図示せず）を介して往復動自在に設けら
れている。したがって、各バーナ４１、４２は、基体４
３と共にロッド３１の軸線方向沿いに往復動することが
できる。このように、ロッド３１に接近して配置された
各バーナ４１、４２は、これらの先端がロッド３１の外
周面に面している。
３は、ロッド３１の軸線方向沿いに配置された周知のト
ラバース機構（図示せず）を介して往復動自在に設けら
れている。したがって、各バーナ４１、４２は、基体４
３と共にロッド３１の軸線方向沿いに往復動することが
できる。このように、ロッド３１に接近して配置された
各バーナ４１、４２は、これらの先端がロッド３１の外
周面に面している。
【００１８】その他、各バーナ４１、４２を定位置に保
持してロッド３１を所定方向へ移動させることがある。
まれに、ロッド３１と各バーナ４１、４２との双方を離
合式に往復動させることもある。
持してロッド３１を所定方向へ移動させることがある。
まれに、ロッド３１と各バーナ４１、４２との双方を離
合式に往復動させることもある。
【００１９】図１において、ＳO はバーナのストロー
ク、ＳL とＳR はストロークＳO の端部領域、ＳM はス
トロークＳO の中間領域をそれぞれ示す。
ク、ＳL とＳR はストロークＳO の端部領域、ＳM はス
トロークＳO の中間領域をそれぞれ示す。
【００２０】本発明に係るガラス微粒子堆積方法（ＯＶ
Ｄ法）は、図１を参照して明らかなように、ロッド３１
を所定の方向へ回転させ、かつ、Ｈ2 、Ｏ2 、ＳｉＣｌ
4 、Ａｒなどの各ガスが供給されて燃焼状態にある各バ
ーナ４１、４２をストロークＳO の範囲内で往復動させ
る。すなわち、ストロークＳO の範囲内において、各バ
ーナ４１、４２を端部領域ＳL →中間領域ＳM →端部領
域ＳR 、および、端部領域ＳR →中間領域ＳM →端部領
域ＳL のように往復動させ、これらバーナ４１、４２か
ら噴射されたガラス微粒子を、回転しているロッド３１
の外周面上に堆積させて、その外周面上に多孔質ガラス
層３２を形成する。かくて、ロッド３１の外周面上に形
成される多孔質ガラス層３２には、その両端部に既述の
テーパ部３３、３４が生じる。
Ｄ法）は、図１を参照して明らかなように、ロッド３１
を所定の方向へ回転させ、かつ、Ｈ2 、Ｏ2 、ＳｉＣｌ
4 、Ａｒなどの各ガスが供給されて燃焼状態にある各バ
ーナ４１、４２をストロークＳO の範囲内で往復動させ
る。すなわち、ストロークＳO の範囲内において、各バ
ーナ４１、４２を端部領域ＳL →中間領域ＳM →端部領
域ＳR 、および、端部領域ＳR →中間領域ＳM →端部領
域ＳL のように往復動させ、これらバーナ４１、４２か
ら噴射されたガラス微粒子を、回転しているロッド３１
の外周面上に堆積させて、その外周面上に多孔質ガラス
層３２を形成する。かくて、ロッド３１の外周面上に形
成される多孔質ガラス層３２には、その両端部に既述の
テーパ部３３、３４が生じる。
【００２１】上記において、各バーナ４１、４２がスト
ロークＳO の中間領域ＳM にあるとき、これらバーナ４
１、４２を互いに平行する直立状態（一定間隔かつ一定
の向き）に保持して、各バーナ軸線をロッド３１の軸線
と直交させる。こうした場合、各バーナ４１、４２は、
これらのバーナ火炎が干渉し合うことのない適切な平行
間隔に保持されるので、ロッド３１の外周面に対するガ
ラス微粒子の堆積効率が高まる。
ロークＳO の中間領域ＳM にあるとき、これらバーナ４
１、４２を互いに平行する直立状態（一定間隔かつ一定
の向き）に保持して、各バーナ軸線をロッド３１の軸線
と直交させる。こうした場合、各バーナ４１、４２は、
これらのバーナ火炎が干渉し合うことのない適切な平行
間隔に保持されるので、ロッド３１の外周面に対するガ
ラス微粒子の堆積効率が高まる。
【００２２】上記において、各バーナ４１、４２がスト
ロークＳO の端部領域ＳL にあるとき、図１の左側から
第１番目にあるバーナ４１を動かすことなく、同第２番
目のバーナ４２を左側のストローク端に向けて傾斜させ
る。こうした場合、両バーナ４１、４２相互の先端が接
近し、かつ、傾斜したバーナ４２の火炎が多孔質ガラス
層３２のテーパ部３３に沿うようになるので、テーパ部
３３にガラス微粒子が集中的に噴射され、テーパ部３３
が短くなる。ちなみに、多孔質ガラス層３２のテーパ部
３３は、ガラス微粒子堆積面におけるバーナ火炎の間
隔、ガラス微粒子の広がりに依存してその大きさ（長
さ）が決まるので、上記におけるバーナ４２の傾斜角度
は、これらを考慮して設定する。その他、ストロークＳ
O の端部領域ＳL におけるバーナ４１の火炎は、多孔質
ガラス層３２のテーパ部３３に沿って上昇し、そのテー
パ部３３の外側へ流れる傾向が強いので、両バーナ４
１、４２の先端を上記のように接近させても、ストロー
ク中間領域ＳM でのバーナ接近のようなバーナ火炎の干
渉が起こらない。
ロークＳO の端部領域ＳL にあるとき、図１の左側から
第１番目にあるバーナ４１を動かすことなく、同第２番
目のバーナ４２を左側のストローク端に向けて傾斜させ
る。こうした場合、両バーナ４１、４２相互の先端が接
近し、かつ、傾斜したバーナ４２の火炎が多孔質ガラス
層３２のテーパ部３３に沿うようになるので、テーパ部
３３にガラス微粒子が集中的に噴射され、テーパ部３３
が短くなる。ちなみに、多孔質ガラス層３２のテーパ部
３３は、ガラス微粒子堆積面におけるバーナ火炎の間
隔、ガラス微粒子の広がりに依存してその大きさ（長
さ）が決まるので、上記におけるバーナ４２の傾斜角度
は、これらを考慮して設定する。その他、ストロークＳ
O の端部領域ＳL におけるバーナ４１の火炎は、多孔質
ガラス層３２のテーパ部３３に沿って上昇し、そのテー
パ部３３の外側へ流れる傾向が強いので、両バーナ４
１、４２の先端を上記のように接近させても、ストロー
ク中間領域ＳM でのバーナ接近のようなバーナ火炎の干
渉が起こらない。
【００２３】上記において、各バーナ４１、４２がスト
ロークＳO の端部領域ＳR にあるときも、図１の右側か
ら第１番目にあるバーナ４２を動かすことなく、同第２
番目のバーナ４１を右側のストローク端に向けて傾斜さ
せる。こうした場合も、上記と同様の理由で、多孔質ガ
ラス層３２のテーパ部３４が短く仕上がる。
ロークＳO の端部領域ＳR にあるときも、図１の右側か
ら第１番目にあるバーナ４２を動かすことなく、同第２
番目のバーナ４１を右側のストローク端に向けて傾斜さ
せる。こうした場合も、上記と同様の理由で、多孔質ガ
ラス層３２のテーパ部３４が短く仕上がる。
【００２４】なお、ロッド３１の外周面上に形成された
多孔質ガラス層３２は、その後、周知の手段で脱水処理
ならびに透明ガラス化されて透明なガラスとなる。
多孔質ガラス層３２は、その後、周知の手段で脱水処理
ならびに透明ガラス化されて透明なガラスとなる。
【００２５】つぎに、本発明に係るガラス微粒子堆積方
法（ＯＶＤ法）の具体例とその比較例について説明す
る。
法（ＯＶＤ法）の具体例とその比較例について説明す
る。
【００２６】具体例 ロッド３１として、石英系（ＳｉＯ2 −ＧｅＯ2 ）から
なる外径１５ｍｍφ、長さ１０００ｍｍのコア用ガラス
棒を用い、これをガラス旋盤にセットして回転自在に両
端支持した。各バーナ４１、４２としては、多重管構造
を有する酸水素炎バーナを用いた。これらバーナ４１、
４２は、平行状態におけるバーナ軸線の間隔が１２０ｍ
ｍとなる態様で、基体４３の上に起倒自在に取りつけら
れている。上記において、ロッド３１の外周面上に多孔
質ガラス層３２を形成するとき、ロッド３１を２００ｒ
ｐｍで定位置回転させるとともに、各バーナ４１、４２
にはＨ2=５０ｌ／ｍｉｎ、Ｏ2=３５ｌ／ｍｉｎ、ＳｉＣ
ｌ4=６０ｇ／ｍｉｎ、その他のガスを供給してこれらを
燃焼状態に保持し、かつ、該各バーナ４１、４２をロッ
ド３１の軸線方向沿いに１０００ｍｍ／ｍｉｎで往復動
させた。そして、ストロークＳO の中間領域ＳM におい
ては、各バーナ４１、４２を互いに平行する直立状態に
保持し、ストロークＳO の端部領域ＳL においては、一
方のバーナ４２のみを左側へ傾斜させ、さらに、ストロ
ークＳO の端部領域ＳRにおいては、他方のバーナ４１
のみを右側へ傾斜させた。かかるＯＶＤ法において、運
転開始から８時間を経ることにより、外径１２０ｍｍφ
の多孔質ガラス層３２が得られた。このＯＶＤ法で得ら
れた多孔質ガラス層３２の場合、有効長／全長が８０％
と良好であり、全長に占める両テーパ部３３、３４の割
合が２０％にとどまった。
なる外径１５ｍｍφ、長さ１０００ｍｍのコア用ガラス
棒を用い、これをガラス旋盤にセットして回転自在に両
端支持した。各バーナ４１、４２としては、多重管構造
を有する酸水素炎バーナを用いた。これらバーナ４１、
４２は、平行状態におけるバーナ軸線の間隔が１２０ｍ
ｍとなる態様で、基体４３の上に起倒自在に取りつけら
れている。上記において、ロッド３１の外周面上に多孔
質ガラス層３２を形成するとき、ロッド３１を２００ｒ
ｐｍで定位置回転させるとともに、各バーナ４１、４２
にはＨ2=５０ｌ／ｍｉｎ、Ｏ2=３５ｌ／ｍｉｎ、ＳｉＣ
ｌ4=６０ｇ／ｍｉｎ、その他のガスを供給してこれらを
燃焼状態に保持し、かつ、該各バーナ４１、４２をロッ
ド３１の軸線方向沿いに１０００ｍｍ／ｍｉｎで往復動
させた。そして、ストロークＳO の中間領域ＳM におい
ては、各バーナ４１、４２を互いに平行する直立状態に
保持し、ストロークＳO の端部領域ＳL においては、一
方のバーナ４２のみを左側へ傾斜させ、さらに、ストロ
ークＳO の端部領域ＳRにおいては、他方のバーナ４１
のみを右側へ傾斜させた。かかるＯＶＤ法において、運
転開始から８時間を経ることにより、外径１２０ｍｍφ
の多孔質ガラス層３２が得られた。このＯＶＤ法で得ら
れた多孔質ガラス層３２の場合、有効長／全長が８０％
と良好であり、全長に占める両テーパ部３３、３４の割
合が２０％にとどまった。
【００２７】比較例 ストロークＳO の範囲内にわたり、バーナ４１、４２相
互を平行かつ直立状態に保持したほか、すなわち、各バ
ーナ４１、４２の姿勢を終始一定に保持した以外は、前
記具体例と同一の条件でＯＶＤ法を実施した。このＯＶ
Ｄ法で得られた多孔質ガラス層３２の場合、有効長／全
長が６５％と低く、全長に占める両テーパ部３３、３４
の割合が３５％にもなった。
互を平行かつ直立状態に保持したほか、すなわち、各バ
ーナ４１、４２の姿勢を終始一定に保持した以外は、前
記具体例と同一の条件でＯＶＤ法を実施した。このＯＶ
Ｄ法で得られた多孔質ガラス層３２の場合、有効長／全
長が６５％と低く、全長に占める両テーパ部３３、３４
の割合が３５％にもなった。
【００２８】なお、ストロークＳO の端部領域ＳL 、Ｓ
R において、バーナ４１、４２相互の間隔を狭くすると
き、一方のバーナ４１に対して他方のバーナ４２を平行
移動させたり、他方のバーナ４２に対して一方のバーナ
４１を平行移動させることが考えられるが、この手段
は、バーナ４１、４２相互の間隔に制約があり、各バー
ナ４１、４２に付帯する部分をも移動させなければなら
ないので、既述のバーナ傾斜（回転）ほど簡便でない。
R において、バーナ４１、４２相互の間隔を狭くすると
き、一方のバーナ４１に対して他方のバーナ４２を平行
移動させたり、他方のバーナ４２に対して一方のバーナ
４１を平行移動させることが考えられるが、この手段
は、バーナ４１、４２相互の間隔に制約があり、各バー
ナ４１、４２に付帯する部分をも移動させなければなら
ないので、既述のバーナ傾斜（回転）ほど簡便でない。
【００２９】
【発明の効果】本発明に係るガラス微粒子堆積方法は、
所定のＯＶＤ法において、各バーナがストロークの中間
領域にあるとき、これらバーナを一定間隔かつ一定の向
きに保持し、各バーナがストロークの端部領域にあると
き、ストローク端側から第１番目のバーナを動かすこと
なく、少なくとも同第２番目のバーナをストローク端側
に向けて傾斜させるから、ガラス微粒子の堆積効率を低
下させることなく多孔質ガラス層の有効長を大きくする
ことができる。
所定のＯＶＤ法において、各バーナがストロークの中間
領域にあるとき、これらバーナを一定間隔かつ一定の向
きに保持し、各バーナがストロークの端部領域にあると
き、ストローク端側から第１番目のバーナを動かすこと
なく、少なくとも同第２番目のバーナをストローク端側
に向けて傾斜させるから、ガラス微粒子の堆積効率を低
下させることなく多孔質ガラス層の有効長を大きくする
ことができる。
【図１】本発明に係るガラス微粒子堆積方法の一実施例
を略示した正面図である。
を略示した正面図である。
【図２】従来のガラス微粒子堆積方法を略示した正面図
である。
である。
３１ ガラス微粒子堆積用のロッド ３２ 多孔質ガラス層 ３３ 多孔質ガラス層のテーパ部 ３４ 多孔質ガラス層のテーパ部 ４１ ガラス微粒子合成用のバーナ ４２ ガラス微粒子合成用のバーナ ４３ バーナ用の基体 ＳO ストローク ＳL ストロークの端部領域 ＳM ストロークの中間端部 ＳR ストロークの端部領域
Claims (1)
- 【請求項１】 自己の軸心線を中心に回転しているガラ
ス微粒子堆積用ロッドと、ロッドの軸線方向に隣接する
間隔を保持して先端をロッドの外周面に向けている複数
のガラス微粒子合成用バーナとを、ロッドの軸線方向に
沿う一定のストロークで相対移動させつつ、各バーナか
ら噴射されたガラス微粒子をロッドの外周面上に堆積さ
せて、その外周面上に多孔質ガラス層を形成するガラス
微粒子の堆積方法において、前記各バーナが前記ストロ
ークの端部領域を除く中間領域にあるときには、これら
バーナを一定間隔かつ一定の向きに保持すること、およ
び、前記各バーナが前記ストロークの端部領域にあると
きには、ストローク端側から第１番目のバーナを動かす
ことなく、同第２番目のバーナを含む少なくとも一つ以
上のバーナをストローク端側に向けて傾斜させることを
特徴とするガラス微粒子堆積方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5973092A JPH05221660A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | ガラス微粒子堆積方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5973092A JPH05221660A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | ガラス微粒子堆積方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05221660A true JPH05221660A (ja) | 1993-08-31 |
Family
ID=13121609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5973092A Pending JPH05221660A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | ガラス微粒子堆積方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05221660A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1041048A1 (fr) * | 1999-04-01 | 2000-10-04 | Alcatel | Procédé de fabrication d'une preforme pour fibre optique et plus particulierement d'une preforme de fort diametre |
| WO2002024591A1 (de) * | 2000-09-21 | 2002-03-28 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines zylinders aus dotiertem quarzglas |
| WO2002042231A1 (fr) * | 2000-11-24 | 2002-05-30 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Procede et dispositif de fabrication d'un corps constitue de particules de verre |
| KR20030070223A (ko) * | 2002-02-21 | 2003-08-29 | 주식회사 세미텔 | 광섬유 모재 제조장치 |
| CN104765114A (zh) * | 2015-01-16 | 2015-07-08 | 中天科技精密材料有限公司 | 一种精度免维护的一体式金属套筒装置及其装夹方法 |
-
1992
- 1992-02-14 JP JP5973092A patent/JPH05221660A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1041048A1 (fr) * | 1999-04-01 | 2000-10-04 | Alcatel | Procédé de fabrication d'une preforme pour fibre optique et plus particulierement d'une preforme de fort diametre |
| FR2791663A1 (fr) * | 1999-04-01 | 2000-10-06 | Cit Alcatel | Procede de fabrication d'une reforme pour fibre optique et plus particulierement d'une preforme de fort diametre |
| WO2002024591A1 (de) * | 2000-09-21 | 2002-03-28 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines zylinders aus dotiertem quarzglas |
| WO2002042231A1 (fr) * | 2000-11-24 | 2002-05-30 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Procede et dispositif de fabrication d'un corps constitue de particules de verre |
| KR20030070223A (ko) * | 2002-02-21 | 2003-08-29 | 주식회사 세미텔 | 광섬유 모재 제조장치 |
| CN104765114A (zh) * | 2015-01-16 | 2015-07-08 | 中天科技精密材料有限公司 | 一种精度免维护的一体式金属套筒装置及其装夹方法 |
| CN104765114B (zh) * | 2015-01-16 | 2018-03-30 | 中天科技精密材料有限公司 | 一种精度免维护的一体式金属套筒装置及其装夹方法 |
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