JPH0522067U - スピンコーター装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被塗布基板の回転による遠心力によりとびち
った飛沫がカップではね返り、被塗布基板に付着するこ
とを防止すること。 【構成】 被塗布基板１を保持するヘッド部２と、ヘッ
ド部２を保持して回転する回転軸３と、被塗布基板１の
裏面に設けられた裏面カバー４と、被塗布基板１の周囲
部に設けられた内壁にブラシ７を配設するカップ５と、
被塗布基板１の周囲部に配設されブラシ８から構成され
ている。 【効果】 被塗布基板の周囲部およびカップの内壁部に
ブラシを配設することにより、被塗布基板の回転による
遠心力によりとびちった飛沫がカップではね返り、被塗
布基板に付着することを防止できる効果がある。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、塗布液供給部から被塗布基板の表面へ塗布液を供給してこの塗布液 を前記被塗布基板表面にスピンコートするスピンコーターに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来のスピンコーター装置の断面図を図２に示す。 従来のスピンコーター装置は、被塗布基板９を保持するヘッド部１０、ヘッド部 １０を保持して回転する回転軸１１と、被塗布基板の裏面に設けられた裏面カバ ー１２と、被塗布基板９の周囲部にカップ１３を設ける構成となっている。 被塗布基板９にシリンダー１４より塗布液を滴下した後に、前記被塗布基板９を 回転軸１１により回転させた遠心力により被塗布基板９上に塗布膜を形成する。

【０００３】

【考案が解決しようとする問題点】

従来のスピンコーター装置は、被塗布基板を保持するヘッド部の回転軸による 回転の遠心力により被塗布基板表面に塗布された塗布液がふり切れ、被塗布基板 の周囲部に設けられたカップの内壁ではね返り被塗布基板に付着してしまうとい う欠点がある。 それ故に、本考案の目的は遠心力によりふり切れた飛沫のはね返りを緩和できる スピンコーター装置を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

従って、本考案は上述の目的を達成するために、被塗布基板を保持するスピン コーターヘッド部と、前記スピンコーターヘッド部を保持して回軸する回転軸と 、前記被塗布基板の裏面に設けられたカバー部と、前記被塗布基板の周囲部に設 けられた環状のカップとを具備したことを特徴とするスピンコーター装置のもの であり、さらには被塗布基板の周囲部およびカップの内壁部にブラシを配設した ものである。

【０００５】

【作用】

この考案によれば、被塗布基板の周囲部およびスピンコーターカップの内壁に ブラシを配設することにより、被塗布基板の回転遠心力によりとびちった飛沫の 運動量を緩和する働きをし、被塗布基板に飛沫が付着する問題を解決している。

【０００６】

【実施例】

次に、本考案の一実施例について図１を参照して説明する。 このスピンコーターは、被塗布基板１を保持するヘッド部２と、ヘッド部２を 保持して回軸する回転軸３と、被塗布基板１の裏面に設けられた裏面カバー４と 、被塗布基板１の周囲部に設けられた内壁にブラシ７を配設するカップ５と、被 塗布基板１の周囲部に配設されたブラシ８から構成されている。

【０００７】 被塗布基板１にシリンダー６により塗布液を滴下した後に、前記被塗布基板１ を回転軸３により回転させた遠心力により塗布膜を形成する。 この際、回転の遠心力によって塗布液がふり切れ、とびちった飛沫がブラシ７及 び８により運動量が緩和されカップではね返り被塗布基板に付着することを防止 する。ブラシの材質はナイロン、ポリエチレン、ポリプロピレン、テフロン、ポ ブタジエンなどが好ましくブラシの径は０．１〓〜０．３〓、密度は１００本／ cm2以下にするとよい。

【０００８】 以上説明したように本考案は、被塗布基板の周囲部およびカップの内壁部にブ ラシを配設することにより、被塗布基板の回転による遠心力によりとびちった飛 沫がカップではね返り、被塗布基板に付着することを防止できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のスピンコーター装置の断面図である。

【図２】従来のスピンコーター装置の断面図である。

【符号の説明】

１、９ 被塗布基板 ２、１０ スピンコーターヘッド部 ３、１１ 回転軸 ４、１２ 裏面カバー ５、１３ カップ ６、１４ シリンダー ７ ブラシ ８ ブラシ２

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 被塗布基板を保持するスピンコーターヘ
   ッド部と、前記スピンコーターヘッド部を保持して回軸
   する回転軸と、前記被塗布基板の裏面に設けられたカバ
   ー部と、前記被塗布基板の周囲部に設けられた環状のカ
   ップとを具備したことを特徴とするスピンコーター装
   置。
2. 【請求項２】 前記カップの内壁にブラシを配設するこ
   とを特徴とする請求項１記載のスピンコーター装置。
3. 【請求項３】 前記被塗布基板の周囲部に環状のブラシ
   を配設させることを特徴とする請求項１記載のスピンコ
   ーター装置。