JPH05218559A - Ｃｏ２導波管レーザ用の周波数掃引位相ロックループシンセサイザ電源 - Google Patents

Ｃｏ２導波管レーザ用の周波数掃引位相ロックループシンセサイザ電源

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JPH05218559A
JPH05218559A JP4245152A JP24515292A JPH05218559A JP H05218559 A JPH05218559 A JP H05218559A JP 4245152 A JP4245152 A JP 4245152A JP 24515292 A JP24515292 A JP 24515292A JP H05218559 A JPH05218559 A JP H05218559A
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signal
voltage
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power supply
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JP4245152A
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Charles E Nourrcier
チャールス・イー・ヌアーシアー
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Raytheon Co
Original Assignee
Hughes Aircraft Co
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、ＣＯ2 導波管レーザ用の無線周波
数電源の周波数が発振器開始時と連続動作時で１〜５Ｍ
Ｈz 相違するのに対して最適の周波数で電力を供給する
電源装置を提供することを目的とする。 【構成】 レーザ10の連続動作のために第１の予め定め
られた周波数で無線周波数レーザ駆動信号を発生する位
相ロックループ周波数シンセサイザ18のＶＣＯ26が連続
動作に最適な第１の周波数より高い第２の予め定められ
た周波数から下方に周波数掃引を開始して途中でレーザ
発振開始のための中間の第３の周波数を通って第１の予
め定められた周波数まで掃引して装置の誤差や温度変化
によるレーザ発振開始周波数の変動に関係なく、まず第
３の周波数でレーザ発振を開始させた後に連続動作に最
適な第１の周波数に自動的に電源周波数を設定すること
を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＣＯ2 導波管レーザの
発振開始および連続動作の両方に最適に設計された無線
周波数（ＲＦ）電源に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＣＯ2 導波管レーザは医療から軍事およ
び工業分野まで適用される信頼性の高い低価格な多用途
の装置である。これらのレーザの説明は、ラックマン氏
による文献（SPIE vol.247 Advances in Laser Enginee
ring and Applications,1980年，74乃至78頁）に記載さ
れている。これらのレーザは横断方向または縦方向の動
作モードを含む種々の構造およびＤＣまたはＲＦ励起を
有する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ＲＦ励起または駆動さ
れたＣＯ2 導波管レーザに関する問題は、連続したレー
ザ動作に最適である周波数およびパワーレベルでＲＦ励
起が最初に行われる場合、それらが発振開始しないこと
である。 150ＭＨｚの周波数で最大効率で連続的に動作
するレーザの一例として、レーザを最初に発振させるた
めに必要なＲＦ励起は 150ＭＨｚより１乃至５ＭＨｚ程
度高い周波数である。
【０００４】レーザのインピーダンスはＣＯ2 ガスの状
態および電極の物理的ディメンションによって決定され
る。ガスは電極と組合せられて分布容量を形成する誘電
材料のように作用する。ガスの誘電定数は不発振状態か
ら発振状態に変化する。ＲＦ駆動電源とレーザとの間で
整合したＲＦインピーダンスが発振状態に対して最適化
された場合、不発振状態において周波数は発振開始のた
めに十分なパワーをレーザに与えるために変化されなけ
ればならない。
【０００５】十分なＲＦ駆動パワーにより、レーザは連
続動作に最適な周波数でスタートされることができる。
しかしながら、これはさらに複雑で大きく高価である高
電力のＲＦ供給を必要とする。レーザの最初の発振中の
高い反射パワーのために、ＲＦ電源内のＲＦ増幅器は保
護されなければならない。これは付加的な複雑さおよび
費用をＲＦ電源に付加する。
【０００６】種々の手段は発振開始のために増加された
周波数でＲＦ駆動パワーを最初に供給し、その後レーザ
が発振を開始した後、最適の連続動作周波数にＲＦ駆動
パワーを切替えるために使用される。この機能を行う従
来技術の回路構造は、それらの出力において異なるＲＦ
周波数を発生する開ループ構造で動作する２つの電圧制
御発振器（ＶＣＯ）および適切な時間でレーザに発振器
を選択的に接続するＲＦスイッチを含む。
【０００７】第１のＶＣＯは最初に発振開始周波数より
高い周波数を有し、最適な連続動作周波数を通過して下
方に掃引する駆動信号を発生する。第２のＶＣＯは最適
な連続動作周波数で駆動信号を発生する。ＲＦスイッチ
は最初に発振開始するためにレーザに第１のＶＣＯを接
続し、次に第１のＶＣＯを切替えて遮断し、レーザが発
振開始した後に第２のＶＣＯをスイッチインする。
【０００８】このような周波数スイッチング構造を使用
してＣＯ2 導波管レーザの発振を開始させ、動作させる
ことは可能であるが、２つのＶＣＯ間のスイッチングの
タイミングは臨界的である。第１のＶＣＯが遮断され、
第２のＶＣＯがまだ接続されていない（どちらのＶＣＯ
もレーザに接続されていない）時間の期間がある場合、
レーザ発振は消滅する。その代わりとして、第１のＶＣ
Ｏが遮断される前に第２のＶＣＯが接続された場合（両
ＶＣＯがレーザに接続される）、レーザは最適な連続動
作周波数より下で第１のＶＣＯの周波数に後続し、発振
は消滅する。
【０００９】ＶＣＯ動作開ループは温度ドリフトの結果
生じた著しい出力周波数変化にさらされる。典型的なＶ
ＣＯの周波数対出力電圧は装置によっておよび、または
温度の影響のために１０ＭＨｚ乃至２０ＭＨｚだけずら
れされる可能性がある。レーザの発振開始の周波数と連
続動作周波数との差は１ＭＨｚ乃至５ＭＨｚに過ぎない
ため、このずれは大きい。周波数があまり高く掃引しな
い場合、レーザは発振開始しない。周波数が非常に低く
値まで掃引された場合、レーザの発振は消滅する。
【００１０】さらにこれらの回路は、手動調節が正しい
周波数にＶＣＯを同調するために必要なので自動化され
た大量生産が困難である。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明を使用するＲＦ電
源は、通常連続的なレーザ動作に最適である第１の周波
数でＣＯ2 導波管レーザにＲＦ駆動信号を供給する位相
ロックループ周波数シンセサイザを含む。レーザの発振
を開始するためにシンセサイザの電圧制御された発振器
（ＶＣＯ）は第１の周波数より高い第２の周波数からレ
ーザ発振開始に最適である中間の第３の周波数を通って
第１の周波数まで駆動信号の周波数を下方に掃引する。
レーザは第３の周波数を通って下方に掃引される途中で
発振が開始され、その後連続動作のための第１の周波数
に維持される。
【００１２】本発明は掃引ＲＦ電源に大きく改良された
安定性および信頼性を与える位相ロックループの固有の
性能を示す。この電源は小さく、容易に利用可能で安価
な素子を使用し、手動調節または周波数同調が不要なの
で、自動化された市販生産ベースで製造されることが可
能である。この位相ロックループシンセサイザは安定し
た周波数基準により閉ループ構造で動作されるため、上
記の従来技術のスイッチング構造に関連した温度ドリフ
トの問題はなくなる。臨界的なタイミング要求はスイッ
チング動作が存在しないため取除かれる。
【００１３】本発明のこれらおよび別の特徴および利点
は、以下の詳細な説明および添付図面から当業者に明ら
かになるであろう。ここで同じ参照符号は同じ素子を示
している。
【００１４】
【実施例】図１は、上記のラックマン氏による上記の参
照文献に示されたように横断方向または縦方向モードの
構造を有するＲＦ励起または駆動ＣＯ2 導波管レーザ10
を示す。ＲＦ電源12は、レーザ10および電源12の動作に
必要なＤＣおよびＡＣ電圧を供給する主電源14並びに全
体的な動作を制御する制御ユニット16を含む。位相ロッ
クループ（ＰＬＬ）シンセサイザ18は、典型的に3.75Ｍ
Ｈｚの周波数でＲＦ基準信号ＲＥＦを発生する基準信号
発生器20を含む。信号ＲＥＦはミキサまたは位相検出器
22の入力に供給される。
【００１５】位相検出器22の１つの分枝出力は抵抗Ｒ1
およびＲ3 を通って演算増幅器ＯＡの反転入力に供給さ
れる。位相検出器22の第２の分枝出力は抵抗Ｒ2 および
Ｒ4を通って増幅器ＯＡの非反転入力に供給される。容
量Ｃ1 は抵抗Ｒ1 およびＲ3の接合部と接地との間に接
続される。容量Ｃ2 は抵抗Ｒ2 およびＲ4 の接合部と接
地との間に接続される。抵抗Ｒ6 および容量Ｃ4 は、増
幅器ＯＡの非反転入力と接地との間に直列に接続され
る。演算増幅器ＯＡはループ積分器または２次ローパス
フィルタ24として動作するるように接続され、抵抗Ｒ5
および容量Ｃ3 は通常の積分フィードバックループで増
幅器ＯＡの出力とその反転入力との間に接続されてい
る。
【００１６】増幅器ＯＡの出力はダイオードＤＩの陽極
に接続され、その陰極は抵抗Ｒ8 を介して電圧制御発振
器（ＶＣＯ）26の入力に接続される。抵抗Ｒ7 はダイオ
ードＤＩおよび抵抗Ｒ8 の接合部と接地との間に接続さ
れる。容量Ｃ5 はＶＣＯ26の入力と接地との間に接続さ
れる。
【００１７】以下に説明するように、制御ユニット16は
抵抗Ｒ10を通じて電界効果トランジスタＦＥＴのゲート
に掃引パルス信号ＳＷＰを供給する。制御ユニット16の
ＳＷＰ信号出力と抵抗Ｒ10の接合部は抵抗Ｒ11を通じて
接地されている。主電源14はトランジスタＦＥＴのドレ
インにＤＣ電圧Ｖccを供給し、そのソースは抵抗Ｒ9を
介してＶＣＯ26の入力に接続されている。容量ＣＸはＶ
ＣＯ26の入力を横切って接続され、さらに詳しく言えば
ＶＣＯ26の入力と接地との間に抵抗Ｒ9 と直列接続され
る。ＶＣＯ26の出力は、１：40の例示的な周波数分割比
を有する周波数分割器28を介して位相検出器22の入力に
フィードバックされる。
【００１８】シンセサイザ18は通常ＶＣＯ26の出力に現
れるＲＦレーザを駆動または出力信号ＤＲを生成するよ
うに機能する。出力信号ＤＲは、レーザ10の連続した動
作に最適であるように選択される 150ＭＨｚの例示的な
周波数を有する。詳細に示されていないが、レーザ10は
信号ＤＲを増幅し、適切なインピーダンス整合でレーザ
光学装置にそれを供給する高電圧増幅器を含む。
【００１９】特に、ＶＣＯ26は入力に供給された電圧に
対応した周波数で信号ＤＲを生成する。信号ＤＲの周波
数は分割器28によって係数40で分割される。位相検出器
22は、周波数分割された信号ＤＲの位相を基準信号ＲＥ
Ｆと比較し、それらの間の位相差に対応した差信号を発
生する。差信号は差信号中のＲＦ成分を減衰するローパ
スフィルタ24に位相検出器22の２つの出力分枝を通じて
供給される。ＤＩＦとして示されたフィルタ処理された
差信号は、基準信号ＲＥＦと出力信号ＤＲと間の位相差
に対応したＤＣ電圧を有する。信号ＤＩＦは、差信号Ｄ
ＩＦの電圧に対応した周波数で出力信号ＤＲを発生する
ＶＣＯ26の入力に供給される。シンセサイザ18は通常レ
ーザ10の連続動作に最適である 150ＭＨｚで出力信号Ｄ
Ｒの周波数をロックするように機能する。出力信号ＤＲ
の周波数（ 150ＭＨ）は分割器28の周波数分割比（40）
により乗算された基準信号ＲＥＦの周波数（3.75ＭＨ
ｚ）に等しい。
【００２０】上記に論じられたように、レーザ10を発振
開始するのに最適な周波数は連続動作に対する最適周波
数より少し上である。レーザ10が連続動作に対して 150
ＭＨで最適に駆動された場合、最適な発振開始周波数は
典型的に連続した動作周波数より１乃至５ＭＨｚ程度上
の周波数である。
【００２１】図２の（ａ）に示されているように、制御
ユニット16はレーザ10の発振を開始させるために、100m
s 程度の期間Ｔc を有するＳＷＰパルスをトランジスタ
ＦＥＴのゲートに一時的に供給する。ＳＷＰパルスはト
ランジスタＦＥＴをオンにし、抵抗Ｒ9 を通してＶＣＯ
26の入力と、期間Ｔc 中にトランジスタＦＥＴを通って
実質的に電圧Ｖccに充電するキャパシタＣＸとに電圧Ｖ
ccを供給する。
【００２２】電圧Ｖccは、 150ＭＨｚより９ＭＨｚ程度
高い周波数またはレーザ10の発振を開始させるのに最適
な周波数の少し上の周波数に対応するように選択され
る。期間Ｔc の終端時、キャパシタＣＸは実質的にＶcc
に充電される。この電圧はＶＣＯ26に供給され、それに
電圧Ｖccに対応した周波数、例えばほぼ 159ＭＨｚで出
力信号ＤＲを生成させる。ＳＷＰパルスの終端はトラン
ジスタＦＥＴをオフにさせ、それによってキャパシタＣ
ＸおよびＶＣＯ26から電圧Ｖccを遮断する。図２の
（ｂ）に示されているように、キャパシタＣＸは、ＶＣ
Ｏ26の入力に供給されるキャパシタＣＸを横切る電圧Ｖ
ccが実質的なＶccからシンセサイザがほぼ 150ＭＨｚで
ロックされる電圧Ｖo に向かって減少または下方に掃引
するように期間Ｔ中に抵抗Ｒ7 、Ｒ8 およびＲ9 並びに
ＶＣＯ26の入力インピーダンスを通して放電する。放電
時間期間Ｔd は重要ではなく、典型的に10秒程度であっ
てもよい。
【００２３】図２の（ｃ）に示されているように、この
動作は期間Ｔd 中に出力信号ＤＲの周波数を 159ＭＨｚ
から 150ＭＨｚに向かって下方に掃引させる。この掃引
中に、周波数は通常Ｔi で示された時間にレーザ10を発
振開始するのに最適である値、例えば 153ＭＨｚに一時
的に到達し、レーザ10を発振開始する。信号ＤＲの周波
数は、時間Ｔi に発振を開始したレーザ10が連続的に動
作する 150ＭＨｚの一定値まで連続的に下方に掃引を続
ける。
【００２４】ダイオードＤＩは、期間Ｔc ＋Ｔd の間の
周波数掃引動作期間中にローパスフィルタ24の出力から
ＶＣＯ26の入力を遮断するように機能する逆方向阻止ダ
イオードである。実質的にＴc ＋Ｔd の期間全体の間の
キャパシタＣＸを横切る電圧が差信号ＤＩＦの電圧より
高い期間には、ダイオードＤＩは逆バイアスされ、それ
によってキャパシタＣＸを横切る掃引電圧が差信号ＤＩ
Ｆに重なることを可能にする。
【００２５】回路中で関連した抵抗と組合せられたキャ
パシタＣＸの充電および放電時定数は、キャパシタＣＸ
が時間期間Ｔc 中に比較的迅速に充電し、時間期間Ｔd
中に比較的ゆっくりと放電するように選択される。それ
によって、信号ＤＲの周波数はレーザ10の発振が開始さ
れる最適な周波数を通って比較的ゆっくりと下方に掃引
し、最適な連続駆動周波数まで連続的に下方に掃引が続
けられる。掃引がレーザの発振を開始させるために必要
な周波数より高い周波数で始まる限り、シンセサイザ18
に対して臨界的なタイミングまたは温度ドリフト状態は
存在しない。
【００２６】掃引が始まる周波数はＶccによって決定さ
れ、それはＶＣＯパラメータにおける生産変数および温
度の影響を考慮した場合、適切な掃引を保証するために
非常に高く設定されることができる。
【００２７】シンセサイザ18の適切な動作のために、信
号ＲＥＦと信号ＤＲのビートによって発生されたビート
周波数は大幅に減衰されることが重要である。このビー
ト周波数がＶＣＯ26を変調した場合、サイドバンドが出
力信号ＤＲのスペクトル中で生成される。出力信号ＤＲ
は基準周波数とビート周波数の和および差に対応した周
波数（およびその高調波）のサイドバンドを有する。
【００２８】ビート周波数は電磁干渉（ＥＭＩ）に関連
しているに過ぎない。システムはＲＦ電源から放射され
たピックアップを取除くために信号プロセッサ（示され
ていない）中にノッチフィルタを要求する。したがっ
て、ビート周波数を取除くことによってできるだけ狭い
ＲＦ電源のスペクトルを維持することが重要である。場
合によっては、これは問題ではない。
【００２９】ビート周波数は、シンセサイザ18のループ
帯域幅に関して基準信号ＲＥＦの周波数を非常に高くす
ることによって無視できるレベルに減少される。シンセ
サイザ18の周波数安定性は基準発振器20の周波数安定性
によって決定される。基準発振器の周波数を追跡するシ
ンセサイザ18の性能はループ帯域幅によって決定され
る。市販のＶＣＯ中の位相雑音は典型的に10ＫＨｚより
大きい周波数で−80ｄＢｃだけ減衰されるため、ほぼ25
ＫＨｚ程度のループ帯域幅がシンセサイザ18に適切であ
る。
【００３０】ビート周波数の減衰はさらにシンセサイザ
18の適切な位置に付加的な極またはローパスフィルタを
設けることによって行われることができる。抵抗Ｒ1 お
よびキャパシタＣ1 はローパスフィルタ24への入力の上
方分枝中にこのような付加的な１極を構成し、一方抵抗
Ｒ2 およびキャパシタＣ2 はその下方分枝に対応した付
加的な１極を構成する。抵抗Ｒ8 およびキャパシタＣ5
はローパスフィルタ24の出力とＶＣＯ26の入力との間に
付加的な極を構成する。
【００３１】キャパシタＣＸの充電および放電時定数を
計算する等価回路は図３に示されている。トランジスタ
ＦＥＴスイッチが閉じられた（トランジスタＦＥＴがＳ
ＷＰパルスによってオンに切替えられた）とき、キャパ
シタＣＸは時定数Ｔc により充電し、ここにおいて、 Ｔc ＝ＣＸ（Ｒs ＋Ｒp ） ここで、Ｒs はＳＷＰパルスによってオンに切替えられ
たトランジスタＦＥＴのドレインソース抵抗であり、Ｒ
p は電圧Ｖccを生成する電源14の電源インピーダンスで
ある。
【００３２】ＳＷＰパルスの終端時に、トランジスタＦ
ＥＴはオフに切替えられ、キャパシタＣＸは時定数Ｔd
で放電し、ここにおいて、 Ｔd ＝ＣＸ［Ｒ9 ＋Ｒvco （Ｒ7 ＋Ｒ8 ）／（Ｒvco ＋Ｒ7 ＋Ｒ8 ）］ シンセサイザ18の主素子は市販の素子から組立てられ
る。例えば、位相検出器22はモトローラ社のＭＣ4344の
集積回路（ＩＣ）、演算増幅器ＯＡとしてプレシジョン
モノリシックス社のＯＰ27ＩＣ、ＶＣＯ26としてもモト
ローラ社のＭＣ1648ＩＣおよび周波数分割器28としてプ
レッシィＳＰ8716ＩＣを含む。
【００３３】本発明の実施例が図示および説明されてい
るが、当業者は本発明の技術的範囲を逸脱することなく
種々の変形および別の態様を認識するであろう。したが
って、本発明は特に示された実施例だけに限定されるも
のではない。種々の修正が考慮され、添付された特許請
求の範囲によって限定されたように本発明の技術的範囲
を逸脱することなく行われることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を使用したＣＯ2 導波管レーザ用のＲＦ
電源を示す電気的概略図。
【図２】本発明の電源の動作を示すタイミング図。
【図３】本発明の電源の充電および放電時定数を計算す
る等価回路の概略図。

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ＣＯ2 導波管レーザ用の無線周波数電源
    において、 通常連続したレーザ動作のために第１の予め定められた
    周波数で無線周波数レーザ駆動信号を発生する位相ロッ
    クループ周波数シンセサイザ手段と、 第１の予め定められた周波数より高い第２の予め定めら
    れた周波数からレーザ発振開始のための中間の第３の予
    め定められた周波数を通って第１の予め定められた周波
    数まで駆動信号の周波数をシンセサイザ手段によって下
    方に掃引させる周波数掃引手段とを具備していることを
    特徴とする電源。
  2. 【請求項２】 周波数掃引手段は、レーザ発振開始に最
    適である予め定められた時間の期間中に第２の予め定め
    られた周波数から第１の予め定められた周波数に駆動信
    号の周波数をシンセサイザ手段に掃引させるように構成
    されている請求項１記載の電源。
  3. 【請求項３】 シンセサイザ手段は、第４の予め定めら
    れた周波数でＲＦ基準信号を発生する基準発振器手段
    と、 基準信号および駆動信号を受信し、それらの間の位相差
    に対応した電圧を有する差信号を生成する位相検出器手
    段と、 位相検出器手段から差信号を受信し、そこからＲＦ信号
    成分を除去するローパスフィルタ手段と、 ローパスフィルタ手段から差信号を受信し、通常差信号
    の電圧に対応した周波数で駆動信号を発生する電圧制御
    発振器手段とを備え、差信号は通常第１の予め定められ
    た周波数に対応した第１の予め定められた電圧を有し、 周波数掃引手段は、差信号に重なり、第２の予め定めら
    れた周波数に対応した第２の予め定められた電圧から第
    １の予め定められた電圧に掃引する電圧を有する電圧制
    御発振器手段に周波数掃引信号を供給するように構成さ
    れている請求項１記載の電源。
  4. 【請求項４】 電圧制御発振器手段はローパスフィルタ
    手段から差信号を受信するための入力を有し、 周波数掃引手段は、電圧制御発振器手段の入力を横切っ
    て接続され、レーザ発振開始に最適である予め定められ
    た時間の期間に対応した時定数を有する容量手段と、第
    ２の予め定められた電圧にこの容量手段を充電し、続い
    て容量手段を放電させる充電手段とを備えている請求項
    ３記載の電源。
  5. 【請求項５】 周波数掃引手段は、容量手段が差信号の
    電圧より高い電圧に充電されたときに逆バイアスされる
    ローパスフィルタ手段と容量手段との間に接続された逆
    転阻止ダイオードを具備している請求項４記載の電源。
  6. 【請求項６】 容量手段は電圧制御発振器手段の入力端
    子目に直列接続されたキャパシタおよび抵抗を具備して
    いる請求項４記載の電源。
  7. 【請求項７】 実質的に第２の電圧を有する直流信号を
    発生する電源手段と、 充電手段に電源手段を一時的に接続するスイッチ手段と
    を具備している請求項４記載の電源。
  8. 【請求項８】 電圧制御発振器手段は駆動信号を出力す
    る出力部を有し、 シンセサイザ手段はさらに電圧制御発振器手段の出力と
    位相検出器手段との間に接続された周波数分割器手段を
    含み、 第１の予め定められた周波数は第４の予め定められた周
    波数より高い請求項３記載の電源。
  9. 【請求項９】 通常第１の予め定められた周波数で出力
    信号を発生する位相ロックループ周波数シンセサイザ手
    段と、 第１の予め定められた周波数より高い第２の予め定めら
    れた周波数から第１の予め定められた周波数まで出力信
    号の周波数をシンセサイザ手段によって下方に掃引させ
    る周波数掃引手段とを備え、 シンセサイザ手段は、第３の予め定められた周波数でＲ
    Ｆ基準信号を発生する基準発振器手段と、基準信号およ
    び出力信号を受信し、それらの間の位相差に対応した電
    圧を有する差信号を生成する位相検出器手段と、位相検
    出器手段から差信号を受信し、そこからＲＦ信号成分を
    除去するローパスフィルタ手段と、ローパスフィルタ手
    段から差信号を受信し、通常差信号の電圧に対応した周
    波数で出力信号を発生する電圧制御発振器手段とを備
    え、差信号は通常第１の予め定められた周波数に対応し
    た第１の予め定められた電圧を有し、 周波数掃引手段は、差信号に重なり、第２の予め定めら
    れた周波数に対応した第２の予め定められた電圧から第
    １の予め定められた電圧まで掃引する電圧を有する電圧
    制御発振器手段に周波数掃引信号を供給するように構成
    されていることを特徴とする無線周波数電源。
  10. 【請求項１０】 電圧制御発振器手段はローパスフィル
    タ手段から差信号を受信する入力を有し、 周波数掃引手段は、電圧制御発振器手段の入力端子間に
    接続され、予め定められた時定数を有する容量手段と、
    第２の予め定められた電圧にこの容量手段を充電し、そ
    れに続いて容量手段を放電させる充電手段とを備えてい
    る請求項９記載の電源。
  11. 【請求項１１】 シンセサイザ手段はさらに基準信号と
    出力信号との間のビートによって発生されたビート信号
    を減衰するビート周波数フィルタ手段を備えている請求
    項９記載の電源。
  12. 【請求項１２】 ローパスフィルタ手段は基準信号と出
    力信号との間のビートによって発生されたビート信号を
    減衰するビート周波数フィルタ手段を備えている請求項
    ９記載の電源。
  13. 【請求項１３】 基準信号と出力信号との間のビートに
    よって発生されたビート信号を減衰するローパスフィル
    タ手段と電圧制御発振器手段との間に接続されたビート
    周波数フィルタ手段を備えている請求項９記載の電源。
  14. 【請求項１４】 電圧制御発振器手段は出力信号を出力
    する出力部を有し、 シンセサイザ手段はさらに電圧制御発振器手段の出力と
    位相検出器手段との間に接続された周波数分割器手段を
    具備し、 第１の予め定められた周波数は第３の予め定められた周
    波数より高い請求項９記載の電源。
JP4245152A 1991-09-13 1992-09-14 Ｃｏ２導波管レーザ用の周波数掃引位相ロックループシンセサイザ電源 Pending JPH05218559A (ja)

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