JPH05214511A - プラスチック部品の表面の金属被覆方法及び当該方法による部品 - Google Patents
プラスチック部品の表面の金属被覆方法及び当該方法による部品Info
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- JPH05214511A JPH05214511A JP30803992A JP30803992A JPH05214511A JP H05214511 A JPH05214511 A JP H05214511A JP 30803992 A JP30803992 A JP 30803992A JP 30803992 A JP30803992 A JP 30803992A JP H05214511 A JPH05214511 A JP H05214511A
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- H05K3/38—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
- H05K3/381—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by special treatment of the substrate
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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-
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明はマイクロ波の製品の分野において、
またミリメーター波の製品の分野において、高精密な部
品の製造を可能にするプラスチックを金属被覆する方法
と当該方法による部品を提供することを目的とする。 【構成】 本発明は液体クリスタルポリマーのようなプ
ラスチックの部品（１）を金属被覆する方法であって、
その方法はマイクロ梨地仕上げを得るためにプラスチッ
クの部品の表面を化学手段により前処理するステップ
と、脱水と脱ガスするための熱乾燥処理を前記部品に施
すステップと、プラズマの活性化手段によって前記マイ
クロ梨地仕上げの表面を活性化するステップと、陰極ス
パッタリングによってボンディング金属の薄膜補助層
（２）を蒸着するステップと、大変優れた導電性の金属
の最終層（３）をカソードスパッタリングによって蒸着
するステップとからなる。
またミリメーター波の製品の分野において、高精密な部
品の製造を可能にするプラスチックを金属被覆する方法
と当該方法による部品を提供することを目的とする。 【構成】 本発明は液体クリスタルポリマーのようなプ
ラスチックの部品（１）を金属被覆する方法であって、
その方法はマイクロ梨地仕上げを得るためにプラスチッ
クの部品の表面を化学手段により前処理するステップ
と、脱水と脱ガスするための熱乾燥処理を前記部品に施
すステップと、プラズマの活性化手段によって前記マイ
クロ梨地仕上げの表面を活性化するステップと、陰極ス
パッタリングによってボンディング金属の薄膜補助層
（２）を蒸着するステップと、大変優れた導電性の金属
の最終層（３）をカソードスパッタリングによって蒸着
するステップとからなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプラスチック部品の表面
を金属被覆する方法とこの方法によって得られる電子部
品に関する。
を金属被覆する方法とこの方法によって得られる電子部
品に関する。
【０００２】
【従来の技術】とりわけ電機産業において、軽くて低価
格で金属部品と同じぐらい強度があるプラスチック部品
によって金属部品と取って代わろうとする試みがますま
す増えている。しかしながら、これらのプラスチック部
品は必要な電気性能特性を有するために金属被覆され
る。
格で金属部品と同じぐらい強度があるプラスチック部品
によって金属部品と取って代わろうとする試みがますま
す増えている。しかしながら、これらのプラスチック部
品は必要な電気性能特性を有するために金属被覆され
る。
【０００３】すでに、プラスチックを一般に用いた金属
被覆の周知な方法があり、または最近のポリエーテルサ
ルホンのようなものが産業製品の応用として広く用いら
れている。
被覆の周知な方法があり、または最近のポリエーテルサ
ルホンのようなものが産業製品の応用として広く用いら
れている。
【０００４】一般にマイクロ波の製品の分野において、
またミリメーター波の製品の分野において、高精密な部
品の製造を可能にするプラスチックを見つける必要があ
る。そして開発された新しいプラスチックは、積層で配
向される層流を用いることによる大変低い寸法許容差値
を持つ部品の射出成形によって製品を可能にする。これ
は例えば無機充填剤と共に強化されることを可能とする
液体クリスタルポリマーをベースとしたポリエステル樹
脂を用いた場合である。
またミリメーター波の製品の分野において、高精密な部
品の製造を可能にするプラスチックを見つける必要があ
る。そして開発された新しいプラスチックは、積層で配
向される層流を用いることによる大変低い寸法許容差値
を持つ部品の射出成形によって製品を可能にする。これ
は例えば無機充填剤と共に強化されることを可能とする
液体クリスタルポリマーをベースとしたポリエステル樹
脂を用いた場合である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の金属被覆の欠点は、蒸着の粘着性及び導電性並びにマ
イクロ波の応用にとって必要とされる表面の均一性の特
徴を得るため、又はソフト半田付けによって取り付け構
造の可能性を得るために適切に金属被覆をすることが現
在不可能であることである。
の金属被覆の欠点は、蒸着の粘着性及び導電性並びにマ
イクロ波の応用にとって必要とされる表面の均一性の特
徴を得るため、又はソフト半田付けによって取り付け構
造の可能性を得るために適切に金属被覆をすることが現
在不可能であることである。
【０００６】本発明の目的はこれらの欠点を解決するプ
ラスチックの金属被覆方法を提供することである。
ラスチックの金属被覆方法を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、マイク
ロ梨地仕上げを得るためにプラスチックの部品の表面を
化学手段により前処理するステップと、脱水と脱ガスす
るための熱乾燥処理を前記部品に施すステップと、プラ
ズマの活性化手段によって前記マイクロ梨地仕上げの表
面を活性化するステップと、カソードスパッタリングに
よってボンディング金属の薄膜補助層を蒸着するステッ
プと、大変優れた導電性の金属の最終層をカソードスパ
ッタリングによって蒸着するステップとからなるプラス
チック部品の表面の金属被覆方法である。
ロ梨地仕上げを得るためにプラスチックの部品の表面を
化学手段により前処理するステップと、脱水と脱ガスす
るための熱乾燥処理を前記部品に施すステップと、プラ
ズマの活性化手段によって前記マイクロ梨地仕上げの表
面を活性化するステップと、カソードスパッタリングに
よってボンディング金属の薄膜補助層を蒸着するステッ
プと、大変優れた導電性の金属の最終層をカソードスパ
ッタリングによって蒸着するステップとからなるプラス
チック部品の表面の金属被覆方法である。
【０００８】実施例として、本方法は銀と共にパラジウ
ムの優れた結合力と金属の表面が前処理又は示されたよ
うに活性化される時パラジウムの粘着力の高い質を作
る。
ムの優れた結合力と金属の表面が前処理又は示されたよ
うに活性化される時パラジウムの粘着力の高い質を作
る。
【０００９】他の発明に関し、本発明は大変優れた導電
性を有する少なくとも１つの金属層で被覆されたプラス
チックで作られた支持体からなる金属被覆されて作られ
る部品であって、前記プラスチックの物質のマイクロ梨
地仕上げの表面がボンディング金属の薄膜補助層と大変
優れた導電性を有する金属の最終層で被覆され、前記補
助層と前記最終層はカソードスパッタリングによって得
られる。
性を有する少なくとも１つの金属層で被覆されたプラス
チックで作られた支持体からなる金属被覆されて作られ
る部品であって、前記プラスチックの物質のマイクロ梨
地仕上げの表面がボンディング金属の薄膜補助層と大変
優れた導電性を有する金属の最終層で被覆され、前記補
助層と前記最終層はカソードスパッタリングによって得
られる。
【００１０】したがって、本発明は前記問題点を解決で
き、蒸着の粘着性及び導電性並びにマイクロ波の応用に
とって必要とされる表面の均一性の特徴を得るため、又
はソフト半田付けによって取り付け構造の可能性を得る
ために適切に金属被覆をすることが可能となる。
き、蒸着の粘着性及び導電性並びにマイクロ波の応用に
とって必要とされる表面の均一性の特徴を得るため、又
はソフト半田付けによって取り付け構造の可能性を得る
ために適切に金属被覆をすることが可能となる。
【００１１】
【実施例】すでに上述した方法において、本発明によっ
て解決されるプラスチックの金属被覆の問題点は、無機
充填剤と共に液体クリスタルポリマーを用いた物質の場
合で特に困難な１つである。例えばそのような物質で
は、ＶＥＣＴＲＡ、ホイスト（Ｈｏｅｃｈｓｔ）社又は
再びＸＹＤＡＲ（商標登録済）によって販売されている
ＹＳＡＣＫ−３２５又はＣ ８１０（商標登録済）であ
る。
て解決されるプラスチックの金属被覆の問題点は、無機
充填剤と共に液体クリスタルポリマーを用いた物質の場
合で特に困難な１つである。例えばそのような物質で
は、ＶＥＣＴＲＡ、ホイスト（Ｈｏｅｃｈｓｔ）社又は
再びＸＹＤＡＲ（商標登録済）によって販売されている
ＹＳＡＣＫ−３２５又はＣ ８１０（商標登録済）であ
る。
【００１２】本発明による方法は、本発明の趣旨を限定
するいくつかの方法でなく物質「ＶＥＣＴＲＡ」に対す
る応用の前後関係で説明する。
するいくつかの方法でなく物質「ＶＥＣＴＲＡ」に対す
る応用の前後関係で説明する。
【００１３】このプラスチックの注入により得られた部
品の金属被覆に対し、本発明による方法は蒸着層を提供
し、カソードスパッタリングによってボンディング金属
の薄膜補助層における部品の活性化され、かつ調整され
た表面上での全ての第１番目、かつそしてカソードスパ
ッタリングによる金属の最終層の蒸着層は電気的に大変
優れた導電体である。
品の金属被覆に対し、本発明による方法は蒸着層を提供
し、カソードスパッタリングによってボンディング金属
の薄膜補助層における部品の活性化され、かつ調整され
た表面上での全ての第１番目、かつそしてカソードスパ
ッタリングによる金属の最終層の蒸着層は電気的に大変
優れた導電体である。
【００１４】更に、物質「ＶＥＣＴＲＡ」において、補
助層において用いられる金属は白金の１つであり、むし
ろ好ましくはパラジウムである。最終層において用いら
れる金属はパラジウムと共に大変優れた導電性を有し、
かつ具体的にミリメータル波の印加で電気印加を要求す
る電気特性を与える純銀であり、つまり表面状態は大変
優れた均一性と所定の導電性を持ちできるだけ完全であ
る。さらに、パラジウム−銀は厳しい環境（塩の水滴な
ど）に対して高い抵抗力を表すためにガルバニー電気を
有する。
助層において用いられる金属は白金の１つであり、むし
ろ好ましくはパラジウムである。最終層において用いら
れる金属はパラジウムと共に大変優れた導電性を有し、
かつ具体的にミリメータル波の印加で電気印加を要求す
る電気特性を与える純銀であり、つまり表面状態は大変
優れた均一性と所定の導電性を持ちできるだけ完全であ
る。さらに、パラジウム−銀は厳しい環境（塩の水滴な
ど）に対して高い抵抗力を表すためにガルバニー電気を
有する。
【００１５】パラジウムは表面が適切に処理されるから
には大変高い粘着性のある金属を与える。
には大変高い粘着性のある金属を与える。
【００１６】本発明による方法の実施の好ましいモード
は添付の図面を参照し下記に詳細に説明する。
は添付の図面を参照し下記に詳細に説明する。
【００１７】第１のステップにおいて、ベクトラを作成
する部品（添付図面の参照番号１）は例えば水酸化カリ
ウムなどのアルカリ性水酸化物の両者で化学手段によっ
て提供される。この調節は表面の汚染の除去を可能と
し、部品の表面のマイクロ梨地仕上げとなる。この第１
のステップのパラメータはマイクロ梨地仕上げを保証す
る同じ時間の間中クラックを防ぐために適切にセットさ
れる。
する部品（添付図面の参照番号１）は例えば水酸化カリ
ウムなどのアルカリ性水酸化物の両者で化学手段によっ
て提供される。この調節は表面の汚染の除去を可能と
し、部品の表面のマイクロ梨地仕上げとなる。この第１
のステップのパラメータはマイクロ梨地仕上げを保証す
る同じ時間の間中クラックを防ぐために適切にセットさ
れる。
【００１８】これらの結果は実質上７５℃〜８５℃の温
度で実質上３８０ｇ／ｌ〜４２０ｇ／ｌの濃度を得ら
れ、高く可変ピークを得るために１０分±１分の間は２
μｍより小さく方で十分である。
度で実質上３８０ｇ／ｌ〜４２０ｇ／ｌの濃度を得ら
れ、高く可変ピークを得るために１０分±１分の間は２
μｍより小さく方で十分である。
【００１９】第２のステップは脱水を実施する熱乾燥処
理と部品の脱ガス処理である。この処理は２時間±３０
分の間で１２５℃±５℃の温度でなされる。
理と部品の脱ガス処理である。この処理は２時間±３０
分の間で１２５℃±５℃の温度でなされる。
【００２０】第３のステップはアルゴンプラズマの機械
的特性による活性化のステップである。このステップは
金属層の質と粘着性にとって必要である。パラメータは
熱による部品での悪化を生じないように処理される。
的特性による活性化のステップである。このステップは
金属層の質と粘着性にとって必要である。パラメータは
熱による部品での悪化を生じないように処理される。
【００２１】その処理は真空蒸着状態で実行される。こ
れは部品の脱水と脱ガス処理を完全に行うことに有利で
ある。
れは部品の脱水と脱ガス処理を完全に行うことに有利で
ある。
【００２２】アルゴンの分圧の値は０．４Ａ±０．０５
Ａのプラズマ強さで２Ｐａと実質上等しく選択され、処
理時間は５分±３０秒である。
Ａのプラズマ強さで２Ｐａと実質上等しく選択され、処
理時間は５分±３０秒である。
【００２３】プラズマのアルゴンイオンは部品を衝撃さ
せるために活性化とマイクロショットピーニングの役目
を有する。
せるために活性化とマイクロショットピーニングの役目
を有する。
【００２４】方法の第４のステップは超純粋なパラジウ
ム（添付図面の参照番号２）の薄膜補助層を蒸着するこ
とである。例えば補助層を得るための薄さは例えば実質
上２０００〜２５００ である。適切なパラメータを有
する微結晶性の蒸着層はベクトラと銀の層との間で付着
の接着剤として提供できる。
ム（添付図面の参照番号２）の薄膜補助層を蒸着するこ
とである。例えば補助層を得るための薄さは例えば実質
上２０００〜２５００ である。適切なパラメータを有
する微結晶性の蒸着層はベクトラと銀の層との間で付着
の接着剤として提供できる。
【００２５】パラジウムの蒸着層は１５分±１分の間に
４Ａ±０．０５Ａのスパッタリング力を有する０．４Ｐ
ａ値のアルゴンの分圧のもとでマグネトロンカソードス
パッタリングによってなされる。
４Ａ±０．０５Ａのスパッタリング力を有する０．４Ｐ
ａ値のアルゴンの分圧のもとでマグネトロンカソードス
パッタリングによってなされる。
【００２６】最後に、方法の第４のステップは純銀（図
面の参照番号３）の最終層を蒸着することからなる。こ
の層は実質上８μｍ〜１０μｍの薄さを有する。
面の参照番号３）の最終層を蒸着することからなる。こ
の層は実質上８μｍ〜１０μｍの薄さを有する。
【００２７】蒸着層は６０分±５分の間に４Ａ±０．０
５Ａのスパッタリング力を有する０．５Ｐａ値のアルゴ
ンの分圧のもとでマグネトロンカソードスパッタリング
によってなされる。
５Ａのスパッタリング力を有する０．５Ｐａ値のアルゴ
ンの分圧のもとでマグネトロンカソードスパッタリング
によってなされる。
【００２８】銀の蒸着層は完全な連続性、欠陥のない状
態（２μｍより少ない可変ピークの高さを有する）とプ
ラスチックの物質に対して大変高い粘着力を有し、ソフ
ト半田付けができる。
態（２μｍより少ない可変ピークの高さを有する）とプ
ラスチックの物質に対して大変高い粘着力を有し、ソフ
ト半田付けができる。
【００２９】さらに、これらの特徴は次の温度で急な変
化によるあたかも古くしたようにした後完全に保持され
る。
化によるあたかも古くしたようにした後完全に保持され
る。
【００３０】
【数１】
【００３１】金属層２と３の特徴は、カソードスパッタ
リングを用いて得られ、マイクロクロスタリングラフィ
ック構造の柱構造型を有する。
リングを用いて得られ、マイクロクロスタリングラフィ
ック構造の柱構造型を有する。
【００３２】当然に、本実施例は本発明の技術的思想を
決して制限するものではない。特に、本発明は部品の表
面を前処理するモードが所定のマイクロ梨地仕上げと活
性化を得るための方法で物質に適合されるとすれば液体
クリスタルポリマーよりプラスチックの他の形態を提供
できる。更に、白金の金属族の他の金属は補助層２で使
うことができる。最後に、同じ方法で、最終層３におい
て電気的に優れた導電体である銀より他の金属を用いる
ことができる。これらの他の金属としては金、銅などが
ある。
決して制限するものではない。特に、本発明は部品の表
面を前処理するモードが所定のマイクロ梨地仕上げと活
性化を得るための方法で物質に適合されるとすれば液体
クリスタルポリマーよりプラスチックの他の形態を提供
できる。更に、白金の金属族の他の金属は補助層２で使
うことができる。最後に、同じ方法で、最終層３におい
て電気的に優れた導電体である銀より他の金属を用いる
ことができる。これらの他の金属としては金、銅などが
ある。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
プラスチックに対して蒸着の粘着性及び導電性並びにマ
イクロ波の応用にとって必要とされる表面の均一性の特
徴を得るため、又はソフト半田付けによって取り付け構
造の可能性を得るために適切に金属被覆をすることが可
能となる。
プラスチックに対して蒸着の粘着性及び導電性並びにマ
イクロ波の応用にとって必要とされる表面の均一性の特
徴を得るため、又はソフト半田付けによって取り付け構
造の可能性を得るために適切に金属被覆をすることが可
能となる。
【図１】本発明の実施例の部品の断面を示す図である。
１ 部品 ２ 補助層 ３ 最終層
Claims (19)
- 【請求項１】 マイクロ梨地仕上げを得るためにプラス
チックの部品の表面を化学手段により前処理するステッ
プと、 脱水と脱ガスするための熱乾燥処理を前記部品に施すス
テップと、 プラズマの活性化手段によって前記マイクロ梨地仕上げ
の表面を活性化するステップと、 カソードスパッタリングによってボンディング金属の薄
膜補助層を蒸着するステップと、 大変優れた導電性の金属の最終層をカソードスパッタリ
ングによって蒸着するステップとからなることを特徴と
するプスチック部品の表面の金属被覆方法。 - 【請求項２】 無機充填剤と共に液体クリスタルポリマ
ーで作られた部品における化学手段による前記作成ステ
ップがアルカリ性水酸化物で前記部品の状態調整からな
る請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 水酸化カリウムの前記アルカリ性水酸化
物、前記部品は実質上９〜１１分の間で実質上７５℃〜
８５℃の温度と実質上３８０ｇ／ｌ〜４２０ｇ／ｌの濃
度を有する請求項２記載の方法。 - 【請求項４】 前記熱乾燥処理は２時間±３０分の間で
１２５℃±５℃の温度でなされる請求項２記載の方法。 - 【請求項５】 前記活性化ステップがアルゴンプラズマ
による活性化手段からなる請求項２記載の方法。 - 【請求項６】 前記活性化ステップは処理時間５分で
０．４Ａのプラズマ強さで２Ｐａと実質上等しいアルゴ
ンの分圧のもとで真空蒸着で行われる請求項５記載の方
法。 - 【請求項７】 前記ボンディング金属がパラジウムであ
る請求項１〜６のいずれかに記載の方法。 - 【請求項８】 前記パラジウムの補助層の蒸着ステップ
はパラジウムの層を実質上２０００〜２５００ の薄さ
にマグネトロンカソードスパッタリングによる蒸着であ
る請求項７記載の方法。 - 【請求項９】 前記パラジウムの補助層の蒸着ステップ
は１５分の間に４Ａのスパッタリング力で０．４Ｐａと
実質上等しい値アルゴンの分圧のもとで行われる請求項
８記載の方法。 - 【請求項１０】 前記最終層の前記金属は大変優れた導
電性の銀である請求項７記載の方法。 - 【請求項１１】 銀の最終層の前記蒸着ステップは実質
上８μｍ〜１０μｍの薄さに銀の層をマグネトロンカソ
ードスパッタリングによる蒸着にある請求項１０記載の
方法。 - 【請求項１２】 銀の最終層の前記蒸着ステップは６０
分の間に４Ａのスパッタリング力で０．５Ｐａと実質上
等しい値のアルゴンの分圧のもとで銀の層を蒸着するこ
とにある請求項１１記載の方法。 - 【請求項１３】 大変優れた導電性を有する少なくとも
１つの金属層で被覆されたプラスチックで作られた支持
体からなる金属被覆された部品であって、前記プラスチ
ックの物質のマイクロ梨地仕上げの表面がボンディング
金属の薄膜補助層と大変優れた導電性を有する金属の最
終層で被覆され、前記補助層と前記最終層はカソードス
パッタリングによって得られることを特徴とする部品。 - 【請求項１４】 前記プラスチックは無機充填剤と共に
液体クリスタルポリマーである請求項１３記載の部品。 - 【請求項１５】 前記プラスチックの物質がＶＥＣＴＲ
Ａである請求項１４記載の部品。 - 【請求項１６】 前記ボンディング金属が白金系の金属
の１つである請求項１３〜１５のいずれかに記載の部
品。 - 【請求項１７】 前記ボンディング金属がパラジウムで
ある請求項１６記載の部品。 - 【請求項１８】 前記最終層の金属が銀である請求項１
７記載の部品。 - 【請求項１９】 前記金属補助層と前記金属最終層はマ
イクロクロスタリングラフィック構造の柱構造型を有す
る請求項１８記載の部品。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9113010 | 1991-10-22 | ||
| FR9113010A FR2682688B1 (fr) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | Procede pour la metallisation de la surface de pieces en materiau plastique et pieces a usage electronique ainsi obtenues. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05214511A true JPH05214511A (ja) | 1993-08-24 |
Family
ID=9418177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30803992A Withdrawn JPH05214511A (ja) | 1991-10-22 | 1992-10-22 | プラスチック部品の表面の金属被覆方法及び当該方法による部品 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0539260B1 (ja) |
| JP (1) | JPH05214511A (ja) |
| DE (1) | DE69206385T2 (ja) |
| FR (1) | FR2682688B1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4882814A (en) * | 1988-05-20 | 1989-11-28 | Kato Hatsujo Kaisha, Ltd. | Hose clamp furnished with tacking function |
| JP2009101357A (ja) * | 2001-11-29 | 2009-05-14 | Shibaura Mechatronics Corp | 光触媒体の製造装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69317035T2 (de) * | 1992-11-09 | 1998-06-10 | Chugai Ings Co | Herstellungsverfahren eines Kunststoffformkörpers mit elektromagnetischer Abschirmung |
| WO1999039021A1 (en) * | 1998-01-30 | 1999-08-05 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Process for metal plating liquid crystalline polymers and compositions related thereto |
| JP2000080482A (ja) * | 1998-07-10 | 2000-03-21 | Nihon Seimitsu Co Ltd | 合成樹脂のイオンプレ―ティング方法とイオンプレ―ティング被膜を有する合成樹脂成型品 |
| CN107443250B (zh) * | 2017-04-28 | 2019-04-05 | 咏巨科技有限公司 | 抛光垫修整器及其制造方法 |
Family Cites Families (2)
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|---|---|---|---|---|
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1992
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