JPH05212680A - 研磨部材及び研磨具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 この発明は、容易に変形して被研磨面になじ
み、かつ均等圧研磨することを目的としたものである。 【構成】 フレキシブル材料を用いて可撓性環状支材を
構成した研磨部材。フレキシブル材料からなる可撓性環
状支材の表面に研磨層を設けた研磨部材。フレキシブル
材料からなる可撓性環状支材の表面に研磨層を設けた研
磨部材に支軸を取付けた研磨具。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、平面はもとより凹凸
曲面に加圧当接して研磨できることを目的とした研磨部
材及び研磨具に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来平面研磨については、各種提案があ
り、高精度の仕上げ研磨面を得ることが可能である。

【０００３】次に凹凸面その他の不規則曲面の研磨につ
いては、被研磨面と相似の曲面を有する研磨部材（研磨
具）を使用していた。また折曲可能なシート上に研磨材
を接着したり、スラリなどにして外部から供給し、被研
磨面につけていた。

【０００４】

【発明により解決すべき課題】前記、従来の凹凸面研磨
に際しては、被研磨面と相似の当接面を有する研磨具を
使用していたので、専用性があって、他に流用すること
が困難であった。従って不規則曲面については高精度研
磨がむつかしい問題点があり、かつ各種凹凸面に合致す
る研磨具を準備しておくことも実用上困難な場合が多か
った。更に不規則曲面に一定圧をかけて研磨することは
困難であったので、研磨むらを生じるおそれがあった。

【０００５】

【課題を解決するための手段】然るにこの発明は、可撓
性、弾性で、かつ環状支材の表面に研磨層を設けたの
で、この研磨部材を被研磨面に当接すれば被研磨面と研
磨層とは自動的に被研磨面になじみ、高精度研磨を可能
にして、前記、従来の問題点を解決したのである。

【０００６】即ち、この発明は、フレキシブル材料を用
いて可撓性環状支材を構成したことを特徴とする研磨部
材である。次に他の発明は、フレキシブル材料からなる
可撓性環状支材の表面に研磨層を設けたことを特徴とす
る研磨部材である。また環状支材は、弾性固体又は中空
部に加圧流体を封入して構成したものである。次に研磨
層は研磨材を層着し、又は研磨材を含む材料よりなる環
状支材としたものである。更に環状は円形ドーナツ状又
は楕円ドーナツ状としたものである。他の発明は、フレ
キシブル材料からなる可撓性環状支材の表面に研磨層を
設けた研磨部材に支軸を取付けたことを特徴とする研磨
具である。また研磨部材と支軸とは着脱自在としたもの
である。次に研磨部材の中央部又は外周部と支軸の取付
材とを着脱自在に掛止したものであり、支軸の中央部に
流体又は研磨材スラリの給送孔を設けたものである。

【０００７】前記において、弾性固体とは、ゴム、発泡
弾性合成樹脂などである。また流体としては、空気、
水、油等が考えられる。

【０００８】前記における環状とは、研磨面が環状にな
っていることをいう。例えば平面円形又は楕円形のドー
ナツ状、或いは平面多角形で中央部が薄く（或いは孔と
なっており）、周縁部が断面円形又は楕円形としたもの
が考えられる。

【０００９】前記研磨材としては、従来使用されている
微粒硬質固形物（アルミナ、ダイヤモンド、カーボラン
ダム）その他各種硬質微粉が考えられる。

【００１０】

【作用】この発明によれば、環状支材が弾性であるか
ら、研磨部材を被研磨面に当接すれば、研磨部材の研磨
剤と被研磨面とが等圧で当接するので、環状支材を回転
又は摺動させることによって等圧研磨することができ
る。然して環状支材は、被研磨面の形状に沿って、よく
なじみ変形するので、不規則曲面であっても、高精度の
研磨が可能である。

【００１１】

【実施例１】ゴム製の中空ドーナツ１の外面に接着剤を
介してアルミナ微粉末２を密接付着して、この発明の研
磨部材３を構成した（図１、２）。

【００１２】前記、中空部４には、加圧空気（例えば
０．５ｋｇ／ｃｍ² ）を充填し、ドーナツ状を保持させ
てある。前記空気圧は、加工時の接触圧との関係で適宜
定める。

【００１３】前記、実施例の研磨部材３を使用するに
は、例えば図４、５のように、ギヤのような外周（又は
内周）に凹凸部５を備えたボス６（又は嵌合筒６ａ）を
前記研磨部材３の中央孔３ａに圧入し（又は外側３ｂに
嵌装し）、支軸７に回転力その他（摺動でもよい）を付
与して、凸面８（図９）、凹面９（図１０）、非球面１
０、１１（図１１）を研磨する。この場合に研磨部材３
と、被研磨面とは当接圧に比例して広い面積で接触し、
等圧研磨される。更に図１２、１３のように、不等研磨
面１２、又は円弧部１３に当接する場合には、研磨部材
３の接触面が、部分的３ｃ、３ｄのように異なる場合も
あるが、研磨部材３は中空かつ環状であるから研磨圧は
ほぼ一定であり、均等研磨される。

【００１４】

【実施例２】研磨部材３と、支軸との取り付けについて
は、各種構造が考えられる。

【００１５】図３は研磨部材３と、中空支軸１４とを連
結し、中空支軸１４を介して、研磨部材３内の流体を矢
示１５、１６のように出入させ、圧力調節できるように
した実施例である。

【００１６】図６は、前記図３の一例であって、研磨部
材３の断面形状を変えたものである。被研磨面の形状に
応じ、研磨部材３の外形を変えて使用する例である。

【００１７】

【実施例３】図７（ａ）、（ｂ）は、研磨部材３の上面
に支軸１７の取付板１８を当接固着する。又は、支軸１
９の取付筒２０の下端を当接固着する。この実施例にお
いては、研磨部材３の支持状態が堅固であり、これによ
り研磨を適確にすることができる。

【００１８】

【実施例４】図８の実施例は、支軸２１に取付板２２を
連結し、取付板２２に研磨部材３を当接固着し、前記支
軸２１と、取付板２２に連通孔２３を設けたものであ
る。前記連通孔２３から矢示２４のように研磨剤を供給
する。従って研磨部材３には、研磨剤を固着する場合
と、研磨剤床として微小凹凸を設けるのみの場合とあ
る。

【００１９】

【実施例５】図１４の実施例は、星型環状の研磨部材２
５を用いた場合を示す。この場合には、当接面の研磨が
断続的に行われる利点がある。

【００２０】

【発明の効果】この発明によれば、フレキシブル材料か
らなる可撓性環状支材の表面に研磨層を設け、又は研磨
剤を供給できる研磨部材及び研磨具であるから、研磨部
材と被研磨面とは、ほぼ等圧で当接し、かつ比較的広い
面積で均等当接して研磨できる効果がある。

【００２１】然して被研磨面が複雑な連続面形状であっ
ても、研磨部材と被研磨面がなじみ易く、容易に均等研
磨できる効果がある。

【００２２】然して、支軸と研磨部材との着脱又は研磨
剤の供給も容易にできる利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例の平面図。

【図２】同じく中央縦断正面図。

【図３】同じく他の実施例の縦断正面図。

【図４】同じく支軸取付の実施例の一部断面図。

【図５】同じく他の実施例の一部断面図。

【図６】同じく他の実施例の断面図。

【図７】（ａ）は同じく取付板を介する実施例の一部断
面図、（ｂ）は同じく取付筒を介する実施例の一部断面
図。

【図８】同じく研磨剤供給のできる実施例の断面図。

【図９】同じく研磨例を示す説明図で、凸弧面研磨。

【図１０】同じく研磨例を示す説明図で、凹弧面研磨。

【図１１】同じく、研磨例を示す説明図で、（ａ）は不
規則凸面研磨、（ｂ）は不規則凹面研磨。

【図１２】同じく、研磨例を示す説明図で、一部左右不
規則凸面研磨。

【図１３】同じく、研磨例を示す説明図で、一部弧状突
部研磨。

【図１４】同じく星型環状部材の実施例の平面図。

【符号の説明】

１ 中空ドーナツ ２ アルミナ微粉 ３ 研磨部材 ４ 中空部 ６ ボス ７ 支軸 １４ 中空支軸 １７、１９、２１ 支軸 １８、２２ 取付板 ２０ 取付筒

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フレキシブル材料を用いて可撓性環状支
   材を構成したことを特徴とする研磨部材。
2. 【請求項２】 フレキシブル材料からなる可撓性環状支
   材の表面に研磨層を設けたことを特徴とする研磨部材。
3. 【請求項３】 環状支材は、弾性固体又は中空部に加圧
   流体を封入して構成した請求項１又は２記載の研磨部
   材。
4. 【請求項４】 研磨層は研磨材を層着し、又は研磨材を
   含む材料よりなる環状支材とした請求項２記載の研磨部
   材。
5. 【請求項５】 環状は円形ドーナツ状又は楕円ドーナツ
   状とした請求項１又は２記載の研磨部材。
6. 【請求項６】 フレキシブル材料からなる可撓性環状支
   材の表面に研磨層を設けた研磨部材に支軸を取付けたこ
   とを特徴とする研磨具。
7. 【請求項７】 研磨部材と支軸とは着脱自在とした請求
   項６記載の研磨具。
8. 【請求項８】 研磨部材の中央部又は外周部と支軸の取
   付材とを着脱自在に掛止した請求項６記載の研磨具
9. 【請求項９】 回転軸の中央部に流体又は、研磨材スラ
   リの給送孔を設けた請求項６、７、８の何れか１つ記載
   の研磨具。