JPH05206863A - 半導体集積回路 - Google Patents
半導体集積回路Info
- Publication number
- JPH05206863A JPH05206863A JP1183892A JP1183892A JPH05206863A JP H05206863 A JPH05206863 A JP H05206863A JP 1183892 A JP1183892 A JP 1183892A JP 1183892 A JP1183892 A JP 1183892A JP H05206863 A JPH05206863 A JP H05206863A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistance
- resistance value
- circuit
- semiconductor integrated
- integrated circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Analogue/Digital Conversion (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 R−2R方式のラダー回路によるD/Aコン
バータを備える半導体集積回路に関し、特に、製造バラ
ツキが起きても、高い変換精度で高い歩留りのD/Aコ
ンバータを備える半導体集積回路を提供することを目的
とする。 【構成】 R−2R方式のラダー回路によるD/Aコン
バータを備える半導体集積回路であって、同一の抵抗値
Rを有し、相互に平行して配置される複数の抵抗領域1
1〜16を有して構成し、i番目の抵抗領域15をRと
し、i−1番目の抵抗領域14とi+1番目の抵抗領域
16を直列接続して2Rとして1ビット分のラダー回路
を構成する。
バータを備える半導体集積回路に関し、特に、製造バラ
ツキが起きても、高い変換精度で高い歩留りのD/Aコ
ンバータを備える半導体集積回路を提供することを目的
とする。 【構成】 R−2R方式のラダー回路によるD/Aコン
バータを備える半導体集積回路であって、同一の抵抗値
Rを有し、相互に平行して配置される複数の抵抗領域1
1〜16を有して構成し、i番目の抵抗領域15をRと
し、i−1番目の抵抗領域14とi+1番目の抵抗領域
16を直列接続して2Rとして1ビット分のラダー回路
を構成する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はR−2R方式のラダー回
路によるD/Aコンバータ(Digital/AnalogConverto
r)を備える半導体集積回路に係り、特に高い変換精度
で高い歩留りのD/Aコンバータを備える半導体集積回
路に関する。
路によるD/Aコンバータ(Digital/AnalogConverto
r)を備える半導体集積回路に係り、特に高い変換精度
で高い歩留りのD/Aコンバータを備える半導体集積回
路に関する。
【0002】近年のD/Aコンバータには、高精度のも
のが要求されている。その為、製造上のバラツキに対し
ても、安定して高精度のものを製造する必要がある。
のが要求されている。その為、製造上のバラツキに対し
ても、安定して高精度のものを製造する必要がある。
【0003】
【従来の技術】R−2R方式のラダー回路を有して構成
され、16ビットのディジタルデータをアナログデータ
に変換するD/Aコンバータの等価回路を図3に示す。
また、従来のD/AコンバータのR−2R方式のラダー
回路の半導体集積回路上のレイアウトパターン図を図4
に示す。同図に示すように、従来では、抵抗を101及
び102(抵抗値2R)、103(抵抗値R)、104
及び105(抵抗値2R)、106(抵抗値R)、…と
配置して構成していた。すなわち、図5に示すように、
従来ではそれぞれ同一の抵抗体Rを所定ピッチで平行に
配列し、各抵抗Rを接続配線M0〜M7およびアルミ配
線L0〜L3、LG、LOUT を用いてラダー回路を構成
していた。
され、16ビットのディジタルデータをアナログデータ
に変換するD/Aコンバータの等価回路を図3に示す。
また、従来のD/AコンバータのR−2R方式のラダー
回路の半導体集積回路上のレイアウトパターン図を図4
に示す。同図に示すように、従来では、抵抗を101及
び102(抵抗値2R)、103(抵抗値R)、104
及び105(抵抗値2R)、106(抵抗値R)、…と
配置して構成していた。すなわち、図5に示すように、
従来ではそれぞれ同一の抵抗体Rを所定ピッチで平行に
配列し、各抵抗Rを接続配線M0〜M7およびアルミ配
線L0〜L3、LG、LOUT を用いてラダー回路を構成
していた。
【0004】ところが、例えばエッチング工程における
寸法誤差等の製造プロセスのバラツキにより、全ての抵
抗を均一に製造することができない。或いは、半導体集
積回路の動作状態において、抵抗の近隣に熱源となる回
路が配置されていた場合には、抵抗が温度依存性を持つ
ために、抵抗値に誤差が生じるといった問題が生じる。
この場合、例えば、抵抗101の抵抗値がR−αに、抵
抗103の抵抗値がR+αになったとすると、2R−
α:R+αとなり、抵抗101及び102による2Rと
抵抗103によるRの抵抗値の比を、正確に2:1にす
ることができず、D/AコンバータのD/A変換精度を
悪化させる原因となっていた。
寸法誤差等の製造プロセスのバラツキにより、全ての抵
抗を均一に製造することができない。或いは、半導体集
積回路の動作状態において、抵抗の近隣に熱源となる回
路が配置されていた場合には、抵抗が温度依存性を持つ
ために、抵抗値に誤差が生じるといった問題が生じる。
この場合、例えば、抵抗101の抵抗値がR−αに、抵
抗103の抵抗値がR+αになったとすると、2R−
α:R+αとなり、抵抗101及び102による2Rと
抵抗103によるRの抵抗値の比を、正確に2:1にす
ることができず、D/AコンバータのD/A変換精度を
悪化させる原因となっていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従って、高精度なD/
A変換ができず、良品となる製造歩留りが低くなるとい
う問題があった。
A変換ができず、良品となる製造歩留りが低くなるとい
う問題があった。
【0006】本発明は、上記問題点を解決するもので、
製造バラツキが起きても、高い変換精度で高い歩留りで
製造可能なD/Aコンバータを備える半導体集積回路を
提供することを目的とする。
製造バラツキが起きても、高い変換精度で高い歩留りで
製造可能なD/Aコンバータを備える半導体集積回路を
提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、図1に示す如く、R−2R方式のラダー
回路によるD/Aコンバータを備える半導体集積回路で
あって、同一の抵抗値Rを有し、相互に平行して配置さ
れる複数の抵抗領域11〜16を有して構成し、i番目
の抵抗領域15をRとし、i−1番目の抵抗領域14と
i+1番目の抵抗領域16を直列接続して2Rとして1
ビット分のラダー回路を構成する。
に、本発明は、図1に示す如く、R−2R方式のラダー
回路によるD/Aコンバータを備える半導体集積回路で
あって、同一の抵抗値Rを有し、相互に平行して配置さ
れる複数の抵抗領域11〜16を有して構成し、i番目
の抵抗領域15をRとし、i−1番目の抵抗領域14と
i+1番目の抵抗領域16を直列接続して2Rとして1
ビット分のラダー回路を構成する。
【0008】
【作用】本発明の半導体集積回路では、図1に示す如
く、同一の抵抗値Rを有する抵抗領域11〜16を、相
互に平行して配置して構成し、i番目の抵抗領域15を
Rとし、i−1番目の抵抗領域14とi+1番目の抵抗
領域16を直列接続して2Rとして1ビット分のラダー
回路を構成するようにしている。
く、同一の抵抗値Rを有する抵抗領域11〜16を、相
互に平行して配置して構成し、i番目の抵抗領域15を
Rとし、i−1番目の抵抗領域14とi+1番目の抵抗
領域16を直列接続して2Rとして1ビット分のラダー
回路を構成するようにしている。
【0009】従って、エッチング工程における寸法誤差
等の製造プロセスのバラツキがある場合、或いは、抵抗
の近隣に熱源となる回路が配置されていた場合にも、ラ
ダー回路を構成する抵抗2Rと抵抗Rの抵抗値の比を、
正確に2:1にすることができ、D/AコンバータのD
/A変換精度を悪化させることなく、高精度なD/Aコ
ンバータを高歩留りで製造することができる。
等の製造プロセスのバラツキがある場合、或いは、抵抗
の近隣に熱源となる回路が配置されていた場合にも、ラ
ダー回路を構成する抵抗2Rと抵抗Rの抵抗値の比を、
正確に2:1にすることができ、D/AコンバータのD
/A変換精度を悪化させることなく、高精度なD/Aコ
ンバータを高歩留りで製造することができる。
【0010】
【実施例】次に、本発明に係る実施例を図面に基づいて
説明する。図1に本発明の一実施例に係る半導体集積回
路のパターン図を示す。
説明する。図1に本発明の一実施例に係る半導体集積回
路のパターン図を示す。
【0011】同図に示すように、本実施例の半導体集積
回路は、同一の抵抗値Rを有する抵抗領域11〜16
を、相互に平行して配置して構成し、i番目の抵抗領域
15をRとし、i−1番目の抵抗領域14(抵抗値2R
/2)とi+1番目の抵抗領域16(抵抗値2R/2)
を直列接続して2Rとして1ビット分のラダー回路を構
成するようにしている。
回路は、同一の抵抗値Rを有する抵抗領域11〜16
を、相互に平行して配置して構成し、i番目の抵抗領域
15をRとし、i−1番目の抵抗領域14(抵抗値2R
/2)とi+1番目の抵抗領域16(抵抗値2R/2)
を直列接続して2Rとして1ビット分のラダー回路を構
成するようにしている。
【0012】すなわち、詳しては図2に示すように、平
行に配された複数の抵抗領域(ポリシリコン等)Rの各
端部をコンタクトホールCHを介して接続配線領域(ア
ルミニウム等)により図1の回路になるよう接続したも
のである。図中、LGは接地GNDへの配線(アルミニ
ウム等)、L0〜L3は各ビットドライバへの配線(ア
ルミニウム等)、LOUT はD/A出力端子配線(アルミ
ニウム等)を示している。
行に配された複数の抵抗領域(ポリシリコン等)Rの各
端部をコンタクトホールCHを介して接続配線領域(ア
ルミニウム等)により図1の回路になるよう接続したも
のである。図中、LGは接地GNDへの配線(アルミニ
ウム等)、L0〜L3は各ビットドライバへの配線(ア
ルミニウム等)、LOUT はD/A出力端子配線(アルミ
ニウム等)を示している。
【0013】このような構成とすることにより、エッチ
ング工程における寸法誤差等の製造プロセスのバラツキ
がある場合、或いは、抵抗の近隣に熱源となる回路が配
置されていた場合に、例えば、抵抗14の抵抗値が2R
/2−αに、抵抗16の抵抗値が2R/2+αになった
とすると、誤差は相殺されて2R:Rとなり、抵抗14
及び16による2Rと抵抗15によるRの抵抗値の比
を、正確に2:1にすることができ、D/Aコンバータ
のD/A変換精度を悪化させることなく、高精度なD/
Aコンバータを高歩留りで製造することができる。
ング工程における寸法誤差等の製造プロセスのバラツキ
がある場合、或いは、抵抗の近隣に熱源となる回路が配
置されていた場合に、例えば、抵抗14の抵抗値が2R
/2−αに、抵抗16の抵抗値が2R/2+αになった
とすると、誤差は相殺されて2R:Rとなり、抵抗14
及び16による2Rと抵抗15によるRの抵抗値の比
を、正確に2:1にすることができ、D/Aコンバータ
のD/A変換精度を悪化させることなく、高精度なD/
Aコンバータを高歩留りで製造することができる。
【0014】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
同一の抵抗値Rを有する抵抗領域を、相互に平行して配
置して構成し、i番目の抵抗領域をRとし、i−1番目
の抵抗領域とi+1番目の抵抗領域を直列接続して2R
として1ビット分のラダー回路を構成するようにしたの
で、エッチング工程における寸法誤差等の製造プロセス
のバラツキがある場合、或いは、抵抗の近隣に熱源とな
る回路が配置されていた場合にも、ラダー回路を構成す
る抵抗2Rと抵抗Rの抵抗値の比を、正確に2:1にす
ることができ、D/AコンバータのD/A変換精度を悪
化させることなく、高い変換精度で高い歩留りで製造可
能なD/Aコンバータを備える半導体集積回路を提供す
ることができる。
同一の抵抗値Rを有する抵抗領域を、相互に平行して配
置して構成し、i番目の抵抗領域をRとし、i−1番目
の抵抗領域とi+1番目の抵抗領域を直列接続して2R
として1ビット分のラダー回路を構成するようにしたの
で、エッチング工程における寸法誤差等の製造プロセス
のバラツキがある場合、或いは、抵抗の近隣に熱源とな
る回路が配置されていた場合にも、ラダー回路を構成す
る抵抗2Rと抵抗Rの抵抗値の比を、正確に2:1にす
ることができ、D/AコンバータのD/A変換精度を悪
化させることなく、高い変換精度で高い歩留りで製造可
能なD/Aコンバータを備える半導体集積回路を提供す
ることができる。
【図1】本発明の一実施例に係る半導体集積回路のラダ
ー回路部分のレイアウトパターン図である。
ー回路部分のレイアウトパターン図である。
【図2】本発明のラダー回路部分のレイアウトパターン
の詳細例を示す図である。
の詳細例を示す図である。
【図3】R−2R方式のラダー回路によるD/Aコンバ
ータの等価回路図である。
ータの等価回路図である。
【図4】従来の半導体集積回路のラダー回路部分のパタ
ーン図である。
ーン図である。
【図5】従来のラダー回路部分のレイアウトパターンの
詳細例を示す図である。
詳細例を示す図である。
11〜16、101〜106…抵抗領域 R、2R、Rf…抵抗 AMP…オペアンプ
Claims (1)
- 【請求項1】 R−2R方式のラダー回路によるD/A
コンバータを備える半導体集積回路であって、 同一の抵抗値Rを有し、相互に平行して配置される複数
の抵抗領域(11〜16)を有し、 i番目の抵抗領域(15)をRとし、i−1番目の抵抗
領域(14)とi+1番目の抵抗領域(16)を直列接
続して2Rとして1ビット分のラダー回路を構成するこ
とを特徴とする半導体集積回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4011838A JP3031582B2 (ja) | 1992-01-27 | 1992-01-27 | 半導体集積回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4011838A JP3031582B2 (ja) | 1992-01-27 | 1992-01-27 | 半導体集積回路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05206863A true JPH05206863A (ja) | 1993-08-13 |
JP3031582B2 JP3031582B2 (ja) | 2000-04-10 |
Family
ID=11788877
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4011838A Expired - Fee Related JP3031582B2 (ja) | 1992-01-27 | 1992-01-27 | 半導体集積回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3031582B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999001939A1 (fr) * | 1997-07-03 | 1999-01-14 | Seiko Epson Corporation | Circuit de resistances en echelle et convertisseur n/a et dispositif a semi-conducteur l'utilisant |
WO2001047123A1 (fr) * | 1999-12-21 | 2001-06-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Convertisseur n/a de haute precision |
-
1992
- 1992-01-27 JP JP4011838A patent/JP3031582B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999001939A1 (fr) * | 1997-07-03 | 1999-01-14 | Seiko Epson Corporation | Circuit de resistances en echelle et convertisseur n/a et dispositif a semi-conducteur l'utilisant |
US6208281B1 (en) | 1997-07-03 | 2001-03-27 | Seiko Epson Corporation | Resistance ladder together with digital-analog converter and semiconductor using the same |
WO2001047123A1 (fr) * | 1999-12-21 | 2001-06-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Convertisseur n/a de haute precision |
US6469647B1 (en) | 1999-12-21 | 2002-10-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | High-precision D-A converter circuit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3031582B2 (ja) | 2000-04-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4222107A (en) | Method and apparatus for automatically calibrating a digital to analog converter | |
US5969658A (en) | R/2R ladder circuit and method for digital-to-analog converter | |
US5703586A (en) | Digital-to-analog converter having programmable transfer function errors and method of programming same | |
US7611279B2 (en) | Temperature sensor providing a temperature signal in digital form | |
GB2047997A (en) | Monolithic analogto-digital converter | |
US6836236B2 (en) | Digital to analogue converter and analogue to digital converter using the same | |
JP3575026B2 (ja) | ラダー型抵抗回路並びにそれを用いたデジタル−アナログ変換器及び半導体装置 | |
EP2487797A1 (en) | Minimum differential non-linearity trim DAC | |
JPH05206863A (ja) | 半導体集積回路 | |
US20030227402A1 (en) | Method and apparatus for reducing systematic errors in a current steering digital-to-analog converter | |
Parthasarathy et al. | A 16-bit resistor string DAC with full-calibration at final test | |
JP3028420B2 (ja) | 半導体集積装置 | |
JPH05268093A (ja) | ディジタル・アナログ変換装置 | |
JP2737927B2 (ja) | 抵抗分圧型ディジタル−アナログ変換器 | |
JP3820210B2 (ja) | D/aコンバータ回路 | |
JP2605874B2 (ja) | D―a変換器 | |
JPH0571140B2 (ja) | ||
US11936395B2 (en) | Digital-to-analog converter with digitally controlled trim | |
JPH0438602Y2 (ja) | ||
JP2604374B2 (ja) | アナログ・ディジタル変換器 | |
JP2823743B2 (ja) | 半導体集積装置 | |
JP2734029B2 (ja) | 直並列形ad変換器 | |
JPH0578214B2 (ja) | ||
JPH0786949A (ja) | デジタル・アナログ変換器 | |
JPS635925B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000125 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080210 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090210 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090210 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100210 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |