JPH0520646A - 磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘツド - Google Patents

磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘツド

Info

Publication number
JPH0520646A
JPH0520646A JP17392791A JP17392791A JPH0520646A JP H0520646 A JPH0520646 A JP H0520646A JP 17392791 A JP17392791 A JP 17392791A JP 17392791 A JP17392791 A JP 17392791A JP H0520646 A JPH0520646 A JP H0520646A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
thin film
film magnetic
layers
sense current
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17392791A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideo Suyama
英夫 陶山
Takuji Shibata
拓二 柴田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP17392791A priority Critical patent/JPH0520646A/ja
Publication of JPH0520646A publication Critical patent/JPH0520646A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【目的】 再生特性の安定化をはかる。 【構成】 非磁性中間層を介して第1及び第2の磁気抵
抗効果を有する薄膜磁性層が積層されて成る感磁部を有
する磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッドにおいて、第1及び
第2の薄膜磁性層の各磁化容易軸方向ea1 及びea2
を、感磁部に対するセンス電流の通電方向と平行方向及
び直交方向と一致することのない斜め方向に選定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気抵抗効果型(MR
型)薄膜磁気ヘッドに係る。
【0002】
【従来の技術】MR型薄膜磁気ヘッドは、誘導型(イン
ダクティブ型)磁気ヘッドに比し、高感度、短波長再生
が可能であることから、各種磁気記録媒体上の記録を読
み出す再生磁気ヘッドとして広く用いられる方向にあ
る。
【0003】このMR型薄膜磁気ヘッドは、図1にその
一例の略線的拡大断面図を示すように、例えば基体20
上に、第1及び第2の磁気シールド層21及び22が、
これらの前方端間に、磁気記録媒体との対接ないしは対
向面に臨んで所要のギャップ長Lg を有する磁気ギャッ
プgを形成するよう積層される。そして、これら第1及
び第2の磁気シールド層21及び22間に、磁気抵抗効
果を有する感磁部24が配置される。
【0004】この感磁部24は、その一端が磁気記録媒
体との対接ないしは対向面23に臨み、これより後方
に、即ち面23とほぼ直交し、磁気ギャップgの奥行き
(深さ)方向(図においてZ方向として示す)に延在し
て形成される。
【0005】そして、この感磁部24の前方端及び後方
端には、それぞれこの感磁部24に、これに生じた抵抗
変化を検出するセンス電流を供給する電極25及び26
が設けられる。
【0006】また、感磁部24上に、絶縁層27を介し
て横切るように、通電によって感磁部24に所要のバイ
アス磁界を与えるバイアス磁界発生用のバイアス導体2
8が設けられる。
【0007】感磁部24は、図2にその略線的断面図を
示すように、それぞれ磁気抵抗効果を有する第1及び第
2の薄膜磁性層1及び2が非磁性中間層3を介して積層
されて各薄膜磁性層1及び2内における磁壁の発生を回
避することによってバルクハウゼンノイズの発生を回避
するようになされる。この積層構造による磁気抵抗素子
については、例えば米国特許第4,356,523号明
細書及び特開昭62−234218号公報等に開示され
ているところである。
【0008】そして、この構成において、感磁部24に
対し、両電極25及び26によって薄膜磁性層1及び2
に磁気記録媒体との対接ないしは対向面23と直交する
方向に両薄膜磁性層1及び2に同一向きのZ方向また−
Z方向で、同一量のセンス電流iを通電するようにす
る。
【0009】また、磁気ギャップgを通じて、磁気記録
媒体(図示せず)からの記録情報による信号磁界Hs
が、センス電流iの主たる通電方向即ち、磁気記録媒体
との対接ないしは対向面23とほぼ直交する方向のZ方
向若しくは−Z方向に主として与えられるようになされ
る。
【0010】このような構成によるMR型磁気ヘッドに
おいては、図5に感磁部24の略線的平面図を示すよう
に、両薄膜磁性層1及び2は、その磁化容易軸eaがZ
方向、つまり、センス電流iの通電方向及び信号時間H
S の印加方向と直交する方向に選ぶか異方性を持たない
ように構成されている。そして、Z方向にセンス電流i
を通電した状態で、図5のA図に矢印a1 及びa2 をも
って示すように、両薄膜磁性層1及び2の磁気モーメン
トが、Z方向と直交し、互いに逆向きとなるようにして
いる。
【0011】そして、更に、感磁部24の、感度と直線
性を上げるために、つまり、その磁気抵抗特性が急峻で
かつ直線性にすぐれた領域で動作させるために、図1の
バイアス導体28への通電によって発生させたバイアス
磁界HB を+Zまたは−Z方向に与えて感磁部23の各
薄膜磁性層1及び2の磁気モーメントa1 及びa2 をZ
方向に対し45°に傾けるようにしている。
【0012】ところが、このような構成としても、その
再生出力は、必ずしも直線性にすぐれたものにはなら
ず、出力波形が歪むとか、振幅に変動を来すなど、不安
定性を示す場合が生じる。
【0013】そして、このような出力に不安定性を生じ
る場合における感磁部24の磁気抵抗特性は、図6に示
すように、一部(破線で囲んで示す部分)に不連続部分
が生じる。
【0014】これは、薄膜磁性層1,2に内部的欠陥
や、両薄膜磁性層1及び2の膜厚、膜質、磁気的特性等
にばらつきが存在することによって、局部的に、磁気モ
ーメントa1 及びa2 が対称的に回転しない部分が生じ
ることに因ると思われる。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述したよ
うな2層の磁気抵抗効果を有する薄膜磁性層の積層構造
による感磁部を有するMR型薄膜磁気ヘッドにおける再
生出力特性の不安定性の問題の改善をはかる。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明は、図1にその適
用例の略線的断面図を示すように、非磁性中間層3を介
してそれぞれ磁気抵抗効果を有する第1及び第2の薄膜
磁性層1及び2が積層されて成る感磁部24が、磁気記
録媒体との対接ないしは対向面23に対しほぼ直交する
Z方向に延在して設け、それぞれこのZ方向に沿う方向
(±Z)に、センス電流i、磁気記録媒体からの信号磁
界HS及びバイアス磁界HB を感磁部24に与える磁気
抵抗効果型薄膜ヘッドにおいて、第1及び第2の薄膜磁
性層1及び2の磁化容易軸を、図3Aに感磁部24の平
面図を示すように、各層1及び2の膜面に沿ってセンス
電流iの通電方向、即ちZ方向に沿う方向(±Z)及び
これと直交する方向に一致することなく、かつ感磁部2
4へのセンス電流iの通電方向に沿う中心線Cに対し対
称の方向ea1 及びea2 に選定する。
【0017】
【作用】上述の構成において、図3Bに示すように感磁
部24に即ち感磁部24の第1及び第2の薄膜磁性層1
及び2に、センス電流iを通電した状態で、磁性層1及
び2の磁気モーメントが互いに逆向きで、通電方向とほ
ぼ直交する方向に向くようになされ、図3Cに示すよう
に、センス電流iの通電方向(図示の例では+Z方向)
に沿う+Zまたは−Z方向にバイアス磁界HB を与え、
この状態でこの±Z方向に対し45°に近い角度をなす
向きに各磁性層1及び2の磁気モーメントa1 及びa2
が向くようになす。
【0018】そして、この状態で、磁気記録媒体からの
信号磁界HS を感磁部24に与え、このとき生じた各薄
膜磁性層1及び2の抵抗変化を、例えば感磁部24の両
端電圧の変化として検出する。
【0019】上述の本発明構成では、感磁部24を構成
する第1及び第2の薄膜磁性層1及び2の磁化容易軸e
1 及びea2 を、感磁部24に対するセンス電流i、
信号磁界HS 、バイアス磁界HB の印加方向に対し一致
することのない即ち斜め方向に選定したので、バイアス
磁界によって図3C、つまり図5Bに対応する磁化状態
を得るに、この磁気モーメントは、磁化容易軸ea1
びea2 に近づけられる方向に向けられることになる。
【0020】従って、仮に、両第1及び第2の薄膜磁性
層1及び2の膜質、膜厚等のアンバランス、欠陥等が多
少存在していても確実にバイアス磁界HB をもって、両
薄膜磁性層1及び2が最も高い感度と直線性を示す領域
で動作できる状態、即ち磁気モーメントa1 及びa2
Z方向に45°の傾きを有する状態を得ることができ、
これによって良好な出力特性と、その安定化を達成する
ことができる。
【0021】そして、この場合の感磁部24の磁気抵抗
特性は、図4に示すように、不連続部等の歪のない良好
な特性を示すことが確認された。
【0022】
【実施例】図1及び図2を参照して本発明の一実施例を
詳細に説明する。
【0023】この例では、基体20、例えばハードディ
スクドライブ装置に適用する場合における浮上型磁気ヘ
ッドを構成する場合には、ハードディスクの回転による
相対的移動によって発生する空気流によって浮上するス
ライダ、或いはこのスライダに取付けられる基体上に、
例えばパーマロイより成る第1の磁気シールド層21
を、蒸着、スパッタ及びパターンエッチングによって、
或いはフレームメッキ等によって形成し、これを覆って
SiO2 、Al2 3 等の非磁性絶縁層29を被着形成
する。
【0024】そして、これの上に順次MR薄膜磁性層、
非磁性層、MR薄膜磁性層をスパッタ、蒸着等によって
形成する。ここに両MR薄膜磁性層は、例えばNiF
e,NiCo,NiFeCo等より成り、非磁性層はA
2 3 ,SiO2 ,Si3 4 ,Mo,Ti等より成
り、これらの層を積層形成して後、所定のパターンにエ
ッチングして、これらパターン化されたMR磁性層、非
磁性層、MR磁性層によって、第1の薄膜磁性層1、非
磁性中間層3、第2の薄膜磁性層2が構成された感磁部
24を構成する。
【0025】そして、この感磁部24の両端に、中間層
3が絶縁性を有する場合には、特に下層の磁性層1につ
いてもその端縁等で電気的に接続するように電極25及
び26を被着形成する。
【0026】更に、感磁部24上を同様の絶縁層29を
介して横切って帯状導電層によるバイアス導体28を被
着形成する。
【0027】例えば全体的に同様の絶縁層29を被覆
し、これの上に、第1の磁気シールド層21との間に感
磁部24を挟み込むように、同様にパーマロイ等より成
る第2の磁気シールド層22をスパッタ、蒸着、メッキ
等によって形成する。
【0028】そして、全体を覆って、ガラス等の保護層
30を被覆する。
【0029】また、上述の基体20上に積層されたヘッ
ド構成部の前方部を例えば基体20と共に研磨して磁気
記録媒体との対接ないしは対向面23を形成する。
【0030】このようにして、この面23に、第1及び
第2の磁気シールド層21及び22の前方端間に形成さ
れる磁気ギャップgが形成され、この磁気ギャップg内
に感磁部24が、即ちMRヘッド素子が配されるように
する。
【0031】この構成において、感磁部24は、磁気記
録媒体との対接ないしは対向面23に臨む位置から、こ
れと直交する+Z方向に延在するように形成する。
【0032】この感磁部24において、特にその第1及
び第2の薄膜磁性層1及び2を、その各成膜時のスパッ
タ、蒸着等において例えば所定方向の外部磁界印加を行
うことによって、各磁化容易軸ea1 及びea2 を図3
Aで示すようにZ方向とこれを直交する方向に一致する
ことがなく、これら方向に対し、傾きをもって、望まし
くは45°に近く、45°±20°の範囲内の向きでか
つ、Z方向に沿う中心線Cに対し対称の方向に向かわし
める。
【0033】この構成において、電極25及び26間に
所定のセンス電流を通電し、感磁部24の第1及び第2
の薄膜磁性層1及び2にそれぞれ同一方向のZ方向、或
いは−Z方向の通電をなし、バイアス導体28に通電す
ることによって同様に、Z方向若しくは−Z方向のバイ
アス磁界HB を印加して各薄膜磁性層1及び2におい
て、図3Cに示すようにZ方向に対しできるだけ45°
に近く、互いに中心線Cに対し対称的な向きa1 及びa
2 に磁気モーメントを向しめる。
【0034】この状態で、磁気記録媒体、例えばハード
ディスク(図示せず)に磁気記録媒体との対接ないしは
対向面23を対接ないしは対向させ、例えばハードディ
スクの回転による相対的移行によって変化する磁気記録
媒体上の記録に基づく信号磁界HS をその主たる方向が
Z方向に沿う方向で感磁部24に、第1及び第2の磁気
シールド層21及び22間の磁気ギャップgを通じて与
えられるようにする。
【0035】このような構成によれば、感磁部24の第
1及び第2の薄膜磁性層1及び2の磁化容易軸ea1
びea2 が予め傾けられていることによってバイアス磁
界H B による磁気モーメントの回転が助成され、これに
よって、バイアス磁界HB により得べき感磁部24の磁
化の向きを確実に得ることができ、信号磁界HS による
感磁部24の抵抗変化を直線性良く、高感度状態とする
ことができて、安定してすぐれた出力特性を得ることが
できる。
【0036】そして、第1及び第2の薄膜磁性層1及び
2の磁化容易軸ea1 及びea2 は、Z軸に対し45°
±20°の範囲で良好にバイアス磁界HB の印加で安定
した磁気モーメントa1 及びa2 に傾きを設定できた。
【0037】尚、図示の例では、MR型磁気ヘッドを単
独に有するヘッドに本発明を適用した場合であるが、多
チャンネル型のヘッドを始めとして、インダクティブ型
記録ヘッドとMR型再生ヘッドとの組合せによる複合型
ヘッド等、各種MR型薄膜磁気ヘッドを有するヘッドに
適用することができる。
【0038】
【発明の効果】上述したように本発明では、非磁性中間
層3を介して第1及び第2の磁気抵抗効果を有する薄膜
磁性層1及び2を積層した構成を採る感磁部24の、各
磁性層1及び2の磁化容易軸を予めセンス電流iの通電
方向とこれに直交する方向とにそれぞれ一致せず、これ
らから傾き、かつ中心線Cに対して対称的な向きに選定
したので安定したバイアス状態を設定でき、これによっ
て再生感度の向上と良好な再生出力波形を得ることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による磁気ヘッドの一例の略線的拡大断
面図である。
【図2】その感磁部の一例の略線的拡大断面図である。
【図3】本発明による磁気ヘッドの感磁部の平面図であ
る。
【図4】本発明による磁気ヘッドの感磁部の磁気抵抗特
性曲線図である。
【図5】従来の磁気ヘッドの感磁部の平面図である。
【図6】従来の磁気ヘッドの感磁部の磁気抵抗特性曲線
図である。
【符号の説明】
1 第1の薄膜磁性層 2 第2の薄膜磁性層 3 非磁性中間層 21 第1の磁気シールド層 22 第2の磁気シールド層 23 磁気媒体との対接ないしは対向面 24 感磁部 28 バイアス導体

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】 非磁性中間層を介してそれぞれ磁気抵抗
    効果を有する第1及び第2の薄膜磁性層が積層されて成
    る感磁部が、磁気記録媒体との対接ないしは対向面に対
    してほぼ直交する方向に延在して設けられ、それぞれこ
    の方向に沿う方向にバイアス磁界、センス電流及び上記
    磁気記録媒体からの信号磁界が上記感磁部に与えられる
    ようになされた磁気抵抗効果型薄膜ヘッドにおいて、 上記第1及び第2の薄膜磁性層の磁化容易軸を、上記セ
    ンス電流の通電方向に沿う方向及びこれと直交する方向
    に一致することなく、かつ上記感磁部へのセンス電流の
    通電方向に沿う中心線に対し対称の方向に選定したこと
    を特徴とする磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッド。
JP17392791A 1991-07-15 1991-07-15 磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘツド Pending JPH0520646A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17392791A JPH0520646A (ja) 1991-07-15 1991-07-15 磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘツド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17392791A JPH0520646A (ja) 1991-07-15 1991-07-15 磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘツド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0520646A true JPH0520646A (ja) 1993-01-29

Family

ID=15969656

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17392791A Pending JPH0520646A (ja) 1991-07-15 1991-07-15 磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘツド

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0520646A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0712117A2 (en) * 1994-11-14 1996-05-15 Read-Rite Corporation Compact read/write head having biased GMR element

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0712117A2 (en) * 1994-11-14 1996-05-15 Read-Rite Corporation Compact read/write head having biased GMR element
EP0712117A3 (en) * 1994-11-14 1996-08-28 Read Rite Corp Compact read / write head with preloaded GMR element

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5668686A (en) Magneto-resistive reading head with reduced side-lobe
US4896235A (en) Magnetic transducer head utilizing magnetoresistance effect
JPH09259410A (ja) 磁気抵抗型センサ
JPH11102508A (ja) 薄膜磁気変換器
WO2002047182A1 (fr) Dispositif a effet magnetoresistif, et tete magnetique a effet magnetoresistif
JPH0916925A (ja) 誘導型・mr型複合磁気ヘッドおよびその製造方法
US5535077A (en) Magnetoresistive head having magnetically balanced magnetoresistive elements laminated on opposite sides of an electrically conductive film
US5140484A (en) Magnetoresistive head having electrodes with a predetermined length and positioned to form a predetermined angle with the head surface
JPH07176019A (ja) 扁形磁気抵抗ヘッド
US5790351A (en) Magnetoresistive head with conductive underlayer
JP2000011331A (ja) 磁気抵抗効果素子及び薄膜磁気ヘッド
JPH0520646A (ja) 磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘツド
JP2865055B2 (ja) 磁気抵抗効果型感磁素子及びこれを用いた磁気ヘッド
EP0482642B1 (en) Composite magnetoresistive thin-film magnetic head
JP2000200404A (ja) 磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッド
JP2000311317A (ja) スピンバルブ磁気抵抗センサ及びその製造方法、薄膜磁気ヘッド
JPH0473210B2 (ja)
JP3285094B2 (ja) 薄膜磁気ヘッドの研磨方法
JPH08185613A (ja) 磁気抵抗型薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法
Maruyama et al. A yoke magnetoresistive head for high track density recording
JPS61134913A (ja) 磁気抵抗型薄膜ヘツド
JP3047824B2 (ja) 磁気抵抗効果型薄膜変換素子およびその製造方法
JPH10222817A (ja) 磁気抵抗センサ
JPH0836715A (ja) 磁気抵抗効果型磁気ヘッド
JP3082347B2 (ja) 磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッド