JPH05202857A - 圧電ポンプ - Google Patents
圧電ポンプInfo
- Publication number
- JPH05202857A JPH05202857A JP1337992A JP1337992A JPH05202857A JP H05202857 A JPH05202857 A JP H05202857A JP 1337992 A JP1337992 A JP 1337992A JP 1337992 A JP1337992 A JP 1337992A JP H05202857 A JPH05202857 A JP H05202857A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- present
- elements
- silicone tube
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧電素子を利用し、小型の装置で液体を搬送
でき、また、流路部を容易に交換できるポンプを提供す
る。 【構成】 図中符号１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅは一
方の端面がシリコンチューブ２と外接し他方の端はベー
ス台８に接着剤等で取付けられた積層型電歪効果素子で
ある。これらの素子に順に電圧を印加することによりシ
リコンチューブ２に順に押しつけシリコンチューブ２内
の液体を搬送することができる。
でき、また、流路部を容易に交換できるポンプを提供す
る。 【構成】 図中符号１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅは一
方の端面がシリコンチューブ２と外接し他方の端はベー
ス台８に接着剤等で取付けられた積層型電歪効果素子で
ある。これらの素子に順に電圧を印加することによりシ
リコンチューブ２に順に押しつけシリコンチューブ２内
の液体を搬送することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は流路部の伸縮により流体
を搬送するポンプに関し、特に圧電素子を使用したポン
プに関する。
を搬送するポンプに関し、特に圧電素子を使用したポン
プに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の流路部の伸縮により流体を搬送す
るポンプは図７に示すようにモータ等の回転軸に取り付
けられた複数のローラ部が弾性体たとえばシリコン製の
チューブを順にしごいていくにより流体を搬送してい
た。この種のポンプはモータの回転数を増減することで
ローラ部がチューブをしごく単位時間あたりの回数を制
御して流量を制御している。しかも流体はチューブ以外
触れないで搬送されるのでチューブを交換すればポンプ
内を清掃することなく別の流体を搬送することができ
る。また圧電素子を使用したポンプとしては図８に示す
ように圧電素子に接続したダイヤフラムを変形させてポ
ンプの容積を増減させそれぞれ別々に作用する弁を通し
て流体を搬送している。圧電素子の変位量は電圧及び周
波数に対して応答性が良いので電圧及び周波数を制御す
ることで微少流量をしかも高速に制御することができ
る。
るポンプは図７に示すようにモータ等の回転軸に取り付
けられた複数のローラ部が弾性体たとえばシリコン製の
チューブを順にしごいていくにより流体を搬送してい
た。この種のポンプはモータの回転数を増減することで
ローラ部がチューブをしごく単位時間あたりの回数を制
御して流量を制御している。しかも流体はチューブ以外
触れないで搬送されるのでチューブを交換すればポンプ
内を清掃することなく別の流体を搬送することができ
る。また圧電素子を使用したポンプとしては図８に示す
ように圧電素子に接続したダイヤフラムを変形させてポ
ンプの容積を増減させそれぞれ別々に作用する弁を通し
て流体を搬送している。圧電素子の変位量は電圧及び周
波数に対して応答性が良いので電圧及び周波数を制御す
ることで微少流量をしかも高速に制御することができ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の流路部の伸
縮により流体を搬送するポンプはモータの回転数を増減
することで流量を制御しているので高速制御ができず、
またダイヤフラムを使用した圧電ポンプは微少流量を高
速で制御できる反面高精度の弁が必要で構造が複雑にな
りコスト高になるとともに、別の流体を搬送するときは
ポンプ内を清掃する必要があるという問題点がある。
縮により流体を搬送するポンプはモータの回転数を増減
することで流量を制御しているので高速制御ができず、
またダイヤフラムを使用した圧電ポンプは微少流量を高
速で制御できる反面高精度の弁が必要で構造が複雑にな
りコスト高になるとともに、別の流体を搬送するときは
ポンプ内を清掃する必要があるという問題点がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は弾性を有する流
路部と前記流路部に外接する圧電素子と前記圧電素子を
駆動する駆動回路とで構成されたことを特徴とし、圧電
素子が積層型電歪効果素子であることを特徴とする。
路部と前記流路部に外接する圧電素子と前記圧電素子を
駆動する駆動回路とで構成されたことを特徴とし、圧電
素子が積層型電歪効果素子であることを特徴とする。
【０００５】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例の圧電ポンプである。図中
符号１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅは一方の端面がシリ
コンチューブ２と外接し他方の端はベース台８に接着剤
等で取り付けられた積層型電歪効果素子である。つぎに
本発明の動作について図２〜図６により説明する。まず
ａからｅの積層型電歪効果素子１のうちａを除く４つの
素子にｅより順に高い電圧を印加する。たとえば素子ｅ
に１００Ｖ、ｄに８０Ｖ、ｃに６０Ｖ、ｄに４０Ｖを印
加するとそれぞれ変位量が違うので図２に示すようにシ
リコンチューブを順に押しつけるようになる。つぎに素
子ｄ，ｃ，ｂ，ａと順に印加電圧を上げていき素子ｅに
最初印加したと同じ電圧にする（図３、図４）。このと
きシリコンチューブ内の液体は図中矢印方向に移動す
る。つぎに素子ｅ，ｄ，ｃ，ｂ，ａの順に電圧を下げて
いきシリコンチューブ内の液体を電歪効果素子端面の下
にいれる（図５、図６）。以上の動作を連続させるとシ
リコンチューブ内の液体を移動させることができる。
る。図１は本発明の一実施例の圧電ポンプである。図中
符号１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅは一方の端面がシリ
コンチューブ２と外接し他方の端はベース台８に接着剤
等で取り付けられた積層型電歪効果素子である。つぎに
本発明の動作について図２〜図６により説明する。まず
ａからｅの積層型電歪効果素子１のうちａを除く４つの
素子にｅより順に高い電圧を印加する。たとえば素子ｅ
に１００Ｖ、ｄに８０Ｖ、ｃに６０Ｖ、ｄに４０Ｖを印
加するとそれぞれ変位量が違うので図２に示すようにシ
リコンチューブを順に押しつけるようになる。つぎに素
子ｄ，ｃ，ｂ，ａと順に印加電圧を上げていき素子ｅに
最初印加したと同じ電圧にする（図３、図４）。このと
きシリコンチューブ内の液体は図中矢印方向に移動す
る。つぎに素子ｅ，ｄ，ｃ，ｂ，ａの順に電圧を下げて
いきシリコンチューブ内の液体を電歪効果素子端面の下
にいれる（図５、図６）。以上の動作を連続させるとシ
リコンチューブ内の液体を移動させることができる。
【０００６】
【発明の効果】以上説明したように本発明は積層型電歪
効果素子でシリコンチューブを外側より押すことにより
液体等を搬送できるので小型化が可能であり、また、シ
リコンチューブを交換するだけで別の液体等を搬送でき
るという効果がある。
効果素子でシリコンチューブを外側より押すことにより
液体等を搬送できるので小型化が可能であり、また、シ
リコンチューブを交換するだけで別の液体等を搬送でき
るという効果がある。
【図１】本発明の一実施例の側面図である。
【図２】本発明の一実施例の動作順序を説明する側面図
である。
である。
【図３】本発明の一実施例の動作順序を説明する側面図
である。
である。
【図４】本発明の一実施例の動作順序を説明する側面図
である。
である。
【図５】本発明の一実施例の動作順序を説明する側面図
である。
である。
【図６】本発明の一実施例の動作順序を説明する側面図
である。
である。
【図７】従来のモータを用いたポンプである。
【図８】従来のダイヤフラムを用いたポンプである。
１ 積層型電歪効果素子 ２ シリコンチューブ ３ ローラ ４ モータ軸 ５ 弁 ６ 流路 ７ ダイヤフラム ８ ベース台
Claims (2)
- 【請求項１】 弾性を有する流路部と前記流路部に外接
する圧電素子と前記圧電素子を駆動する駆動回路とで構
成されたことを特徴とする圧電ポンプ。 - 【請求項２】 前記圧電素子が積層型電歪効果素子であ
ることを特徴とする請求項１記載の圧電ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1337992A JPH05202857A (ja) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | 圧電ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1337992A JPH05202857A (ja) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | 圧電ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05202857A true JPH05202857A (ja) | 1993-08-10 |
Family
ID=11831466
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1337992A Pending JPH05202857A (ja) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | 圧電ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05202857A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000052336A1 (fr) * | 1999-03-03 | 2000-09-08 | Ngk Insulators, Ltd. | Pompe |
| JP2005522162A (ja) * | 2002-03-18 | 2005-07-21 | エスアールアイ インターナショナル | 流体を移動させる電気活性ポリマーデバイス |
| CN102220960A (zh) * | 2011-06-16 | 2011-10-19 | 华南农业大学 | 轮毂型压电蠕动泵 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH024382A (ja) * | 1988-06-23 | 1990-01-09 | Teru Hayashi | 送液ポンプ |
| JPH03107585A (ja) * | 1989-09-20 | 1991-05-07 | Fujitsu Ltd | 圧電ポンプ |
| JPH05157052A (ja) * | 1991-12-06 | 1993-06-22 | Canon Inc | 流体搬送装置、及び流体搬送方法 |
-
1992
- 1992-01-28 JP JP1337992A patent/JPH05202857A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH024382A (ja) * | 1988-06-23 | 1990-01-09 | Teru Hayashi | 送液ポンプ |
| JPH03107585A (ja) * | 1989-09-20 | 1991-05-07 | Fujitsu Ltd | 圧電ポンプ |
| JPH05157052A (ja) * | 1991-12-06 | 1993-06-22 | Canon Inc | 流体搬送装置、及び流体搬送方法 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000052336A1 (fr) * | 1999-03-03 | 2000-09-08 | Ngk Insulators, Ltd. | Pompe |
| US6565331B1 (en) | 1999-03-03 | 2003-05-20 | Ngk Insulators, Ltd. | Pump |
| US6666658B2 (en) | 1999-03-03 | 2003-12-23 | Ngk Insulators, Ltd. | Microfluidic pump device |
| US6682318B2 (en) | 1999-03-03 | 2004-01-27 | Ngk Insulators, Ltd. | Pump |
| JP2005522162A (ja) * | 2002-03-18 | 2005-07-21 | エスアールアイ インターナショナル | 流体を移動させる電気活性ポリマーデバイス |
| CN102220960A (zh) * | 2011-06-16 | 2011-10-19 | 华南农业大学 | 轮毂型压电蠕动泵 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3814132B2 (ja) | ポンプ及びその駆動方法 | |
| JP4957480B2 (ja) | 圧電マイクロポンプ | |
| US20110229356A1 (en) | Fluid conveyance device | |
| EP1323925A3 (en) | Electroactive polymer actuator and diaphragm pump using the same | |
| DE112007000669B4 (de) | Piezoelektrische Mikropumpe | |
| JPH09287571A (ja) | マイクロポンプ | |
| JP5429317B2 (ja) | 圧電マイクロポンプ | |
| JP4047803B2 (ja) | ダイアフラムポンプ | |
| JPH05202857A (ja) | 圧電ポンプ | |
| JPH05263763A (ja) | 圧電ポンプおよびその運転方法 | |
| JPH07301182A (ja) | 圧電ポンプの駆動方法 | |
| JPS61171891A (ja) | 圧電型ポンプ | |
| JP2925821B2 (ja) | 流体搬送装置、及び流体搬送方法 | |
| JPH03107585A (ja) | 圧電ポンプ | |
| JPS6291675A (ja) | マイクロポンプ | |
| JP2671412B2 (ja) | 圧電型マイクロポンプ | |
| JPS6357900A (ja) | 表面波ポンプ | |
| JPH0381585A (ja) | 圧電ポンプ | |
| JP2004084584A (ja) | 圧電マイクロポンプ及びその流体移動方法 | |
| JPH0579459A (ja) | マイクロポンプ | |
| JP2001317647A (ja) | マイクロバルブおよびマイクロポンプ | |
| JPH04280A (ja) | ポンプ機構 | |
| JPS6158286A (ja) | 圧電振動子の制御方法 | |
| JPS62247183A (ja) | マイクロポンプ | |
| WO2007000905A1 (ja) | マイクロポンプおよびマイクロポンプシステム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980408 |