JPH0519974U - Ｌｓｉテスタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 テストヘッドと電源を共通のブロアによって
冷却するとともに、給電線も冷却するようにしたもの
で、簡単な構成によって装置の小型化を図る。 【構成】 テストヘッドを介して被測定対象物と検査信
号を授受するＬＳＩテスタにおいて、テストヘッドを駆
動する電源の電源供給線を包み込んでいて、テストヘッ
ドと前記電源間とに設けられたエアダクトと、電源に設
けられていて、エアダクトを介しテストヘッドの空気を
吸引するブロアとを具備するようにしている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体素子とテストヘッド介してを検査信号を授受するＬＳＩテス タに関し、更に詳しくは、検査動作に伴って発熱するテストヘッドと電源を共通 の冷却ブロアによって冷却する構造のＬＳＩテスタに関する。

【０００２】

【従来の技術】

図２は、従来のＬＳＩテスタの構成図である。尚、図中に示す矢印は空気の流 れを示している。 １は被検査対象物（以下、ＤＵＴという）と検査信号を授受するテストヘッド で、内部には電子部品が搭載された複数のプリント基板が放射状に配列されてい る。 テストヘッド１は，ＤＵＴの試験のためにテスタ本体２から信号線３を介して テスト信号が入力され、電源４から給電線５を介して駆動の為のパワ−が与えら れている。

【０００３】 テストヘッド１は、試験動作によって各プリント基板が発熱し、数ＫＷにおよ ぶ場合があるため、プリント基板に実装された電子部品の性能を確保するために テストヘッド１の外周に設けられたファン１ａによって冷却されている。 また、電源４もテストヘッド１と同様に大きな発熱を伴うために、背面側から ファン（図省略）によって吸気冷却されている。

【０００４】 尚、図中のテストヘッド１は、ファン１ａによって冷却される例を示したもの であるが、エアダクトを介し、テスタ本体２に設けられたブロア（図省略）によ って吸気冷却され場合もある。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

このようなＬＳＩテスタは、テストヘッドと電源を別々に冷却しているために 装置が大型化してしまうという欠点があった。また、給電線においても発熱があ るために、給電線に太い径のワイヤを用いなければならず、この点においても装 置の小型化を図る上で障害になっていた。

【０００６】 本考案は、このような点に鑑みてなされたもので、テストヘッドと電源を共通 のブロアによって冷却するとともに、給電線も冷却するようにしたもので、簡単 な構成によって装置の小型化を図ることができるＬＳＩテスタを提供することに ある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

本考案は、このような点に鑑みてなされたもので、 テストヘッドを介して被測定対象物と検査信号を授受するＬＳＩテスタにおい て、 前記テストヘッドを駆動する電源の電源供給線を包み込んでいて、前記テスト ヘッド部と前記電源間とに設けられたエアダクトと、 前記電源に設けられていて、前記エアダクトを介し前記テストヘッドの空気を 吸引するブロアユニットと、 を具備したことを特徴としている。

【０００８】

【作用】

本考案の、各構成要素は次に示すような作用をする。 エアダクトは、テストヘッドと電源間に設けられていて、このエアダクト中に は電源供給線が通される。 ブロアは、テストヘッドの空気取り込み口から、新しい空気を取り込んで、テ ストヘッドを冷却し、更に給電線と電源を冷却する

【０００９】

【実施例】

以下、図面を用いて本考案の一実施例を詳細に説明する。図１は、本考案のＬ ＳＩテスタの一実施例を示す構成図である。図中、図２と同一作用をするものは 同一符号を付けて説明する。

【００１０】 １０はハンドラ装置（図省略）等から供給されたＤＵＴと直接に検査信号を授 受するテストヘッドで、ＤＵＴに対する試験回路が設けられた複数のプリント基 板が放射状に配置されている。

【００１１】 このプリント基板は、テストヘッド１０の一方の側面から導入された信号線３ によってテスタ本体２と検査信号が授受されるようになっている。

【００１２】 更に、テストヘッド１０は、信号線３が導入されている面に電源２０から給電 線３０が導入されていて、電源２０から与えられるパワ−によって駆動され、テ スタ本体２から与えられた検査信号に基づいて試験動作をする。

【００１３】 ４０は電源２０とテストヘッド１０間の給電線３０を包み込んで設けたエアダ クトで、電源２０の背面側に設けられているブロア２１によって、テストヘッド １０内の空気を排気するようになっている。

【００１４】 すなわち、ブロア２１は、テストヘッド１０の空気取り込み口１１から、新し い空気を取り込んで、テストヘッド１０を冷却し、更に給電線３０と電源２０を 冷却する。本考案は、このように給電線３０も冷却するようにしたため、給電線 ３０は発熱が押さえられ、ケ−ブル径の細いものが使用可能になる。

【００１５】 尚、エアダクト４０は、途中に吸引孔を設けておけば、新たな冷たい空気を途 中で取り入れることができるので、テストヘッド１０で暖められた空気を冷やす ことができる。このため、給電線３０と電源２０の冷却効率も上がるようになる 。

【００１６】

【考案の効果】

以上、詳細に説明したように本考案のＬＳＩテスタは、電源に設けたブロアを 共通化し、エアダクトを介してテストヘッドと給電線を冷却するようにしたため 、簡単な構成によって装置の小型化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のＬＳＩテスタの一実施例を示す構成図
である。

【図２】従来のＬＳＩテスタの構成図である。

【符号の説明】

１０ テストヘッド ２０ 電源 ２１ ブロア ３０ 給電線 ４０ エアダクト

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 テストヘッドを介して被測定対象物と検
   査信号を授受するＬＳＩテスタにおいて、 前記テストヘッドを駆動する電源の電源供給線を包み込
   んでいて、前記テストヘッド部と前記電源間とに設けら
   れたエアダクトと、 前記電源に設けられていて、前記エアダクトを介し前記
   テストヘッドの空気を吸引するブロアと、 を具備したことを特徴とするＬＳＩテスタ。