JPH051923A - 格子干渉型変位検出装置 - Google Patents
格子干渉型変位検出装置Info
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- JPH051923A JPH051923A JP18308591A JP18308591A JPH051923A JP H051923 A JPH051923 A JP H051923A JP 18308591 A JP18308591 A JP 18308591A JP 18308591 A JP18308591 A JP 18308591A JP H051923 A JPH051923 A JP H051923A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 装置の小型化が図れる格子干渉型変位検出装
置を提供する。 【構成】 レーザビームを２波に分岐させた各分岐光束
Ａ，Ｂを回折格子２６によって回折させてスケール１の
回折格子２上の同一回折点Ｐに入射させる。回折格子２
によって生成された各光束Ａ，Ｂの１次回折光を第１お
よび第２回折格子３６，３７によって回折させ、第２回
折格子３７において、片方の１次回折光の１次回折光と
他の片方の１次回折光の透過光とをそれぞれ混合させた
後、各検出器４１Ａ，４１Ｂに入射させる。従来のミラ
ーやハーフミラーなどに比べスケールから検出器、光源
までの距離を短くすることができるから、装置の小型化
が図れるとともに、プリズムなどに比べ生産性も向上さ
せることができる。
置を提供する。 【構成】 レーザビームを２波に分岐させた各分岐光束
Ａ，Ｂを回折格子２６によって回折させてスケール１の
回折格子２上の同一回折点Ｐに入射させる。回折格子２
によって生成された各光束Ａ，Ｂの１次回折光を第１お
よび第２回折格子３６，３７によって回折させ、第２回
折格子３７において、片方の１次回折光の１次回折光と
他の片方の１次回折光の透過光とをそれぞれ混合させた
後、各検出器４１Ａ，４１Ｂに入射させる。従来のミラ
ーやハーフミラーなどに比べスケールから検出器、光源
までの距離を短くすることができるから、装置の小型化
が図れるとともに、プリズムなどに比べ生産性も向上さ
せることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、格子干渉型変位検出装
置に関する。詳しくは、光源からの光束を２波に分岐し
てスケールの回折格子上の同一回折点に入射させ、その
回折点で生成された複数の光束の混合波を電気信号とし
て検出する格子干渉型変位検出装置に係り、特に、装置
の小型化に利用できる。
置に関する。詳しくは、光源からの光束を２波に分岐し
てスケールの回折格子上の同一回折点に入射させ、その
回折点で生成された複数の光束の混合波を電気信号とし
て検出する格子干渉型変位検出装置に係り、特に、装置
の小型化に利用できる。
【０００２】
【背景技術】従来の光電型エンコーダの高分解能化を図
ったものの１つとして、スケールにホログラフィの技術
を用いて微細なピッチ（通常、１μｍ程度）の目盛りを
形成し、その目盛りを回折格子として利用して相対変位
を高精度に検出する格子干渉型変位検出装置が知られて
いる。これは、光源からの光束を２波に分岐してスケー
ルの回折格子上の１または２つの回折点に入射させ、そ
の回折点で生成された複数の光束の混合波を電気信号と
して検出するもので、反射型回折格子を用いたものと、
透過型回折格子を用いたものとに分類できる。
ったものの１つとして、スケールにホログラフィの技術
を用いて微細なピッチ（通常、１μｍ程度）の目盛りを
形成し、その目盛りを回折格子として利用して相対変位
を高精度に検出する格子干渉型変位検出装置が知られて
いる。これは、光源からの光束を２波に分岐してスケー
ルの回折格子上の１または２つの回折点に入射させ、そ
の回折点で生成された複数の光束の混合波を電気信号と
して検出するもので、反射型回折格子を用いたものと、
透過型回折格子を用いたものとに分類できる。
【０００３】後者の透過型回折格子を用いた格子干渉型
変位検出装置として、例えば、本出願人が先に提案した
特開平２−１６７４２７号公報が知られている。これ
は、図２に示す如く、図中左右方向へ変位可能に設けら
れかつその変位方向に沿って回折格子２が形成された透
過型スケール１と、レーザ光源１１と、このレーザ光源
１１から出射されたレーザビームをその偏向方向に従っ
て２波に分岐する偏光ビームスプリッタ２２と、各分岐
光束Ａ，Ｂを反射してスケール１の回折格子２上の同一
回折点Ｐにそれぞれ対称方向から入射させる一対のミラ
ー２３Ａ，２３Ｂと、回折点Ｐで生成された２つの１次
回折光を反射させる一対のミラー３２Ａ，３２Ｂと、そ
の反射光を混合させるハーフミラー３３と、その混合波
を電気信号に変換する検出器４１Ａ，４１Ｂとから構成
されている。
変位検出装置として、例えば、本出願人が先に提案した
特開平２−１６７４２７号公報が知られている。これ
は、図２に示す如く、図中左右方向へ変位可能に設けら
れかつその変位方向に沿って回折格子２が形成された透
過型スケール１と、レーザ光源１１と、このレーザ光源
１１から出射されたレーザビームをその偏向方向に従っ
て２波に分岐する偏光ビームスプリッタ２２と、各分岐
光束Ａ，Ｂを反射してスケール１の回折格子２上の同一
回折点Ｐにそれぞれ対称方向から入射させる一対のミラ
ー２３Ａ，２３Ｂと、回折点Ｐで生成された２つの１次
回折光を反射させる一対のミラー３２Ａ，３２Ｂと、そ
の反射光を混合させるハーフミラー３３と、その混合波
を電気信号に変換する検出器４１Ａ，４１Ｂとから構成
されている。
【０００４】ここで、前記偏光ビームスプリッタ２２お
よび一対のミラー２３Ａ，２３Ｂから光束分岐手段２１
が、前記一対のミラー３２Ａ，３２Ｂおよびハーフミラ
ー３３から光束混合手段３１がそれぞれ構成されてい
る。また、前記検出器４１Ａは、前記ハーフミラー３３
で混合された一方の混合波を電気信号に変換する受光素
子４２Ａおよび一方の混合波の偏光方向を一致させて干
渉させる偏光板４３Ａから構成されている。前記検出器
４１Ｂは、前記ハーフミラー３３で混合された他方の混
合波を電気信号に変換する受光素子４２Ｂ、他方の混合
波の偏光方向を一致させて干渉させる偏光板４３Ｂおよ
びその混合波を検出器４１Ａに入射する混合波に対して
位相を９０度遅らせる１／４波長板４４から構成されて
いる。
よび一対のミラー２３Ａ，２３Ｂから光束分岐手段２１
が、前記一対のミラー３２Ａ，３２Ｂおよびハーフミラ
ー３３から光束混合手段３１がそれぞれ構成されてい
る。また、前記検出器４１Ａは、前記ハーフミラー３３
で混合された一方の混合波を電気信号に変換する受光素
子４２Ａおよび一方の混合波の偏光方向を一致させて干
渉させる偏光板４３Ａから構成されている。前記検出器
４１Ｂは、前記ハーフミラー３３で混合された他方の混
合波を電気信号に変換する受光素子４２Ｂ、他方の混合
波の偏光方向を一致させて干渉させる偏光板４３Ｂおよ
びその混合波を検出器４１Ａに入射する混合波に対して
位相を９０度遅らせる１／４波長板４４から構成されて
いる。
【０００５】いま、レーザ光源１１からレーザビームが
出射されると、そのレーザビームは、偏光ビームスプリ
ッタ２２の偏向方向に従って２分される。各分岐光束
Ａ，Ｂは、各ミラー２３Ａ，２３Ｂで反射された後、ス
ケール１の回折格子２上の同一回折点Ｐにそれぞれ対称
方向から入射される。すると、その回折点Ｐで各分岐光
束Ａ，Ｂの１次回折光が生成される。各１次回折光は、
ミラー３２Ａ，３２Ｂよって反射され、続いて、ハーフ
ミラー３３で混合された後、検出器４１Ａ，４１Ｂによ
って電気信号に変換される。
出射されると、そのレーザビームは、偏光ビームスプリ
ッタ２２の偏向方向に従って２分される。各分岐光束
Ａ，Ｂは、各ミラー２３Ａ，２３Ｂで反射された後、ス
ケール１の回折格子２上の同一回折点Ｐにそれぞれ対称
方向から入射される。すると、その回折点Ｐで各分岐光
束Ａ，Ｂの１次回折光が生成される。各１次回折光は、
ミラー３２Ａ，３２Ｂよって反射され、続いて、ハーフ
ミラー３３で混合された後、検出器４１Ａ，４１Ｂによ
って電気信号に変換される。
【０００６】従って、１次回折光同士の干渉を利用して
いるから、スケール１が回折格子２の１ピッチ分だけ変
位したとすると、各検出器４１Ａ，４１Ｂからは９０度
位相差の異なる２周期分の完全正弦波信号φＡ，φＢが
得られる。例えば、回折格子２の１ピッチを０．５μｍ
とすると、各検出器４１Ａ，４１Ｂから得られる正弦波
信号φＡ，φＢの周期は０．２５μｍとなるから、回折
格子２の１ピッチを光学的に２分割したことになり、分
解能の向上が図られている。
いるから、スケール１が回折格子２の１ピッチ分だけ変
位したとすると、各検出器４１Ａ，４１Ｂからは９０度
位相差の異なる２周期分の完全正弦波信号φＡ，φＢが
得られる。例えば、回折格子２の１ピッチを０．５μｍ
とすると、各検出器４１Ａ，４１Ｂから得られる正弦波
信号φＡ，φＢの周期は０．２５μｍとなるから、回折
格子２の１ピッチを光学的に２分割したことになり、分
解能の向上が図られている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した構
成の格子干渉型変位検出装置では、レーザ光源１１から
出射されたレーザビームを２分し、その各分岐光束Ａ，
Ｂを回折、混合させるために、レーザ光源１１から各検
出器４１Ａ，４１Ｂまでの間に、偏光ビームスプリッタ
２２、ミラー２３Ａ，２３Ｂ、３２Ａ，３２Ｂおよびハ
ーフミラー３３などを配置する必要がある。そのため、
レーザ光源１１から各検出器４１Ａ，４１Ｂまでの距離
を長く確保しなければならないから、装置の小型化を図
る上で障害となっていた。
成の格子干渉型変位検出装置では、レーザ光源１１から
出射されたレーザビームを２分し、その各分岐光束Ａ，
Ｂを回折、混合させるために、レーザ光源１１から各検
出器４１Ａ，４１Ｂまでの間に、偏光ビームスプリッタ
２２、ミラー２３Ａ，２３Ｂ、３２Ａ，３２Ｂおよびハ
ーフミラー３３などを配置する必要がある。そのため、
レーザ光源１１から各検出器４１Ａ，４１Ｂまでの距離
を長く確保しなければならないから、装置の小型化を図
る上で障害となっていた。
【０００８】ここに、本発明の目的は、このような従来
の欠点を解消し、小型化を図ることができるとともに、
生産性も併せて向上させることができる格子干渉型変位
検出装置を提供することにある。
の欠点を解消し、小型化を図ることができるとともに、
生産性も併せて向上させることができる格子干渉型変位
検出装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】そのため、本発明の格子
干渉型変位検出装置は、回折格子が形成されたスケール
と、光源と、この光源からの光束を２波に分岐しかつそ
の各分岐光束を前記スケールの回折格子上の同一点に入
射させる光束分岐手段と、前記スケールの回折格子によ
って生成された複数の光束を混合させる光束混合手段
と、この光束混合手段によって混合された混合波を電気
信号に変換する検出器とを備えた格子干渉型変位検出装
置において、前記光束分岐手段を、前記光源からの光束
を２波に分岐する分岐手段と、この分岐手段によって分
岐された各分岐光束を回折させ前記スケールの回折格子
上の同一点に入射させる回折格子とから構成するととも
に、前記光束混合手段を、前記回折格子上の同一点で生
成された１次回折光を回折させる第１回折格子と、この
第１回折格子によって回折された１次回折光の交点位置
に配置されその片方の回折光の１次回折光と他の片方の
回折光の透過光とを混合させる第２回折格子とから構成
した、ことを特徴とする。
干渉型変位検出装置は、回折格子が形成されたスケール
と、光源と、この光源からの光束を２波に分岐しかつそ
の各分岐光束を前記スケールの回折格子上の同一点に入
射させる光束分岐手段と、前記スケールの回折格子によ
って生成された複数の光束を混合させる光束混合手段
と、この光束混合手段によって混合された混合波を電気
信号に変換する検出器とを備えた格子干渉型変位検出装
置において、前記光束分岐手段を、前記光源からの光束
を２波に分岐する分岐手段と、この分岐手段によって分
岐された各分岐光束を回折させ前記スケールの回折格子
上の同一点に入射させる回折格子とから構成するととも
に、前記光束混合手段を、前記回折格子上の同一点で生
成された１次回折光を回折させる第１回折格子と、この
第１回折格子によって回折された１次回折光の交点位置
に配置されその片方の回折光の１次回折光と他の片方の
回折光の透過光とを混合させる第２回折格子とから構成
した、ことを特徴とする。
【００１０】
【作用】光源からの光束は、まず、分岐手段によって２
波に分岐される。各分岐光束は、回折格子によって回折
されスケールの回折格子上の同一回折点に入射される。
すると、その回折点で生成された１次回折光は、第１回
折格子および第２回折格子によって回折される。第２回
折格子において、一方の回折光の一次回折光と他方の回
折光の透過光とが混合され、また、一方の回折光の透過
光と他方の回折光の一次回折光とが混合された後、各検
出器に導かれる。
波に分岐される。各分岐光束は、回折格子によって回折
されスケールの回折格子上の同一回折点に入射される。
すると、その回折点で生成された１次回折光は、第１回
折格子および第２回折格子によって回折される。第２回
折格子において、一方の回折光の一次回折光と他方の回
折光の透過光とが混合され、また、一方の回折光の透過
光と他方の回折光の一次回折光とが混合された後、各検
出器に導かれる。
【００１１】従って、従来の光束混合手段を構成する一
対のミラーやハーフミラー、あるいは、光束分岐手段を
構成する一対のミラーなどの光学素子に比べ、回折格子
の方がスケールから各検出器および光源までの距離を短
くすることができるから、装置の小型化を図ることがで
きる。また、回折格子はプリズムなどに比べ量産が容易
であるから生産性をも併せて向上させることができる。
対のミラーやハーフミラー、あるいは、光束分岐手段を
構成する一対のミラーなどの光学素子に比べ、回折格子
の方がスケールから各検出器および光源までの距離を短
くすることができるから、装置の小型化を図ることがで
きる。また、回折格子はプリズムなどに比べ量産が容易
であるから生産性をも併せて向上させることができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明に係る格子干渉型変位検出装置
について好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しなが
ら詳細に説明する。なお、以下の説明に当たって、前述
した図２と同一構成要件については、同一符号を付し、
その説明を省略もしくは簡略化する。
について好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しなが
ら詳細に説明する。なお、以下の説明に当たって、前述
した図２と同一構成要件については、同一符号を付し、
その説明を省略もしくは簡略化する。
【００１３】図１に本実施例の格子干渉型変位検出装置
を示す。同格子干渉型変位検出装置は、前記光束分岐手
段２１がプリズム素子２５によって構成されているとと
もに、前記光束混合手段３１が２つの回折格子３６，３
７を有する透光素子３５によって構成されている点を除
いて、図２の装置と同一である。
を示す。同格子干渉型変位検出装置は、前記光束分岐手
段２１がプリズム素子２５によって構成されているとと
もに、前記光束混合手段３１が２つの回折格子３６，３
７を有する透光素子３５によって構成されている点を除
いて、図２の装置と同一である。
【００１４】前記光束分岐手段２１を構成するプリズム
素子２５は、内部に前記レーザ光源１１からのレーザビ
ームを２波に分岐する分岐手段としての偏光ビームスプ
リッタ２２を有し、かつ、前記スケール１と対向する面
に前記偏光ビームスプリッタ２２によって分岐された各
分岐光束Ａ，Ｂを回折させ前記スケール１の回折格子２
上の同一回折点Ｐに入射させる回折格子２６が形成され
ている。
素子２５は、内部に前記レーザ光源１１からのレーザビ
ームを２波に分岐する分岐手段としての偏光ビームスプ
リッタ２２を有し、かつ、前記スケール１と対向する面
に前記偏光ビームスプリッタ２２によって分岐された各
分岐光束Ａ，Ｂを回折させ前記スケール１の回折格子２
上の同一回折点Ｐに入射させる回折格子２６が形成され
ている。
【００１５】前記光束混合手段３１を構成する透光素子
３５には、前記スケール１と対向する面に前記回折格子
２上の同一回折点Ｐに入射された分岐光束Ａ，Ｂの１次
回折光をそれぞれ互いに内方へ回折させる第１回折格子
３６が形成されているとともに、この第１回折格子３６
で回折された１次回折光の交点上の位置に第２回折格子
３７が形成されている。第２回折格子３７は、一方の１
次回折光の１次回折光と他方の１次回折光の透過光とを
混合させて前記検出器４１Ａに入射させるるとともに、
一方の１次回折光の透過光と他方の１次回折光の１次回
折光とを混合させて前記検出器４１Ｂに入射させる。
３５には、前記スケール１と対向する面に前記回折格子
２上の同一回折点Ｐに入射された分岐光束Ａ，Ｂの１次
回折光をそれぞれ互いに内方へ回折させる第１回折格子
３６が形成されているとともに、この第１回折格子３６
で回折された１次回折光の交点上の位置に第２回折格子
３７が形成されている。第２回折格子３７は、一方の１
次回折光の１次回折光と他方の１次回折光の透過光とを
混合させて前記検出器４１Ａに入射させるるとともに、
一方の１次回折光の透過光と他方の１次回折光の１次回
折光とを混合させて前記検出器４１Ｂに入射させる。
【００１６】このような構成であるから、レーザ光源１
１から出射されたレーザビームは、偏光ビームスプリッ
タ２２によって２波に分岐される。各分岐光束Ａ，Ｂ
は、それぞれ回折格子２６によって回折された後、スケ
ール１の回折格子２上の同一回折点Ｐに入射される。す
ると、その回折点Ｐで各分岐光束Ａ，Ｂの１次回折光が
生成される。各１次回折光は、第１回折格子３６および
第２回折格子３７によって順次回折される。
１から出射されたレーザビームは、偏光ビームスプリッ
タ２２によって２波に分岐される。各分岐光束Ａ，Ｂ
は、それぞれ回折格子２６によって回折された後、スケ
ール１の回折格子２上の同一回折点Ｐに入射される。す
ると、その回折点Ｐで各分岐光束Ａ，Ｂの１次回折光が
生成される。各１次回折光は、第１回折格子３６および
第２回折格子３７によって順次回折される。
【００１７】第２回折格子３７において、一方の１次回
折光の１次回折光と他方の１次回折光の透過光とが混合
されるとともに、一方の１次回折光の透過光と他方の１
次回折光の１次回折光とが混合される。その後、一方の
混合波は、偏光板４３Ａによって偏光方向が一致されて
干渉された後、受光素子４２Ａへ入射される。また、他
方の混合波は、１／４波長板４４によって一方の混合波
に対して９０度位相が遅らされ、続いて、偏光板４３Ｂ
によって偏光方向が一致されて干渉された後、受光素子
４２Ｂへ入射される。
折光の１次回折光と他方の１次回折光の透過光とが混合
されるとともに、一方の１次回折光の透過光と他方の１
次回折光の１次回折光とが混合される。その後、一方の
混合波は、偏光板４３Ａによって偏光方向が一致されて
干渉された後、受光素子４２Ａへ入射される。また、他
方の混合波は、１／４波長板４４によって一方の混合波
に対して９０度位相が遅らされ、続いて、偏光板４３Ｂ
によって偏光方向が一致されて干渉された後、受光素子
４２Ｂへ入射される。
【００１８】従って、本実施例によれば、レーザビーム
を２波に分岐させた各分岐光束Ａ，Ｂを回折格子２６に
よって回折させてスケール１の回折格子２上の同一回折
点Ｐに入射させる。また、回折格子２上の回折点Ｐで生
成された各分岐光束Ａ，Ｂの１次回折光を第１回折格子
３６および第２回折格子３７によって回折させ、第２回
折格子３７において、一方の１次回折光の１次回折光と
他方の１次回折光の透過光とを、一方の１次回折光の透
過光と他方の１次回折光の１次回折光とをそれぞれ混合
させた後、各検出器４１Ａ，４１Ｂに入射させるるよう
にしたので、つまり、従来の光束混合手段を構成する一
対のミラーやハーフミラー、あるいは、光束分岐手段を
構成する一対のミラーなどの光学素子に比べ、回折格子
３６，３７，２６の方がスケール１から各検出器４１
Ａ，４１Ｂおよび光源１１までの距離を短くすることが
できるから、装置の小型化を図ることができる。
を２波に分岐させた各分岐光束Ａ，Ｂを回折格子２６に
よって回折させてスケール１の回折格子２上の同一回折
点Ｐに入射させる。また、回折格子２上の回折点Ｐで生
成された各分岐光束Ａ，Ｂの１次回折光を第１回折格子
３６および第２回折格子３７によって回折させ、第２回
折格子３７において、一方の１次回折光の１次回折光と
他方の１次回折光の透過光とを、一方の１次回折光の透
過光と他方の１次回折光の１次回折光とをそれぞれ混合
させた後、各検出器４１Ａ，４１Ｂに入射させるるよう
にしたので、つまり、従来の光束混合手段を構成する一
対のミラーやハーフミラー、あるいは、光束分岐手段を
構成する一対のミラーなどの光学素子に比べ、回折格子
３６，３７，２６の方がスケール１から各検出器４１
Ａ，４１Ｂおよび光源１１までの距離を短くすることが
できるから、装置の小型化を図ることができる。
【００１９】また、回折格子２６，３６，３７はプリズ
ムなどに比べ量産が容易であるから生産性をも向上させ
ることができる。
ムなどに比べ量産が容易であるから生産性をも向上させ
ることができる。
【００２０】以上、本発明について好適な実施例を挙げ
て説明したが、本発明はこの実施例に限定されるもので
なく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改
良並びに設計の変更が可能なことは勿論である。
て説明したが、本発明はこの実施例に限定されるもので
なく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改
良並びに設計の変更が可能なことは勿論である。
【００２１】例えば、上記実施例では、レーザ光源１１
からのレーザビームを２波に分岐する手段として偏向ビ
ームスプリッタ２２を用いたが、これに代わって回折格
子を用いるようにしてもよい。このようにすれば、光束
分岐手段２１側も更に小型化できるから、全体としてよ
り小型化できる利点がある。
からのレーザビームを２波に分岐する手段として偏向ビ
ームスプリッタ２２を用いたが、これに代わって回折格
子を用いるようにしてもよい。このようにすれば、光束
分岐手段２１側も更に小型化できるから、全体としてよ
り小型化できる利点がある。
【００２２】また、上記実施例では、偏光ビームスプリ
ッタ２２および回折格子２６をプリズム素子２５によっ
て一体的に構成したが、これらは別々に構成してもよ
い。また、光束混合手段３１を構成する第１回折格子３
６および第２回折格子３７についても別々に構成するよ
うにしてもよい。
ッタ２２および回折格子２６をプリズム素子２５によっ
て一体的に構成したが、これらは別々に構成してもよ
い。また、光束混合手段３１を構成する第１回折格子３
６および第２回折格子３７についても別々に構成するよ
うにしてもよい。
【００２３】また、上記実施例では、レーザ光源１１、
光束分岐手段２１、光束混合手段３１および検出器４１
Ａ，４１Ｂなどの光学系に対してスケール１が変位可能
に設けられていたが、スケール１に対して上記光学系が
変位するものでもよく、あるいは、両者が共に変位する
ものでもよい。要は、スケール１と光学系とが相対変位
するもの全てに適用することができる。
光束分岐手段２１、光束混合手段３１および検出器４１
Ａ，４１Ｂなどの光学系に対してスケール１が変位可能
に設けられていたが、スケール１に対して上記光学系が
変位するものでもよく、あるいは、両者が共に変位する
ものでもよい。要は、スケール１と光学系とが相対変位
するもの全てに適用することができる。
【００２４】
【発明の効果】以上の通り、本発明の格子干渉型変位検
出装置によれば、回折格子を用いて、各分岐光束をスケ
ールの回折格子上の同一回折点に入射させるとともに、
その回折点で生成された１次回折光同士を混合させるよ
うにしたので、従来のビームスプリッタやハーフミラー
などの光学素子に比べスケールから各検出器および光源
までの距離を短くすることができるから、装置の小型化
を図ることができる。また、回折格子はプリズムなどに
比べ量産が容易であるから、生産性も向上させることが
できる。
出装置によれば、回折格子を用いて、各分岐光束をスケ
ールの回折格子上の同一回折点に入射させるとともに、
その回折点で生成された１次回折光同士を混合させるよ
うにしたので、従来のビームスプリッタやハーフミラー
などの光学素子に比べスケールから各検出器および光源
までの距離を短くすることができるから、装置の小型化
を図ることができる。また、回折格子はプリズムなどに
比べ量産が容易であるから、生産性も向上させることが
できる。
【図１】本発明の格子干渉型変位検出装置の一実施例を
示す図である。
示す図である。
【図２】従来の格子干渉型変位検出装置を示す図であ
る。
る。
１ スケール ２ 回折格子 １１ レーザ光源（光源） ２１ 光束分岐手段 ２６ 回折格子 ３１ 光束混合手段 ３６ 第１回折格子 ３７ 第２回折格子 ４１Ａ，４１Ｂ 検出器
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】回折格子が形成されたスケールと、光源
と、この光源からの光束を２波に分岐しかつその各分岐
光束を前記スケールの回折格子上の同一点に入射させる
光束分岐手段と、前記スケールの回折格子によって生成
された複数の光束を混合させる光束混合手段と、この光
束混合手段によって混合された混合波を電気信号に変換
する検出器とを備えた格子干渉型変位検出装置におい
て、前記光束分岐手段を、前記光源からの光束を２波に
分岐する分岐手段と、この分岐手段によって分岐された
各分岐光束を回折させ前記スケールの回折格子上の同一
点に入射させる回折格子とから構成するとともに、前記
光束混合手段を、前記回折格子上の同一点で生成された
１次回折光を回折させる第１回折格子と、この第１回折
格子によって回折された１次回折光の交点位置に配置さ
れその片方の回折光の１次回折光と他の片方の回折光の
透過光とを混合させる第２回折格子とから構成した、こ
とを特徴とする格子干渉型変位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18308591A JPH051923A (ja) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | 格子干渉型変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18308591A JPH051923A (ja) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | 格子干渉型変位検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH051923A true JPH051923A (ja) | 1993-01-08 |
Family
ID=16129503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18308591A Pending JPH051923A (ja) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | 格子干渉型変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH051923A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101105755B1 (ko) * | 2004-04-23 | 2012-01-17 | 엘지전자 주식회사 | 공기조화기 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01276020A (ja) * | 1988-03-25 | 1989-11-06 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 光電位置測定装置 |
-
1991
- 1991-06-26 JP JP18308591A patent/JPH051923A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01276020A (ja) * | 1988-03-25 | 1989-11-06 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 光電位置測定装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101105755B1 (ko) * | 2004-04-23 | 2012-01-17 | 엘지전자 주식회사 | 공기조화기 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19950822 |