JPH05183139A - カラー固体撮像素子 - Google Patents
カラー固体撮像素子Info
- Publication number
- JPH05183139A JPH05183139A JP3356765A JP35676591A JPH05183139A JP H05183139 A JPH05183139 A JP H05183139A JP 3356765 A JP3356765 A JP 3356765A JP 35676591 A JP35676591 A JP 35676591A JP H05183139 A JPH05183139 A JP H05183139A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- color
- image pickup
- separation filter
- color separation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 32
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000000049 pigment Substances 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 5
- 239000001023 inorganic pigment Substances 0.000 abstract description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 abstract 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000004042 decolorization Methods 0.000 abstract 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 3
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000005018 casein Substances 0.000 description 2
- BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N casein, tech. Chemical compound NCCCCC(C(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CC(C)C)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(C(C)O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(COP(O)(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(N)CC1=CC=CC=C1 BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000021240 caseins Nutrition 0.000 description 2
- 238000005562 fading Methods 0.000 description 2
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 2
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 2
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 2
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 2
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 1
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N nobelium Chemical compound [No] ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 退色がなく耐熱性の優れた長寿命の色分解フ
ィルタを備えたカラー固体撮像素子を提供する。 【構成】 シリコン等の半導体基板２にマトリックス状
に配列した受光素子３を形成してなる固体撮像素子１の
前記受光素子３の各表面に、３原色あるいはその補色等
の複数の無機質顔料を含有した常温ガラスからなる色分
解フィルタ４を直接形成し、カラー固体撮像素子を構成
する。
ィルタを備えたカラー固体撮像素子を提供する。 【構成】 シリコン等の半導体基板２にマトリックス状
に配列した受光素子３を形成してなる固体撮像素子１の
前記受光素子３の各表面に、３原色あるいはその補色等
の複数の無機質顔料を含有した常温ガラスからなる色分
解フィルタ４を直接形成し、カラー固体撮像素子を構成
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、色分解フィルタを備
えたカラー固体撮像素子に関する。
えたカラー固体撮像素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、色分解フィルタを備えたカラー固
体撮像素子は、マトリックス状に配列された受光素子を
有する固体撮像素子の表面に、直接色分解フィルタを堆
積したり、あるいは色分解フィルタを形成した透明基板
を固体撮像素子に接着して構成されているが、その色分
解フィルタは、例えば、特開昭６３−８１８４９号など
に示されているように、染色されたゼラチン，カゼイ
ン，グリュー等の有機膜を用いて形成されている。
体撮像素子は、マトリックス状に配列された受光素子を
有する固体撮像素子の表面に、直接色分解フィルタを堆
積したり、あるいは色分解フィルタを形成した透明基板
を固体撮像素子に接着して構成されているが、その色分
解フィルタは、例えば、特開昭６３−８１８４９号など
に示されているように、染色されたゼラチン，カゼイ
ン，グリュー等の有機膜を用いて形成されている。
【０００３】図４は、従来の色分解フィルタを備えたカ
ラー固体撮像素子の構成例を示す断面図である。半導体
基板101 に形成された受光素子102 の表面に、ゼラチ
ン，カゼイン，グリュー等の有機膜からなる第１の色分
解フィルタ 103ａ，及び中間層104 を介して、更に第
２，第３の有機膜からなる色分解フィルタ 103ｂ， 103
ｃが形成され、更に表面に保護膜105 をコートしてカラ
ー固体撮像素子を構成している。
ラー固体撮像素子の構成例を示す断面図である。半導体
基板101 に形成された受光素子102 の表面に、ゼラチ
ン，カゼイン，グリュー等の有機膜からなる第１の色分
解フィルタ 103ａ，及び中間層104 を介して、更に第
２，第３の有機膜からなる色分解フィルタ 103ｂ， 103
ｃが形成され、更に表面に保護膜105 をコートしてカラ
ー固体撮像素子を構成している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の有機
膜によって形成された色分解フィルタは、紫外線により
染色基質や染料が変質し、退色して分光特性が経時変化
するという問題点があった。また有機膜フィルタは耐熱
性においても劣るという問題があり、固体撮像素子の実
装プロセスにおいて、熱的な制約が生じていた。更にま
た従来の固体撮像素子においては、有機膜による色分解
フィルタは、パターンが重なり合ってしまい、分光特性
に影響が出易いという問題点があった。
膜によって形成された色分解フィルタは、紫外線により
染色基質や染料が変質し、退色して分光特性が経時変化
するという問題点があった。また有機膜フィルタは耐熱
性においても劣るという問題があり、固体撮像素子の実
装プロセスにおいて、熱的な制約が生じていた。更にま
た従来の固体撮像素子においては、有機膜による色分解
フィルタは、パターンが重なり合ってしまい、分光特性
に影響が出易いという問題点があった。
【０００５】本発明は、従来の色分解フィルタを備えた
カラー固体撮像素子における上記問題点を解消するため
になされたもので、退色がなく耐熱性の優れた色分解フ
ィルタを備えたカラー固体撮像素子を提供することを目
的とする。
カラー固体撮像素子における上記問題点を解消するため
になされたもので、退色がなく耐熱性の優れた色分解フ
ィルタを備えたカラー固体撮像素子を提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段及び作用】上記問題点を解
決するため、本発明は、マトリックス状に配列された受
光素子を有する固体撮像素子の表面に、３原色あるいは
その補色等の複数の色素材料を含有する常温ガラスから
なる色分解フィルタパターンを直接形成するか、又はか
かる常温ガラスからなる色分解フィルタパターンを形成
した透明基板を固体撮像素子の表面に接着してカラー固
体撮像素子を構成するものである。
決するため、本発明は、マトリックス状に配列された受
光素子を有する固体撮像素子の表面に、３原色あるいは
その補色等の複数の色素材料を含有する常温ガラスから
なる色分解フィルタパターンを直接形成するか、又はか
かる常温ガラスからなる色分解フィルタパターンを形成
した透明基板を固体撮像素子の表面に接着してカラー固
体撮像素子を構成するものである。
【０００７】常温ガラスは、常温で液状であり、塗布後
常温で乾燥あるいは200 ℃以下で加熱することにより硬
化し、ガラスとなるものである。したがって、上記のよ
うに複数の色素材料を含有する常温ガラスで色分解フィ
ルタパターンを形成することにより、紫外線等による変
質，退色が全くなく、信頼性の高い長寿命のカラー固体
撮像素子を実現することができる。また耐熱性も大幅に
向上するため、実装プロセスにおいて熱的な制約を受け
ず、信頼性が高く安価な実装が可能となる。
常温で乾燥あるいは200 ℃以下で加熱することにより硬
化し、ガラスとなるものである。したがって、上記のよ
うに複数の色素材料を含有する常温ガラスで色分解フィ
ルタパターンを形成することにより、紫外線等による変
質，退色が全くなく、信頼性の高い長寿命のカラー固体
撮像素子を実現することができる。また耐熱性も大幅に
向上するため、実装プロセスにおいて熱的な制約を受け
ず、信頼性が高く安価な実装が可能となる。
【０００８】
【実施例】次に実施例について説明する。図１は、本発
明に係るカラー固体撮像素子の第１実施例を示す断面図
である。図において、１は固体撮像素子で、シリコン等
の半導体基板２にマトリックス状に配列して受光素子３
を形成して構成されており、該受光素子３の各表面に
は、３原色あるいはその補色等の複数の無機質顔料を含
有した常温ガラスからなる色分解フィルタ４を直接形成
し、カラー固体撮像素子を構成している。
明に係るカラー固体撮像素子の第１実施例を示す断面図
である。図において、１は固体撮像素子で、シリコン等
の半導体基板２にマトリックス状に配列して受光素子３
を形成して構成されており、該受光素子３の各表面に
は、３原色あるいはその補色等の複数の無機質顔料を含
有した常温ガラスからなる色分解フィルタ４を直接形成
し、カラー固体撮像素子を構成している。
【０００９】図２の（Ａ）〜（Ｊ）は、上記色分解フィ
ルタを備えたカラー固体撮像素子の製造工程の一例を示
す断面図であり、次にその製造工程について説明する。
まず図２の（Ａ）に示すように、受光素子３を形成した
半導体基板２上の表面にレジスト５を塗布形成する。次
いで図２の（Ｂ）に示すように、フォトリソグラフィー
により、所定の受光素子３の上部に窓６をあける。次に
図２の（Ｃ）に示すように、第１の色の顔料を含有した
色付常温ガラス７を塗布し硬化させる。次いで図２の
（Ｄ）に示すように、レジスト５の表面まで常温ガラス
７をエッチングし、図２の（Ｅ）に示すように、レジス
ト５を除去することにより、第１の色の色分解フィルタ
４ａが形成される。
ルタを備えたカラー固体撮像素子の製造工程の一例を示
す断面図であり、次にその製造工程について説明する。
まず図２の（Ａ）に示すように、受光素子３を形成した
半導体基板２上の表面にレジスト５を塗布形成する。次
いで図２の（Ｂ）に示すように、フォトリソグラフィー
により、所定の受光素子３の上部に窓６をあける。次に
図２の（Ｃ）に示すように、第１の色の顔料を含有した
色付常温ガラス７を塗布し硬化させる。次いで図２の
（Ｄ）に示すように、レジスト５の表面まで常温ガラス
７をエッチングし、図２の（Ｅ）に示すように、レジス
ト５を除去することにより、第１の色の色分解フィルタ
４ａが形成される。
【００１０】次に図２の（Ｆ）に示すように、基板２の
表面に再びレジスト５を塗布し、図２の（Ｇ）に示すよ
うに、フォトリソグラフィーにより、他の受光素子３の
上部に窓６をあける。次いで図２の（Ｈ）に示すよう
に、第２の色の顔料を含有した色付常温ガラス８を塗布
し、図２の（Ｉ）に示すように、レジスト５の表面まで
常温ガラス８をエッチングする。次いで図２の（Ｊ）に
示すように、レジスト５を除去することにより、第２の
色の色分解フィルタ４ｂが形成される。以後、同様の工
程を繰り返すことにより、各受光素子３の表面に複数の
色の色分解フィルタ４が形成される。
表面に再びレジスト５を塗布し、図２の（Ｇ）に示すよ
うに、フォトリソグラフィーにより、他の受光素子３の
上部に窓６をあける。次いで図２の（Ｈ）に示すよう
に、第２の色の顔料を含有した色付常温ガラス８を塗布
し、図２の（Ｉ）に示すように、レジスト５の表面まで
常温ガラス８をエッチングする。次いで図２の（Ｊ）に
示すように、レジスト５を除去することにより、第２の
色の色分解フィルタ４ｂが形成される。以後、同様の工
程を繰り返すことにより、各受光素子３の表面に複数の
色の色分解フィルタ４が形成される。
【００１１】このように構成された色分解フィルタは常
温ガラスで構成されているため、紫外線等による変質，
退色が全くなく、また耐熱性を大幅に向上した長寿命の
カラー固体撮像素子が得られる。また常温ガラスによる
色分解フィルタのパターンは、図４に示した従来例のよ
うに重なり合うことがなく、したがって分光特性に影響
を与えることがなく、また製造工程も簡単である。
温ガラスで構成されているため、紫外線等による変質，
退色が全くなく、また耐熱性を大幅に向上した長寿命の
カラー固体撮像素子が得られる。また常温ガラスによる
色分解フィルタのパターンは、図４に示した従来例のよ
うに重なり合うことがなく、したがって分光特性に影響
を与えることがなく、また製造工程も簡単である。
【００１２】図３は、本発明の第２実施例を示す断面図
である。この実施例は、ガラス等の透明基板11の表面
に、図２に示したと同様な工程で、複数の無機質顔料を
含有した常温ガラスからなる色分解フィルタ４を形成し
たカラーフィルタ12を、マトリックス状に配列された受
光素子３の位置に色分解フィルタ４が位置するように合
わせて、固体撮像素子１の表面に接着剤13で接着してカ
ラー固体撮像素子を構成するものである。
である。この実施例は、ガラス等の透明基板11の表面
に、図２に示したと同様な工程で、複数の無機質顔料を
含有した常温ガラスからなる色分解フィルタ４を形成し
たカラーフィルタ12を、マトリックス状に配列された受
光素子３の位置に色分解フィルタ４が位置するように合
わせて、固体撮像素子１の表面に接着剤13で接着してカ
ラー固体撮像素子を構成するものである。
【００１３】
【発明の効果】以上実施例に基づいて説明したように、
本発明によれば、常温ガラスで形成された色分解フィル
タパターンを備えているので、紫外線等による変質，退
色が全くなく、信頼性の高い長寿命のカラー固体撮像素
子を提供することができる。また耐熱性も大幅に向上す
るため、実装プロセスにおいて熱的な制約を受けず、信
頼性が高く安価な実装が可能となる等の利点が得られ
る。
本発明によれば、常温ガラスで形成された色分解フィル
タパターンを備えているので、紫外線等による変質，退
色が全くなく、信頼性の高い長寿命のカラー固体撮像素
子を提供することができる。また耐熱性も大幅に向上す
るため、実装プロセスにおいて熱的な制約を受けず、信
頼性が高く安価な実装が可能となる等の利点が得られ
る。
【図１】本発明に係るカラー固体撮像素子の第１実施例
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図２】図１に示した実施例の製造工程の一例を示す工
程図である。
程図である。
【図３】本発明の第２実施例を示す断面図である。
【図４】従来の色分解フィルタを備えたカラー固体撮像
素子の構成例を示す断面図である。
素子の構成例を示す断面図である。
１ 固体撮像素子 ２ 半導体基板 ３ 受光素子 ４ 色分解フィルタ ４ａ 第１の色の色分解フィルタ ４ｂ 第２の色の色分解フィルタ ５ レジスト ６ 窓 ７ 第１の色付常温ガラス ８ 第２の色付常温ガラス 11 透明基板 12 カラーフィルタ 13 接着剤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西村 芳郎 東京都渋谷区幡ケ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 マトリックス状に配列された受光素子を
有する固体撮像素子の表面に、３原色あるいはその補色
等の複数の色素材料を含有する常温ガラスからなる色分
解フィルタパターンを直接形成したことを特徴とするカ
ラー固体撮像素子。 - 【請求項２】 透明基板上に３原色あるいはその補色等
の複数の色素材料を含有する常温ガラスからなる色分解
フィルタパターンを形成して構成したカラーフィルタ
を、マトリックス状に配列された受光素子を有する固体
撮像素子の表面に接着したことを特徴とするカラー固体
撮像素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3356765A JPH05183139A (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | カラー固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3356765A JPH05183139A (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | カラー固体撮像素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05183139A true JPH05183139A (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=18450660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3356765A Withdrawn JPH05183139A (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | カラー固体撮像素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05183139A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7208811B2 (en) | 2004-03-24 | 2007-04-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Photo-detecting device |
| US7411232B2 (en) | 2004-07-16 | 2008-08-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor photodetecting device and method of manufacturing the same |
-
1991
- 1991-12-26 JP JP3356765A patent/JPH05183139A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7208811B2 (en) | 2004-03-24 | 2007-04-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Photo-detecting device |
| US7411232B2 (en) | 2004-07-16 | 2008-08-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor photodetecting device and method of manufacturing the same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4416961A (en) | Color imaging devices and color filter arrays using photo-bleachable dyes | |
| JPH05203888A (ja) | カラー式変形可能ミラーデバイスおよびその製造方法 | |
| KR930003287A (ko) | 변형 가능한 미러 디바이스 및 이의 제조 방법 | |
| JPS6167003A (ja) | カラ−イメ−ジセンサ− | |
| JPH05183139A (ja) | カラー固体撮像素子 | |
| JPH0235282B2 (ja) | ||
| US3619041A (en) | Spectral zonal encoder employing a silver halide emulsion layer | |
| JPS6150282B2 (ja) | ||
| JPH06174914A (ja) | 固体撮像装置およびその製造方法 | |
| JPH10144895A (ja) | 固体撮像素子 | |
| JP3050646B2 (ja) | カラー固体撮像素子 | |
| JP2000047023A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPS6132802A (ja) | 色分離フイルタ | |
| JPH0139272B2 (ja) | ||
| JPS60114807A (ja) | 微細色フイルタ−作製法 | |
| JPS59229863A (ja) | カラ−センサの製造方法 | |
| JPS60233852A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPS6041872B2 (ja) | カラ−固体撮像素子板 | |
| JPS5893010A (ja) | 固体撮像素子におけるカラ−フイルタ−の製造方法 | |
| KR960012541A (ko) | 이미지 센서 및 그 제조방법 | |
| JPS61176166A (ja) | 光半導体装置 | |
| JPS6214103A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS6382325A (ja) | 受光素子 | |
| JPH10144896A (ja) | カラーフィルタ | |
| KR20000003924A (ko) | 분광장치를 갖는 이미지센서 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |