JPH05180609A - 凹凸を有するガラス板の厚さ測定方法 - Google Patents
凹凸を有するガラス板の厚さ測定方法Info
- Publication number
- JPH05180609A JPH05180609A JP35937991A JP35937991A JPH05180609A JP H05180609 A JPH05180609 A JP H05180609A JP 35937991 A JP35937991 A JP 35937991A JP 35937991 A JP35937991 A JP 35937991A JP H05180609 A JPH05180609 A JP H05180609A
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- JP
- Japan
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- thickness
- glass plate
- electrodes
- measuring
- irregularities
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】被測定物表面の塵埃等の存在に影響され難く、
自動化が容易な凹凸を有するガラス板の厚さ測定方法を
提供する。 【構成】平行な２枚の平面状電極１、２の間に被測定物
である凹凸を有するガラス板４を置き、電極間の静電容
量を測定することにより凹凸を有するガラス板の厚さを
測定する。
自動化が容易な凹凸を有するガラス板の厚さ測定方法を
提供する。 【構成】平行な２枚の平面状電極１、２の間に被測定物
である凹凸を有するガラス板４を置き、電極間の静電容
量を測定することにより凹凸を有するガラス板の厚さを
測定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は凹凸を有する板状の誘導
体、特に凹凸を有するガラス板の厚さ測定方法に関する
ものである。
体、特に凹凸を有するガラス板の厚さ測定方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】凹凸を有するガラス板の厚さ測定方法と
してはマイクロメーター等による接触測定法、超音波の
被測定物内の両表面間の伝播時間よりその厚さを算出す
るいわゆる超音波マイクロの半接触的方法およびレーザ
ー光を利用した光マイクロメーター等による非接触的方
法が知られている。マイクロメーター等による接触測定
法ではその接触圧により測定値が影響を受けること、接
触面に異物が介在すると正しい測定値が得られないこ
と、被測定物表面に損傷を与え得ること、等の問題があ
った。超音波マイクロによる方法ではセンサーと被測定
物の間を流体で満たす必要があるため操作に手間を要し
自動化が困難であること、接触状態を一定に保つことが
困難なためにミクロンオーダーの再現性を得ることは困
難であった。
してはマイクロメーター等による接触測定法、超音波の
被測定物内の両表面間の伝播時間よりその厚さを算出す
るいわゆる超音波マイクロの半接触的方法およびレーザ
ー光を利用した光マイクロメーター等による非接触的方
法が知られている。マイクロメーター等による接触測定
法ではその接触圧により測定値が影響を受けること、接
触面に異物が介在すると正しい測定値が得られないこ
と、被測定物表面に損傷を与え得ること、等の問題があ
った。超音波マイクロによる方法ではセンサーと被測定
物の間を流体で満たす必要があるため操作に手間を要し
自動化が困難であること、接触状態を一定に保つことが
困難なためにミクロンオーダーの再現性を得ることは困
難であった。
【０００３】また、光マイクロメーター等の非接触測定
法では被測定物表面の凹凸により測定誤差を生じるこ
と、測定方法が基本的に距離測定法であるためセンサー
が２台必要であり、かつセンサー間の距離を一定に保持
することが不可欠であるが、測定の所要精度がミクロン
オーダー以下になるとその実現が困難となる。また、該
測定方法はポイント測定であるから凹凸のある被測定体
ではデータのバラツキが大きく、従って多数点測定を行
って平均値を算出するデータ処理が必要となる、等の理
由で測定装置が高価であった。
法では被測定物表面の凹凸により測定誤差を生じるこ
と、測定方法が基本的に距離測定法であるためセンサー
が２台必要であり、かつセンサー間の距離を一定に保持
することが不可欠であるが、測定の所要精度がミクロン
オーダー以下になるとその実現が困難となる。また、該
測定方法はポイント測定であるから凹凸のある被測定体
ではデータのバラツキが大きく、従って多数点測定を行
って平均値を算出するデータ処理が必要となる、等の理
由で測定装置が高価であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前述の各種測
定法の欠点を克服すべくなされたものであり、測定の形
態が非接触測定に近く被測定物表面における塵埃等の存
在によって測定が影響され難く、測定環境の温度変化等
による影響が補正可能で、自動化が容易な凹凸を有する
ガラス板の厚さ測定方法を提供することを目的とするも
のである。
定法の欠点を克服すべくなされたものであり、測定の形
態が非接触測定に近く被測定物表面における塵埃等の存
在によって測定が影響され難く、測定環境の温度変化等
による影響が補正可能で、自動化が容易な凹凸を有する
ガラス板の厚さ測定方法を提供することを目的とするも
のである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の課題を解
決すべくなされたものであり、平行な２枚の平面状電極
の間に凹凸を有するガラス板を置き、電極間の静電容量
を測定することにより、該ガラス板の厚さを算出するこ
とを特徴とする凹凸を有するガラス板の厚さ測定方法を
提供するものである。
決すべくなされたものであり、平行な２枚の平面状電極
の間に凹凸を有するガラス板を置き、電極間の静電容量
を測定することにより、該ガラス板の厚さを算出するこ
とを特徴とする凹凸を有するガラス板の厚さ測定方法を
提供するものである。
【０００６】その構成を図１によって説明すると、１、
２は一対の平行な間隙を有する電極板であり、３はその
間隙を一定に保持する電気的絶縁材料で製作された保持
部材である。被測定物の大きさにより測定が実質的に影
響を受けないために電極板の寸法を被測定物の寸法より
少なくとも間隙の５倍、望ましくは１０〜２０倍の寸法
だけ小さく製作する。４は凹凸を有するガラス板すなわ
ち被測定物で、電極１、２の間に挿入される。５は電極
１、２間の静電容量を測定するための電子回路であり、
その測定値を厚さに換算する演算処理部６に送る。演算
結果は表示部７に表示される。また必要に応じて許容値
との比較、判定結果を出力する機能を付加し得ることは
もちろんである。
２は一対の平行な間隙を有する電極板であり、３はその
間隙を一定に保持する電気的絶縁材料で製作された保持
部材である。被測定物の大きさにより測定が実質的に影
響を受けないために電極板の寸法を被測定物の寸法より
少なくとも間隙の５倍、望ましくは１０〜２０倍の寸法
だけ小さく製作する。４は凹凸を有するガラス板すなわ
ち被測定物で、電極１、２の間に挿入される。５は電極
１、２間の静電容量を測定するための電子回路であり、
その測定値を厚さに換算する演算処理部６に送る。演算
結果は表示部７に表示される。また必要に応じて許容値
との比較、判定結果を出力する機能を付加し得ることは
もちろんである。
【０００７】電極間の静電容量を測定する方法は市販の
容量測定器でもよいが、電極に近接して前述の発振回路
を設置して周波数で検出する方法が外乱の影響を受け難
く、コスト的にも安価に実現し得る。また、本発明の測
定対象物は、その原理に鑑みガラス板に限定されるもの
ではなく、プラスチック、セラミック等の誘電体一般に
適用し得ることはいうまでもない。
容量測定器でもよいが、電極に近接して前述の発振回路
を設置して周波数で検出する方法が外乱の影響を受け難
く、コスト的にも安価に実現し得る。また、本発明の測
定対象物は、その原理に鑑みガラス板に限定されるもの
ではなく、プラスチック、セラミック等の誘電体一般に
適用し得ることはいうまでもない。
【０００８】電極間に被測定物を挿入すると被測定物が
誘電材料であるので電極間容量が増加する。その増加程
度は電極間隙、面積、被測定物の厚さおよび誘電率、被
測定物の電極間隙における位置等によりきまる。本構成
の感度および環境温度の影響は厚さ既知の被測定物を用
いて実測する。
誘電材料であるので電極間容量が増加する。その増加程
度は電極間隙、面積、被測定物の厚さおよび誘電率、被
測定物の電極間隙における位置等によりきまる。本構成
の感度および環境温度の影響は厚さ既知の被測定物を用
いて実測する。
【０００９】
【実施例】図１における電極１、２は厚さ５ｍｍ、直径
１００ｍｍのアルミニウム製円板とし、その間隙を１．
５ｍｍに設定し、電極保持部材３は１０ｍｍ厚のプラス
チック材料を用いた。電極間静電容量はこれを時定数に
組み入れた図２に示す発振回路により発振周波数として
検出し、その周波数をゲート時間１秒のカウンタにて計
数した。
１００ｍｍのアルミニウム製円板とし、その間隙を１．
５ｍｍに設定し、電極保持部材３は１０ｍｍ厚のプラス
チック材料を用いた。電極間静電容量はこれを時定数に
組み入れた図２に示す発振回路により発振周波数として
検出し、その周波数をゲート時間１秒のカウンタにて計
数した。
【００１０】約１２００μｍの厚さを有し、平均１個／
ｍｍ2 の密度で深さ最大８０μｍの凹みを有する、大き
さ１１５ｍｍ角のサンプルガラス１０枚を測定したとき
の発振周波数ｆx および被測定物のない状態での発振周
波数ｆo の実測例を表１に示す。これより次の式（１）
に示す厚さの算出式が得られた。 (1) ｔ（μｍ）= [(1.52ｆo-ｆx)/8.6]-649.97
ｍｍ2 の密度で深さ最大８０μｍの凹みを有する、大き
さ１１５ｍｍ角のサンプルガラス１０枚を測定したとき
の発振周波数ｆx および被測定物のない状態での発振周
波数ｆo の実測例を表１に示す。これより次の式（１）
に示す厚さの算出式が得られた。 (1) ｔ（μｍ）= [(1.52ｆo-ｆx)/8.6]-649.97
【００１１】
【表１】
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば凹凸を有するガラス板の
厚さの測定をほぼ非接触的に、簡単な装置構成により迅
速に、自動化が容易に、安価に具現することができる。
また、測定値の再現性は従来法の代表的な方法であるマ
イクロメーターによるものより優れている。また、本発
明の方法は非接触的であるので摩耗部分がなく、装置の
信頼性および耐久性に優れている。
厚さの測定をほぼ非接触的に、簡単な装置構成により迅
速に、自動化が容易に、安価に具現することができる。
また、測定値の再現性は従来法の代表的な方法であるマ
イクロメーターによるものより優れている。また、本発
明の方法は非接触的であるので摩耗部分がなく、装置の
信頼性および耐久性に優れている。
【図１】本発明の構成を示す説明図。
【図２】実施例において用いられた静電容量を周波数に
変換する発振回路の回路図。
変換する発振回路の回路図。
１、２ 電極 ３ 電極間間隙保持部材 ４ 被測定物 ５ 静電容量測定回路 ６ 厚さ演算処理部 ７ 測定結果表示部
Claims (7)
- 【請求項１】平行な２枚の平面状電極の間に凹凸を有す
るガラス板を置き、電極間の静電容量を測定することに
より、該ガラス板の厚さを算出することを特徴とする凹
凸を有するガラス板の厚さ測定方法。 - 【請求項２】前記電極の大きさは凹凸を有するガラス板
の大きさより小さいことを特徴とする請求項１記載の凹
凸を有するガラス板の厚さ測定方法。 - 【請求項３】前記電極間静電容量が発振回路の時定数を
構成するようにし、該静電容量を対応する発振周波数と
して検出することを特徴とする請求項１記載の凹凸を有
するガラス板の厚さ測定方法。 - 【請求項４】前記電極の一方が電気的に接地されている
ことを特徴とする請求項１記載の凹凸を有するガラス板
の厚さ測定方法。 - 【請求項５】凹凸を有するガラス板を置かない状態にお
ける前記電極間の静電容量または発振周波数の値により
測定誤差を補正する機能を具備してなることを特徴とす
る請求項１記載の凹凸を有するガラス板の厚さ測定方
法。 - 【請求項６】前記電極の一方を電気的に接地し、他方の
電極を電気的に分割してその静電容量を個別に測定する
ことにより被測定物の平均的厚さの他に厚さの場所的差
異を測定可能にすることを特徴とする請求項１記載の凹
凸を有するガラス板の厚さ測定方法。 - 【請求項７】平行な２枚の平面状電極の間に表面に凹凸
を有する板状誘電体を置き、電極間の静電容量を測定す
ることにより、該板状誘電体の厚さを算出することを特
徴とする表面に凹凸を有する板状誘電体の厚さ測定方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35937991A JPH05180609A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 凹凸を有するガラス板の厚さ測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35937991A JPH05180609A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 凹凸を有するガラス板の厚さ測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05180609A true JPH05180609A (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=18464205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35937991A Pending JPH05180609A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 凹凸を有するガラス板の厚さ測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05180609A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006297717A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 樹脂製薄膜の検査方法および検査装置 |
-
1991
- 1991-12-27 JP JP35937991A patent/JPH05180609A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006297717A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 樹脂製薄膜の検査方法および検査装置 |
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