JPH05175434A - Semiconductor device - Google Patents

Semiconductor device

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Publication number
JPH05175434A
JPH05175434A JP3354730A JP35473091A JPH05175434A JP H05175434 A JPH05175434 A JP H05175434A JP 3354730 A JP3354730 A JP 3354730A JP 35473091 A JP35473091 A JP 35473091A JP H05175434 A JPH05175434 A JP H05175434A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gate electrode
electrode
semiconductor device
active region
protection diode
Prior art date
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Pending
Application number
JP3354730A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shinichi Tanaka
真一 田中
Mitsuhiro Higa
光啓 比嘉
Keigo Agawa
圭吾 阿河
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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Priority to KR1019920022530A priority patent/KR100266838B1/en
Publication of JPH05175434A publication Critical patent/JPH05175434A/en
Priority to US08/246,464 priority patent/US5428232A/en
Priority to KR1019990034909A priority patent/KR100275138B1/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a semiconductor device which can obtain stable Gm. CONSTITUTION:A gate electrode part 10 having a first gate electrode 11 and a second gate electrode 12 is provided. An active region 20, which comprises a drain electrode 13 provided on one side of the gate electrode part 10 and a source electrode 14 provided on the other side, is provided. A protecting diode 15 is electrically connected between a connecting second gate electrode 22, which is provided in the conducting state with the second gate electrode 12, and the source electrode 14. A semiconductor device 1 is formed in this way. The protecting diode 15 is arranged in such a state wherein the direction of electric lines of force 30 generated around the protecting diode 15 is not directed at least toward the side of the active region 20.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、デュアルゲート電界効
果トランジスタに保護ダイオードが設けられた半導体装
置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device having a dual gate field effect transistor provided with a protection diode.

【0002】[0002]

【従来の技術】第1ゲート電極と第2ゲート電極の2つ
のゲート電極を有するデュアルゲート電界効果トランジ
スタ(以下、FETとする)は、主にテレビチューナ等
の高周波用のアンプとして用いられており、低雑音で混
変調が少ない利点を有したトランジスタである。このデ
ュアルゲートFETから成る半導体装置を図3の電極レ
イアウトの模式図を用いて説明する。すなわち、半導体
装置1の電極レイアウトを示したもので、第1ゲート電
極11と第2ゲート電極12とを有するゲート電極部1
0と、このゲート電極部10の一方側に設けられたドレ
イン電極13と、他方側に設けられたソース電極14と
を有し、このゲート電極部10とドレイン電極13およ
びソース電極14とによりアクティブ領域20を構成し
ている。このアクティブ領域20のソース電極14の近
傍には、第2ゲート電極12と導通状態の接続用第2ゲ
ート電極22が設けられており、この接続用第2ゲート
電極22とソース電極14との間に保護ダイオード15
が接続されている。
2. Description of the Related Art A dual gate field effect transistor (hereinafter referred to as FET) having two gate electrodes, a first gate electrode and a second gate electrode, is mainly used as an amplifier for a high frequency of a television tuner or the like. , A transistor that has the advantages of low noise and low cross-modulation. A semiconductor device including this dual gate FET will be described with reference to the schematic diagram of the electrode layout in FIG. That is, the electrode layout of the semiconductor device 1 is shown, and the gate electrode portion 1 having the first gate electrode 11 and the second gate electrode 12 is shown.
0, a drain electrode 13 provided on one side of the gate electrode section 10, and a source electrode 14 provided on the other side. The gate electrode section 10, the drain electrode 13 and the source electrode 14 make it active. The area 20 is configured. A second gate electrode 22 for connection, which is in conduction with the second gate electrode 12, is provided in the vicinity of the source electrode 14 in the active region 20, and between the second gate electrode 22 for connection and the source electrode 14. Protection diode 15
Are connected.

【0003】この保護ダイオード15はn型半導体とp
型半導体とを接合したもので、半導体装置1のデュアル
ゲートFETに大電流が流れ込もうとした場合、この保
護ダイオード15によりゲート電極部10の破損を防止
している。
The protection diode 15 is composed of an n-type semiconductor and a p-type semiconductor.
When a large current is about to flow into the dual gate FET of the semiconductor device 1, the protection diode 15 prevents the gate electrode portion 10 from being damaged.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この半
導体装置には、次のような問題がある。すなわち、図3
に示すように、接続用第2ゲート電極22とソース電極
14との間に接続した保護ダイオード15の周辺には、
電位の高い接続用第2ゲート電極22側から電位の低い
ソース電極14側の方向に向けて電気力線30が発生す
る。したがって、この方向に向けて発生した電気力線3
0は、アクティブ領域20内のゲート電極部10下方の
チャネル領域に悪影響を及ぼし、第1ゲート電圧の変化
に対するドレイン電流の変化の割合、すなわちトランス
コンダクタンス(以下、Gmとする)を周期的に変化さ
せてしまう。このGmの周期的な変化により、半導体装
置1の特性は不安定なものとなり、所望の増幅作用を得
るのが困難となっている。よって、本発明は安定したG
mが得られる半導体装置を提供することを目的とする。
However, this semiconductor device has the following problems. That is, FIG.
As shown in, in the vicinity of the protection diode 15 connected between the connection second gate electrode 22 and the source electrode 14,
The lines of electric force 30 are generated from the side of the connection second gate electrode 22 having a high potential toward the side of the source electrode 14 having a low potential. Therefore, the lines of electric force 3 generated in this direction
0 adversely affects the channel region below the gate electrode portion 10 in the active region 20, and periodically changes the ratio of the change of the drain current with respect to the change of the first gate voltage, that is, the transconductance (hereinafter, referred to as Gm). I will let you. Due to this periodic change in Gm, the characteristics of the semiconductor device 1 become unstable, and it becomes difficult to obtain a desired amplification effect. Therefore, the present invention provides stable G
It is an object of the present invention to provide a semiconductor device in which m is obtained.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は以上の課題を解
決するために成された半導体装置である。すなわち、第
1ゲート電極と第2ゲート電極とを有したゲート電極部
の一方側にドレイン電極が設けられ、かつ他方側にソー
ス電極が設けられて成るアクティブ領域と、このアクテ
ィブ領域のソース電極側の近傍で第2ゲート電極と導通
状態に設けられた接続用第2ゲート電極とを有し、この
接続用第2ゲート電極とソース電極との間に保護ダイオ
ードが接続された半導体装置において、保護ダイオード
の周辺に発生する電気力線の方向が少なくともアクティ
ブ領域側に向かわない状態にこの保護ダイオードを接続
したものである。
The present invention is a semiconductor device made to solve the above problems. That is, a drain electrode is provided on one side of a gate electrode portion having a first gate electrode and a second gate electrode, and a source electrode is provided on the other side, and a source electrode side of this active region. In a semiconductor device having a second gate electrode for connection provided in the vicinity of the second gate electrode in a conductive state and a protection diode connected between the second gate electrode for connection and the source electrode. This protection diode is connected in a state in which the direction of the lines of electric force generated around the diode does not at least face the active region side.

【0006】[0006]

【作用】接続用第2ゲート電極の、アクティブ領域側の
辺以外の辺とソース電極との間に保護ダイオードを接続
しているので、この保護ダイオードの周辺に発生する電
気力線の方向は、少なくともアクティブ領域の方向に向
かうことがない。したがって、保護ダイオード周辺で発
生した電気力線を成す電荷がゲート電極部に侵入しない
ため、チャネル領域に悪影響を及ぼさない。
Since the protection diode is connected between the source electrode and the side of the connection second gate electrode other than the side on the active region side, the direction of the lines of electric force generated around the protection diode is At least not towards the active area. Therefore, the electric charges that form the lines of electric force generated around the protection diode do not enter the gate electrode portion, and do not adversely affect the channel region.

【0007】[0007]

【実施例】以下に、本発明の半導体装置の実施例を図に
基づいて説明する。図1は本発明の半導体装置を説明す
る図で、(a)は電極レイアウトの模式図、(b)は回
路図である。すなわち、本発明の半導体装置1は、ゲー
ト電極部10に第1ゲート電極11と第2ゲート電極1
2との2つのゲート電極を有するもので、このゲート電
極部10の一方側に設けられたドレイン電極13と他方
側に設けられたソース電極14とから成るアクティブ領
域20により、デュアルゲートFETが構成されたもの
である。
Embodiments of the semiconductor device of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1A and 1B are diagrams illustrating a semiconductor device of the present invention. FIG. 1A is a schematic diagram of an electrode layout, and FIG. 1B is a circuit diagram. That is, the semiconductor device 1 of the present invention has the first gate electrode 11 and the second gate electrode 1 in the gate electrode portion 10.
2 has two gate electrodes, and the active region 20 composed of the drain electrode 13 provided on one side of the gate electrode portion 10 and the source electrode 14 provided on the other side constitutes a dual gate FET. It was done.

【0008】アクティブ領域20のソース電極14の近
傍には、第2ゲート電極12と導通状態(図1(b)参
照)の接続用第2ゲート電極22が設けられている。こ
の接続用第2ゲート電極22は、アクティブ領域20の
ソース電極14と近い側の略平行辺22aと遠い側の略
平行辺22bと、これらを結ぶ略垂直辺22cとを有し
ている。さらに、この接続用第2ゲート電極22のアク
ティブ領域20と反対側の辺の近傍に、ソース電極14
が設けられており、このソース電極14と接続用第2ゲ
ート電極22の辺22bとの間に保護ダイオード15が
接続されている。このように配置された保護ダイオード
15の周辺に発生する電気力線30は、第2ゲート電極
12にプラスバイアスが印加されている場合、電位の高
い接続用第2ゲート電極22側から、電位の低いソース
電極14側に向かって発生する。したがって、電気力線
30の方向は少なくともアクティブ領域20に向かうこ
とがない。これにより、電気力線30を成す電荷がゲー
ト電極部10に侵入しないので、チャネル領域に悪影響
を及ぼさない。
In the vicinity of the source electrode 14 in the active region 20, a second gate electrode 22 for connection, which is in conduction with the second gate electrode 12 (see FIG. 1B), is provided. The second connection gate electrode 22 has a substantially parallel side 22a of the active region 20 near the source electrode 14, a substantially parallel side 22b of the far side, and a substantially vertical side 22c connecting these. Further, the source electrode 14 is formed near the side of the connection second gate electrode 22 opposite to the active region 20.
Is provided, and the protection diode 15 is connected between the source electrode 14 and the side 22b of the connection second gate electrode 22. When the positive bias is applied to the second gate electrode 12, the electric line of force 30 generated around the protection diode 15 arranged in this way is supplied with a potential from the side of the connection second gate electrode 22 having a high potential. It is generated toward the low source electrode 14 side. Therefore, the lines of electric force 30 do not at least go to the active region 20. As a result, the electric charges that form the lines of electric force 30 do not enter the gate electrode portion 10, and do not adversely affect the channel region.

【0009】次に、本発明の半導体装置の他の実施例を
図に基づいて説明する。図2は本発明の他の実施例の電
極レイアウトの模式図である。すなわち、アクティブ領
域20のソース電極14は、接続用第2ゲート電極22
の辺22cと略平行に延出されており、このソース電極
14と接続用第2ゲート電極22の辺22cとの間に保
護ダイオード15が接続されている。このように接続さ
れた保護ダイオード15の周辺に発生する電気力線30
は、アクティブ領域20に配置されたゲート電極部10
と略平行な方向に向かう。したがって、図3に示すよう
な、電気力線30がアクティブ領域20の方向に向かう
電極レイアウトに比べ、ゲート電極部10下方のチャネ
ル領域に悪影響が少ない電極レイアウトとなる。しか
し、電気力線30の広がりにより、多少の電荷がアクテ
ィブ領域20の方向に向かうため、図1(a)に示す電
極レイアウトよりも、チャネル領域への悪影響が多少生
じ易い電極レイアウトとなる。したがって、デュアルゲ
ートFETを低い第2ゲート電圧で使用する場合であれ
ば、電気力線30がチャネル領域に悪影響を及ぼすこと
がない。なお、この電極レイアウトは、図1(a)の電
極レイアウトに比べ、電極の面積を小さくすることがで
きるため、半導体装置1の大きさを小型化するのに有効
である。
Next, another embodiment of the semiconductor device of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 2 is a schematic diagram of an electrode layout of another embodiment of the present invention. That is, the source electrode 14 of the active region 20 is the second gate electrode 22 for connection.
The protection diode 15 is connected between the source electrode 14 and the side 22c of the connecting second gate electrode 22. Lines of electric force 30 generated around the protection diode 15 connected in this way
Is the gate electrode portion 10 disposed in the active region 20.
Head in a direction substantially parallel to. Therefore, as compared with the electrode layout in which the lines of electric force 30 are directed toward the active region 20 as shown in FIG. 3, the electrode layout has less adverse effect on the channel region below the gate electrode portion 10. However, due to the spread of the lines of electric force 30, some electric charges are directed toward the active region 20, so that the electrode layout is more likely to have a bad influence on the channel region than the electrode layout shown in FIG. Therefore, when the dual gate FET is used with a low second gate voltage, the electric flux lines 30 do not adversely affect the channel region. Note that this electrode layout is effective in reducing the size of the semiconductor device 1 because the area of the electrodes can be made smaller than that of the electrode layout of FIG.

【0010】いずれの実施例においても、保護ダイオー
ド15の周辺に発生する電気力線30の方向が少なくと
もアクティブ領域20の方向に向かない状態に保護ダイ
オード15を接続しているため、ゲート電極部10の下
方のチャネル領域への電荷の侵入を少なくすることがで
きる。なお、上記の実施例において、pnp型の保護ダ
イオード15を用いた場合について説明したが、本発明
はnpn型の保護ダイオード15を用いたものでもよ
い。
In any of the embodiments, the protection diode 15 is connected so that the lines of electric force 30 generated around the protection diode 15 are not oriented at least in the direction of the active region 20, so that the gate electrode portion 10 is connected. It is possible to reduce the invasion of electric charges into the channel region below. Although the case where the pnp type protection diode 15 is used has been described in the above embodiment, the present invention may use the npn type protection diode 15.

【0011】[0011]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体装
置によれば次のような効果がある。すなわち、ゲート電
極部の下方のチャネル領域に悪影響を及ぼす、保護ダイ
オードの周辺で発生した電荷の侵入を少なくすることが
できるので、Gmの周期的な変化を防止することができ
る。したがって、Gmの安定した半導体装置となり、信
頼性の高い製品を提供することができる。
As described above, the semiconductor device of the present invention has the following effects. That is, since it is possible to reduce the intrusion of charges generated around the protection diode, which adversely affects the channel region below the gate electrode portion, it is possible to prevent a periodic change in Gm. Therefore, a semiconductor device having stable Gm can be provided, and a highly reliable product can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の半導体装置を説明する図で、(a)は
電極レイアウトの模式図、(b)は回路図である。
1A and 1B are diagrams illustrating a semiconductor device of the present invention, in which FIG. 1A is a schematic diagram of an electrode layout, and FIG. 1B is a circuit diagram.

【図2】本発明の他の実施例の電極レイアウトを説明す
る模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram illustrating an electrode layout according to another embodiment of the present invention.

【図3】従来の半導体装置の電極レイアウトを説明する
模式図である。
FIG. 3 is a schematic diagram illustrating an electrode layout of a conventional semiconductor device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 半導体装置 10 ゲート電極
部 11 第1ゲート電極 12 第2ゲート
電極 13 ドレイン電極 14 ソース電極 15 保護ダイオード 20 アクティブ
領域 22 接続用第2ゲート電極 30 電気力線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor device 10 Gate electrode part 11 1st gate electrode 12 2nd gate electrode 13 Drain electrode 14 Source electrode 15 Protection diode 20 Active area 22 Second gate electrode for connection 30 Electric force line

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1ゲート電極と第2ゲート電極とを有
したゲート電極部の一方側にドレイン電極が設けられ、
かつ他方側にソース電極が設けられて成るアクティブ領
域と、前記アクティブ領域の前記ソース電極側の近傍で
前記第2ゲート電極と導通状態に設けられた接続用第2
ゲート電極とを有し、前記接続用第2ゲート電極と前記
ソース電極との間に保護ダイオードが接続された半導体
装置において、 前記保護ダイオードの周辺に発生する電気力線の方向が
少なくとも前記アクティブ領域側に向かわない状態に前
記保護ダイオードが接続されたことを特徴とする半導体
装置。
1. A drain electrode is provided on one side of a gate electrode portion having a first gate electrode and a second gate electrode,
And an active region having a source electrode on the other side, and a second connecting region provided in a conductive state with the second gate electrode in the vicinity of the source electrode side of the active region.
In a semiconductor device having a gate electrode and a protection diode connected between the connection second gate electrode and the source electrode, a direction of a line of electric force generated around the protection diode is at least the active region. A semiconductor device, wherein the protection diode is connected so as not to face to the side.
JP3354730A 1991-11-28 1991-12-19 Semiconductor device Pending JPH05175434A (en)

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US08/246,464 US5428232A (en) 1991-11-28 1994-05-18 Field effect transistor apparatus
KR1019990034909A KR100275138B1 (en) 1991-11-28 1999-08-23 Field effect transistor apparatus

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