JPH05172089A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH05172089A JPH05172089A JP34097391A JP34097391A JPH05172089A JP H05172089 A JPH05172089 A JP H05172089A JP 34097391 A JP34097391 A JP 34097391A JP 34097391 A JP34097391 A JP 34097391A JP H05172089 A JPH05172089 A JP H05172089A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust
- exhaust passage
- stator
- chamber
- pump case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体製造プロセスで用いる反応性ガスの凝
固物を排気経路から簡易に除去し、そのメンテナンスに
要する時間及びコストを低減する。 【構成】 ステータ３の外周部に設ける環状凹入部３０
とポンプケース１の胴部１０との間に冷却水のチャンバ
ー６を形成すると共に、ポンプケース１をボルトを介し
てベース板に着脱自由に取付ける一方、少なくとも排気
口に近い排気後期に位置する排気流路２に対して、上段
側の排気流路２の出口部２２とその下段側の排気流路２
の入口部２１との間を、チャンバー５の内部に配設し、
取付フランジ７２を介して着脱自由とした連絡配管７で
連結し、連絡配管７部分で冷却により固体の生成を促進
し、かつ、メンテナンス時の分解を容易化した。
固物を排気経路から簡易に除去し、そのメンテナンスに
要する時間及びコストを低減する。 【構成】 ステータ３の外周部に設ける環状凹入部３０
とポンプケース１の胴部１０との間に冷却水のチャンバ
ー６を形成すると共に、ポンプケース１をボルトを介し
てベース板に着脱自由に取付ける一方、少なくとも排気
口に近い排気後期に位置する排気流路２に対して、上段
側の排気流路２の出口部２２とその下段側の排気流路２
の入口部２１との間を、チャンバー５の内部に配設し、
取付フランジ７２を介して着脱自由とした連絡配管７で
連結し、連絡配管７部分で冷却により固体の生成を促進
し、かつ、メンテナンス時の分解を容易化した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造部門等で使
用され、排気流路に気体分子を旋回させて排気する所謂
渦流式のポンプ要素を備える真空ポンプに関する。
用され、排気流路に気体分子を旋回させて排気する所謂
渦流式のポンプ要素を備える真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の真空ポンプは、特開昭６
３−３６０９６号公報に開示され且つ図３に示すよう
に、円筒形の胴部ＢをもつポンプケースＣの内部に、環
状の排気流路Ｔを上下複数段にわたり設けたステータＳ
と、前記排気流路Ｔに臨む多数の羽根Ｆを上下複数段に
わたり周設したロータＲとを配設し、モータＭの駆動に
よりロータＲを高速回転させて、半導体処理室等に接続
する吸気口Ｌから大気に開放する排気口Ｈに向けて、上
段側の排気流路ＴからステータＳの内部に形成するの連
絡流路Ｊを経て下段側の排気流路Ｔに順次気体分子を導
き、その排気を行うようにしている。尚、図３中、Ｎは
渦流の発生を促進する円環コアである。
３−３６０９６号公報に開示され且つ図３に示すよう
に、円筒形の胴部ＢをもつポンプケースＣの内部に、環
状の排気流路Ｔを上下複数段にわたり設けたステータＳ
と、前記排気流路Ｔに臨む多数の羽根Ｆを上下複数段に
わたり周設したロータＲとを配設し、モータＭの駆動に
よりロータＲを高速回転させて、半導体処理室等に接続
する吸気口Ｌから大気に開放する排気口Ｈに向けて、上
段側の排気流路ＴからステータＳの内部に形成するの連
絡流路Ｊを経て下段側の排気流路Ｔに順次気体分子を導
き、その排気を行うようにしている。尚、図３中、Ｎは
渦流の発生を促進する円環コアである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、以上のもので
は、半導体製造プロセスに用いられる反応性（凝縮性）
ガスが排気流路Ｔ及び連絡流路Ｊに流れるため、圧力が
比較的高まる排気後期の下流域において、そのガスが凝
固点に達して固体が生成され、この生成物が排気流路Ｔ
や連絡流路Ｊに付着したり或はステータＳとロータＲと
のシール隙間に詰まり、性能の低下を招く問題が起こ
る。そして、メンテナンスの必要性から、一定周期毎に
この生成物を取り除く洗浄作業を行なわなければならな
いが、この場合、上下の排気流路Ｔを連絡する連絡流路
ＪがステータＳの内部に形成されているため、ステータ
ＳをポンプケースＣから単独で取り出して、内部を分解
しなければならず、作業性が極めて悪く、時間とコスト
が著しくかかる問題がある。
は、半導体製造プロセスに用いられる反応性（凝縮性）
ガスが排気流路Ｔ及び連絡流路Ｊに流れるため、圧力が
比較的高まる排気後期の下流域において、そのガスが凝
固点に達して固体が生成され、この生成物が排気流路Ｔ
や連絡流路Ｊに付着したり或はステータＳとロータＲと
のシール隙間に詰まり、性能の低下を招く問題が起こ
る。そして、メンテナンスの必要性から、一定周期毎に
この生成物を取り除く洗浄作業を行なわなければならな
いが、この場合、上下の排気流路Ｔを連絡する連絡流路
ＪがステータＳの内部に形成されているため、ステータ
ＳをポンプケースＣから単独で取り出して、内部を分解
しなければならず、作業性が極めて悪く、時間とコスト
が著しくかかる問題がある。
【０００４】本発明では、固体の生成を特定の部分で促
進させると共に、この部分の分解を容易にすることによ
り、固体生成物の除去作業を容易に行うことができる真
空ポンプを提供することを目的とする。
進させると共に、この部分の分解を容易にすることによ
り、固体生成物の除去作業を容易に行うことができる真
空ポンプを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで、上記目的を達成
するため、筒形の胴部１０をもつポンプケース１の内部
に、環状の排気流路２を上下複数段にわたり設けたステ
ータ３と、前記排気流路２に臨む多数の羽根４を上下複
数段にわたり周設したロータ５とを配設した真空ポンプ
において、前記ステータ３の外周部に凹入部３０を設け
て、この凹入部３０と前記胴部１０との間に冷却媒体を
満たすチャンバー６を形成すると共に、前記ステータ３
の外周部に前記ポンプケース１を着脱自由に取り付ける
一方、少なくとも排気後期に位置する上段側の排気流路
２の出口部２２とその下段側の排気流路２の入口部２１
とを前記凹入部３０の凹入壁面に開口させて、これら出
口部２２と入口部２１との間を、前記チャンバー５の内
部に配設する着脱自由な連絡配管７で連結した。
するため、筒形の胴部１０をもつポンプケース１の内部
に、環状の排気流路２を上下複数段にわたり設けたステ
ータ３と、前記排気流路２に臨む多数の羽根４を上下複
数段にわたり周設したロータ５とを配設した真空ポンプ
において、前記ステータ３の外周部に凹入部３０を設け
て、この凹入部３０と前記胴部１０との間に冷却媒体を
満たすチャンバー６を形成すると共に、前記ステータ３
の外周部に前記ポンプケース１を着脱自由に取り付ける
一方、少なくとも排気後期に位置する上段側の排気流路
２の出口部２２とその下段側の排気流路２の入口部２１
とを前記凹入部３０の凹入壁面に開口させて、これら出
口部２２と入口部２１との間を、前記チャンバー５の内
部に配設する着脱自由な連絡配管７で連結した。
【０００６】
【作用】連絡配管７が冷却媒体を満たしたチャンバー６
で冷却され、この連絡配管７の部分で固体の生成が促進
できるのであり、そして、ポンプケース１をステータ３
の外周部から取り外すと共に前記連絡配管７をステータ
３から取り外すことにより、この連絡配管７に付着した
固体の除去が容易に行えるのである。
で冷却され、この連絡配管７の部分で固体の生成が促進
できるのであり、そして、ポンプケース１をステータ３
の外周部から取り外すと共に前記連絡配管７をステータ
３から取り外すことにより、この連絡配管７に付着した
固体の除去が容易に行えるのである。
【０００７】
【実施例】図１に示すものは、円筒形の胴部１０をもつ
ポンプケース１の内部に、内周面に環状の半円溝から成
る排気流路２を上下６段にわたり設けた円筒形のステー
タ３と、該ステータ３の内周面に外周面を近接させ、前
記各排気流路２に端部を臨ませた多数の傾斜状翼から成
る羽根４を上下６段にわたり周設したロータ５とを備え
た渦流型ポンプ要素８を配設すると共に、該ポンプ要素
８の上段部に、上部ステータ９１と、外周部に複数のネ
ジ溝９２を設けた上部ロータ９３とを備えたネジ型ポン
プ要素９を配設した複合型の真空ポンプである。そし
て、モータハウジング１１に配設するモータ１２及びこ
れに直結する駆動軸１３の駆動により、各ロータ５，９
３を各ステータ３，９１に対して高速回転させ、半導体
処理室に接続する吸気口１４から大気に開放する排気口
１５に向けて順次排気を行うようにしている。尚、１６
は軸受１６ａ，１６ｂへの供給油を溜める油溜である。
ポンプケース１の内部に、内周面に環状の半円溝から成
る排気流路２を上下６段にわたり設けた円筒形のステー
タ３と、該ステータ３の内周面に外周面を近接させ、前
記各排気流路２に端部を臨ませた多数の傾斜状翼から成
る羽根４を上下６段にわたり周設したロータ５とを備え
た渦流型ポンプ要素８を配設すると共に、該ポンプ要素
８の上段部に、上部ステータ９１と、外周部に複数のネ
ジ溝９２を設けた上部ロータ９３とを備えたネジ型ポン
プ要素９を配設した複合型の真空ポンプである。そし
て、モータハウジング１１に配設するモータ１２及びこ
れに直結する駆動軸１３の駆動により、各ロータ５，９
３を各ステータ３，９１に対して高速回転させ、半導体
処理室に接続する吸気口１４から大気に開放する排気口
１５に向けて順次排気を行うようにしている。尚、１６
は軸受１６ａ，１６ｂへの供給油を溜める油溜である。
【０００８】以上の構成で、ステータ３の外周部に円環
状の凹入部３０を設けて、この凹入部３０とポンプケー
ス１における胴部１０との間に、冷却水等の冷却媒体を
満たす円環状のチャンバー６を形成し、このチャンバー
６に、下部取水口６１と上部排水口６２とを介して外部
循環ポンプを備える水配管を接続する。
状の凹入部３０を設けて、この凹入部３０とポンプケー
ス１における胴部１０との間に、冷却水等の冷却媒体を
満たす円環状のチャンバー６を形成し、このチャンバー
６に、下部取水口６１と上部排水口６２とを介して外部
循環ポンプを備える水配管を接続する。
【０００９】又、ポンプケース１における胴部１０の下
端にフランジ１７を形成して、このフランジ１７を、チ
ャンバー６の底部を閉鎖し且つモータ１２の配設側と区
画するベース板６０にボルト１８を介して取り付け、こ
れによりステータ３の外周部にポンプケース１を着脱自
由に介装する。尚、ステータ３の外周部と胴部１０の内
周部との間には、Ｏリングから成るシールリング１９を
介装している。
端にフランジ１７を形成して、このフランジ１７を、チ
ャンバー６の底部を閉鎖し且つモータ１２の配設側と区
画するベース板６０にボルト１８を介して取り付け、こ
れによりステータ３の外周部にポンプケース１を着脱自
由に介装する。尚、ステータ３の外周部と胴部１０の内
周部との間には、Ｏリングから成るシールリング１９を
介装している。
【００１０】更に、排気口１５に近い排気後期に位置す
る４段の排気流路２に対して、各上段側の排気流路２の
出口部２２とその下段側の排気流路２の入口部２１とを
凹入部３０の凹入壁面にそれぞれ開口させて、これら出
口部２２と入口部２１との間を、チャンバー５の内部に
配設する着脱自由な３本の連絡配管７でそれぞれ連結す
る。尚、排気前期に位置する上流側の排気流路２，２間
は、ステータ３の内周面に設ける連絡流路２０を介して
連結している。もっとも、全ての排気流路２，２間に対
して前記同様な連絡配管７を配管してもよいし、又、最
も下流側の一対の排気流路２，２間のみに対して連絡配
管７を配管するようにしてもよい。
る４段の排気流路２に対して、各上段側の排気流路２の
出口部２２とその下段側の排気流路２の入口部２１とを
凹入部３０の凹入壁面にそれぞれ開口させて、これら出
口部２２と入口部２１との間を、チャンバー５の内部に
配設する着脱自由な３本の連絡配管７でそれぞれ連結す
る。尚、排気前期に位置する上流側の排気流路２，２間
は、ステータ３の内周面に設ける連絡流路２０を介して
連結している。もっとも、全ての排気流路２，２間に対
して前記同様な連絡配管７を配管してもよいし、又、最
も下流側の一対の排気流路２，２間のみに対して連絡配
管７を配管するようにしてもよい。
【００１１】前記連絡配管７は、図２に明示するよう
に、両端部に、Ｏリングから成るシールリング７１を把
持した取付フランジ７２を固定しており、各取付フラン
ジ７２を円周上に複数個配設するボルト７３により凹入
部３０の壁面に着脱自由に取付けるようにしている。
又、この連絡配管７の中間部には、径大部７４を設けて
おり、この部分で固体の生成を一層促進できるようにし
ていると共に、この固体生成物の付着によっても通路面
積が一定以上確保できるようにしている。更に、取付フ
ランジ７２を固定する連絡配管７の端部外周部には、断
熱材７５を巻設しており、排気流路２の入口部２１や出
口部２２と連絡配管７との接続部近くで固体が生成され
る量を少なくし、通路の閉塞を未然に回避できるように
している。
に、両端部に、Ｏリングから成るシールリング７１を把
持した取付フランジ７２を固定しており、各取付フラン
ジ７２を円周上に複数個配設するボルト７３により凹入
部３０の壁面に着脱自由に取付けるようにしている。
又、この連絡配管７の中間部には、径大部７４を設けて
おり、この部分で固体の生成を一層促進できるようにし
ていると共に、この固体生成物の付着によっても通路面
積が一定以上確保できるようにしている。更に、取付フ
ランジ７２を固定する連絡配管７の端部外周部には、断
熱材７５を巻設しており、排気流路２の入口部２１や出
口部２２と連絡配管７との接続部近くで固体が生成され
る量を少なくし、通路の閉塞を未然に回避できるように
している。
【００１２】以上の構成により、連絡配管７特にその径
大部７４の部分がチャンバー６に満たされた冷却媒体で
冷却され、この径大部７４の部分で固体の生成が促進で
きるのであり、そして、メンテナンス時、ポンプケース
１をボルト１８を外してベース板６０から取り外すと共
に、連絡配管７をボルト７１を外してステータ３から取
り外すことにより、この連絡配管７に付着した固体の洗
浄が容易に行えると共に、適宜古くなった連絡配管７を
新品に簡易に交換することができ、そのメンテナンスに
要する作業時間及びコストを大幅に低減することができ
るのである。
大部７４の部分がチャンバー６に満たされた冷却媒体で
冷却され、この径大部７４の部分で固体の生成が促進で
きるのであり、そして、メンテナンス時、ポンプケース
１をボルト１８を外してベース板６０から取り外すと共
に、連絡配管７をボルト７１を外してステータ３から取
り外すことにより、この連絡配管７に付着した固体の洗
浄が容易に行えると共に、適宜古くなった連絡配管７を
新品に簡易に交換することができ、そのメンテナンスに
要する作業時間及びコストを大幅に低減することができ
るのである。
【００１３】
【発明の効果】以上、本発明によれば、気体の排気中に
生成される反応性ガス等の固体生成物を除去するメンテ
ナンスの作業性が改善でき、このメンテナンスに要する
時間及びコストを低減することができるのである。
生成される反応性ガス等の固体生成物を除去するメンテ
ナンスの作業性が改善でき、このメンテナンスに要する
時間及びコストを低減することができるのである。
【図１】本発明に係る真空ポンプの断面図。
【図２】同要部の断面図。
【図３】従来の真空ポンプの断面図。
１ ポンプケース ２ 排気流路 ３ ステータ ４ 羽根 ５ ロータ ６ チャンバー ７ 連絡配管 １０ 胴部 ２１ 入口部 ２２ 出口部 ３０ 凹入部
Claims (1)
- 【請求項１】筒形の胴部１０をもつポンプケース１の内
部に、環状の排気流路２を上下複数段にわたり設けたス
テータ３と、前記排気流路２に臨む多数の羽根４を上下
複数段にわたり周設したロータ５とを配設した真空ポン
プにおいて、前記ステータ３の外周部に凹入部３０を設
けて、この凹入部３０と前記胴部１０との間に冷却媒体
を満たすチャンバー６を形成すると共に、前記ステータ
３の外周部に前記ポンプケース１を着脱自由に取り付け
る一方、少なくとも排気後期に位置する上段側の排気流
路２の出口部２２とその下段側の排気流路２の入口部２
１とを前記凹入部３０の凹入壁面に開口させて、これら
出口部２２と入口部２１との間を、前記チャンバー５の
内部に配設する着脱自由な連絡配管７で連結しているこ
とを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34097391A JPH05172089A (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34097391A JPH05172089A (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05172089A true JPH05172089A (ja) | 1993-07-09 |
Family
ID=18342025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34097391A Pending JPH05172089A (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05172089A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008303737A (ja) * | 2007-06-05 | 2008-12-18 | Edwards Kk | 真空ポンプ配管構造とその真空ポンプ配管の洗浄方法 |
-
1991
- 1991-12-24 JP JP34097391A patent/JPH05172089A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008303737A (ja) * | 2007-06-05 | 2008-12-18 | Edwards Kk | 真空ポンプ配管構造とその真空ポンプ配管の洗浄方法 |
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