JPH0516976B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0516976B2 JPH0516976B2 JP62189791A JP18979187A JPH0516976B2 JP H0516976 B2 JPH0516976 B2 JP H0516976B2 JP 62189791 A JP62189791 A JP 62189791A JP 18979187 A JP18979187 A JP 18979187A JP H0516976 B2 JPH0516976 B2 JP H0516976B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- runout
- feed screw
- bearings
- nut
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 12
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
- B23Q5/408—Nut bearings therefor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
- F16H2025/2445—Supports or other means for compensating misalignment or offset between screw and nut
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は精密送りを必要とする機械、器具、装
置等の送り装置の改良に関する。
置等の送り装置の改良に関する。
従来技術
機械類の移動体の送り方法は送りねじと螺合す
るナツトがテーブルにボルト等により固定されて
いた。このようにナツトがテーブルに固定されて
いると送りねじの取付誤差等によつて生ずる振れ
によるナツトの運動誤差が直接テーブルに伝達さ
れるので精密送りを目的とするテーブルの送りに
は支障があつた。そこで第４図、第５図のように
ナツト５１の軸方向を静圧軸受４９で支持し更に
両側の支持翼５１ａを静圧軸受５０で支持し回転
方向を支持するとともに、摺動抵抗の小さい水平
方向に対して自由度を保たせることにより、送り
ねじ５２の振れの影響をなくしテーブル５３の送
りの真直度不良を取除く方法が行われていた。
るナツトがテーブルにボルト等により固定されて
いた。このようにナツトがテーブルに固定されて
いると送りねじの取付誤差等によつて生ずる振れ
によるナツトの運動誤差が直接テーブルに伝達さ
れるので精密送りを目的とするテーブルの送りに
は支障があつた。そこで第４図、第５図のように
ナツト５１の軸方向を静圧軸受４９で支持し更に
両側の支持翼５１ａを静圧軸受５０で支持し回転
方向を支持するとともに、摺動抵抗の小さい水平
方向に対して自由度を保たせることにより、送り
ねじ５２の振れの影響をなくしテーブル５３の送
りの真直度不良を取除く方法が行われていた。
発明が解決しようとする問題点
第４図、第５図の方法では送りねじ５２の振れ
の吸収能力は水平方向のみで垂直方向では負荷容
量の大きい静圧軸受５０に支えられ振れによつて
静圧軸受隙間が変化して垂直方向の力がテーブル
５３に加わり、送り精度に悪影響を与える。特に
両端の支持軸受５４近くでは送りねじ５２の撓み
による緩衝効果が期待できず、比較的大きな垂直
方向の力がテーブル５３に加わり送りの真直度が
悪くなるという問題点を有していた。
の吸収能力は水平方向のみで垂直方向では負荷容
量の大きい静圧軸受５０に支えられ振れによつて
静圧軸受隙間が変化して垂直方向の力がテーブル
５３に加わり、送り精度に悪影響を与える。特に
両端の支持軸受５４近くでは送りねじ５２の撓み
による緩衝効果が期待できず、比較的大きな垂直
方向の力がテーブル５３に加わり送りの真直度が
悪くなるという問題点を有していた。
問題点を解決するための手段
移動体２に固着されたナツト支持体１０内に設
けられ移動方向と平行な上下水平面の静圧軸受及
び左右垂直面の静圧軸受を介して支持される角形
ナツト１５と、前記移動体の移動位置に対する送
りねじの振れを記憶した記憶装置１７と、前記各
静圧軸軸の複数のパツド１０ｃ〜１０ｆのそれぞ
れのパツド内圧力を検出する圧力検出器１８〜２
１と、前記記憶装置１７から読み取つた振れ情報
及び前記圧力検出器１８〜２１の出力信号により
前記それぞれのパツド内圧力の和が一定の値にな
るように供給圧力を制御する制御装置を含んでな
り、送りねじの振れに対応して静圧軸受〓間を変
化させるものである。
けられ移動方向と平行な上下水平面の静圧軸受及
び左右垂直面の静圧軸受を介して支持される角形
ナツト１５と、前記移動体の移動位置に対する送
りねじの振れを記憶した記憶装置１７と、前記各
静圧軸軸の複数のパツド１０ｃ〜１０ｆのそれぞ
れのパツド内圧力を検出する圧力検出器１８〜２
１と、前記記憶装置１７から読み取つた振れ情報
及び前記圧力検出器１８〜２１の出力信号により
前記それぞれのパツド内圧力の和が一定の値にな
るように供給圧力を制御する制御装置を含んでな
り、送りねじの振れに対応して静圧軸受〓間を変
化させるものである。
実施例
以下本発明の実施例を図面にもとづき説明す
る。機械、器具、装置等のベース１の摺動案内面
上にテーブル２が移動可能に装置され、ベース１
の摺動案内面と並行に送りねじ３がベース１に設
けられた支持軸受４，５によつて回転可能に軸承
されている。そして送りねじ３はベース１の側面
に固着され制御装置６により回転制御される送り
モータ７により接手８を介して駆動される。テー
ブル２の下面にナツト支持体１０が固着され、ナ
ツト支持体１０に送りねじ３と同心の角穴１０ａ
及び小径穴１０ｂが穿設されており、角穴１０ａ
の内周面には回転方向を支持する静圧軸受用が複
数のパツド１０ｃ〜１０ｆが設けられそれぞれの
パツドには電磁比例圧力制御弁１１〜１４を経て
圧油が供給される。更に角穴１０ａの両端面１０
ｇにも軸方向を支持する静圧軸受用のパツド１０
ｈが設けられておりパツド１０ｈに圧油が供給さ
れている。そしてナツト支持体１０の角穴１０ａ
内に送りねじ３に螺合する角形ナツト１５が嵌装
され外周面が回転方向用静圧軸受を介してまた両
端面が送り方向用静圧軸受を介して支持されてお
り送りねじ３の回転でテーブル２が摺動案内面に
沿つて移動される。
る。機械、器具、装置等のベース１の摺動案内面
上にテーブル２が移動可能に装置され、ベース１
の摺動案内面と並行に送りねじ３がベース１に設
けられた支持軸受４，５によつて回転可能に軸承
されている。そして送りねじ３はベース１の側面
に固着され制御装置６により回転制御される送り
モータ７により接手８を介して駆動される。テー
ブル２の下面にナツト支持体１０が固着され、ナ
ツト支持体１０に送りねじ３と同心の角穴１０ａ
及び小径穴１０ｂが穿設されており、角穴１０ａ
の内周面には回転方向を支持する静圧軸受用が複
数のパツド１０ｃ〜１０ｆが設けられそれぞれの
パツドには電磁比例圧力制御弁１１〜１４を経て
圧油が供給される。更に角穴１０ａの両端面１０
ｇにも軸方向を支持する静圧軸受用のパツド１０
ｈが設けられておりパツド１０ｈに圧油が供給さ
れている。そしてナツト支持体１０の角穴１０ａ
内に送りねじ３に螺合する角形ナツト１５が嵌装
され外周面が回転方向用静圧軸受を介してまた両
端面が送り方向用静圧軸受を介して支持されてお
り送りねじ３の回転でテーブル２が摺動案内面に
沿つて移動される。
テーブル２の移動位置は送りモータ７の後端面
に同心に固着された位置検出装置１６によつて検
出され制御装置６に出力される。また第３図に示
すようなテーブル２の動きと送りねじ３の振れの
関係等を記録し制御装置６に出力する記憶装置１
７が設けられており、制御装置６は記憶装置１７
からの入力情報により制御信号をそれぞれの電磁
比例圧力制御弁１１〜１４に出力しパツド１０ｃ
〜１０ｆへの供給圧力を変えるようになつてい
る。
に同心に固着された位置検出装置１６によつて検
出され制御装置６に出力される。また第３図に示
すようなテーブル２の動きと送りねじ３の振れの
関係等を記録し制御装置６に出力する記憶装置１
７が設けられており、制御装置６は記憶装置１７
からの入力情報により制御信号をそれぞれの電磁
比例圧力制御弁１１〜１４に出力しパツド１０ｃ
〜１０ｆへの供給圧力を変えるようになつてい
る。
更にパツド１０ｃ〜１０ｆにはそれぞれのパツ
ド内圧力を検出（制御装置６に出力）する圧力検
出器１８〜２１が設けられており、記憶装置１７
からの情報と圧力検出器からのパツド内圧力情報
により制御装置６から更に高度に電磁比例圧力制
御弁１１〜１４を制御する制御信号が出力され
る。
ド内圧力を検出（制御装置６に出力）する圧力検
出器１８〜２１が設けられており、記憶装置１７
からの情報と圧力検出器からのパツド内圧力情報
により制御装置６から更に高度に電磁比例圧力制
御弁１１〜１４を制御する制御信号が出力され
る。
作 用
送りねじ３がモータ７により回転されるとナツ
ト１５には軸方向の力と回転される力とが作用す
る。ナツト１５はナツト支持体１０の角穴１０ａ
内に設けられており外周面はパツド１０ｃ〜１０
ｆに圧油が供給され静圧軸受によつて回転方向が
支持され、両端面１０ｇはパツド１０ｈに圧油が
供給され静圧軸受によつて軸方向が支持され送り
ねじ３の回転によりベース１の摺動案内面に沿つ
てテーブル２が移動する。送りねじ３は支持軸受
４の取付け誤差等で回転によつて振れが発生す
る。記憶装置１７にはテーブル位置と送りねじ３
の振れ関係及び回転方向用静圧軸受隙間と電磁比
例圧力制御弁との特性等が記憶されており位置検
出装置１６の出力信号に対応して記憶装置１７の
情報が制御装置６に呼出され、制御装置６からこ
れに見合つた制御信号をそれぞれの電磁比例圧力
制御弁１１〜１４に出力し油圧源から供給される
元圧Ｐの減圧量を制御しパツド１０ｃ〜１０ｆ内
の圧力変化により軸受隙間を変化して送りねじ３
の振れに対応してナツト１５を振らせる。
ト１５には軸方向の力と回転される力とが作用す
る。ナツト１５はナツト支持体１０の角穴１０ａ
内に設けられており外周面はパツド１０ｃ〜１０
ｆに圧油が供給され静圧軸受によつて回転方向が
支持され、両端面１０ｇはパツド１０ｈに圧油が
供給され静圧軸受によつて軸方向が支持され送り
ねじ３の回転によりベース１の摺動案内面に沿つ
てテーブル２が移動する。送りねじ３は支持軸受
４の取付け誤差等で回転によつて振れが発生す
る。記憶装置１７にはテーブル位置と送りねじ３
の振れ関係及び回転方向用静圧軸受隙間と電磁比
例圧力制御弁との特性等が記憶されており位置検
出装置１６の出力信号に対応して記憶装置１７の
情報が制御装置６に呼出され、制御装置６からこ
れに見合つた制御信号をそれぞれの電磁比例圧力
制御弁１１〜１４に出力し油圧源から供給される
元圧Ｐの減圧量を制御しパツド１０ｃ〜１０ｆ内
の圧力変化により軸受隙間を変化して送りねじ３
の振れに対応してナツト１５を振らせる。
更にパツド１０ｃ〜１０ｆのそれぞれのパツド
内圧力を圧力検出器１８〜２１で検知して制御装
置６に出力し、それぞれのパツド圧力の和が常に
一定の値を保つという理論にもとづいて制御装置
６内で記憶装置１７の情報に基づいて変わるパツ
ド圧力の和が常に一定の値になるように圧力検出
器１８〜２１の圧力情報により制御信号に補正が
加えられ更に高度にナツト１５を送りねじ３の振
れに対応して移動させることが可能となる。
内圧力を圧力検出器１８〜２１で検知して制御装
置６に出力し、それぞれのパツド圧力の和が常に
一定の値を保つという理論にもとづいて制御装置
６内で記憶装置１７の情報に基づいて変わるパツ
ド圧力の和が常に一定の値になるように圧力検出
器１８〜２１の圧力情報により制御信号に補正が
加えられ更に高度にナツト１５を送りねじ３の振
れに対応して移動させることが可能となる。
効 果
以上詳述したように本発明はナツト支持体内に
設けられ移動方向と平行な上下水平面の静圧軸受
及び左右垂直面の静圧軸受を介して支持し、テー
ブルの動きと送りねじの振れの関係等が記憶され
た記憶装置からの情報により制御装置から制御信
号を電磁圧力制御分に出力し外周面のそれそれの
静圧パツド内圧力を検知して制御装置にフイード
バツクしそれぞれのパツド内圧力の和が常に一定
の値になるように制御信号を補正して更に高度に
静圧〓間量をコントロールするようになしたので
送りねじの振れによる無理な力がテーブルに伝達
されることがなくテーブル送りの高精度な真直度
が得られる精密送り可能となる効果を有する。
設けられ移動方向と平行な上下水平面の静圧軸受
及び左右垂直面の静圧軸受を介して支持し、テー
ブルの動きと送りねじの振れの関係等が記憶され
た記憶装置からの情報により制御装置から制御信
号を電磁圧力制御分に出力し外周面のそれそれの
静圧パツド内圧力を検知して制御装置にフイード
バツクしそれぞれのパツド内圧力の和が常に一定
の値になるように制御信号を補正して更に高度に
静圧〓間量をコントロールするようになしたので
送りねじの振れによる無理な力がテーブルに伝達
されることがなくテーブル送りの高精度な真直度
が得られる精密送り可能となる効果を有する。
第１図は本発明の送り機構の説明図、第２図は
第１図のＡ−Ａ線視切断面で表した説明図、第３
図はテーブルの動きと送りねじの振れの関係を表
すグラフ図、第４図は従来技術の説明図、第５図
は第４図のＢ−Ｂ線視断面図である。 ２……テーブル、３……送りねじ、６……制御
装置、１０……ナツト支持体、１１，１２，１
３，１４……電磁比例圧力制御弁、１５……ナツ
ト、１７……記憶装置、１８，１９，２０，２１
……圧力検出器。
第１図のＡ−Ａ線視切断面で表した説明図、第３
図はテーブルの動きと送りねじの振れの関係を表
すグラフ図、第４図は従来技術の説明図、第５図
は第４図のＢ−Ｂ線視断面図である。 ２……テーブル、３……送りねじ、６……制御
装置、１０……ナツト支持体、１１，１２，１
３，１４……電磁比例圧力制御弁、１５……ナツ
ト、１７……記憶装置、１８，１９，２０，２１
……圧力検出器。
Claims (1)
- １ 移動体に固着されたナツト支持体内に設けら
れ移動方向と平行な上下水平面の静圧軸受及び左
右垂直面の静圧軸受を介して支持される角形ナツ
トと、前記移動体の移動位置に対する送りねじの
振れを記憶した記憶装置と、前記各静圧軸受の複
数のパツドのそれぞれのパツド内圧力を検出する
圧力検出器と、前記記憶装置から読み取つた振れ
情報及び前記圧力検出器の出力信号により前記そ
れぞれのパツド内圧力の和が一定の値になるよう
供給圧力を制御する制御装置を含んでなり、送り
ねじの振れに対応して静圧軸受〓間を変化させる
ことを特徴とする送りねじの振れの影響を取除い
た送り機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18979187A JPS6434633A (en) | 1987-07-29 | 1987-07-29 | Feed mechanism free from influence of deviation of feed screw |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18979187A JPS6434633A (en) | 1987-07-29 | 1987-07-29 | Feed mechanism free from influence of deviation of feed screw |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6434633A JPS6434633A (en) | 1989-02-06 |
| JPH0516976B2 true JPH0516976B2 (ja) | 1993-03-05 |
Family
ID=16247265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18979187A Granted JPS6434633A (en) | 1987-07-29 | 1987-07-29 | Feed mechanism free from influence of deviation of feed screw |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6434633A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58177244A (ja) * | 1982-04-13 | 1983-10-17 | Nachi Fujikoshi Corp | 静圧スライドテ−ブルの送り装置 |
| JPS6020841A (ja) * | 1983-07-12 | 1985-02-02 | Citizen Watch Co Ltd | 工作機械等における移動体の位置誤差補正装置 |
-
1987
- 1987-07-29 JP JP18979187A patent/JPS6434633A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58177244A (ja) * | 1982-04-13 | 1983-10-17 | Nachi Fujikoshi Corp | 静圧スライドテ−ブルの送り装置 |
| JPS6020841A (ja) * | 1983-07-12 | 1985-02-02 | Citizen Watch Co Ltd | 工作機械等における移動体の位置誤差補正装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6434633A (en) | 1989-02-06 |
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