JPS6020841A - 工作機械等における移動体の位置誤差補正装置 - Google Patents
工作機械等における移動体の位置誤差補正装置Info
- Publication number
- JPS6020841A JPS6020841A JP12673583A JP12673583A JPS6020841A JP S6020841 A JPS6020841 A JP S6020841A JP 12673583 A JP12673583 A JP 12673583A JP 12673583 A JP12673583 A JP 12673583A JP S6020841 A JPS6020841 A JP S6020841A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- feed screw
- error
- correction
- signal
- supplied
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/19—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
- G05B19/21—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device
- G05B19/23—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control
- G05B19/231—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control the positional error is used to control continuously the servomotor according to its magnitude
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/41—Servomotor, servo controller till figures
- G05B2219/41068—Measuring and feedback
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/41—Servomotor, servo controller till figures
- G05B2219/41309—Hydraulic or pneumatic drive
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/49—Nc machine tool, till multiple
- G05B2219/49271—Air bearing slide, hydraulic, electromagnetic bearing
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
はオープンルーズ方式のテーブル位置決め装置舌の位置
決め装置における、ねじΦｉｌ＋ Ｉａ−よる位置の誤
差を補正する装置に関するものである。
決め装置における、ねじΦｉｌ＋ Ｉａ−よる位置の誤
差を補正する装置に関するものである。
送り，１つじにＪ：るセミクローストループ方式又はオ
ープンルーズ方式の位置決め装置ては、ねじの製作誤差
により位置決め誤差を生ずる。即ち、イｓ＞置決めの誤
差は第１ １Ｊ Ｋ示すように、ねし１回転毎（て周期
的に現われるもの（酔歩）と、Ｗ巨離トコ比例する誤差
が現われる。後渚の誤差はＮＣて補止する事が出来るか
前者の誤差ケ補正１′るためＫは補正データを大量に必
要とするのて通常は袖ｉＬ出来ない。
ープンルーズ方式の位置決め装置ては、ねじの製作誤差
により位置決め誤差を生ずる。即ち、イｓ＞置決めの誤
差は第１ １Ｊ Ｋ示すように、ねし１回転毎（て周期
的に現われるもの（酔歩）と、Ｗ巨離トコ比例する誤差
が現われる。後渚の誤差はＮＣて補止する事が出来るか
前者の誤差ケ補正１′るためＫは補正データを大量に必
要とするのて通常は袖ｉＬ出来ない。
本発明はねじの回転をエノコータに：Ｊ、リ］ラΣ出し
、検出した角度に応じて補止値を言１ｑ：もしくは＃ｉ
ｆｉ 、ｉｌ：表により補正価をめサーボアンプ（て出
力し、それに応じてサーボ弁から補正値に応じた差圧を
ねじのスラスト静圧軸受に与えることによりねじを軸方
向に動かし、ねじの酔歩による位置決め誤差を補正する
ことを特徴とするものである。ねじの変位は変位計によ
り検出してサーボアンプにフィードバックする事により
正確に補正を行うことができる。
、検出した角度に応じて補止値を言１ｑ：もしくは＃ｉ
ｆｉ 、ｉｌ：表により補正価をめサーボアンプ（て出
力し、それに応じてサーボ弁から補正値に応じた差圧を
ねじのスラスト静圧軸受に与えることによりねじを軸方
向に動かし、ねじの酔歩による位置決め誤差を補正する
ことを特徴とするものである。ねじの変位は変位計によ
り検出してサーボアンプにフィードバックする事により
正確に補正を行うことができる。
以下図面を参照して説明すると、第２図は本発明の一実
施例の工作機械を示し、ベッド１上にテーブル２がベッ
ド１に形成された案内面６上を摺動するように支持され
、テーブル２の下側に突出するナツト４に送りねじ５が
螺入している。
施例の工作機械を示し、ベッド１上にテーブル２がベッ
ド１に形成された案内面６上を摺動するように支持され
、テーブル２の下側に突出するナツト４に送りねじ５が
螺入している。
送りねじ５０両端は、静圧軸受６．７により回転可能に
支持され、基端はカップリング８によりＤＣサーボモー
タ１００回転軸に連結されている。
支持され、基端はカップリング８によりＤＣサーボモー
タ１００回転軸に連結されている。
送りねじ５の基部にはフランジ１１が形成され、その両
側に圧油による静圧スラスト軸受としてのポケット１２
．１６が設けられ、両ポケットは夫々サーボ弁２１を介
して圧油供給源（図示せず）に連通し、圧油により送り
ねじに掛る推力を受けるようになっている。一方ねじ軸
の変位を検出するため、一方のポケット１６に非接触変
位計１４が数個けられている。
側に圧油による静圧スラスト軸受としてのポケット１２
．１６が設けられ、両ポケットは夫々サーボ弁２１を介
して圧油供給源（図示せず）に連通し、圧油により送り
ねじに掛る推力を受けるようになっている。一方ねじ軸
の変位を検出するため、一方のポケット１６に非接触変
位計１４が数個けられている。
ＤＣザーボモータ１０にはロータリーエンコーダー１５
が数個げられ、１回転毎の信号を補正信号発生装置１７
に送るようになっている。またコンｌ−ｏ〜う１６は送
り信号をＤｃツーボモ−タ１０に与え、送りねじ５をＤ
ｉ定角度回転させデープル２を所要位置まで送る。
が数個げられ、１回転毎の信号を補正信号発生装置１７
に送るようになっている。またコンｌ−ｏ〜う１６は送
り信号をＤｃツーボモ−タ１０に与え、送りねじ５をＤ
ｉ定角度回転させデープル２を所要位置まで送る。
一方ロータリーエンコ〜ダー１５はテーブル２の移動し
た距離信号をコントローラ１６に送り、コントローラ１
６はテーブルの位置を補正イ８号発生装置１７に送る。
た距離信号をコントローラ１６に送り、コントローラ１
６はテーブルの位置を補正イ８号発生装置１７に送る。
本発明の装置では、あらかじめ機械の基準点がらモータ
の回転角と位置決め誤差を測定し、補１１信号発生装置
のメモリーに登録するが又はａＸｓｉｎ（θ十ｂ）のよ
うな形で誤差を近似して係？；９． ａ、ｂを登録する
。尚全行程で１回転毎の誤差に差が少ないとみなせる場
合には平均をとり１回転分について登録すれば補正信号
発生装置１７が１／ｉ」単になる。
の回転角と位置決め誤差を測定し、補１１信号発生装置
のメモリーに登録するが又はａＸｓｉｎ（θ十ｂ）のよ
うな形で誤差を近似して係？；９． ａ、ｂを登録する
。尚全行程で１回転毎の誤差に差が少ないとみなせる場
合には平均をとり１回転分について登録すれば補正信号
発生装置１７が１／ｉ」単になる。
補正信号発生装置１７は、ロータリーエンコーダー１５
からの１回転毎の信号とコントローラ１６からの距離信
号からメモリーに登録された誤差を読み出ずか又は係数
ａ、ｂより誤差をａＸｓｉｎ（θ＋１）〕により計裳を
行う。さらに誤差をＤ／Ａ変換し補正信号として差動増
巾器１８に出力する。
からの１回転毎の信号とコントローラ１６からの距離信
号からメモリーに登録された誤差を読み出ずか又は係数
ａ、ｂより誤差をａＸｓｉｎ（θ＋１）〕により計裳を
行う。さらに誤差をＤ／Ａ変換し補正信号として差動増
巾器１８に出力する。
差動増巾器１８は補正信号と変位計１４の出力の差を増
巾する。この増巾された誤差信号は補償回路１９を通り
、サーボアンプ２０で増巾されサーボ弁２１に送られる
。サーボ弁２１は制御圧力１） 、 、 ｌ）２が増巾
された誤差信号に比例する様に供給圧力Ｐ８を配分する
。静圧ポケット１２．１６の供給圧力が異なるとフラン
ジ１１ずなわち送りねじ５は圧力の低い方へ変位する。
巾する。この増巾された誤差信号は補償回路１９を通り
、サーボアンプ２０で増巾されサーボ弁２１に送られる
。サーボ弁２１は制御圧力１） 、 、 ｌ）２が増巾
された誤差信号に比例する様に供給圧力Ｐ８を配分する
。静圧ポケット１２．１６の供給圧力が異なるとフラン
ジ１１ずなわち送りねじ５は圧力の低い方へ変位する。
送りねじ５の変位は変位計１４で検出され、差動増「１
〕器１８ヘフイードバノクされる。補正信号発生装置１
７からの信号と変位計１４の出力が等しくなった時、サ
ーボアンプの出力はゼロとなり送りねじは変化した位置
に停止し、誤差の補正が行われる。尚、上記の周期的誤
差にねじのピッチ誤差を加えることによりピッチ誤差も
補正することができる。
〕器１８ヘフイードバノクされる。補正信号発生装置１
７からの信号と変位計１４の出力が等しくなった時、サ
ーボアンプの出力はゼロとなり送りねじは変化した位置
に停止し、誤差の補正が行われる。尚、上記の周期的誤
差にねじのピッチ誤差を加えることによりピッチ誤差も
補正することができる。
以上で明かなよう（ｔこ木兄明如よれば、送１）ｊ２じ
の周期的誤差に応じて静圧スラスＩ・ＩＱｌ＋受のフラ
ンジの左右の圧力を調節して送りねじを変位させること
により送りねじによるテーブルの周期的誤差を除く事が
出来る。またモータの最小移動単位より小さな制御も出
来るので高い精度の補ＩＦもυ」来る。さらに変位を検
出して補正するので、誤差の補正を正確に行うことがで
きる。尚、本発明は、ナツトを回転させる方式の装置に
もナツトのスラスト軸受に本発明を適用することか出来
る。
の周期的誤差に応じて静圧スラスＩ・ＩＱｌ＋受のフラ
ンジの左右の圧力を調節して送りねじを変位させること
により送りねじによるテーブルの周期的誤差を除く事が
出来る。またモータの最小移動単位より小さな制御も出
来るので高い精度の補ＩＦもυ」来る。さらに変位を検
出して補正するので、誤差の補正を正確に行うことがで
きる。尚、本発明は、ナツトを回転させる方式の装置に
もナツトのスラスト軸受に本発明を適用することか出来
る。
第１図は送りねじの長さと誤差のＩＭＩ係を小ず図表、
第２図は本発明の一実施例を示す１スである。 １・・・・・・ベッド、２・・テーブル、６・・・案内
面、 ４・・・・・・ナンド、 ５・・・・送りねじ、
６．７・・・静圧軸受、６ａ、７ａ・・・・ポケット、
８・・・・・カンプリング、１０ ・Ｉ） Ｃす−ホモ
−り、１１ フランジ、 １２．１ろ −ポケット、１４・・変位計、１５−−０
−タリーエンコーダー、 １６ コ／トローラ、 １７ ・−補正化分発生装置、 １８ 差動増１＋器、１９ 袖イア１回路、２０ ザー
ボアング、２１− ザーホ弁。 ｈＬ；、’、□ ）
第２図は本発明の一実施例を示す１スである。 １・・・・・・ベッド、２・・テーブル、６・・・案内
面、 ４・・・・・・ナンド、 ５・・・・送りねじ、
６．７・・・静圧軸受、６ａ、７ａ・・・・ポケット、
８・・・・・カンプリング、１０ ・Ｉ） Ｃす−ホモ
−り、１１ フランジ、 １２．１ろ −ポケット、１４・・変位計、１５−−０
−タリーエンコーダー、 １６ コ／トローラ、 １７ ・−補正化分発生装置、 １８ 差動増１＋器、１９ 袖イア１回路、２０ ザー
ボアング、２１− ザーホ弁。 ｈＬ；、’、□ ）
Claims (1)
- ロータリーエンコーダにまりモータの回転角を検出し制
御されるモータと、該モータを駆動する信号を発生ずる
コントローラと、静圧スラスト軸受て支持され、前記モ
ータにより駆動される送りねじと、該送りねじに螺合さ
れたナツトを有し、案内面に清って送られる移動体と、
送りねじの１回転を検出する検出器と、送りねじの回転
角に対応した送り方向誤差を記憶し又は計算し補正信号
として指令値を出す補正信号発生装置と、前記静圧スラ
スト軸受の対向するポケットに指令値に応じた圧力差を
与えるサーボ弁と、送りねじの軸方向変位を検出する変
位計と、補正信号と変位計の出力の差を増１１Ｊシ前記
サーボ弁を、駆動するサーボアンプとよりなり、送りね
じの回転により生ずる周期的な位置決め誤差を、ねじの
回転角に対応した補正信号だけ送りねじを軸方向（（移
動させて、補正することを特徴とする工作機械等におり
る移動体の位置誤差補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12673583A JPS6020841A (ja) | 1983-07-12 | 1983-07-12 | 工作機械等における移動体の位置誤差補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12673583A JPS6020841A (ja) | 1983-07-12 | 1983-07-12 | 工作機械等における移動体の位置誤差補正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6020841A true JPS6020841A (ja) | 1985-02-02 |
Family
ID=14942591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12673583A Pending JPS6020841A (ja) | 1983-07-12 | 1983-07-12 | 工作機械等における移動体の位置誤差補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6020841A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62287312A (ja) * | 1986-06-06 | 1987-12-14 | Kobe Steel Ltd | ロボツト用制御装置 |
| JPS6434633A (en) * | 1987-07-29 | 1989-02-06 | Okuma Machinery Works Ltd | Feed mechanism free from influence of deviation of feed screw |
| WO1991015334A1 (en) * | 1990-04-05 | 1991-10-17 | Fanuc Ltd | Gear pitch error correction system of numerical controller |
-
1983
- 1983-07-12 JP JP12673583A patent/JPS6020841A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62287312A (ja) * | 1986-06-06 | 1987-12-14 | Kobe Steel Ltd | ロボツト用制御装置 |
| JPS6434633A (en) * | 1987-07-29 | 1989-02-06 | Okuma Machinery Works Ltd | Feed mechanism free from influence of deviation of feed screw |
| JPH0516976B2 (ja) * | 1987-07-29 | 1993-03-05 | Ookuma Kk | |
| WO1991015334A1 (en) * | 1990-04-05 | 1991-10-17 | Fanuc Ltd | Gear pitch error correction system of numerical controller |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4630942A (en) | Guiding apparatus | |
| US4193644A (en) | Servo control system | |
| CN103123478A (zh) | 同步控制装置 | |
| US5059090A (en) | Two-dimensional positioning apparatus | |
| US6443818B1 (en) | Grinding machine | |
| JPS6020841A (ja) | 工作機械等における移動体の位置誤差補正装置 | |
| US6242910B1 (en) | Magnetic head and disk tester with yaw correction | |
| JPH032623B2 (ja) | ||
| US4447770A (en) | Precision drive system | |
| JPS6020839A (ja) | 工作機械等における熱変形補正装置 | |
| JP4503148B2 (ja) | 数値制御工作機械の送り機構の補正装置および数値制御工作機械 | |
| JP2516825B2 (ja) | 二次元相対位置決め方法 | |
| CN210863035U (zh) | 双回授旋转编码器偏心校正装置 | |
| JPH04369409A (ja) | 光学式厚さ測定装置 | |
| JP3507140B2 (ja) | 見当制御方法及び装置 | |
| JP2774327B2 (ja) | 位置決め装置 | |
| JP2698069B2 (ja) | ポールねじの熱変位補正装置 | |
| GB2334690A (en) | Improved grinding machine. | |
| GB2039085A (en) | Drive assembly for a pivotally mounted part, such as a machine tool head | |
| KR940005479B1 (ko) | 공작기계의 자동측정 보정장치 | |
| JPS636604A (ja) | 数値制御システム | |
| JP2536831B2 (ja) | 位置決め補正装置 | |
| JPH0419033A (ja) | 微小位置決め装置 | |
| KR20220146856A (ko) | 주행경로 보정이 가능한 직선 이송장치 및 그 주행경로 보정방법 | |
| JPS63140311A (ja) | 角度変動補正制御装置 |