JPH05166711A - ウエハ固定用チャック - Google Patents
ウエハ固定用チャックInfo
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- JPH05166711A JPH05166711A JP33016291A JP33016291A JPH05166711A JP H05166711 A JPH05166711 A JP H05166711A JP 33016291 A JP33016291 A JP 33016291A JP 33016291 A JP33016291 A JP 33016291A JP H05166711 A JPH05166711 A JP H05166711A
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- JP
- Japan
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- wafer
- chuck
- wafer fixing
- fixing portion
- vacuum chuck
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/707—Chucks, e.g. chucking or un-chucking operations or structural details
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】他のチャックのウエハ固定部上の異物が、該ウ
エハ固定部で固定されていたウエハ側に付着していて
も、その付着異物に影響なくウエハをチャックできるよ
うにする。 【構成】レジスト塗布装置用真空チャック３６の放射状
ウエハ固定部４０と、露光装置用真空チャック４２のウ
エハ固定部４４とは、互いにウエハ下面に対し共通の固
定接触部分を持たないようにする。
エハ固定部で固定されていたウエハ側に付着していて
も、その付着異物に影響なくウエハをチャックできるよ
うにする。 【構成】レジスト塗布装置用真空チャック３６の放射状
ウエハ固定部４０と、露光装置用真空チャック４２のウ
エハ固定部４４とは、互いにウエハ下面に対し共通の固
定接触部分を持たないようにする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工程の中の
写真製版工程においてレジスト塗布と露光との各装置そ
れぞれに用いるのに適したウエハ固定用チャックに関す
る。
写真製版工程においてレジスト塗布と露光との各装置そ
れぞれに用いるのに適したウエハ固定用チャックに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】レジスト塗布装置においては、ウエハ上
面にレジストを所要のパターンに正確に塗布するために
は該ウエハを所要の位置に固定する必要があるが、その
ために、図８および図９でそれぞれ示すようなウエハ固
定用チャックとしての真空チャック２を用いるものがあ
る。このレジスト塗布装置用の真空チャック２は、回転
軸としての中空パイプ４の上端開口内にチャック本体６
の下部中央のパイプ状下端８が嵌め合まれるとともに、
このチャック本体６上にその中央開口１０を中心として
放射状に広がる突起状のウエハ固定部１２と、その放射
状ウエハ固定部１２の周囲を囲むことで真空引きを可能
とするための突起状ウエハ固定部１４とが設けられてな
る。
面にレジストを所要のパターンに正確に塗布するために
は該ウエハを所要の位置に固定する必要があるが、その
ために、図８および図９でそれぞれ示すようなウエハ固
定用チャックとしての真空チャック２を用いるものがあ
る。このレジスト塗布装置用の真空チャック２は、回転
軸としての中空パイプ４の上端開口内にチャック本体６
の下部中央のパイプ状下端８が嵌め合まれるとともに、
このチャック本体６上にその中央開口１０を中心として
放射状に広がる突起状のウエハ固定部１２と、その放射
状ウエハ固定部１２の周囲を囲むことで真空引きを可能
とするための突起状ウエハ固定部１４とが設けられてな
る。
【０００３】このような真空チャック２においては、こ
のウエハ固定部１２の上にウエハ１６の下面側を載置す
るとともに、チャック本体６の上面とウエハ固定部１４
とウエハ１６の下面とで囲む空間を、中空パイプ４の下
端開口に接続した真空源を作動させて真空引きすること
で該ウエハ１６をその下面側でウエハ固定部１２に吸着
固定させる。そして、この固定状態で回転軸である中空
パイプ４を回転速度を制御しつつ回転させながらレジス
トをウエハ１６の上面に所要の均一な厚さに塗布するよ
うになっている。
のウエハ固定部１２の上にウエハ１６の下面側を載置す
るとともに、チャック本体６の上面とウエハ固定部１４
とウエハ１６の下面とで囲む空間を、中空パイプ４の下
端開口に接続した真空源を作動させて真空引きすること
で該ウエハ１６をその下面側でウエハ固定部１２に吸着
固定させる。そして、この固定状態で回転軸である中空
パイプ４を回転速度を制御しつつ回転させながらレジス
トをウエハ１６の上面に所要の均一な厚さに塗布するよ
うになっている。
【０００４】このレジスト塗布装置によるウエハ１６の
上面へのレジスト塗布ののちは、それを所要のマスクを
用いてフォーカス合わせをして露光するのであるが、そ
のための露光装置においては、該ウエハ１６を所要の位
置に固定するために、図１０および図１１でそれぞれ示
すようなウエハ固定用チャックとしての真空チャック１
８を用いるものがある。
上面へのレジスト塗布ののちは、それを所要のマスクを
用いてフォーカス合わせをして露光するのであるが、そ
のための露光装置においては、該ウエハ１６を所要の位
置に固定するために、図１０および図１１でそれぞれ示
すようなウエハ固定用チャックとしての真空チャック１
８を用いるものがある。
【０００５】この露光装置用真空チャック１８は、基台
２０を貫通して取り付けられた中空パイプ２２の上端開
口にチャック本体２４の下部中央のパイプ状下端２６が
嵌め合まれてある。このチャック本体２４は内部に空洞
２８を有し、その上側には該チャック本体２４の中央部
から所定間隔毎に開口３０が設けられている。そして、
そのチャック本体２４の上面には、その中央部から同心
円状に同じ高さの複数の突起状のウエハ固定部３２が設
けられている。
２０を貫通して取り付けられた中空パイプ２２の上端開
口にチャック本体２４の下部中央のパイプ状下端２６が
嵌め合まれてある。このチャック本体２４は内部に空洞
２８を有し、その上側には該チャック本体２４の中央部
から所定間隔毎に開口３０が設けられている。そして、
そのチャック本体２４の上面には、その中央部から同心
円状に同じ高さの複数の突起状のウエハ固定部３２が設
けられている。
【０００６】このような真空チャック１８においては、
ウエハ固定部３２上にウエハ１６を載置するとともに、
中空パイプ２２下端開口に接続した真空源を作動させて
該ウエハ１６をその下面側でウエハ固定部３２に吸着固
定させた状態でウエハ１６上面を露光するようになって
いる。
ウエハ固定部３２上にウエハ１６を載置するとともに、
中空パイプ２２下端開口に接続した真空源を作動させて
該ウエハ１６をその下面側でウエハ固定部３２に吸着固
定させた状態でウエハ１６上面を露光するようになって
いる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】レジスト塗布装置用と
露光装置用の各真空チャック２，１８においては、上述
のように、前者が放射状のウエハ固定部１２であるのに
対し、後者が同心円状のウエハ固定部３２であることか
ら、ウエハ１６下面への固定部分が共通に重なる関係に
あることになる。そのため、該レジスト塗布装置用真空
チャック２のウエハ固定部１２における前記固定部分上
に異物が有った状態でウエハ１６をその下面側で該ウエ
ハ固定部１２上に載置させたレジストを塗布したのち、
露光装置用真空チャック１８のウエハ固定部３２上に該
ウエハ１６をその下面側で固定した場合には、ウエハ固
定部３２におけるウエハ下面への前記共通固定部分には
図１２に示すように、ウエハ１６の異物３４の付着下面
が固定されてしまうことになる。
露光装置用の各真空チャック２，１８においては、上述
のように、前者が放射状のウエハ固定部１２であるのに
対し、後者が同心円状のウエハ固定部３２であることか
ら、ウエハ１６下面への固定部分が共通に重なる関係に
あることになる。そのため、該レジスト塗布装置用真空
チャック２のウエハ固定部１２における前記固定部分上
に異物が有った状態でウエハ１６をその下面側で該ウエ
ハ固定部１２上に載置させたレジストを塗布したのち、
露光装置用真空チャック１８のウエハ固定部３２上に該
ウエハ１６をその下面側で固定した場合には、ウエハ固
定部３２におけるウエハ下面への前記共通固定部分には
図１２に示すように、ウエハ１６の異物３４の付着下面
が固定されてしまうことになる。
【０００８】このような固定状態では、ウエハ１６がそ
のウエハ１６とウエハ固定部３２との間の異物３４で上
方に盛り上がったように変形しているから、その変形状
態のまま露光したのでは露光フォーカスずれを来して露
光パターンの形状が劣化してしまうという課題がある。
のウエハ１６とウエハ固定部３２との間の異物３４で上
方に盛り上がったように変形しているから、その変形状
態のまま露光したのでは露光フォーカスずれを来して露
光パターンの形状が劣化してしまうという課題がある。
【０００９】そこで、本発明においては、例えば上述の
ようなレジスト塗布装置用と露光装置用それぞれの固定
用チャックのように、前者の固定用チャックでのチャッ
クの際にウエハ下面に異物が付着しても、それが後者の
固定用チャックでのチャックに影響しないようにして、
ウエハをチャックできるようにすることを主たる目的と
している。
ようなレジスト塗布装置用と露光装置用それぞれの固定
用チャックのように、前者の固定用チャックでのチャッ
クの際にウエハ下面に異物が付着しても、それが後者の
固定用チャックでのチャックに影響しないようにして、
ウエハをチャックできるようにすることを主たる目的と
している。
【００１０】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明の請求項１に係るウエハ固定用チャッ
クにおいては、他のウエハ固定用チャックのウエハ固定
部とはウエハの固定接触部分が重ならない関係となるよ
うにウエハ固定部が配置されていることを特徴としてい
る。
るために、本発明の請求項１に係るウエハ固定用チャッ
クにおいては、他のウエハ固定用チャックのウエハ固定
部とはウエハの固定接触部分が重ならない関係となるよ
うにウエハ固定部が配置されていることを特徴としてい
る。
【００１１】請求項２に係るウエハ固定用チャックにお
いては、ウエハ固定部が、ウエハのダイシングラインに
一致して設けられていることを特徴としている。
いては、ウエハ固定部が、ウエハのダイシングラインに
一致して設けられていることを特徴としている。
【００１２】
【作用】請求項１においては、他のウエハ固定用チャッ
クのウエハ固定部で当該下面が固定されてあったウエハ
をチャックしても、そのウエハ固定部とウエハ下面との
接触部分とは重ならないようにウエハ固定部でウエハを
固定することができる。
クのウエハ固定部で当該下面が固定されてあったウエハ
をチャックしても、そのウエハ固定部とウエハ下面との
接触部分とは重ならないようにウエハ固定部でウエハを
固定することができる。
【００１３】請求項２においては、ウエハ固定部が、ウ
エハのダイシングラインに一致して設けられているか
ら、該ウエハ固定部に異物があったときには、チャック
の際にはそのダイシングライン近辺でウエハが盛り上が
るように変形することになる。
エハのダイシングラインに一致して設けられているか
ら、該ウエハ固定部に異物があったときには、チャック
の際にはそのダイシングライン近辺でウエハが盛り上が
るように変形することになる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の各実施例を図面を参照して詳
細に説明する。この実施例ではウエハ固定用チャックと
して真空チャックを例に挙げて説明するが、必ずしも、
この真空チャックに限定されるものではなく、他のウエ
ハ固定用チャックにも適用できる。また、この実施例で
は半導体製造工程の中の写真製版工程で用いるレジスト
塗布装置用のものと露光装置用のものとを挙げて説明す
るが、必ずしもこのような装置に限定されるものではな
く、他の製造工程で用いる場合にも適用できる。
細に説明する。この実施例ではウエハ固定用チャックと
して真空チャックを例に挙げて説明するが、必ずしも、
この真空チャックに限定されるものではなく、他のウエ
ハ固定用チャックにも適用できる。また、この実施例で
は半導体製造工程の中の写真製版工程で用いるレジスト
塗布装置用のものと露光装置用のものとを挙げて説明す
るが、必ずしもこのような装置に限定されるものではな
く、他の製造工程で用いる場合にも適用できる。
【００１５】実施例１ 図１ないし図４は、本発明の実施例１に係るウエハ固定
用チャックとしての真空チャックに係り、図１はレジス
ト塗布装置用真空チャックの平面図であり、図２は露光
装置用真空チャックの平面図であり、図３は各真空チャ
ックを重ねた状態を示す平面図である。
用チャックとしての真空チャックに係り、図１はレジス
ト塗布装置用真空チャックの平面図であり、図２は露光
装置用真空チャックの平面図であり、図３は各真空チャ
ックを重ねた状態を示す平面図である。
【００１６】図１を参照して、レジスト塗布装置用真空
チャック３６は、中央開口３８を中心にして互いに放射
状に広がる複数の突起状ウエハ固定部４０を有してい
る。各ウエハ固定部４０は、それぞれ、その放射方向に
おいて不連続状になっている。このような放射状のウエ
ハ固定部４０を有するレジスト塗布装置用真空チャック
３６については、その下面側が従来と同様に回転軸であ
る中空パイプ上端に取り付けられるとともに、上面側に
ウエハが載置されるようになっている。なお、このウエ
ハへのレジスト塗布は従来と同様であるから、その説明
は省略する。
チャック３６は、中央開口３８を中心にして互いに放射
状に広がる複数の突起状ウエハ固定部４０を有してい
る。各ウエハ固定部４０は、それぞれ、その放射方向に
おいて不連続状になっている。このような放射状のウエ
ハ固定部４０を有するレジスト塗布装置用真空チャック
３６については、その下面側が従来と同様に回転軸であ
る中空パイプ上端に取り付けられるとともに、上面側に
ウエハが載置されるようになっている。なお、このウエ
ハへのレジスト塗布は従来と同様であるから、その説明
は省略する。
【００１７】図２を参照して、露光装置用真空チャック
４２は、中心からそれぞれが同心円状にそれの径方向に
複数の同心円状ウエハ固定部４４を有している。このよ
うな同心円状のウエハ固定部４４を有する露光装置用真
空チャック４２については、その下面側が従来と同様に
基台を貫通する中空パイプに取り付けられるとともに、
上面側にウエハが載置されるようになっている。なお、
このウエハへの露光も従来と同様であるから、その説明
は省略する。
４２は、中心からそれぞれが同心円状にそれの径方向に
複数の同心円状ウエハ固定部４４を有している。このよ
うな同心円状のウエハ固定部４４を有する露光装置用真
空チャック４２については、その下面側が従来と同様に
基台を貫通する中空パイプに取り付けられるとともに、
上面側にウエハが載置されるようになっている。なお、
このウエハへの露光も従来と同様であるから、その説明
は省略する。
【００１８】このように図１および図２のそれぞれに示
される構造のレジスト塗布装置用と露光装置用それぞれ
の真空チャック３６，４２は、図３のように上下方向に
重ねた場合に、それぞれのウエハ固定部４０，４４が上
下方向で互いに重ならないように、レジスト塗布装置用
真空チャック３６のウエハ固定部４０の前記放射方向で
の不連続間隔は、露光装置用真空チャック４２のウエハ
固定部４４の同心円の径方向間隔に一致されている。
される構造のレジスト塗布装置用と露光装置用それぞれ
の真空チャック３６，４２は、図３のように上下方向に
重ねた場合に、それぞれのウエハ固定部４０，４４が上
下方向で互いに重ならないように、レジスト塗布装置用
真空チャック３６のウエハ固定部４０の前記放射方向で
の不連続間隔は、露光装置用真空チャック４２のウエハ
固定部４４の同心円の径方向間隔に一致されている。
【００１９】したがって、今、レジスト塗布装置用真空
チャック３６のウエハ固定部４０でウエハを固定した場
合に、そのウエハ固定部４０上に異物があり、そのた
め、ウエハへのレジスト塗布が終わり、そのウエハを該
真空チャック３６から取り外したときに、そのウエハの
下面側におけるウエハ固定部４０との接触部分に異物３
４が付着していても、そのウエハを露光装置用真空チャ
ック４２のウエハ固定部４４で図４のように固定したと
きには、レジスト塗布装置用と露光装置用それぞれの真
空チャック３６，４２の各ウエハ固定部４０，４２は図
３を参照して説明したように上下方向に互いに重ならな
い関係にあることから、ウエハ１６の下面側に付着の異
物３４は、露光装置用真空チャック４２のウエハ固定部
４４には接触することがなく、結果、ウエハ１６がその
異物３４で上方に盛り上がるように変形することがなく
なり、そのウエハ１６を露光装置で露光するときのフォ
ーカスが該変形でずれるようなことがなく、正確なフォ
ーカスのもとでの露光が可能となる。
チャック３６のウエハ固定部４０でウエハを固定した場
合に、そのウエハ固定部４０上に異物があり、そのた
め、ウエハへのレジスト塗布が終わり、そのウエハを該
真空チャック３６から取り外したときに、そのウエハの
下面側におけるウエハ固定部４０との接触部分に異物３
４が付着していても、そのウエハを露光装置用真空チャ
ック４２のウエハ固定部４４で図４のように固定したと
きには、レジスト塗布装置用と露光装置用それぞれの真
空チャック３６，４２の各ウエハ固定部４０，４２は図
３を参照して説明したように上下方向に互いに重ならな
い関係にあることから、ウエハ１６の下面側に付着の異
物３４は、露光装置用真空チャック４２のウエハ固定部
４４には接触することがなく、結果、ウエハ１６がその
異物３４で上方に盛り上がるように変形することがなく
なり、そのウエハ１６を露光装置で露光するときのフォ
ーカスが該変形でずれるようなことがなく、正確なフォ
ーカスのもとでの露光が可能となる。
【００２０】実施例２ 図５は本発明の実施例２に係る真空チャックの平面図で
あり、図６はこの真空チャックでチャックされるウエハ
の平面図である。この真空チャック４６は、ウエハ１６
のダイシングライン４８に一致する突起状ウエハ固定部
５０を有している。すなわち、ウエハ１６は、縦横方向
のダイシングライン４８で囲まれる中に半導体チップを
有しており、ダイシング機械でもってこのダイシングラ
イン４８に沿って切断されることで半導体チップが得ら
れるものである。そして、実施例２の真空チャック４６
は、そのダイシングのためにウエハを固定するのである
が、その固定のためのウエハ固定部５０がダイシングラ
イン４８に一致させてあるために、図７のようなウエハ
固定部５０上の付着異物３４でダイシングライン４８近
辺のウエハ部分が上方に盛り上がるように変形しても、
このダイシングライン４８近辺のパターンは通常パター
ンサイズが大きいために、ダイシング機械によるダイシ
ングへの影響は少なく抑えられる。
あり、図６はこの真空チャックでチャックされるウエハ
の平面図である。この真空チャック４６は、ウエハ１６
のダイシングライン４８に一致する突起状ウエハ固定部
５０を有している。すなわち、ウエハ１６は、縦横方向
のダイシングライン４８で囲まれる中に半導体チップを
有しており、ダイシング機械でもってこのダイシングラ
イン４８に沿って切断されることで半導体チップが得ら
れるものである。そして、実施例２の真空チャック４６
は、そのダイシングのためにウエハを固定するのである
が、その固定のためのウエハ固定部５０がダイシングラ
イン４８に一致させてあるために、図７のようなウエハ
固定部５０上の付着異物３４でダイシングライン４８近
辺のウエハ部分が上方に盛り上がるように変形しても、
このダイシングライン４８近辺のパターンは通常パター
ンサイズが大きいために、ダイシング機械によるダイシ
ングへの影響は少なく抑えられる。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明の請求項１によれ
ば、他のウエハ固定用チャックのウエハ固定部で当該下
面が固定されてあったウエハをチャックしても、そのウ
エハ固定部とウエハ下面との接触部分とは異なる位置で
ウエハを固定することができるから、当該他のチャック
のウエハ固定部の異物によるチャックへの影響はなくな
る。
ば、他のウエハ固定用チャックのウエハ固定部で当該下
面が固定されてあったウエハをチャックしても、そのウ
エハ固定部とウエハ下面との接触部分とは異なる位置で
ウエハを固定することができるから、当該他のチャック
のウエハ固定部の異物によるチャックへの影響はなくな
る。
【００２２】また、請求項２によれば、ウエハ固定部
が、ウエハのダイシングラインに一致して設けられてい
るから、該ウエハ固定部に異物があってダイシングライ
ン近辺が該異物で盛り上がるように変形しても、該変形
の影響なくダイシングが可能となる。
が、ウエハのダイシングラインに一致して設けられてい
るから、該ウエハ固定部に異物があってダイシングライ
ン近辺が該異物で盛り上がるように変形しても、該変形
の影響なくダイシングが可能となる。
【図１】本発明の実施例１に係るレジスト塗布装置用の
真空チャックの平面図である。
真空チャックの平面図である。
【図２】本発明の実施例１に係る露光装置用真空チャッ
クの平面図である。
クの平面図である。
【図３】本発明の実施例１に係る各真空チャックを表裏
方向に重ねた状態の平面図である。
方向に重ねた状態の平面図である。
【図４】図２の露光装置用真空チャックでウエハをチャ
ックした場合の側面断面図である。
ックした場合の側面断面図である。
【図５】本発明の実施例２に係る真空チャックの平面図
である。
である。
【図６】実施例２の真空チャックでチャックされるウエ
ハの平面図である。
ハの平面図である。
【図７】図５の真空チャックで図６のウエハをチャック
した場合の側面断面図である。
した場合の側面断面図である。
【図８】従来例のレジスト塗布装置用真空チャックの斜
視図である。
視図である。
【図９】図８の側面断面図である。
【図１０】従来例の露光装置用真空チャックの斜視図で
ある。
ある。
【図１１】図１０の側面断面図である。
【図１２】図１０の真空チャックでウエハをチャックし
た場合の側面断面図である。
た場合の側面断面図である。
１６ ウエハ ３４ 異物 ３６ レジスト塗布装置用真空チャック ４０ ウエハ固定部 ４２ 露光装置用真空チャック ４４ ウエハ固定部
Claims (2)
- 【請求項１】 他のウエハ固定用チャックのウエハ固定
部とはウエハの固定接触部分が重ならない関係となるよ
うにウエハ固定部が配置されていることを特徴とするウ
エハ固定用チャック。 - 【請求項２】 ウエハ固定部が、ウエハのダイシングラ
インに一致して設けられていることを特徴とするウエハ
固定用チャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33016291A JPH05166711A (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | ウエハ固定用チャック |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33016291A JPH05166711A (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | ウエハ固定用チャック |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05166711A true JPH05166711A (ja) | 1993-07-02 |
Family
ID=18229510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33016291A Pending JPH05166711A (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | ウエハ固定用チャック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05166711A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100444263B1 (ko) * | 1999-07-05 | 2004-08-11 | 캐논 가부시끼가이샤 | 노광장치 및 디바이스의 제조방법 |
| JP2016186841A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | 株式会社メルビル | 試料回転用部材、及び試料回転装置 |
-
1991
- 1991-12-13 JP JP33016291A patent/JPH05166711A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100444263B1 (ko) * | 1999-07-05 | 2004-08-11 | 캐논 가부시끼가이샤 | 노광장치 및 디바이스의 제조방법 |
| JP2016186841A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | 株式会社メルビル | 試料回転用部材、及び試料回転装置 |
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