JPH05166578A - 沿面コロナ放電素子及びその放電面生成物の除去方法 - Google Patents
沿面コロナ放電素子及びその放電面生成物の除去方法Info
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- JPH05166578A JPH05166578A JP35157191A JP35157191A JPH05166578A JP H05166578 A JPH05166578 A JP H05166578A JP 35157191 A JP35157191 A JP 35157191A JP 35157191 A JP35157191 A JP 35157191A JP H05166578 A JPH05166578 A JP H05166578A
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- corona discharge
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 大気中で放電した場合に放電面に生成付着す
る付着物を除去する。 【構成】 沿面コロナ放電素子１０にヒータパターン６
を設け、沿面コロナ放電素子１０の非放電時に放電面１
０Ａを１５０°Ｃから３００°Ｃに加熱するようにす
る。加熱は放電の前後に一定時間行う。放電面１０Ａの
加熱により、硝酸アンモニウムを主成分とする付着物が
分解除去される。この結果、長期間安定した放電が可能
になる。
る付着物を除去する。 【構成】 沿面コロナ放電素子１０にヒータパターン６
を設け、沿面コロナ放電素子１０の非放電時に放電面１
０Ａを１５０°Ｃから３００°Ｃに加熱するようにす
る。加熱は放電の前後に一定時間行う。放電面１０Ａの
加熱により、硝酸アンモニウムを主成分とする付着物が
分解除去される。この結果、長期間安定した放電が可能
になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はオゾン発生装置、帯電
器、除電器、静電気輸送装置等に用いられる沿面コロナ
放電素子に関する。
器、除電器、静電気輸送装置等に用いられる沿面コロナ
放電素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の沿面コロナ放電素子は、特公平
２−２２９９８号、特公平３−４９１９８号公報に記載
されている様に、セラミックで形成された基板の表面に
線状放電電極を設け基板の内部に面状誘導電極を埋設
し、それら電極間に高周波高電圧を印加して基板表面に
沿面コロナ放電を発生せしめるものである。そして、実
開昭６０−１４３７号には、セラミック基板の表面の水
分を除去し高湿度雰囲気での放電を安定させるため、セ
ラミック基板にヒータ配線を埋設し１００°Ｃ程度に加
熱できるようにしたものが提案されている。
２−２２９９８号、特公平３−４９１９８号公報に記載
されている様に、セラミックで形成された基板の表面に
線状放電電極を設け基板の内部に面状誘導電極を埋設
し、それら電極間に高周波高電圧を印加して基板表面に
沿面コロナ放電を発生せしめるものである。そして、実
開昭６０−１４３７号には、セラミック基板の表面の水
分を除去し高湿度雰囲気での放電を安定させるため、セ
ラミック基板にヒータ配線を埋設し１００°Ｃ程度に加
熱できるようにしたものが提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記沿面コ
ロナ放電素子を室内用の脱臭装置のオゾン発生器として
使用した場合、長時間の使用により沿面コロナ放電素子
の基板表面に白色の針状結晶が粉をふいたように生成付
着し、ときには１０ｍｍ以上の高さまでも成長すること
が発生した。この白色針状結晶は乾燥状態ではコロナ放
電を妨げないが、大気中の水分を吸湿すると沿面コロナ
放電素子の放電状態に不具合を生ずるという問題点を示
した。この白色針状結晶を分析したところ、白色針状結
晶は硝酸アンモニウムを主成分とし、硫酸アンモニウム
等が混入することがあることが判明した。これは、放電
により生成する窒素酸化物が大気中に存在する微量のア
ンモニアと反応して硝酸アンモニウムを生成し、それが
放電電極上及び放電電極周辺に付着するものと推定され
る。本発明はかかる知見に基づくものであり、その目的
とするところは、沿面コロナ放電素子の基板表面に生成
付着した白色針状結晶を除去する方法を提供し、安定な
コロナ放電を続けることができる沿面コロナ放電素子を
提供することにある。
ロナ放電素子を室内用の脱臭装置のオゾン発生器として
使用した場合、長時間の使用により沿面コロナ放電素子
の基板表面に白色の針状結晶が粉をふいたように生成付
着し、ときには１０ｍｍ以上の高さまでも成長すること
が発生した。この白色針状結晶は乾燥状態ではコロナ放
電を妨げないが、大気中の水分を吸湿すると沿面コロナ
放電素子の放電状態に不具合を生ずるという問題点を示
した。この白色針状結晶を分析したところ、白色針状結
晶は硝酸アンモニウムを主成分とし、硫酸アンモニウム
等が混入することがあることが判明した。これは、放電
により生成する窒素酸化物が大気中に存在する微量のア
ンモニアと反応して硝酸アンモニウムを生成し、それが
放電電極上及び放電電極周辺に付着するものと推定され
る。本発明はかかる知見に基づくものであり、その目的
とするところは、沿面コロナ放電素子の基板表面に生成
付着した白色針状結晶を除去する方法を提供し、安定な
コロナ放電を続けることができる沿面コロナ放電素子を
提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明では、実施例図面に例示する様に、セラミッ
クで形成された基板１の表面に線状放電電極４を設け、
その基板の内部に面状誘導電極５を埋設して、前記線状
放電電極４と前記面状誘導電極５とを誘電体層を介して
対向せしめた沿面コロナ放電素子１０において、前記基
板に放電面を１５０°Ｃから３００°Ｃに加熱可能なヒ
ータ配線６を設けたことを特徴とする沿面コロナ放電素
子１０が提供される。また、セラミックで形成された基
板１の表面に線状放電電極４を設け、その基板の内部に
面状誘導電極５を埋設して、前記線状放電電極４と前記
面状誘導電極５とを誘電体層を介して対向せしめた沿面
コロナ放電素子１０の放電面生成物の除去方法であっ
て、非放電時に前記沿面コロナ放電素子１０の放電面１
０Ａを１５０°Ｃから３００°Ｃに加熱し放電面生成物
を分解除去せしめることを特徴とする沿面コロナ放電素
子の放電面生成物の除去方法が提供される。
め、本発明では、実施例図面に例示する様に、セラミッ
クで形成された基板１の表面に線状放電電極４を設け、
その基板の内部に面状誘導電極５を埋設して、前記線状
放電電極４と前記面状誘導電極５とを誘電体層を介して
対向せしめた沿面コロナ放電素子１０において、前記基
板に放電面を１５０°Ｃから３００°Ｃに加熱可能なヒ
ータ配線６を設けたことを特徴とする沿面コロナ放電素
子１０が提供される。また、セラミックで形成された基
板１の表面に線状放電電極４を設け、その基板の内部に
面状誘導電極５を埋設して、前記線状放電電極４と前記
面状誘導電極５とを誘電体層を介して対向せしめた沿面
コロナ放電素子１０の放電面生成物の除去方法であっ
て、非放電時に前記沿面コロナ放電素子１０の放電面１
０Ａを１５０°Ｃから３００°Ｃに加熱し放電面生成物
を分解除去せしめることを特徴とする沿面コロナ放電素
子の放電面生成物の除去方法が提供される。
【０００５】
【作用】上記のように構成された沿面コロナ放電素子１
０では、非放電時に放電面１０Ａが１５０°Ｃから３０
０°Ｃに加熱される。このため、放電面１０Ａに生成付
着した硝酸アンモニウムが分解除去される。硝酸アンモ
ニウムは２１０°Ｃで分解し、硫酸アンモニウムは２８
０°Ｃで分解するが、実験によれば１５０°Ｃ以上の温
度であれば２０分程度時間を掛ければ放電面１０Ａから
生成物が消滅することが判った。また、放電面を２５０
°Ｃに加熱すると数分で硝酸アンモニウムを主成分とす
る生成物が分解消滅することが判明した。生成物にはタ
バコのタールやてんぷら油等のオイルミストなどが含ま
れることがあり、加熱温度は高いほど分解除去が早い
が、沿面コロナ放電素子１０を支承する物や近傍の物の
耐熱性や安全性を考慮すると加熱温度は３００°Ｃ以下
とするのが好ましい。
０では、非放電時に放電面１０Ａが１５０°Ｃから３０
０°Ｃに加熱される。このため、放電面１０Ａに生成付
着した硝酸アンモニウムが分解除去される。硝酸アンモ
ニウムは２１０°Ｃで分解し、硫酸アンモニウムは２８
０°Ｃで分解するが、実験によれば１５０°Ｃ以上の温
度であれば２０分程度時間を掛ければ放電面１０Ａから
生成物が消滅することが判った。また、放電面を２５０
°Ｃに加熱すると数分で硝酸アンモニウムを主成分とす
る生成物が分解消滅することが判明した。生成物にはタ
バコのタールやてんぷら油等のオイルミストなどが含ま
れることがあり、加熱温度は高いほど分解除去が早い
が、沿面コロナ放電素子１０を支承する物や近傍の物の
耐熱性や安全性を考慮すると加熱温度は３００°Ｃ以下
とするのが好ましい。
【０００６】
【実施例】本発明の実施例について図面を参照し説明す
る。図１は沿面コロナ放電素子の製造過程を示す斜視
図、図２及び図３は沿面コロナ放電素子の斜視図であ
る。製造過程について説明する。アルミナ粉末に酸化マ
グネシウムＭｇＯを２％（重量比、以下同じ）、酸化カ
ルシウムＣａＯを２％、二酸化ケイ素ＳｉＯ2 を４％混
合して、ボールミルで５０時間から８０時間、湿式粉砕
した後、脱水乾燥する。この粉末に、メタクリル酸イソ
ブチルエステルを３％、ブチルエステルを３％、ニトロ
セルロースを１％、ジオクチルフタレートを０．５％加
え、更に溶剤として、トリクロールエチレン、ｎ−ブタ
ノールを加えて、ボールミルで混合して流動性のあるス
ラリーとする。
る。図１は沿面コロナ放電素子の製造過程を示す斜視
図、図２及び図３は沿面コロナ放電素子の斜視図であ
る。製造過程について説明する。アルミナ粉末に酸化マ
グネシウムＭｇＯを２％（重量比、以下同じ）、酸化カ
ルシウムＣａＯを２％、二酸化ケイ素ＳｉＯ2 を４％混
合して、ボールミルで５０時間から８０時間、湿式粉砕
した後、脱水乾燥する。この粉末に、メタクリル酸イソ
ブチルエステルを３％、ブチルエステルを３％、ニトロ
セルロースを１％、ジオクチルフタレートを０．５％加
え、更に溶剤として、トリクロールエチレン、ｎ−ブタ
ノールを加えて、ボールミルで混合して流動性のあるス
ラリーとする。
【０００７】このスラリーを、減圧脱泡後、平板状に流
し出して徐冷し、溶剤を発散させて厚さ０．２ｍｍと
０．５ｍｍの高純度のアルミナグリーンシート１、２、
３を形成する。また、同様の方法により、タングステン
粉末をスラリー状としてメタライズインクを形成する。
次に前記アルミナグリーンシート３に通常のスクリーン
印刷法にてヒータパターン６をタングステンメタライズ
インクにより印刷し、またアルミナグリーンシート２に
は面状の誘導電極５を同様に通常のスクリーン印刷法に
てタングステンメタライズインクにより印刷する。３つ
のアルミナグリーンシート１、２、３を熱圧着して、更
に、アルミナグリーンシート１上面に線状の放電電極４
をタングステンメタライズインクにより印刷する。ま
た、線状の放電電極４上に印刷又はグリーンシートによ
りアルミナによるコーティングを施す。
し出して徐冷し、溶剤を発散させて厚さ０．２ｍｍと
０．５ｍｍの高純度のアルミナグリーンシート１、２、
３を形成する。また、同様の方法により、タングステン
粉末をスラリー状としてメタライズインクを形成する。
次に前記アルミナグリーンシート３に通常のスクリーン
印刷法にてヒータパターン６をタングステンメタライズ
インクにより印刷し、またアルミナグリーンシート２に
は面状の誘導電極５を同様に通常のスクリーン印刷法に
てタングステンメタライズインクにより印刷する。３つ
のアルミナグリーンシート１、２、３を熱圧着して、更
に、アルミナグリーンシート１上面に線状の放電電極４
をタングステンメタライズインクにより印刷する。ま
た、線状の放電電極４上に印刷又はグリーンシートによ
りアルミナによるコーティングを施す。
【０００８】放電電極４の両端にはリード線接続部４
Ａ、４Ｂがタングステンメタライズインクにより３枚の
アルミナグリーンシート１、２、３を貫いて印刷形成さ
れている。また、面状の誘導電極５の中央にはリード線
接続部５Ａがタングステンメタライズインクによりアル
ミナグリーンシート２、３を貫いて印刷形成されてい
る。さらに、ヒータパターン６の両端にはリード線接続
部６Ａ、６Ｂがタングステンメタライズインクによりア
ルミナグリーンシート３を貫いて印刷形成されている。
Ａ、４Ｂがタングステンメタライズインクにより３枚の
アルミナグリーンシート１、２、３を貫いて印刷形成さ
れている。また、面状の誘導電極５の中央にはリード線
接続部５Ａがタングステンメタライズインクによりアル
ミナグリーンシート２、３を貫いて印刷形成されてい
る。さらに、ヒータパターン６の両端にはリード線接続
部６Ａ、６Ｂがタングステンメタライズインクによりア
ルミナグリーンシート３を貫いて印刷形成されている。
【０００９】このように形成した沿面コロナ放電素子１
０を１４００°Ｃから１６００°Ｃの水素ガス等の非酸
化雰囲気で焼成する。焼成した沿面コロナ放電素子１０
は、必要に応じて、放電電極４上または素子１０全体を
ガラス、ポリイミド等の誘電体でコーティングを施すこ
とが好ましい。
０を１４００°Ｃから１６００°Ｃの水素ガス等の非酸
化雰囲気で焼成する。焼成した沿面コロナ放電素子１０
は、必要に応じて、放電電極４上または素子１０全体を
ガラス、ポリイミド等の誘電体でコーティングを施すこ
とが好ましい。
【００１０】上記の構成に基づき作動について説明す
る。放電電極４と誘導電極５の間に高周波高電圧を印加
すると放電電極４に沿って沿面コロナ放電が発生する。
沿面コロナ放電により大気中のアンモニアと反応して硝
酸アンモニウムが生成し放電面１０Ａに付着する。放電
電極４と誘導電極５の間に高周波高電圧を印加しない放
電休止時に、ヒータパターン６の両端のリード線接続部
６Ａ、６Ｂに電圧を印加し、沿面コロナ放電素子１０の
放電面１０Ａを１５０°Ｃ〜３００°Ｃに加熱する。こ
の加熱により放電面１０Ａに付着した硝酸アンモニウム
が分解消滅する。
る。放電電極４と誘導電極５の間に高周波高電圧を印加
すると放電電極４に沿って沿面コロナ放電が発生する。
沿面コロナ放電により大気中のアンモニアと反応して硝
酸アンモニウムが生成し放電面１０Ａに付着する。放電
電極４と誘導電極５の間に高周波高電圧を印加しない放
電休止時に、ヒータパターン６の両端のリード線接続部
６Ａ、６Ｂに電圧を印加し、沿面コロナ放電素子１０の
放電面１０Ａを１５０°Ｃ〜３００°Ｃに加熱する。こ
の加熱により放電面１０Ａに付着した硝酸アンモニウム
が分解消滅する。
【００１１】放電面１０Ａに生成する付着物を分解除去
のための加熱処理は、放電中に行うと折角発生させたオ
ゾンが熱分解するので、非放電時に行うのがよい。この
ため、放電前、又は、放電後に、一定時間加熱処理して
放電面１０Ａのクリーニングを行うことが好ましい。
のための加熱処理は、放電中に行うと折角発生させたオ
ゾンが熱分解するので、非放電時に行うのがよい。この
ため、放電前、又は、放電後に、一定時間加熱処理して
放電面１０Ａのクリーニングを行うことが好ましい。
【００１２】沿面コロナ放電素子の周辺のものの耐熱性
の問題から、周辺を余り加熱しないようにし、放電電圧
４の近傍のみを局部的に加熱するには、放電電極４近傍
にのみヒータパターン６を設ければよい。また、放電電
極４の両端の端子４Ａ、４Ｂをヒータ用電源に接続し
て、放電電極４自体をヒータ６の代わりにして加熱して
もよい。さらに、ヒータパターン６をタングステンメタ
ライズインクにより形成せず、図４に示す様に、沿面コ
ロナ放電素子２０の裏面に抵抗体２１を貼着し、該抵抗
体２１の通電加熱により沿面コロナ放電素子２０の放電
面を加熱するようにしてもよい。
の問題から、周辺を余り加熱しないようにし、放電電圧
４の近傍のみを局部的に加熱するには、放電電極４近傍
にのみヒータパターン６を設ければよい。また、放電電
極４の両端の端子４Ａ、４Ｂをヒータ用電源に接続し
て、放電電極４自体をヒータ６の代わりにして加熱して
もよい。さらに、ヒータパターン６をタングステンメタ
ライズインクにより形成せず、図４に示す様に、沿面コ
ロナ放電素子２０の裏面に抵抗体２１を貼着し、該抵抗
体２１の通電加熱により沿面コロナ放電素子２０の放電
面を加熱するようにしてもよい。
【００１３】
【発明の効果】本発明は、上記の構成を有し沿面コロナ
放電素子の放電面を１５０°Ｃから３００°Ｃに加熱す
るようにしたものであるから、大気中で放電した時に放
電面に生成付着する放電面生成物を容易に分解除去する
ことができるという優れた効果がある。この結果、長期
間の安定した放電が可能になる。
放電素子の放電面を１５０°Ｃから３００°Ｃに加熱す
るようにしたものであるから、大気中で放電した時に放
電面に生成付着する放電面生成物を容易に分解除去する
ことができるという優れた効果がある。この結果、長期
間の安定した放電が可能になる。
【図１】 沿面コロナ放電素子の製造過程を示す斜視図
【図２】 沿面コロナ放電素子の表面から見た斜視図
【図３】 沿面コロナ放電素子の裏面から見た斜視図
【図４】 第２の実施例を示す沿面コロナ放電素子の裏
面から見た斜視図
面から見た斜視図
１、２、３ グリーンシート ４ 線状放電電極 ５ 面状誘導電極 ６ ヒータパターン
Claims (2)
- 【請求項１】 セラミックで形成された基板の表面に線
状放電電極を設け、その基板の内部に面状誘導電極を埋
設して、前記線状放電電極と前記面状誘導電極とを誘電
体層を介して対向せしめた沿面コロナ放電素子におい
て、 前記基板に放電面を１５０°Ｃから３００°Ｃに加熱可
能なヒータ配線を設けたことを特徴とする沿面コロナ放
電素子。 - 【請求項２】 セラミックで形成された基板の表面に線
状放電電極を設け、その基板の内部に面状誘導電極を埋
設して、前記線状放電電極と前記面状誘導電極とを誘電
体層を介して対向せしめた沿面コロナ放電素子の放電面
生成物の除去方法であって、 非放電時に前記沿面コロナ放電素子の放電面を１５０°
Ｃから３００°Ｃに加熱し放電面生成物を分解除去せし
めることを特徴とする沿面コロナ放電素子の放電面生成
物の除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35157191A JPH05166578A (ja) | 1991-12-12 | 1991-12-12 | 沿面コロナ放電素子及びその放電面生成物の除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35157191A JPH05166578A (ja) | 1991-12-12 | 1991-12-12 | 沿面コロナ放電素子及びその放電面生成物の除去方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05166578A true JPH05166578A (ja) | 1993-07-02 |
Family
ID=18418180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35157191A Pending JPH05166578A (ja) | 1991-12-12 | 1991-12-12 | 沿面コロナ放電素子及びその放電面生成物の除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05166578A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2309875A (en) * | 1996-02-02 | 1997-08-06 | Ozone Ind Ltd | An ozone generator |
| GB2318490A (en) * | 1996-10-17 | 1998-04-22 | Ozone Ind Ltd | Ozonising element |
| JP2003123939A (ja) * | 2001-10-12 | 2003-04-25 | Sharp Corp | イオン発生装置及び空気調節装置 |
| JP2007513484A (ja) * | 2003-12-02 | 2007-05-24 | クロノス・アドバンスト・テクノロジーズ・インコーポレイテッド | コロナ放電電極およびその動作方法 |
| WO2013150819A1 (ja) * | 2012-04-05 | 2013-10-10 | 三菱電機株式会社 | オゾン発生システムおよびオゾン発生方法 |
| JP2014224013A (ja) * | 2013-05-16 | 2014-12-04 | 株式会社村田製作所 | 放電素子 |
| CN104955254A (zh) * | 2014-03-28 | 2015-09-30 | 株式会社大福 | 除电装置及具备该除电装置的输送装置 |
| JP2017525137A (ja) * | 2014-05-28 | 2017-08-31 | 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 | 加熱されたキャパシタ、及び加熱されたキャパシタを形成する方法 |
-
1991
- 1991-12-12 JP JP35157191A patent/JPH05166578A/ja active Pending
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR20150112833A (ko) | 2014-03-28 | 2015-10-07 | 피사 코포레이션 | 제전 장치 및 이것을 구비한 반송 장치 |
| TWI672076B (zh) * | 2014-03-28 | 2019-09-11 | Fisa Corporation | 除電裝置及具有該裝置的搬送裝置 |
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