JPH05164966A - 集光光学系 - Google Patents
集光光学系Info
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- JPH05164966A JPH05164966A JP3330628A JP33062891A JPH05164966A JP H05164966 A JPH05164966 A JP H05164966A JP 3330628 A JP3330628 A JP 3330628A JP 33062891 A JP33062891 A JP 33062891A JP H05164966 A JPH05164966 A JP H05164966A
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- optical system
- convex mirror
- mirror
- light
- convex
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Abstract
(57)【要約】
【目的】諸収差を良好に補正して製作及びアライメント
を容易にする。 【構成】物点Ｏと像点Ｉの間の光軸Ｄ上に、二つの逆カ
セグレン型光学系Ａ，Ｂを各凸面鏡１５，１８が対向す
るように配置する。物点側の凸面鏡１５で反射した光Ｃ
が、途中で光軸Ｄに交わることなく像点側の凸面鏡１８
に到達するように、各面の屈折力を設定する。光Ｃが光
軸Ｄに平行になるようにしてもよい。 【効果】各面での光線の曲がり角が小さいので収差補正
が容易であり、二枚の凹面鏡の面間隔の精度がゆるくて
も分解能の変化が極めて小さい。
を容易にする。 【構成】物点Ｏと像点Ｉの間の光軸Ｄ上に、二つの逆カ
セグレン型光学系Ａ，Ｂを各凸面鏡１５，１８が対向す
るように配置する。物点側の凸面鏡１５で反射した光Ｃ
が、途中で光軸Ｄに交わることなく像点側の凸面鏡１８
に到達するように、各面の屈折力を設定する。光Ｃが光
軸Ｄに平行になるようにしてもよい。 【効果】各面での光線の曲がり角が小さいので収差補正
が容易であり、二枚の凹面鏡の面間隔の精度がゆるくて
も分解能の変化が極めて小さい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、軟Ｘ線領域の波長を使
用する集光光学系、即ち縮小光学系及び拡大光学系に関
する。
用する集光光学系、即ち縮小光学系及び拡大光学系に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、縮小露光装置の縮小光学系とし
て、多数の屈折レンズを用いた屈折光学系が用いられて
いる。しかしながら、この屈折光学系は、色収差がある
ことや、短波長で使用できる素材の種類が限定される等
の欠点がある。そのため、最近のように、縮小露光装置
の縮小光学系に関して、像点側開口数（以下、ＮＡとい
う）が大きくなり、しかも使用波長が短波長に向かうよ
うな傾向にあると、反射光学系を用いるのが有効である
といえる。
て、多数の屈折レンズを用いた屈折光学系が用いられて
いる。しかしながら、この屈折光学系は、色収差がある
ことや、短波長で使用できる素材の種類が限定される等
の欠点がある。そのため、最近のように、縮小露光装置
の縮小光学系に関して、像点側開口数（以下、ＮＡとい
う）が大きくなり、しかも使用波長が短波長に向かうよ
うな傾向にあると、反射光学系を用いるのが有効である
といえる。
【０００３】ところで、公知の反射型縮小光学系の一例
として、S.C.Park,S.S.Lee（Optical Engineering,Vol.
30,No.7,1991）によって提案されたものがある。この光
学系は、図３に示すように、カセグレン型光学系１と逆
カセグレン型光学系２を凸面鏡同士が対向するように配
置した四枚鏡光学系である。カセグレン型光学系１は、
物点Ｏ側に位置する小さな凸面鏡３と、像点Ｉ側に位置
して中央に開口を有する凹面鏡４とから成っている。
又、逆カセグレン型光学系２は、カセグレン型光学系１
の凹面鏡４に隣接する中央に開口を有する凹面鏡５と、
その像点Ｉ側に位置する凸面鏡６とから成っている。そ
して、物点Ｏから射出された光束は、物点Ｏ側の凹面鏡
４で反射して凸面鏡３で反射され、集光して光軸Ｄと交
わった後、像点Ｉ側の凸面鏡６に到達し、更に凹面鏡５
で反射して像点Ｉで結像するようになっている。
として、S.C.Park,S.S.Lee（Optical Engineering,Vol.
30,No.7,1991）によって提案されたものがある。この光
学系は、図３に示すように、カセグレン型光学系１と逆
カセグレン型光学系２を凸面鏡同士が対向するように配
置した四枚鏡光学系である。カセグレン型光学系１は、
物点Ｏ側に位置する小さな凸面鏡３と、像点Ｉ側に位置
して中央に開口を有する凹面鏡４とから成っている。
又、逆カセグレン型光学系２は、カセグレン型光学系１
の凹面鏡４に隣接する中央に開口を有する凹面鏡５と、
その像点Ｉ側に位置する凸面鏡６とから成っている。そ
して、物点Ｏから射出された光束は、物点Ｏ側の凹面鏡
４で反射して凸面鏡３で反射され、集光して光軸Ｄと交
わった後、像点Ｉ側の凸面鏡６に到達し、更に凹面鏡５
で反射して像点Ｉで結像するようになっている。
【０００４】この光学系のＮＡは０．２５、倍率は１／
５、分解能は直径１０ｍｍの像面Ｉで０．８μｍ、設計
波長は２４８ｎｍ（ＫｒＦエキシマレーザの波長）であ
る。但し全部の凸面及び凹面に非球面を使用している。
尚、「逆カセグレン型光学系」について、S.Rosin （Ap
plied Optics,Vol.7,No.8,1968 ）は、凸面鏡に入射す
る軸上の光線と光軸との角が凹面鏡を射出する光線と光
軸との角より小さい光学系を、逆カセグレン型光学系と
定義付けしており、本明細書でもこの定義に従うものと
する。
５、分解能は直径１０ｍｍの像面Ｉで０．８μｍ、設計
波長は２４８ｎｍ（ＫｒＦエキシマレーザの波長）であ
る。但し全部の凸面及び凹面に非球面を使用している。
尚、「逆カセグレン型光学系」について、S.Rosin （Ap
plied Optics,Vol.7,No.8,1968 ）は、凸面鏡に入射す
る軸上の光線と光軸との角が凹面鏡を射出する光線と光
軸との角より小さい光学系を、逆カセグレン型光学系と
定義付けしており、本明細書でもこの定義に従うものと
する。
【０００５】又、波長２〜２０ｎｍの軟Ｘ線領域で設計
した縮小光学系の例として、A.M.H.awryluk,L.G.Seppal
a （J.Vac.Sci.Technol.B6（６），1988）によって提案
された図４に示すようなものがある。この光学系は、凸
面鏡８と凹面鏡９の光軸をずらした二枚鏡光学系であ
り、図示しない光源から射出された光が物体Ｏを照射し
て凸面鏡８で反射され、更に凹面鏡９で反射されて像面
Ｉに物体Ｏの像が結像されるようになっている。この光
学系の場合、ＮＡは０．０２、倍率は１／５であり、物
体面Ｏ（反射マスク）を曲面にする等の工夫により分解
能は直径５ｍｍの像面で０．１μｍが得られる。
した縮小光学系の例として、A.M.H.awryluk,L.G.Seppal
a （J.Vac.Sci.Technol.B6（６），1988）によって提案
された図４に示すようなものがある。この光学系は、凸
面鏡８と凹面鏡９の光軸をずらした二枚鏡光学系であ
り、図示しない光源から射出された光が物体Ｏを照射し
て凸面鏡８で反射され、更に凹面鏡９で反射されて像面
Ｉに物体Ｏの像が結像されるようになっている。この光
学系の場合、ＮＡは０．０２、倍率は１／５であり、物
体面Ｏ（反射マスク）を曲面にする等の工夫により分解
能は直径５ｍｍの像面で０．１μｍが得られる。
【０００６】又、D.L.Shealy,V.K.Viswanathan（SPIE,V
ol.1343,1990）によって提案された縮小光学系は、図５
に示すように光軸を互いにずらした凹面鏡１０，１２と
凸面鏡１１，１３から成る四枚鏡光学系であり、倍率は
１／５、分解能は０．２μｍが得られ、各面は四枚とも
非球面を構成する。
ol.1343,1990）によって提案された縮小光学系は、図５
に示すように光軸を互いにずらした凹面鏡１０，１２と
凸面鏡１１，１３から成る四枚鏡光学系であり、倍率は
１／５、分解能は０．２μｍが得られ、各面は四枚とも
非球面を構成する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような縮小光学系において、図３による第一の例では、
光線の各面での曲がり角（入射光線と反射光線のなす
角）が大きいため、収差に悪影響を与える欠点がある。
又、二枚の凹面鏡４，５は、調整の容易さを考慮すると
一体型で製作する方が好ましいが、その場合、二枚の凹
面鏡４，５はその面間隔が高精度に設定されているよう
に製作される必要があり、そうすると製作が煩雑にな
り、製造コストの上昇を招くことになる。又、第二及び
第三の例は、光軸がずれているため各光学系のアライメ
ントが難しい上に、十分なＮＡがとれないという問題が
ある。分解能を上げるためには、ＮＡを大きくすること
が要求される。
ような縮小光学系において、図３による第一の例では、
光線の各面での曲がり角（入射光線と反射光線のなす
角）が大きいため、収差に悪影響を与える欠点がある。
又、二枚の凹面鏡４，５は、調整の容易さを考慮すると
一体型で製作する方が好ましいが、その場合、二枚の凹
面鏡４，５はその面間隔が高精度に設定されているよう
に製作される必要があり、そうすると製作が煩雑にな
り、製造コストの上昇を招くことになる。又、第二及び
第三の例は、光軸がずれているため各光学系のアライメ
ントが難しい上に、十分なＮＡがとれないという問題が
ある。分解能を上げるためには、ＮＡを大きくすること
が要求される。
【０００８】本発明は、このような課題に鑑みて、諸収
差が良好に補正され、製作及びアライメントの容易な集
光光学系を提供することを目的とする。
差が良好に補正され、製作及びアライメントの容易な集
光光学系を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明による集
光光学系は、一枚の比較的小さな凸面鏡と中央に開口を
有する一枚の比較的大きな凹面鏡とを対向配置した逆カ
セグレン型光学系二組を、凸面鏡同士が対向するように
配置し、物点側の凸面鏡で反射した光が途中で光軸と交
わることなく像点側の凸面鏡に到達するように各面の屈
折力が選定されたことを特徴とするものである。又、物
体側の凸面鏡で反射した光が、光軸に平行であることを
特徴とするものである。
光光学系は、一枚の比較的小さな凸面鏡と中央に開口を
有する一枚の比較的大きな凹面鏡とを対向配置した逆カ
セグレン型光学系二組を、凸面鏡同士が対向するように
配置し、物点側の凸面鏡で反射した光が途中で光軸と交
わることなく像点側の凸面鏡に到達するように各面の屈
折力が選定されたことを特徴とするものである。又、物
体側の凸面鏡で反射した光が、光軸に平行であることを
特徴とするものである。
【００１０】即ち、本発明による集光光学系を、図１の
光学系構成図により説明すると、この集光光学系は例え
ば縮小光学系を構成しており、物体面（物点）Ｏと像面
（像点）Ｉとを結ぶ光軸Ｄ上に、二組の逆カセグレン型
光学系Ａ，Ｂが順次配列されている。物体面Ｏ側の逆カ
セグレン型光学系Ａは、物体面Ｏ側に位置する一枚の比
較的小さな凸面鏡１５と、像面Ｉ側に位置し且つ中央に
開口を有する一枚の比較的大きな凹面鏡１６とから成っ
ている。又、像面Ｉ側の逆カセグレン型光学系Ｂは、凹
面鏡１６に隣接して対向配置された中央に開口を有する
一枚の凹面鏡１７と、最も像面Ｉ側で凸面鏡１５と対向
して配置された一枚の比較的小さな凸面鏡１８とから成
っている。
光学系構成図により説明すると、この集光光学系は例え
ば縮小光学系を構成しており、物体面（物点）Ｏと像面
（像点）Ｉとを結ぶ光軸Ｄ上に、二組の逆カセグレン型
光学系Ａ，Ｂが順次配列されている。物体面Ｏ側の逆カ
セグレン型光学系Ａは、物体面Ｏ側に位置する一枚の比
較的小さな凸面鏡１５と、像面Ｉ側に位置し且つ中央に
開口を有する一枚の比較的大きな凹面鏡１６とから成っ
ている。又、像面Ｉ側の逆カセグレン型光学系Ｂは、凹
面鏡１６に隣接して対向配置された中央に開口を有する
一枚の凹面鏡１７と、最も像面Ｉ側で凸面鏡１５と対向
して配置された一枚の比較的小さな凸面鏡１８とから成
っている。
【００１１】しかも、各凹面鏡１６，１７及び凸面鏡１
５，１８は、凸面鏡１５で反射された光Ｃが凸面鏡１８
へ向かう際、途中で集光して光軸Ｄと交わることなく凸
面鏡１８へ到達するように、その屈折力が選定されてい
るものとする。又、特に、各凹面鏡１６，１７及び凸面
鏡１５，１８の屈折力は、凸面鏡１５から凸面鏡１８へ
向かう光Ｃが光軸Ｄに平行な光となるように選定されて
いてもよい。
５，１８は、凸面鏡１５で反射された光Ｃが凸面鏡１８
へ向かう際、途中で集光して光軸Ｄと交わることなく凸
面鏡１８へ到達するように、その屈折力が選定されてい
るものとする。又、特に、各凹面鏡１６，１７及び凸面
鏡１５，１８の屈折力は、凸面鏡１５から凸面鏡１８へ
向かう光Ｃが光軸Ｄに平行な光となるように選定されて
いてもよい。
【００１２】本発明による集光光学系は上述のような構
成を備えているから、物体面Ｏから射出された光は、逆
カセグレン型光学系Ａの凹面鏡１６で反射された後で凸
面鏡１５で反射され、逆カセグレン型光学系Ｂの対向配
置された凸面鏡１８へ向かうが、この光Ｃは途中で集光
することなく、或いは光軸Ｄに対する平行光として像面
Ｉ側の凸面鏡１８へ到達する。そして、凸面鏡１８で反
射された光は凹面鏡１７で再度反射されて像面Ｉ上に縮
小結像する。
成を備えているから、物体面Ｏから射出された光は、逆
カセグレン型光学系Ａの凹面鏡１６で反射された後で凸
面鏡１５で反射され、逆カセグレン型光学系Ｂの対向配
置された凸面鏡１８へ向かうが、この光Ｃは途中で集光
することなく、或いは光軸Ｄに対する平行光として像面
Ｉ側の凸面鏡１８へ到達する。そして、凸面鏡１８で反
射された光は凹面鏡１７で再度反射されて像面Ｉ上に縮
小結像する。
【００１３】尚、半導体露光装置では、物体面Ｏの位置
にマスクが、又像面Ｉの位置にはウエハが夫々配置され
ることになる。又、この光学系は、物点Ｏと像点Ｉの位
置を逆に設定すれば、顕微鏡のような拡大光学系として
構成することができる。
にマスクが、又像面Ｉの位置にはウエハが夫々配置され
ることになる。又、この光学系は、物点Ｏと像点Ｉの位
置を逆に設定すれば、顕微鏡のような拡大光学系として
構成することができる。
【００１４】従って、本発明の構成による光学系によれ
ば、各面での光線の曲がり角が小さいために収差補正が
容易である。又、物点側の凸面鏡１５で反射した光Ｃが
光軸Ｄに対する平行光であれば、二枚の凹面鏡１６，１
７の面間隔の調節が不要になり、製作が容易になる。
ば、各面での光線の曲がり角が小さいために収差補正が
容易である。又、物点側の凸面鏡１５で反射した光Ｃが
光軸Ｄに対する平行光であれば、二枚の凹面鏡１６，１
７の面間隔の調節が不要になり、製作が容易になる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１に基づいて説明
するが、本発明の効果を明瞭にするために図３に示す従
来技術を比較例として比較参照する。本発明の各実施例
と比較例とでは、次に示す仕様が共通である。 ・倍率：１／５ ・ＮＡ：０．２５ ・物点Ｏと像点Ｉ間の距離：１６０ｍｍ ・波長：１３．５５ｎｍ ・像高：０．０１ｍｍ
するが、本発明の効果を明瞭にするために図３に示す従
来技術を比較例として比較参照する。本発明の各実施例
と比較例とでは、次に示す仕様が共通である。 ・倍率：１／５ ・ＮＡ：０．２５ ・物点Ｏと像点Ｉ間の距離：１６０ｍｍ ・波長：１３．５５ｎｍ ・像高：０．０１ｍｍ
【００１６】（第一実施例）本実施例の構成は図１で示
された縮小光学系の構成と同一であり、物体面Ｏから射
出されて凸面鏡１５から凸面鏡１８へ向かう光Ｃは途中
で集光はしないが光軸Ｄに平行ではないものとする。そ
して、物体面Ｏと凹面鏡１６の距離をＴ１，凹面鏡１６
と凸面鏡１５の距離をＴ２，二つの凹面鏡１６，１７間
の距離をｄ，凹面鏡１７と凸面鏡１８の距離をＴ３，凹
面鏡１７と像面Ｉの距離をＴ４とし、又、Ｒ１，Ｒ２，
Ｒ３，Ｒ４を夫々各面１５，１６，１７，１８の曲率半
径であるとすると、本実施例による光学系の寸法は以下
の通りである。
された縮小光学系の構成と同一であり、物体面Ｏから射
出されて凸面鏡１５から凸面鏡１８へ向かう光Ｃは途中
で集光はしないが光軸Ｄに平行ではないものとする。そ
して、物体面Ｏと凹面鏡１６の距離をＴ１，凹面鏡１６
と凸面鏡１５の距離をＴ２，二つの凹面鏡１６，１７間
の距離をｄ，凹面鏡１７と凸面鏡１８の距離をＴ３，凹
面鏡１７と像面Ｉの距離をＴ４とし、又、Ｒ１，Ｒ２，
Ｒ３，Ｒ４を夫々各面１５，１６，１７，１８の曲率半
径であるとすると、本実施例による光学系の寸法は以下
の通りである。
【００１７】Ｔ１＝１２２．１５０ｍｍ Ｔ２＝ ３０．０５７ｍｍ Ｔ３＝ ６．３１１ｍｍ Ｔ４＝ １５．３４０ｍｍ Ｒ１＝−６９．９９９ｍｍ Ｒ２＝−４５．７４１ｍｍ Ｒ３＝ ４．９８９ｍｍ Ｒ４＝ １１．２８７ｍｍ ｄ ＝ ２２．５１０ｍｍ
【００１８】次に、上述の寸法を有する本実施例の光学
系の性能を示すと、以下の通りである。 ・球面収差は図２に示すようになった。 ・分解能を像面ＩでのＭＴＦが３０％となる空間周波数
の逆数であると定義すると、分解能は０．１２μｍであ
る。 ・距離ｄの値が設計値から０．１ｍｍずれた場合の分解
能の変化は０．００３μｍである。
系の性能を示すと、以下の通りである。 ・球面収差は図２に示すようになった。 ・分解能を像面ＩでのＭＴＦが３０％となる空間周波数
の逆数であると定義すると、分解能は０．１２μｍであ
る。 ・距離ｄの値が設計値から０．１ｍｍずれた場合の分解
能の変化は０．００３μｍである。
【００１９】（比較例）次に図３に示す構成を備えた比
較例について説明する。第一実施例と同様に、物体面Ｏ
と凹面鏡４の距離をＴ１，凹面鏡４と凸面鏡３の距離を
Ｔ２，二つの凹面鏡４，５間の距離をｄ，凹面鏡５と凸
面鏡６の距離をＴ３，凹面鏡５と像面Ｉの距離をＴ４と
し、又、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４を夫々各面３，４，
５，６の曲率半径であるとすると、その光学系の寸法は
以下の通りである。 Ｔ１＝１２４．９０７ｍｍ Ｔ２＝ ５．１８１ｍｍ Ｔ３＝ １９．４２２ｍｍ Ｔ４＝ ２８．１８１ｍｍ Ｒ１＝−２８．１１８ｍｍ Ｒ２＝−３７．８８６ｍｍ Ｒ３＝ １９．３２８ｍｍ Ｒ４＝ ２５．６４４ｍｍ ｄ ＝ ６．９１２ｍｍ
較例について説明する。第一実施例と同様に、物体面Ｏ
と凹面鏡４の距離をＴ１，凹面鏡４と凸面鏡３の距離を
Ｔ２，二つの凹面鏡４，５間の距離をｄ，凹面鏡５と凸
面鏡６の距離をＴ３，凹面鏡５と像面Ｉの距離をＴ４と
し、又、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４を夫々各面３，４，
５，６の曲率半径であるとすると、その光学系の寸法は
以下の通りである。 Ｔ１＝１２４．９０７ｍｍ Ｔ２＝ ５．１８１ｍｍ Ｔ３＝ １９．４２２ｍｍ Ｔ４＝ ２８．１８１ｍｍ Ｒ１＝−２８．１１８ｍｍ Ｒ２＝−３７．８８６ｍｍ Ｒ３＝ １９．３２８ｍｍ Ｒ４＝ ２５．６４４ｍｍ ｄ ＝ ６．９１２ｍｍ
【００２０】次に、上述の寸法を有する本比較例の光学
系の性能を示すと、以下の通りである。 ・球面収差は図６に示すようになった。 ・分解能は０．２０μｍである。 ・距離ｄの値が設計値から０．１ｍｍずれた場合の分解
能の変化は０．１１μｍである。
系の性能を示すと、以下の通りである。 ・球面収差は図６に示すようになった。 ・分解能は０．２０μｍである。 ・距離ｄの値が設計値から０．１ｍｍずれた場合の分解
能の変化は０．１１μｍである。
【００２１】第一実施例と比較例とを比較すると、第一
実施例の光学系の方が球面収差がよく補正され、又二枚
の凹面鏡の面間隔ｄの精度がゆるくても分解能の変化が
小さく、一体型で製作する場合に製作が容易であり、製
造コストを低くすることができる等有利であるといえ
る。
実施例の光学系の方が球面収差がよく補正され、又二枚
の凹面鏡の面間隔ｄの精度がゆるくても分解能の変化が
小さく、一体型で製作する場合に製作が容易であり、製
造コストを低くすることができる等有利であるといえ
る。
【００２２】（第二実施例）次に本発明において、凸面
鏡１５から凸面鏡１８への光Ｃが平行光束となる場合の
縮小光学系の構成を第二実施例として、その光学系の寸
法を示すと以下の通りである。 Ｔ１＝１２５．５７３ｍｍ Ｔ２＝ ５０．０１５ｍｍ Ｔ３＝ ９．９８４ｍｍ Ｔ４＝ ２８．９７７ｍｍ Ｒ１＝−９９．８５９ｍｍ Ｒ２＝−６５．７６５ｍｍ Ｒ３＝ １０．４４５ｍｍ Ｒ４＝ １９．９４７ｍｍ ｄ ＝ ５．４５０ｍｍ
鏡１５から凸面鏡１８への光Ｃが平行光束となる場合の
縮小光学系の構成を第二実施例として、その光学系の寸
法を示すと以下の通りである。 Ｔ１＝１２５．５７３ｍｍ Ｔ２＝ ５０．０１５ｍｍ Ｔ３＝ ９．９８４ｍｍ Ｔ４＝ ２８．９７７ｍｍ Ｒ１＝−９９．８５９ｍｍ Ｒ２＝−６５．７６５ｍｍ Ｒ３＝ １０．４４５ｍｍ Ｒ４＝ １９．９４７ｍｍ ｄ ＝ ５．４５０ｍｍ
【００２３】本実施例による光学系の性能は、第一実施
例のそれと同等である。又、本実施例の光学系は、図１
における光Ｃが光軸Ｄに平行な光であるため、製作時に
おける二枚の凹面鏡の面間隔ｄの調整は不要である。い
いかえれば、ｄを調節して物点Ｏと像点Ｉ間の距離を任
意に設定できるという利点がある。
例のそれと同等である。又、本実施例の光学系は、図１
における光Ｃが光軸Ｄに平行な光であるため、製作時に
おける二枚の凹面鏡の面間隔ｄの調整は不要である。い
いかえれば、ｄを調節して物点Ｏと像点Ｉ間の距離を任
意に設定できるという利点がある。
【００２４】
【発明の効果】上述のように本発明による集光光学系
は、物点側の凸面鏡で反射した光が途中で収束すること
なく像面側の凸面鏡へ到達するようにしたから、諸収差
が良好に補正され、製作及び調整が容易であるという実
用上の利点を有する。
は、物点側の凸面鏡で反射した光が途中で収束すること
なく像面側の凸面鏡へ到達するようにしたから、諸収差
が良好に補正され、製作及び調整が容易であるという実
用上の利点を有する。
【図１】本発明による集光光学系の概略構成を示す原理
図である。
図である。
【図２】本発明の第一実施例及び第二実施例についての
収差曲線を示す図である。
収差曲線を示す図である。
【図３】従来の縮小光学系の概略構成図である。
【図４】従来の別の縮小光学系の概略構成図である。
【図５】従来の別の縮小光学系の概略構成図である。
【図６】図３の縮小光学系についての収差曲線を示す図
である。
である。
Ａ，Ｂ 逆カセグレン型光学系 １５，１８ 凸面鏡 １６，１７ 凹面鏡
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年７月８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
【手続補正書】
【提出日】平成４年７月８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】又、波長２〜２０ｎｍの軟Ｘ線領域で設計
した縮小光学系の例として、A.M.Hawryluk,L.G.Seppala
（J.Vac.Sci.Technol.B6（６），1988）によって提案さ
れた図４に示すようなものがある。この光学系は、凸面
鏡８と凹面鏡９の光軸をずらした二枚鏡光学系であり、
図示しない光源から射出された光が物体Ｏを照射して凸
面鏡８で反射され、更に凹面鏡９で反射されて像面Ｉに
物体Ｏの像が結像されるようになっている。この光学系
の場合、ＮＡは０．０２、倍率は１／５であり、物体面
Ｏ（反射マスク）を局面にする等の工夫により分解能は
直径５ｍｍの像面で０．１μｍが得られる。
した縮小光学系の例として、A.M.Hawryluk,L.G.Seppala
（J.Vac.Sci.Technol.B6（６），1988）によって提案さ
れた図４に示すようなものがある。この光学系は、凸面
鏡８と凹面鏡９の光軸をずらした二枚鏡光学系であり、
図示しない光源から射出された光が物体Ｏを照射して凸
面鏡８で反射され、更に凹面鏡９で反射されて像面Ｉに
物体Ｏの像が結像されるようになっている。この光学系
の場合、ＮＡは０．０２、倍率は１／５であり、物体面
Ｏ（反射マスク）を局面にする等の工夫により分解能は
直径５ｍｍの像面で０．１μｍが得られる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２１】第一実施例と比較例とを比較すると、第一
実施例の光学系の方が球面収差がよく補正され、又二枚
の凹面鏡の面間隔ｄの精度が悪くても分解能の変化が小
さく、一体型で製作する場合に製作が容易であり、製造
コストを低くすることができる等有利であるといえる。
実施例の光学系の方が球面収差がよく補正され、又二枚
の凹面鏡の面間隔ｄの精度が悪くても分解能の変化が小
さく、一体型で製作する場合に製作が容易であり、製造
コストを低くすることができる等有利であるといえる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２４】
【発明の効果】上述のように本発明による集光光学系
は、物点側の凸面鏡で反射した光が途中で集光すること
なく像面側の凸面鏡へ到達するようにしたから、諸収差
が良好に補正され、製作及び調整が容易であるという実
用上の利点を有する。
は、物点側の凸面鏡で反射した光が途中で集光すること
なく像面側の凸面鏡へ到達するようにしたから、諸収差
が良好に補正され、製作及び調整が容易であるという実
用上の利点を有する。
Claims (2)
- 【請求項１】一枚の比較的小さな凸面鏡と中央に開口を
有する一枚の比較的大きな凹面鏡とを対向配置した逆カ
セグレン型光学系二組を、凸面鏡同士が対向するように
配置し、物点側の凸面鏡で反射した光が途中で光軸と交
わることなく像点側の凸面鏡に到達するように各面の屈
折力が選定された集光光学系。 - 【請求項２】前記物体側の凸面鏡で反射した光が、光軸
に平行であることを特徴とする請求項１に記載の集光光
学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3330628A JPH05164966A (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | 集光光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3330628A JPH05164966A (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | 集光光学系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05164966A true JPH05164966A (ja) | 1993-06-29 |
Family
ID=18234795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3330628A Withdrawn JPH05164966A (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | 集光光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05164966A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4897039B2 (ja) * | 2006-04-07 | 2012-03-14 | サジェム デファンス セキュリテ | 極紫外の電磁放射束を集める装置 |
| JP2016502678A (ja) * | 2012-10-31 | 2016-01-28 | コーニング インコーポレイテッド | 光学装置、光学装置を組み込んだ結像系、および結像系によって実施される試料を結像する方法 |
-
1991
- 1991-12-13 JP JP3330628A patent/JPH05164966A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4897039B2 (ja) * | 2006-04-07 | 2012-03-14 | サジェム デファンス セキュリテ | 極紫外の電磁放射束を集める装置 |
| JP2016502678A (ja) * | 2012-10-31 | 2016-01-28 | コーニング インコーポレイテッド | 光学装置、光学装置を組み込んだ結像系、および結像系によって実施される試料を結像する方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |