JPH05164827A - Ｓｑｕｉｄ磁束計 - Google Patents
Ｓｑｕｉｄ磁束計Info
- Publication number
- JPH05164827A JPH05164827A JP3351566A JP35156691A JPH05164827A JP H05164827 A JPH05164827 A JP H05164827A JP 3351566 A JP3351566 A JP 3351566A JP 35156691 A JP35156691 A JP 35156691A JP H05164827 A JPH05164827 A JP H05164827A
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- JP
- Japan
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- squid
- detection coil
- capacitor
- signal line
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成で高周波ノイズによるＳＱＵＩＤ
素子の特性変化を防止し、ＳＱＵＩＤ素子の出力におけ
るノイズを低減する。 【構成】 検出コイル１０とＳＱＵＩＤ素子３０との間
を接続する超伝導ワイヤ１２ａに貫通コンデンサ１１を
設け、この貫通コンデンサ１１の外側の導体を接地する
ことにより、検出コイル１０を経由して入ってきた高周
波ノイズに対応する電流をグランドへ流し、ＳＱＵＩＤ
素子３０への高周波ノイズの侵入を防止する。
素子の特性変化を防止し、ＳＱＵＩＤ素子の出力におけ
るノイズを低減する。 【構成】 検出コイル１０とＳＱＵＩＤ素子３０との間
を接続する超伝導ワイヤ１２ａに貫通コンデンサ１１を
設け、この貫通コンデンサ１１の外側の導体を接地する
ことにより、検出コイル１０を経由して入ってきた高周
波ノイズに対応する電流をグランドへ流し、ＳＱＵＩＤ
素子３０への高周波ノイズの侵入を防止する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、微弱な磁界の計測に用
いられるＳＱＵＩＤ（Superconducting Quantum Interf
erenceDevice）磁束計に関する。
いられるＳＱＵＩＤ（Superconducting Quantum Interf
erenceDevice）磁束計に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＳＱＵＩＤ磁束計は、ジョセフソン接合
部を設けた超伝導物質のリング（以下「ＳＱＵＩＤリン
グ」という）を磁束が磁束量子の単位で出入りするとい
う性質を利用して磁界の強さを計測するものであり、主
に医療等の分野において微弱な磁界の計測に使われ始め
ている。ＳＱＵＩＤ磁束計では、通常、図４に示すよう
に外部磁界を検出するための検出コイル１０を設け、こ
の検出コイル１０を介して外部磁界をＳＱＵＩＤリング
に供給している。このような検出コイルとしては、強化
プラスチック等で作られた芯に超伝導ワイヤを巻き付け
たワイヤ型ピックアップコイルや、薄膜作製技術を用い
て作製したフィルム型ピックアップコイルがある。
部を設けた超伝導物質のリング（以下「ＳＱＵＩＤリン
グ」という）を磁束が磁束量子の単位で出入りするとい
う性質を利用して磁界の強さを計測するものであり、主
に医療等の分野において微弱な磁界の計測に使われ始め
ている。ＳＱＵＩＤ磁束計では、通常、図４に示すよう
に外部磁界を検出するための検出コイル１０を設け、こ
の検出コイル１０を介して外部磁界をＳＱＵＩＤリング
に供給している。このような検出コイルとしては、強化
プラスチック等で作られた芯に超伝導ワイヤを巻き付け
たワイヤ型ピックアップコイルや、薄膜作製技術を用い
て作製したフィルム型ピックアップコイルがある。
【０００３】図５に、ＳＱＵＩＤ磁束計の一例として、
二つのジョセフソン接合部を有するＳＱＵＩＤリングを
用いて構成したｄｃ．ＳＱＵＩＤ磁束計の回路構成を示
す。このＳＱＵＩＤ磁束計では、外部磁界は検出コイル
１０によって検出され、入力コイル３２によりＳＱＵＩ
Ｄリング３５に供給される。また、ＳＱＵＩＤリング３
５には直流電流源４１よりバイアス電流も供給される。
ＳＱＵＩＤリング３５の接合部に現われる電圧は、交流
増幅器４４により増幅され、位相検波器４５において交
流発振器４７から変調コイル３３に印加される交流磁束
の位相と比較される。そして位相検波器４５は、この比
較結果に基づき、ＳＱＵＩＤの動作点がピーク点となる
ように帰還電流を変調コイル３３に与える。この電流値
は外部磁界の基準点（磁束量子の整数倍に相当する磁
界）からの偏差の関数であり、これが抵抗４８により電
圧に変換される。なお、図４に示したように、ＳＱＵＩ
Ｄリング３５は、入力コイル３２及び変調コイル３３と
ともにＳＱＵＩＤ素子３０としてチップ化されている。
二つのジョセフソン接合部を有するＳＱＵＩＤリングを
用いて構成したｄｃ．ＳＱＵＩＤ磁束計の回路構成を示
す。このＳＱＵＩＤ磁束計では、外部磁界は検出コイル
１０によって検出され、入力コイル３２によりＳＱＵＩ
Ｄリング３５に供給される。また、ＳＱＵＩＤリング３
５には直流電流源４１よりバイアス電流も供給される。
ＳＱＵＩＤリング３５の接合部に現われる電圧は、交流
増幅器４４により増幅され、位相検波器４５において交
流発振器４７から変調コイル３３に印加される交流磁束
の位相と比較される。そして位相検波器４５は、この比
較結果に基づき、ＳＱＵＩＤの動作点がピーク点となる
ように帰還電流を変調コイル３３に与える。この電流値
は外部磁界の基準点（磁束量子の整数倍に相当する磁
界）からの偏差の関数であり、これが抵抗４８により電
圧に変換される。なお、図４に示したように、ＳＱＵＩ
Ｄリング３５は、入力コイル３２及び変調コイル３３と
ともにＳＱＵＩＤ素子３０としてチップ化されている。
【０００４】ところで、ＳＱＵＩＤ磁束計は微弱な磁界
の計測に用いられる極めて感度の高い磁束計であり、種
々の原因によって発生した高周波ノイズが上記検出コイ
ルを経由して侵入し、測定に影響を与えることがある。
すなわち、高周波ノイズは、その周波数・強度によって
はＳＱＵＩＤ素子の入出力特性を著しく変化させ、ＳＱ
ＵＩＤ素子の出力におけるノイズを増加させることが知
られている。これに対し、従来は、高周波ノイズの発生
源となる測定用のデジタル機器等を電磁シールドボック
スへ格納したり、磁気シールドルームでＳＱＵＩＤを動
作させたりすることによって対応していた。今後、ＳＱ
ＵＩＤ磁束計が医療等の分野で本格的に普及すると、高
周波ノイズに関しては必ずしも良好とはいえない環境で
の使用（例えば病院等での使用）が考えられるので、こ
のような高周波ノイズに対する対策が特に重要になる。
の計測に用いられる極めて感度の高い磁束計であり、種
々の原因によって発生した高周波ノイズが上記検出コイ
ルを経由して侵入し、測定に影響を与えることがある。
すなわち、高周波ノイズは、その周波数・強度によって
はＳＱＵＩＤ素子の入出力特性を著しく変化させ、ＳＱ
ＵＩＤ素子の出力におけるノイズを増加させることが知
られている。これに対し、従来は、高周波ノイズの発生
源となる測定用のデジタル機器等を電磁シールドボック
スへ格納したり、磁気シールドルームでＳＱＵＩＤを動
作させたりすることによって対応していた。今後、ＳＱ
ＵＩＤ磁束計が医療等の分野で本格的に普及すると、高
周波ノイズに関しては必ずしも良好とはいえない環境で
の使用（例えば病院等での使用）が考えられるので、こ
のような高周波ノイズに対する対策が特に重要になる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の対
策によると測定に費用・労力を要し、また、高周波ノイ
ズは測定機器以外からも発生し普遍的に存在するもので
あるので、測定感度の極めて高いＳＱＵＩＤ磁束計にお
いては、従来の対策だけで高周波ノイズによるＳＱＵＩ
Ｄ素子の特性変化を十分に防止することができなかっ
た。
策によると測定に費用・労力を要し、また、高周波ノイ
ズは測定機器以外からも発生し普遍的に存在するもので
あるので、測定感度の極めて高いＳＱＵＩＤ磁束計にお
いては、従来の対策だけで高周波ノイズによるＳＱＵＩ
Ｄ素子の特性変化を十分に防止することができなかっ
た。
【０００６】そこで本発明では、簡単な構成で高周波ノ
イズによるＳＱＵＩＤ素子の特性変化を防止し、ＳＱＵ
ＩＤ素子の出力におけるノイズを低減したＳＱＵＩＤ磁
束計を提供することを目的とする。
イズによるＳＱＵＩＤ素子の特性変化を防止し、ＳＱＵ
ＩＤ素子の出力におけるノイズを低減したＳＱＵＩＤ磁
束計を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明では、ジョセフソン接合部を設けた超伝導物質の
リングを用いて構成されるＳＱＵＩＤ素子と、外部磁界
を検出する検出コイルと、該検出コイルを前記ＳＱＵＩ
Ｄ素子に接続する超伝導の信号線とを有し、前記検出コ
イル及び該信号線を介して前記ＳＱＵＩＤ素子に外部磁
界を供給するＳＱＵＩＤ磁束計において、接地された導
体を前記超伝導の信号線の近傍に設けることにより、前
記超伝導の信号線とグランドとの間にコンデンサを形成
している。
本発明では、ジョセフソン接合部を設けた超伝導物質の
リングを用いて構成されるＳＱＵＩＤ素子と、外部磁界
を検出する検出コイルと、該検出コイルを前記ＳＱＵＩ
Ｄ素子に接続する超伝導の信号線とを有し、前記検出コ
イル及び該信号線を介して前記ＳＱＵＩＤ素子に外部磁
界を供給するＳＱＵＩＤ磁束計において、接地された導
体を前記超伝導の信号線の近傍に設けることにより、前
記超伝導の信号線とグランドとの間にコンデンサを形成
している。
【０００８】
【作用】検出コイルで検出された高周波ノイズに対応す
る電流は、接地された導体を超伝導の信号線の近傍に設
けることによって形成されたコンデンサを通ってグラン
ドへ流れ、これにより、検出コイルを経由してＳＱＵＩ
Ｄ素子へ侵入する高周波ノイズが低減される。この結
果、ＳＱＵＩＤ素子の入出力特性の変化に起因する、Ｓ
ＱＵＩＤ出力におけるノイズの増加が抑えられる。
る電流は、接地された導体を超伝導の信号線の近傍に設
けることによって形成されたコンデンサを通ってグラン
ドへ流れ、これにより、検出コイルを経由してＳＱＵＩ
Ｄ素子へ侵入する高周波ノイズが低減される。この結
果、ＳＱＵＩＤ素子の入出力特性の変化に起因する、Ｓ
ＱＵＩＤ出力におけるノイズの増加が抑えられる。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例に
ついて説明する。本実施例のＳＱＵＩＤ磁束計全体の構
成は、図４及び図５に示した前述の従来例と同様であ
る。本実施例の特徴は、検出コイル１０をＳＱＵＩＤ素
子３０に接続する超伝導の信号線とグランドとの間に形
成すべきコンデンサとして貫通コンデンサを設けている
点にあるので、以下、この貫通コンデンサを中心に説明
する。
ついて説明する。本実施例のＳＱＵＩＤ磁束計全体の構
成は、図４及び図５に示した前述の従来例と同様であ
る。本実施例の特徴は、検出コイル１０をＳＱＵＩＤ素
子３０に接続する超伝導の信号線とグランドとの間に形
成すべきコンデンサとして貫通コンデンサを設けている
点にあるので、以下、この貫通コンデンサを中心に説明
する。
【００１０】図１は、本実施例のＳＱＵＩＤ磁束計にお
ける検出コイルの部分を示す斜視図である。この検出コ
イルは、機能面からいえば一次微分型に属し、検出コイ
ルとしては一般的なものである。また、構造面からいえ
ばワイヤ型に属し、図１に示すように、強化プラスチッ
ク等で作られた芯に超伝導ワイヤ１２ｃ、１２ｄを巻き
付けて検出コイルを形成している。ここで、超伝導ワイ
ヤ１２ｃと１２ｄを互いに逆方向に巻き付けており、こ
れによって一次微分型ピックアップコイルとしての機能
を実現している。この検出コイルは超伝導ワイヤ１２ａ
及び１２ｂによってＳＱＵＩＤ素子３０の入力コイル３
２に接続される。本実施例では、超伝導ワイヤ１２ａに
貫通コンデンサ１１を設けている。
ける検出コイルの部分を示す斜視図である。この検出コ
イルは、機能面からいえば一次微分型に属し、検出コイ
ルとしては一般的なものである。また、構造面からいえ
ばワイヤ型に属し、図１に示すように、強化プラスチッ
ク等で作られた芯に超伝導ワイヤ１２ｃ、１２ｄを巻き
付けて検出コイルを形成している。ここで、超伝導ワイ
ヤ１２ｃと１２ｄを互いに逆方向に巻き付けており、こ
れによって一次微分型ピックアップコイルとしての機能
を実現している。この検出コイルは超伝導ワイヤ１２ａ
及び１２ｂによってＳＱＵＩＤ素子３０の入力コイル３
２に接続される。本実施例では、超伝導ワイヤ１２ａに
貫通コンデンサ１１を設けている。
【００１１】貫通コンデンサ１１は、図３（ａ）に示す
ように、超伝導材料で作られた信号線１１ａを間隙１１
ｃを設けて導体１１ｂで取り囲んだ構成となっており、
その導体１１ｂは接地されている。ここで、この信号線
１１ａと接地された導体１１ｂとの間隙１１ｃは、空気
又は適当な誘電体材料で形成されている。図１に示すよ
うに、この貫通コンデンサ１１の信号線の一端は前記検
出コイル１０を構成する超伝導ワイヤ１２ｃに接続さ
れ、他端はＳＱＵＩＤ素子３０につながる超伝導ワイヤ
１２ａに接続されている。ＳＱＵＩＤ素子３０を正しく
動作させるためには、検出コイル１０から入力コイル３
２までの信号線をすべて超伝導体で構成する必要がある
が、この要求を満足させるため本実施例では、前記のよ
うに貫通コンデンサ１１の信号線部分１１ａを超伝導材
料で作製している。
ように、超伝導材料で作られた信号線１１ａを間隙１１
ｃを設けて導体１１ｂで取り囲んだ構成となっており、
その導体１１ｂは接地されている。ここで、この信号線
１１ａと接地された導体１１ｂとの間隙１１ｃは、空気
又は適当な誘電体材料で形成されている。図１に示すよ
うに、この貫通コンデンサ１１の信号線の一端は前記検
出コイル１０を構成する超伝導ワイヤ１２ｃに接続さ
れ、他端はＳＱＵＩＤ素子３０につながる超伝導ワイヤ
１２ａに接続されている。ＳＱＵＩＤ素子３０を正しく
動作させるためには、検出コイル１０から入力コイル３
２までの信号線をすべて超伝導体で構成する必要がある
が、この要求を満足させるため本実施例では、前記のよ
うに貫通コンデンサ１１の信号線部分１１ａを超伝導材
料で作製している。
【００１２】貫通コンデンサ１１の信号線を取り囲む前
記導体１１ｂの接地は、図２に示すように、円筒状の導
電性カバー１３を介して行なう。ここで、図２（ａ）は
カバー１３を取り付けた検出コイル部の側面図であり
（ただし、カバー１３については縦断面を示す）、図２
（ｂ）はその前面図である。本実施例では、このような
カバー１３を導電性材料で作製し、貫通コンデンサの外
側の導体（信号線を取り囲む導体）１１ｂと接するよう
に取り付けて電気的に接続し、そのカバー１３を外部の
グランドに接続する。ＳＱＵＩＤ磁束計によっては超伝
導ワイヤの断線防止等のための保護用カバーが検出コイ
ル部に設けられている場合があるが、その場合には、保
護用カバーを貫通コンデンサの外側導体１１ｂを接地す
るための手段としても利用できるように構成すればよ
い。
記導体１１ｂの接地は、図２に示すように、円筒状の導
電性カバー１３を介して行なう。ここで、図２（ａ）は
カバー１３を取り付けた検出コイル部の側面図であり
（ただし、カバー１３については縦断面を示す）、図２
（ｂ）はその前面図である。本実施例では、このような
カバー１３を導電性材料で作製し、貫通コンデンサの外
側の導体（信号線を取り囲む導体）１１ｂと接するよう
に取り付けて電気的に接続し、そのカバー１３を外部の
グランドに接続する。ＳＱＵＩＤ磁束計によっては超伝
導ワイヤの断線防止等のための保護用カバーが検出コイ
ル部に設けられている場合があるが、その場合には、保
護用カバーを貫通コンデンサの外側導体１１ｂを接地す
るための手段としても利用できるように構成すればよ
い。
【００１３】以上のようにして貫通コンデンサ１１を設
けると、検出コイル１０において測定対象の磁界の他に
高周波ノイズを検出したとしても、その高周波ノイズに
対応する電流は貫通コンデンサ１１を介してグランドに
流れるので、ＳＱＵＩＤ素子３０への高周波ノイズの侵
入が防止される。したがって、高周波ノイズによるＳＱ
ＵＩＤ素子３０の特性変化を防止し、ＳＱＵＩＤ素子３
０の出力におけるノイズを低減することができる。
けると、検出コイル１０において測定対象の磁界の他に
高周波ノイズを検出したとしても、その高周波ノイズに
対応する電流は貫通コンデンサ１１を介してグランドに
流れるので、ＳＱＵＩＤ素子３０への高周波ノイズの侵
入が防止される。したがって、高周波ノイズによるＳＱ
ＵＩＤ素子３０の特性変化を防止し、ＳＱＵＩＤ素子３
０の出力におけるノイズを低減することができる。
【００１４】上記実施例では貫通コンデンサの外側導体
１１ｂをカバー１３を介して接地していたが、接地の手
段はこれに限るものではなく、貫通コンデンサの外側導
体１１ｂを接地するためのグランドラインの配線を別途
行なう等、確実に接地できるものであれば他の手段であ
ってもよい。また、上記実施例では検出コイル１０とＳ
ＱＵＩＤ素子３０との間を接続する超伝導ワイヤ１２
ａ、１２ｂのうちの一方の超伝導ワイヤ１２ａに貫通コ
ンデンサを設けていたが、超伝導ワイヤ１２ａ及び１２
ｂの双方に貫通コンデンサを設けてもよい。なお、検出
コイル１０をＳＱＵＩＤ素子３０に接続する超伝導の信
号線（超伝導ワイヤ）とグランドとの間に形成すべきコ
ンデンサは、上記実施例で用いた貫通コンデンサに限定
されるものではなく、例えば図３（ｂ）に示すように、
接地された平板導体２１ｂを間隙２１ｃを設けて平板状
の超伝導信号線２１ａと対向させた構造の平行平板コン
デンサであってもよい。
１１ｂをカバー１３を介して接地していたが、接地の手
段はこれに限るものではなく、貫通コンデンサの外側導
体１１ｂを接地するためのグランドラインの配線を別途
行なう等、確実に接地できるものであれば他の手段であ
ってもよい。また、上記実施例では検出コイル１０とＳ
ＱＵＩＤ素子３０との間を接続する超伝導ワイヤ１２
ａ、１２ｂのうちの一方の超伝導ワイヤ１２ａに貫通コ
ンデンサを設けていたが、超伝導ワイヤ１２ａ及び１２
ｂの双方に貫通コンデンサを設けてもよい。なお、検出
コイル１０をＳＱＵＩＤ素子３０に接続する超伝導の信
号線（超伝導ワイヤ）とグランドとの間に形成すべきコ
ンデンサは、上記実施例で用いた貫通コンデンサに限定
されるものではなく、例えば図３（ｂ）に示すように、
接地された平板導体２１ｂを間隙２１ｃを設けて平板状
の超伝導信号線２１ａと対向させた構造の平行平板コン
デンサであってもよい。
【００１５】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明のＳＱＵＩＤ
磁束計によれば、検出コイルを経由してＳＱＵＩＤ素子
に侵入する高周波ノイズが低減されるため、ＳＱＵＩＤ
素子の入出力特性の変化に起因する、ＳＱＵＩＤ素子の
出力におけるノイズの増加を抑えることができる。ま
た、高周波ノイズが多い環境下においてもＳＱＵＩＤ素
子の特性が変化しにくいため、従来に比べ簡単な構成の
電磁シールドルーム内でＳＱＵＩＤ素子を動作させて磁
界の測定を行なうことができる。
磁束計によれば、検出コイルを経由してＳＱＵＩＤ素子
に侵入する高周波ノイズが低減されるため、ＳＱＵＩＤ
素子の入出力特性の変化に起因する、ＳＱＵＩＤ素子の
出力におけるノイズの増加を抑えることができる。ま
た、高周波ノイズが多い環境下においてもＳＱＵＩＤ素
子の特性が変化しにくいため、従来に比べ簡単な構成の
電磁シールドルーム内でＳＱＵＩＤ素子を動作させて磁
界の測定を行なうことができる。
【図１】 本発明の一実施例であるＳＱＵＩＤ磁束計に
おける検出コイルの部分を示す斜視図。
おける検出コイルの部分を示す斜視図。
【図２】 前記ＳＱＵＩＤ磁束計においてカバーを取り
付けた検出コイル部分の側面及び前面を示す図。
付けた検出コイル部分の側面及び前面を示す図。
【図３】 前記ＳＱＵＩＤ磁束計において検出コイルを
ＳＱＵＩＤ素子に接続する超伝導の信号線とグランドと
の間に形成されるコンデンサの構造を示す図。
ＳＱＵＩＤ素子に接続する超伝導の信号線とグランドと
の間に形成されるコンデンサの構造を示す図。
【図４】 検出コイルが接続されたＳＱＵＩＤ素子を示
す図。
す図。
【図５】 ＳＱＵＩＤ磁束計の一例であるｄｃ．ＳＱＵ
ＩＤ磁束計の回路構成を示す図。
ＩＤ磁束計の回路構成を示す図。
１０ …検出コイル １１ …貫通コンデンサ １１ａ…貫通コンデンサの信号線部分 １１ｂ…貫通コンデンサの外側導体 １１ｃ…貫通コンデンサの間隙部分 １２ …超伝導ワイヤ １３ …カバー ３０ …ＳＱＵＩＤ素子 ３５ …ＳＱＵＩＤリング
Claims (1)
- 【請求項１】 ジョセフソン接合部を設けた超伝導物質
のリングを用いて構成されるＳＱＵＩＤ素子と、外部磁
界を検出する検出コイルと、該検出コイルを前記ＳＱＵ
ＩＤ素子に接続する超伝導の信号線とを有し、前記検出
コイル及び該信号線を介して前記ＳＱＵＩＤ素子に外部
磁界を供給するＳＱＵＩＤ磁束計において、 接地された導体を前記超伝導の信号線の近傍に設けるこ
とにより、前記超伝導の信号線とグランドとの間にコン
デンサを形成したことを特徴とするＳＱＵＩＤ磁束計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3351566A JPH05164827A (ja) | 1991-12-12 | 1991-12-12 | Ｓｑｕｉｄ磁束計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3351566A JPH05164827A (ja) | 1991-12-12 | 1991-12-12 | Ｓｑｕｉｄ磁束計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05164827A true JPH05164827A (ja) | 1993-06-29 |
Family
ID=18418147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3351566A Pending JPH05164827A (ja) | 1991-12-12 | 1991-12-12 | Ｓｑｕｉｄ磁束計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05164827A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005076039A1 (ja) * | 2004-02-10 | 2005-08-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | ビーム測定装置およびこれを用いたビーム測定方法 |
| WO2009041343A1 (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-02 | Japan Oil, Gas And Metals National Corporation | 電磁探査装置および電磁探査方法 |
-
1991
- 1991-12-12 JP JP3351566A patent/JPH05164827A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005076039A1 (ja) * | 2004-02-10 | 2005-08-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | ビーム測定装置およびこれを用いたビーム測定方法 |
| US7535220B2 (en) | 2004-02-10 | 2009-05-19 | Panasonic Corporation | Beam measuring equipment and beam measuring method using the same |
| TWI395250B (zh) * | 2004-02-10 | 2013-05-01 | Panasonic Corp | Beam measuring device, beam measuring method, beam control method and beam irradiation method |
| WO2009041343A1 (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-02 | Japan Oil, Gas And Metals National Corporation | 電磁探査装置および電磁探査方法 |
| AU2008305096B2 (en) * | 2007-09-25 | 2011-06-09 | Japan Oil, Gas And Metals National Corporation | Electromagnetic prospecting apparatus and electromagnetic prospecting method |
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