JPH05161864A - ペースト塗布機 - Google Patents
ペースト塗布機Info
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- JPH05161864A JPH05161864A JP35051691A JP35051691A JPH05161864A JP H05161864 A JPH05161864 A JP H05161864A JP 35051691 A JP35051691 A JP 35051691A JP 35051691 A JP35051691 A JP 35051691A JP H05161864 A JPH05161864 A JP H05161864A
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- nozzle
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ペ−ストに混入した気泡を除き、塗布不良や
加熱乾燥工程での基板のによる不良基板の発生や、ペー
スト吐出量の変動による形成されたパタ−ンの波状の縁
の発生を防止する。 【構成】 ペースト収納筒2の内部に筒状のフイルタ1
3が設けられ、このフィルタ13内にペースト11が充
填される。フィルタ13は支持部14によってペースト
収納筒2の側壁に支持され、この側壁とフィルタ13と
の間に空間が形成されている。また、この空間は、ペー
スト収納筒2の側壁に設けられた排気孔15により、外
部と連結されている。圧縮空気等によってペースト11
に圧力Pが加えられると、ペースト11はノズル1から
吐出されるが、このとき、この圧力Pは大気圧よりも大
きいから、ペースト11のフィルタ13に近い部分の気
泡12はフィルタ13、排気孔15を通って外部に排出
される。
加熱乾燥工程での基板のによる不良基板の発生や、ペー
スト吐出量の変動による形成されたパタ−ンの波状の縁
の発生を防止する。 【構成】 ペースト収納筒2の内部に筒状のフイルタ1
3が設けられ、このフィルタ13内にペースト11が充
填される。フィルタ13は支持部14によってペースト
収納筒2の側壁に支持され、この側壁とフィルタ13と
の間に空間が形成されている。また、この空間は、ペー
スト収納筒2の側壁に設けられた排気孔15により、外
部と連結されている。圧縮空気等によってペースト11
に圧力Pが加えられると、ペースト11はノズル1から
吐出されるが、このとき、この圧力Pは大気圧よりも大
きいから、ペースト11のフィルタ13に近い部分の気
泡12はフィルタ13、排気孔15を通って外部に排出
される。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、基板とノズルを相対的
に移動させて該基板上にペ−ストを塗布し、所望の形状
のペ−ストパターンを描画するペースト塗布機に関す
る。
に移動させて該基板上にペ−ストを塗布し、所望の形状
のペ−ストパターンを描画するペースト塗布機に関す
る。
【0002】
【従来の技術】基板上にペーストで所望形状パターンを
設ける技術としては、例えば特開平2−52742号公
報に示されるように、ノズルに対して基板を相対的に移
動させながらノズルから基板上に抵抗ペ−ストを吐出さ
せ、所定の抵抗パタ−ンを描画して抵抗形成を行なう吐
出描画技術が知られている。
設ける技術としては、例えば特開平2−52742号公
報に示されるように、ノズルに対して基板を相対的に移
動させながらノズルから基板上に抵抗ペ−ストを吐出さ
せ、所定の抵抗パタ−ンを描画して抵抗形成を行なう吐
出描画技術が知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
を用い、最近の高精細化された液晶ディスプレイ等の基
板上に液晶の封止膜を形成するような場合には、次の問
題がある。
を用い、最近の高精細化された液晶ディスプレイ等の基
板上に液晶の封止膜を形成するような場合には、次の問
題がある。
【0004】即ち、ノズルから基板上にペ−ストを吐出
させてパターンを形成する上記の吐出描画技術では、ペ
−スト内に含まれている泡状の空気(以下、気泡とい
う)の影響によってパタ−ンが途切れてしまい、液晶の
封止ができない基板が製造される。小さな気泡がペ−ス
ト内に含まれていた場合には、パタ−ンの途切れは生じ
ないが、パタ−ン描画後の加熱乾燥工程でこれら小さな
気泡が膨張,破裂し、既に形成されている配向膜や半導
体素子などの上に飛散して不良基板発生の一因ともな
る。
させてパターンを形成する上記の吐出描画技術では、ペ
−スト内に含まれている泡状の空気(以下、気泡とい
う)の影響によってパタ−ンが途切れてしまい、液晶の
封止ができない基板が製造される。小さな気泡がペ−ス
ト内に含まれていた場合には、パタ−ンの途切れは生じ
ないが、パタ−ン描画後の加熱乾燥工程でこれら小さな
気泡が膨張,破裂し、既に形成されている配向膜や半導
体素子などの上に飛散して不良基板発生の一因ともな
る。
【0005】また、ペ−スト吐出に際しては、吐出部に
加える圧力を制御することにより所望の吐出量を得てい
るが、加圧を始めてからペ−ストが吐出されるまでの間
ペ−スト内の気泡は収縮される。そして、加圧により収
縮したこれら気泡がペ−ストと共に吐出されると同時
に、気泡の収縮は開放されて吐出部内の圧力が変化し、
ペ−ストの吐出量が一時的に増えるが、一定の加圧を行
っているため所望の吐出量に戻る。しかしながら、かか
る動作が繰り返されるため、ペ−ストの吐出量がわずか
だが変動し、描いたパタ−ンの縁が直線ではなくて波状
になり、2枚の基板を張りあわせた場合、画素領域を汚
すことになる。パタ−ンの縁が波状になる現象は、要求
される描画パタ−ンの幅が狭くなるにつれて顕著とな
る。
加える圧力を制御することにより所望の吐出量を得てい
るが、加圧を始めてからペ−ストが吐出されるまでの間
ペ−スト内の気泡は収縮される。そして、加圧により収
縮したこれら気泡がペ−ストと共に吐出されると同時
に、気泡の収縮は開放されて吐出部内の圧力が変化し、
ペ−ストの吐出量が一時的に増えるが、一定の加圧を行
っているため所望の吐出量に戻る。しかしながら、かか
る動作が繰り返されるため、ペ−ストの吐出量がわずか
だが変動し、描いたパタ−ンの縁が直線ではなくて波状
になり、2枚の基板を張りあわせた場合、画素領域を汚
すことになる。パタ−ンの縁が波状になる現象は、要求
される描画パタ−ンの幅が狭くなるにつれて顕著とな
る。
【0006】本発明の目的は、かかる問題を解消し、ペ
−スト内に含まれている気泡をなくして安定した良好な
パターンを得ることができるようにしたペースト塗布機
を提供することにある。
−スト内に含まれている気泡をなくして安定した良好な
パターンを得ることができるようにしたペースト塗布機
を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ペ−ストを吐出する際にノズルの吐出口
から気泡が吐出されることを抑制する手段、即ち、塗布
材料に対する脱泡機構を設ける。
に、本発明は、ペ−ストを吐出する際にノズルの吐出口
から気泡が吐出されることを抑制する手段、即ち、塗布
材料に対する脱泡機構を設ける。
【0008】脱泡機構は空気のみ通す選択透過性を有す
るフィルタを有し、ペ−スト収納筒またはノズルの内壁
に、若しくは連結する部材としてペ−スト収納筒とノズ
ルとの間に設けられる。
るフィルタを有し、ペ−スト収納筒またはノズルの内壁
に、若しくは連結する部材としてペ−スト収納筒とノズ
ルとの間に設けられる。
【0009】脱泡機構は、さらに、ペ−ストを加熱して
気泡を除去するヒータ、またはヒータとペ−スト内の気
泡を検出する手段とを有している。
気泡を除去するヒータ、またはヒータとペ−スト内の気
泡を検出する手段とを有している。
【0010】
【作用】ペ−スト収納筒内のペ−ストをノズルから吐出
する場合、ペ−スト内に含まれる気泡が気泡の吐出抑制
手段によりペーストから除去され、気泡の吐出が抑圧さ
れたペ−ストが基板上に吐出されて塗布される。
する場合、ペ−スト内に含まれる気泡が気泡の吐出抑制
手段によりペーストから除去され、気泡の吐出が抑圧さ
れたペ−ストが基板上に吐出されて塗布される。
【0011】この気泡の吐出抑制手段は、ペ−スト収納
筒またはノズルの内壁に、若しくは連結部材としてペ−
スト収納筒とノズルとの間に設けられ、かつ気泡のみを
通すフィルタを備えているから、ペ−ストがノズルから
吐出されて基板上に塗布されるとき、ペ−スト内の気泡
が、ペ−スト収納筒またはノズルの内圧と大気圧との差
により、フィルタを介してノズル吐出口とは別の排出口
から外部に排出される。
筒またはノズルの内壁に、若しくは連結部材としてペ−
スト収納筒とノズルとの間に設けられ、かつ気泡のみを
通すフィルタを備えているから、ペ−ストがノズルから
吐出されて基板上に塗布されるとき、ペ−スト内の気泡
が、ペ−スト収納筒またはノズルの内圧と大気圧との差
により、フィルタを介してノズル吐出口とは別の排出口
から外部に排出される。
【0012】また、上記気泡の吐出抑制手段は、ペ−ス
トを加熱して気泡を除去するヒータまたはかかるヒータ
とペ−スト内の気泡を検出するセンサとを有しているの
で、該ヒータを制御することにより、ペ−ストが加熱さ
れて粘度が低下し、ペ−スト内の気泡は浮力によって上
昇してペ−ストの上面に達し、脱泡される。
トを加熱して気泡を除去するヒータまたはかかるヒータ
とペ−スト内の気泡を検出するセンサとを有しているの
で、該ヒータを制御することにより、ペ−ストが加熱さ
れて粘度が低下し、ペ−スト内の気泡は浮力によって上
昇してペ−ストの上面に達し、脱泡される。
【0013】
【実施例】まず、本発明が適用されるペースト塗布機に
ついて説明する。図2はかかるペ−スト塗布機の一例を
示す斜視図であって、1はノズル、2はペースト収納
筒、3は光学式変位計、4はZ軸テーブル部、5はZ軸
テーブル部支持部、6は基板、7は基板保持部、8はX
軸テーブル部、9はY軸テーブル部、10は架台部であ
る。
ついて説明する。図2はかかるペ−スト塗布機の一例を
示す斜視図であって、1はノズル、2はペースト収納
筒、3は光学式変位計、4はZ軸テーブル部、5はZ軸
テーブル部支持部、6は基板、7は基板保持部、8はX
軸テーブル部、9はY軸テーブル部、10は架台部であ
る。
【0014】同図において、架台部10上にX軸テーブ
ル部8が固定して載置され、このX軸テーブル部8上に
X軸方向に移動可能にY軸テーブル部9が搭載されてい
る。そして、このY軸テーブル部9上に、Y軸方向に移
動可能に、基板保持部7が搭載されている。この基板保
持部7は吸着機能を有し、これに基板6が、例えばその
4辺がX、Y軸に平行となるように、吸着されて固定さ
れている。これらX軸テーブル部8、Y軸テーブル部9
は制御装置(図示せず)によって制御駆動され、X軸テ
ーブル部8が駆動されると、Y軸テーブル部9がX軸方
向に移動して基板保持部7が、従って基板6がX軸方向
に移動し、Y軸テーブル部9が駆動されると、基板6が
Y軸方向に移動する。従って、X軸テーブル部8とY軸
テーブル部9とが制御装置によって制御駆動されること
により、架台部10の面に平行な面内で任意の方向に移
動することができる。
ル部8が固定して載置され、このX軸テーブル部8上に
X軸方向に移動可能にY軸テーブル部9が搭載されてい
る。そして、このY軸テーブル部9上に、Y軸方向に移
動可能に、基板保持部7が搭載されている。この基板保
持部7は吸着機能を有し、これに基板6が、例えばその
4辺がX、Y軸に平行となるように、吸着されて固定さ
れている。これらX軸テーブル部8、Y軸テーブル部9
は制御装置(図示せず)によって制御駆動され、X軸テ
ーブル部8が駆動されると、Y軸テーブル部9がX軸方
向に移動して基板保持部7が、従って基板6がX軸方向
に移動し、Y軸テーブル部9が駆動されると、基板6が
Y軸方向に移動する。従って、X軸テーブル部8とY軸
テーブル部9とが制御装置によって制御駆動されること
により、架台部10の面に平行な面内で任意の方向に移
動することができる。
【0015】一方、架台部10の面上にはZ軸テーブル
部支持部5が搭載されており、このZ軸テーブル部支持
部5にノズル1やペ−ストカートリッジであるペースト
収納筒2、光学式変位計3をZ軸方向(上下方向)に移
動させるZ軸テーブル部4が取り付けられている。ここ
で、ノズル1はペ−スト収納筒2の下端に取り付けられ
ており、光学式変位計3はペ−スト収納筒2の脇に配置
されている。Z軸テ−ブル部4も制御装置によって制御
駆動され、Z軸テ−ブル部4が駆動されると、これらノ
ズル1やペースト収納筒2、光学式変位計3が上下方向
に移動する。
部支持部5が搭載されており、このZ軸テーブル部支持
部5にノズル1やペ−ストカートリッジであるペースト
収納筒2、光学式変位計3をZ軸方向(上下方向)に移
動させるZ軸テーブル部4が取り付けられている。ここ
で、ノズル1はペ−スト収納筒2の下端に取り付けられ
ており、光学式変位計3はペ−スト収納筒2の脇に配置
されている。Z軸テ−ブル部4も制御装置によって制御
駆動され、Z軸テ−ブル部4が駆動されると、これらノ
ズル1やペースト収納筒2、光学式変位計3が上下方向
に移動する。
【0016】かかる構成において、基板6上にペースト
のパターンを描く場合には、まず、Z軸テーブル部4が
制御装置によって駆動制御され、ノズル1の先端を基板
6から所定の高さ位置に固定する。ここでは、この高さ
位置を形成されるペーストパターンの厚み分とする。こ
のようにノズル1の位置が設定された後、制御装置によ
ってX軸テーブル部8とY軸テーブル部9とが駆動制御
されて基板6が上記平面上を移動し、これと共に、ノズ
ル1の先端から単位時間当たり一定の吐出量でペースト
収納筒2のペーストが基板6上に吐出される。これによ
り、基板6上にペーストのパターンが描かれる。
のパターンを描く場合には、まず、Z軸テーブル部4が
制御装置によって駆動制御され、ノズル1の先端を基板
6から所定の高さ位置に固定する。ここでは、この高さ
位置を形成されるペーストパターンの厚み分とする。こ
のようにノズル1の位置が設定された後、制御装置によ
ってX軸テーブル部8とY軸テーブル部9とが駆動制御
されて基板6が上記平面上を移動し、これと共に、ノズ
ル1の先端から単位時間当たり一定の吐出量でペースト
収納筒2のペーストが基板6上に吐出される。これによ
り、基板6上にペーストのパターンが描かれる。
【0017】以下、本発明の実施例を図面によって説明
する。図1は本発明によるペースト塗布機の一実施例の
要部を示す断面図であって、11はペースト、12は気
泡、13はフィルタ、14は支持部、15は排気孔であ
り、図2に対応する部分には同一符号を付けている。
する。図1は本発明によるペースト塗布機の一実施例の
要部を示す断面図であって、11はペースト、12は気
泡、13はフィルタ、14は支持部、15は排気孔であ
り、図2に対応する部分には同一符号を付けている。
【0018】図1において、ペースト収納筒2の側壁内
には、脱泡手段としての筒状のフィルタ13が設けら
れ、このフィルタ13内にペースト11が収納される。
このフィルタ13は、ペ−スト11は通過させず、空気
のみを通過させる選択通過特性を有している。なお、か
かるフィルタ13としては、ジャパンゴアテックス株式
会社製のゴアテックスベントフィルター(商品名)を用
いた。ペースト収納筒2の側壁と筒状のフィルタ13と
の間には、所定数の支持部14が設けられ、この支持部
14によつてフィルタ13がペースト収納筒2内に支持
される。これにより、フィルタ13とペースト収納筒2
の内側壁面との間に空間が形成され、また、ペースト収
納筒2の側壁にこの空間と外部とを連結する排気孔15
が多数設けられている。
には、脱泡手段としての筒状のフィルタ13が設けら
れ、このフィルタ13内にペースト11が収納される。
このフィルタ13は、ペ−スト11は通過させず、空気
のみを通過させる選択通過特性を有している。なお、か
かるフィルタ13としては、ジャパンゴアテックス株式
会社製のゴアテックスベントフィルター(商品名)を用
いた。ペースト収納筒2の側壁と筒状のフィルタ13と
の間には、所定数の支持部14が設けられ、この支持部
14によつてフィルタ13がペースト収納筒2内に支持
される。これにより、フィルタ13とペースト収納筒2
の内側壁面との間に空間が形成され、また、ペースト収
納筒2の側壁にこの空間と外部とを連結する排気孔15
が多数設けられている。
【0019】ペースト収納筒2内に圧縮空気等によって
圧力Pを加えると、その作用により、ペ−スト11はノ
ズル1を介して基板6の上に吐出されるのであるが、こ
のとき、ペ−スト11はフィルタ13に触れながらノズ
ル1の吐出口に向かうため、ペ−スト11に含まれてい
る気泡12は、内圧Pと外部の大気圧との差により、フ
ィルタ13を通過して排気孔15から大気中に排出され
る。即ち、ペ−スト11は、その移動に伴なってフィル
タ13に接した部分から気泡が除去される。
圧力Pを加えると、その作用により、ペ−スト11はノ
ズル1を介して基板6の上に吐出されるのであるが、こ
のとき、ペ−スト11はフィルタ13に触れながらノズ
ル1の吐出口に向かうため、ペ−スト11に含まれてい
る気泡12は、内圧Pと外部の大気圧との差により、フ
ィルタ13を通過して排気孔15から大気中に排出され
る。即ち、ペ−スト11は、その移動に伴なってフィル
タ13に接した部分から気泡が除去される。
【0020】この場合、従来発生していたペ−スト吐出
時の気泡による脈動が発生しないため、ペ−スト11の
吐出精度が低下することはない。また、ノズル1の吐出
口から吐出する脱泡処理後のペ−スト11により、基板
6上にパタ−ンが描かれるため、描かれたパタ−ンに途
切れが生じたり、加熱乾燥工程で基板が汚れたりするの
を防止することができ、不良基板の発生を防ぐことがで
きる。さらに、上記のようにノズル1からの気泡の吐出
を抑制することにより、ペ−スト吐出時の吐出部内の圧
力変動が生じないから、描かれたパタ−ンの縁が波状に
なるようなペーストの吐出量の変動もなく、所望の吐出
量を保つことができる。
時の気泡による脈動が発生しないため、ペ−スト11の
吐出精度が低下することはない。また、ノズル1の吐出
口から吐出する脱泡処理後のペ−スト11により、基板
6上にパタ−ンが描かれるため、描かれたパタ−ンに途
切れが生じたり、加熱乾燥工程で基板が汚れたりするの
を防止することができ、不良基板の発生を防ぐことがで
きる。さらに、上記のようにノズル1からの気泡の吐出
を抑制することにより、ペ−スト吐出時の吐出部内の圧
力変動が生じないから、描かれたパタ−ンの縁が波状に
なるようなペーストの吐出量の変動もなく、所望の吐出
量を保つことができる。
【0021】図3は本発明によるペースト塗布機の他の
実施例の要部を示す断面図であって、16は上円筒、1
7は下円筒、18はT字型配管、18aは脚部、18b
は両腕部であり、図1に対応する部分には同一符号を付
けている。
実施例の要部を示す断面図であって、16は上円筒、1
7は下円筒、18はT字型配管、18aは脚部、18b
は両腕部であり、図1に対応する部分には同一符号を付
けている。
【0022】同図において、ペースト収納筒2は上円筒
16と下円筒17とからなり、これに脱泡する手段とし
てのT字型配管18が取付けられている。T字型配管1
8はペ−スト11を通過せず空気のみ通過させる選択透
過性を有する脱泡部材、例えば、ガラスあるいはセラミ
ックス製のフィルタからなり、その脚部18aが下円筒
17の中空部内に位置付けられ、その両腕部18bが上
円筒16と下円筒17とによって固定されている。
16と下円筒17とからなり、これに脱泡する手段とし
てのT字型配管18が取付けられている。T字型配管1
8はペ−スト11を通過せず空気のみ通過させる選択透
過性を有する脱泡部材、例えば、ガラスあるいはセラミ
ックス製のフィルタからなり、その脚部18aが下円筒
17の中空部内に位置付けられ、その両腕部18bが上
円筒16と下円筒17とによって固定されている。
【0023】ペースト収納筒2内に圧縮空気等によって
圧力Pを加えると、その作用により、ペ−スト11はノ
ズル1を介して基板6の上に吐出されるのであるが、こ
のとき、ペースト11はT字型配管18の周壁に触れな
がらノズル1の吐出口に向かうため、ペースト収納筒2
内の中央付近に存在するペ−スト11中の気泡12は、
内圧Pと大気圧との差により、T字型配管18を通して
大気中に排出される。
圧力Pを加えると、その作用により、ペ−スト11はノ
ズル1を介して基板6の上に吐出されるのであるが、こ
のとき、ペースト11はT字型配管18の周壁に触れな
がらノズル1の吐出口に向かうため、ペースト収納筒2
内の中央付近に存在するペ−スト11中の気泡12は、
内圧Pと大気圧との差により、T字型配管18を通して
大気中に排出される。
【0024】これにより、ペースト収納筒2の内部中央
付近に存在するペ−スト11内の気泡が除去され、ノズ
ル1の吐出口から吐出される脱泡処理後のペ−スト11
によって基板6上にパタ−ンが描かれるため、描かれた
パタ−ンに途切れが生じたり、加熱乾燥工程で基板が汚
れたりするのを防止することができ、不良基板の発生を
防ぐことができる。また、上記のようにノズルからの気
泡の吐出を抑制することにより、ペ−スト吐出時の吐出
部内の圧力に変動が生じないから、所望のペースト吐出
量を保つことができ、描かれたパタ−ンの縁が波状にな
ることがない。
付近に存在するペ−スト11内の気泡が除去され、ノズ
ル1の吐出口から吐出される脱泡処理後のペ−スト11
によって基板6上にパタ−ンが描かれるため、描かれた
パタ−ンに途切れが生じたり、加熱乾燥工程で基板が汚
れたりするのを防止することができ、不良基板の発生を
防ぐことができる。また、上記のようにノズルからの気
泡の吐出を抑制することにより、ペ−スト吐出時の吐出
部内の圧力に変動が生じないから、所望のペースト吐出
量を保つことができ、描かれたパタ−ンの縁が波状にな
ることがない。
【0025】なお、この実施例では、T字型配管18全
体をフィルタとして構成したが、T字型配管18の一部
にフィルタが組み込まれるようにしてもよい。
体をフィルタとして構成したが、T字型配管18の一部
にフィルタが組み込まれるようにしてもよい。
【0026】図4は本発明によるペースト塗布機のさら
に他の実施例の要部を示す断面図であって、19は接続
部材であり、図1に対応する部分には同一符号を付けて
重複する説明を省略する。
に他の実施例の要部を示す断面図であって、19は接続
部材であり、図1に対応する部分には同一符号を付けて
重複する説明を省略する。
【0027】同図において、ノズル1とペースト収納筒
2とが中空部を有する接続部材19によって連結されて
いる。この接続部材19の上部はフィルタ13で構成さ
れている。
2とが中空部を有する接続部材19によって連結されて
いる。この接続部材19の上部はフィルタ13で構成さ
れている。
【0028】ペースト収納筒2内のペ−スト11は、圧
力により、接続部材19内を通過してノズル1の吐出口
から基板6上に吐出されるが、この接続部材19内を通
過する際、ペ−スト11はフィルタ13に触れながら進
み、ペ−スト11のフィルタ13に触れる部分に混入し
ている気泡12が、内圧Pと大気圧との差により、フィ
ルタ13を通って大気中に排出される。
力により、接続部材19内を通過してノズル1の吐出口
から基板6上に吐出されるが、この接続部材19内を通
過する際、ペ−スト11はフィルタ13に触れながら進
み、ペ−スト11のフィルタ13に触れる部分に混入し
ている気泡12が、内圧Pと大気圧との差により、フィ
ルタ13を通って大気中に排出される。
【0029】従って、ノズル1の吐出口から吐出される
脱泡処理後のペ−スト11によって基板6上にパタ−ン
が描かれるため、描かれたパタ−ンに途切れが生じた
り、加熱乾燥工程で基板が汚れたりすることがなく、不
良基板の発生を防ぐことができる。また、上記のよう
に、ノズル1からの気泡の吐出が抑制されるから、ペ−
スト吐出時の吐出部内の圧力変動が発生せず、所望のペ
−スト吐出量が保たれて描かれたパタ−ンの縁が波状に
なることもない。さらに、ペ−スト11が通過する接続
部材19内の中空部が図1及び図3に示した実施例での
フィルタに比べて狭く、従って、フィルタ13とペ−ス
ト11との接触面積が大きくなるため、脱泡効果が高く
なって小さな気泡でも充分除くことができる。
脱泡処理後のペ−スト11によって基板6上にパタ−ン
が描かれるため、描かれたパタ−ンに途切れが生じた
り、加熱乾燥工程で基板が汚れたりすることがなく、不
良基板の発生を防ぐことができる。また、上記のよう
に、ノズル1からの気泡の吐出が抑制されるから、ペ−
スト吐出時の吐出部内の圧力変動が発生せず、所望のペ
−スト吐出量が保たれて描かれたパタ−ンの縁が波状に
なることもない。さらに、ペ−スト11が通過する接続
部材19内の中空部が図1及び図3に示した実施例での
フィルタに比べて狭く、従って、フィルタ13とペ−ス
ト11との接触面積が大きくなるため、脱泡効果が高く
なって小さな気泡でも充分除くことができる。
【0030】なお、この実施例では、接続部材19の上
部のみをフィルタ13で構成するようにしたが、この接
続部材19の一部分または全体を脱泡部材(フィルタ)
によって構成してもよい。
部のみをフィルタ13で構成するようにしたが、この接
続部材19の一部分または全体を脱泡部材(フィルタ)
によって構成してもよい。
【0031】図5は本発明によるペースト塗布機のさら
に他の実施例の要部を示す断面図であって、20はヒー
タであり、図1に対応する部分には同一符号を付けて重
複する説明を省略する。
に他の実施例の要部を示す断面図であって、20はヒー
タであり、図1に対応する部分には同一符号を付けて重
複する説明を省略する。
【0032】同図において、ノズル1及びペースト収納
筒2の外周には、ヒータ20が設けられている。ペース
ト収納筒2内にペ−スト11が充填されると、ヒータ2
0が通電され、これによってノズル1及びペースト収納
筒2が加熱される。ノズル1及びペースト収納筒2が加
熱されると、これらに収納されているペ−スト11が温
められてその粘度は低くなり、また、ペ−スト11内の
気泡12が膨張して浮力を増し、これによってペースト
11内を上昇してペ−スト11の上面から排出される。
ヒータ20によって既定時間加熱されていると、ペース
ト11から気泡12が充分排出されることになり、圧力
Pを加えることにより、このようにして気泡12が除去
されたペ−スト11の吐出が行われる。
筒2の外周には、ヒータ20が設けられている。ペース
ト収納筒2内にペ−スト11が充填されると、ヒータ2
0が通電され、これによってノズル1及びペースト収納
筒2が加熱される。ノズル1及びペースト収納筒2が加
熱されると、これらに収納されているペ−スト11が温
められてその粘度は低くなり、また、ペ−スト11内の
気泡12が膨張して浮力を増し、これによってペースト
11内を上昇してペ−スト11の上面から排出される。
ヒータ20によって既定時間加熱されていると、ペース
ト11から気泡12が充分排出されることになり、圧力
Pを加えることにより、このようにして気泡12が除去
されたペ−スト11の吐出が行われる。
【0033】従って、ノズル1の吐出口から吐出される
充分脱泡処理されたペ−スト11によって基板6上にパ
タ−ンを描くことができるため、描かれたパタ−ンに途
切れが生じたり、加熱乾燥工程で基板が汚れたりするこ
とがなく、不良基板の発生を防ぐことができる。また、
上記のように、ノズル1からの気泡の吐出を抑制するこ
とにより、ペ−スト吐出時の吐出部内の圧力変動が生じ
ないため、所望のペースト吐出量を保つことができ、描
かれたパタ−ンの縁が波状になることもない。さらに、
ヒータによってペ−スト全体を加熱するものであるか
ら、脱泡効率を非常に高くすることができ、図1,図
3,図4に示した実施例に比べて、ペ−スト内全体の脱
泡が可能となる。
充分脱泡処理されたペ−スト11によって基板6上にパ
タ−ンを描くことができるため、描かれたパタ−ンに途
切れが生じたり、加熱乾燥工程で基板が汚れたりするこ
とがなく、不良基板の発生を防ぐことができる。また、
上記のように、ノズル1からの気泡の吐出を抑制するこ
とにより、ペ−スト吐出時の吐出部内の圧力変動が生じ
ないため、所望のペースト吐出量を保つことができ、描
かれたパタ−ンの縁が波状になることもない。さらに、
ヒータによってペ−スト全体を加熱するものであるか
ら、脱泡効率を非常に高くすることができ、図1,図
3,図4に示した実施例に比べて、ペ−スト内全体の脱
泡が可能となる。
【0034】図6は本発明によるペースト塗布機のさら
に他の実施例の要部を示す構成図であって、21は気泡
検出手段、22a、22bは電極、23は比較回路、2
4、25はスイッチ、26、27は電源、Trはトラン
ジスタ、R1〜R3は抵抗であり、図1に対応する部分
には同一符号を付けて重複する説明を省略する。
に他の実施例の要部を示す構成図であって、21は気泡
検出手段、22a、22bは電極、23は比較回路、2
4、25はスイッチ、26、27は電源、Trはトラン
ジスタ、R1〜R3は抵抗であり、図1に対応する部分
には同一符号を付けて重複する説明を省略する。
【0035】同図において、この実施例では、図5に示
した実施例と同様、ヒータ20の加熱によってペースト
11内の気泡12を取り除くものであるが、さらに、気
泡検出手段21を設け、気泡12が除かれると、これを
検出して自動的にヒータ20による加熱を停止するよう
にする。
した実施例と同様、ヒータ20の加熱によってペースト
11内の気泡12を取り除くものであるが、さらに、気
泡検出手段21を設け、気泡12が除かれると、これを
検出して自動的にヒータ20による加熱を停止するよう
にする。
【0036】ペースト11内に気泡12が存在するとき
と存在しないときとでペ−ストの電気抵抗値が異なる。
この気泡検出手段21は図示するように構成されてお
り、ペースト11の電気抵抗値を測定することにより、
ペースト11内に気泡12が有るか否かを検出する。
と存在しないときとでペ−ストの電気抵抗値が異なる。
この気泡検出手段21は図示するように構成されてお
り、ペースト11の電気抵抗値を測定することにより、
ペースト11内に気泡12が有るか否かを検出する。
【0037】即ち、電源27はヒータ20を通電するた
めの電源であって、スイッチ25が閉じてトランジスタ
Trがオンしているときには、電源27からスイッチ2
5、抵抗R3、ヒータ20、トランジスタTrで形成さ
れる回路を電流が流れ、ヒータ20が通電される。抵抗
R3はこの通電電流を調整するためのものである。ま
た、電源26は電極22a、22b用の電源であって、
スイッチ24が閉じているときには、電源26から抵抗
R1を介して電極22a、22bに電圧が印加される。
電源26の電源電圧は抵抗R2によって分圧され、基準
電圧として比較回路23に供給される。また、電極22
a、22b間に生ずる電圧が比較回路23に供給されて
基準電圧と比較され、これらのレベルに所定以上の差が
あると、トランジスタTrをオンする。
めの電源であって、スイッチ25が閉じてトランジスタ
Trがオンしているときには、電源27からスイッチ2
5、抵抗R3、ヒータ20、トランジスタTrで形成さ
れる回路を電流が流れ、ヒータ20が通電される。抵抗
R3はこの通電電流を調整するためのものである。ま
た、電源26は電極22a、22b用の電源であって、
スイッチ24が閉じているときには、電源26から抵抗
R1を介して電極22a、22bに電圧が印加される。
電源26の電源電圧は抵抗R2によって分圧され、基準
電圧として比較回路23に供給される。また、電極22
a、22b間に生ずる電圧が比較回路23に供給されて
基準電圧と比較され、これらのレベルに所定以上の差が
あると、トランジスタTrをオンする。
【0038】ペースト収納筒2内にペースト11が充填
されると、スイッチ24、25をオンにする。ここで、
抵抗R1、R2の抵抗値は、ペースト収納筒2内に気泡
12が除かれたペースト11が充填されているときに比
較回路23の2つの入力レベルがほぼ等しくなるよう
に、夫々前もって設定されている。ペースト収納筒2内
にペースト11が新たに充填されたときには、このペー
スト11に気泡12が存在するから、電極22a、22
b間の抵抗は大きく、これによって生ずる電圧降下は抵
抗R2からの基準電圧よりも大きい。このため、トラン
ジスタTrはオンし、ヒータ20が通電されてペースト
11を加熱する。従って、図5に示した実施例と同様
に、ペースト11の粘度が低下し、気泡12が膨張して
ペースト11から排出される。
されると、スイッチ24、25をオンにする。ここで、
抵抗R1、R2の抵抗値は、ペースト収納筒2内に気泡
12が除かれたペースト11が充填されているときに比
較回路23の2つの入力レベルがほぼ等しくなるよう
に、夫々前もって設定されている。ペースト収納筒2内
にペースト11が新たに充填されたときには、このペー
スト11に気泡12が存在するから、電極22a、22
b間の抵抗は大きく、これによって生ずる電圧降下は抵
抗R2からの基準電圧よりも大きい。このため、トラン
ジスタTrはオンし、ヒータ20が通電されてペースト
11を加熱する。従って、図5に示した実施例と同様
に、ペースト11の粘度が低下し、気泡12が膨張して
ペースト11から排出される。
【0039】ペースト11内から気泡12が排出される
につれてペースト11の電気抵抗が小さくなり、電極2
2a、22b間の電圧降下が小さくなって抵抗R2から
の基準電圧に近づいてくる。そして、これら電圧の差が
所定値(例も含む)以下になると、トランジスタTrが
オフし、ヒータ20の通電が停止してこれによる加熱が
終る。このようにして、ペースト11中の気泡12がな
くなると、自動的にヒータ20による加熱が終る。ま
た、ペースト収納筒2内に新たなペースト11が注入さ
れると、比較回路23がトランジスタTrをオンにし、
ヒータ20による加熱が始まる。
につれてペースト11の電気抵抗が小さくなり、電極2
2a、22b間の電圧降下が小さくなって抵抗R2から
の基準電圧に近づいてくる。そして、これら電圧の差が
所定値(例も含む)以下になると、トランジスタTrが
オフし、ヒータ20の通電が停止してこれによる加熱が
終る。このようにして、ペースト11中の気泡12がな
くなると、自動的にヒータ20による加熱が終る。ま
た、ペースト収納筒2内に新たなペースト11が注入さ
れると、比較回路23がトランジスタTrをオンにし、
ヒータ20による加熱が始まる。
【0040】ここで、電極22a、22bはノズル1の
近傍に、また、ヒータ20はノズル1のペースト吐出口
の近傍に夫々設けられている。これにより、ノズル1の
ペースト吐出口の近くからペースト11の気泡12を取
り除くことができる。
近傍に、また、ヒータ20はノズル1のペースト吐出口
の近傍に夫々設けられている。これにより、ノズル1の
ペースト吐出口の近くからペースト11の気泡12を取
り除くことができる。
【0041】以上のように、この実施例では、図5に示
した実施例と同様の効果に加えて、ペースト内の気泡の
排出を充分かつ自動的、効率的に行なわせることがで
き、このため、省電力化も可能となる。
した実施例と同様の効果に加えて、ペースト内の気泡の
排出を充分かつ自動的、効率的に行なわせることがで
き、このため、省電力化も可能となる。
【0042】なお、トランジスタTrがオフするととも
にペースト収納筒2内に圧力が加えられて、基板6上で
パターンが描かれ始めるようにしてもよい。
にペースト収納筒2内に圧力が加えられて、基板6上で
パターンが描かれ始めるようにしてもよい。
【0043】また、この実施例では、気泡検出手段はペ
−ストの電気抵抗値の変化により、即ちペーストの電気
的特性を利用して気泡の存在を検出するものであった
が、気泡の存在を計測できるものであれば、他の手法、
例えば磁気,静電気,超音波等の手法を用いて気泡の存
在を検出するようにしてもよい。
−ストの電気抵抗値の変化により、即ちペーストの電気
的特性を利用して気泡の存在を検出するものであった
が、気泡の存在を計測できるものであれば、他の手法、
例えば磁気,静電気,超音波等の手法を用いて気泡の存
在を検出するようにしてもよい。
【0044】以上、本発明の実施例を説明したが、これ
ら実施例を任意の組み合わせることもでき、これによっ
てより脱泡効果の高いペ−スト塗布機を得ることもでき
る。
ら実施例を任意の組み合わせることもでき、これによっ
てより脱泡効果の高いペ−スト塗布機を得ることもでき
る。
【0045】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
気泡を除去したペ−ストによってパタ−ン描画を行なう
ことができるから、描画時に生じるパタ−ンの途切れや
加熱乾燥工程での基板の汚れを防止することができ、従
って、不良基板の発生を防ぐことができる。また、ペ−
スト吐出時の吐出部内の圧力変動が生じないため、所望
のペースト吐出量を保つことができて、描かれたパタ−
ンの縁が波状になることもない。
気泡を除去したペ−ストによってパタ−ン描画を行なう
ことができるから、描画時に生じるパタ−ンの途切れや
加熱乾燥工程での基板の汚れを防止することができ、従
って、不良基板の発生を防ぐことができる。また、ペ−
スト吐出時の吐出部内の圧力変動が生じないため、所望
のペースト吐出量を保つことができて、描かれたパタ−
ンの縁が波状になることもない。
【図1】本発明によるペ−スト塗布機の一実施例の要部
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図2】本発明が適用可能なペースト塗布機の全体構成
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図3】本発明によるペ−スト塗布機の他の実施例の要
部を示す断面図である。
部を示す断面図である。
【図4】本発明によるペ−スト塗布機のさらに他の実施
例の要部を示す断面図である。
例の要部を示す断面図である。
【図5】本発明によるペ−スト塗布機のさらに他の実施
例の要部を示す断面図である。
例の要部を示す断面図である。
【図6】本発明によるペ−スト塗布機のさらに他の実施
例の要部を示す構成図である。
例の要部を示す構成図である。
1 ノズル 2 ペースト収納筒 3 光学変位計 4 Z軸テ−ブル部 5 Z軸テ−ブル部支持部 6 基板 7 基板保持器 8 X軸テ−ブル部 9 Y軸テ−ブル部 10 架台部 11 ペ−スト 12 気泡 13 フィルタ 14 支持部 15 排気孔 16 上円筒 17 下円筒 18 T字型配管 19 接続部材 20 ヒータ 21 気泡検出手段 22a、22b 電極 23 比較器
フロントページの続き (72)発明者 三階 春夫 茨城県竜ケ崎市向陽台5丁目2番 日立テ クノエンジニアリング株式会社開発研究所 内 (72)発明者 今井 はる恵 茨城県竜ケ崎市向陽台5丁目2番 日立テ クノエンジニアリング株式会社開発研究所 内
Claims (5)
- 【請求項1】 ペースト収納筒の先端に設けられたノズ
ルのペースト吐出口に対向させて基板を移動可能なテ−
ブル上に保持し、該ノズルから該ペースト収納筒に充填
されたペ−ストを吐出させながら該基板を該ノズルと相
対的に移動させ、該基板上にペーストによる所望のパタ
−ンを描画するペースト塗布機において、 該ノズルの吐出口からペーストが吐出される際に、該吐
出口からの気泡の吐出を抑制する吐出抑制手段を設けた
ことを特徴とするペースト塗布機。 - 【請求項2】 請求項1において、前記気泡の吐出抑制
手段は、 前記ペースト収納筒及び前記ノズルの内部の少なくとも
一方に設けられ、前記ペーストを阻止して空気のみを通
すフィルタと、 該フィルタを通過した空気を大気中に放出する通路とか
らなり、前記ペ−スト収納筒に収納された前記ペースト
中の空気を該通路から大気中に排出することができるよ
うに構成したことを特徴とするペースト塗布機。 - 【請求項3】 請求項1において、前記気泡の吐出抑制
手段は、 前記ペ−スト収納筒と前記ノズルとを連結する部材であ
って、中空部を有し、少なくとも一部が前記ペ−ストを
阻止し、空気のみを通すフィルタを有し、 該フィルタにより、前記ペ−スト収納筒から前記ノズル
にわたって収納されたペースト中の気泡を抽出して大気
中に排出することができるように構成したことを特徴と
するペースト塗布機。 - 【請求項4】 請求項1において、前記気泡の吐出抑制
手段は、 前記ペ−スト収納筒または前記ノズルの周壁に設けたペ
−ストを加熱する手段を有することを特徴とするペース
ト塗布機。 - 【請求項5】 請求項4において、 前記ノズル近傍に前記ペ−スト内の気泡を検出する手段
を設けたことを特徴とするペ−スト塗布機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35051691A JPH05161864A (ja) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | ペースト塗布機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35051691A JPH05161864A (ja) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | ペースト塗布機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05161864A true JPH05161864A (ja) | 1993-06-29 |
Family
ID=18411028
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35051691A Pending JPH05161864A (ja) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | ペースト塗布機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05161864A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011031176A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Casio Computer Co Ltd | 吐出ノズル、吐出装置、気泡の検出方法及び気泡の除去方法 |
JP2011031175A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Casio Computer Co Ltd | 塗布装置 |
CN102540579A (zh) * | 2010-12-21 | 2012-07-04 | 塔工程有限公司 | 涂布机 |
JP2012135711A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-19 | Toyota Motor Corp | 塗布装置 |
KR20170125781A (ko) * | 2017-11-06 | 2017-11-15 | (주)햇빛일루콤 | 디스펜서 및 이를 이용한 광 실린더 제조 방법 |
US10725236B2 (en) | 2014-12-23 | 2020-07-28 | Hatbit Illucom Co., Ltd. | Light cylinder, dispenser, and light cylinder manufacturing method |
-
1991
- 1991-12-11 JP JP35051691A patent/JPH05161864A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011031176A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Casio Computer Co Ltd | 吐出ノズル、吐出装置、気泡の検出方法及び気泡の除去方法 |
JP2011031175A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Casio Computer Co Ltd | 塗布装置 |
CN102540579A (zh) * | 2010-12-21 | 2012-07-04 | 塔工程有限公司 | 涂布机 |
JP2012135711A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-19 | Toyota Motor Corp | 塗布装置 |
US10725236B2 (en) | 2014-12-23 | 2020-07-28 | Hatbit Illucom Co., Ltd. | Light cylinder, dispenser, and light cylinder manufacturing method |
KR20170125781A (ko) * | 2017-11-06 | 2017-11-15 | (주)햇빛일루콤 | 디스펜서 및 이를 이용한 광 실린더 제조 방법 |
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