JPH0516172B2 - - Google Patents

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JPH0516172B2
JPH0516172B2 JP59010083A JP1008384A JPH0516172B2 JP H0516172 B2 JPH0516172 B2 JP H0516172B2 JP 59010083 A JP59010083 A JP 59010083A JP 1008384 A JP1008384 A JP 1008384A JP H0516172 B2 JPH0516172 B2 JP H0516172B2
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JP
Japan
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processed
plasma
air
substrate
core solenoid
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP59010083A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPS60154620A (ja
Inventor
Noriaki Yamamoto
Fumio Shibata
Norio Kanai
Sadayuki Okudaira
Shigeru Nishimatsu
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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JPS60154620A JPS60154620A (ja) 1985-08-14
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