JPH05160730A - 半導体テスト装置 - Google Patents
半導体テスト装置Info
- Publication number
- JPH05160730A JPH05160730A JP3325988A JP32598891A JPH05160730A JP H05160730 A JPH05160730 A JP H05160730A JP 3325988 A JP3325988 A JP 3325988A JP 32598891 A JP32598891 A JP 32598891A JP H05160730 A JPH05160730 A JP H05160730A
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- digital
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＤＡコンバータ出力波形の歪み率測定を歪み
率計による人手測定に代わり簡略的に行うことにより、
測定装置の自動化を行うことを目的とする。 【構成】 被測定ＤＡコンバータ１１の出力波形の基本
波をカットする高周波検出器１２と残った高調波成分を
増幅する高周波増幅器１３と、その出力を整流して高調
波の振幅の大きさの相対値を直流電圧として取り出す全
波整流器１４と、その出力をディジタル値として検出す
る電圧検出器１５とを備えたことを特徴とする。 【効果】 アナログ特性である歪み率をディジタル値と
して検出することができるので、測定の自動化をし多数
のＤＡコンバータを測定する場合の時間の短縮が図れる
効果がある。
率計による人手測定に代わり簡略的に行うことにより、
測定装置の自動化を行うことを目的とする。 【構成】 被測定ＤＡコンバータ１１の出力波形の基本
波をカットする高周波検出器１２と残った高調波成分を
増幅する高周波増幅器１３と、その出力を整流して高調
波の振幅の大きさの相対値を直流電圧として取り出す全
波整流器１４と、その出力をディジタル値として検出す
る電圧検出器１５とを備えたことを特徴とする。 【効果】 アナログ特性である歪み率をディジタル値と
して検出することができるので、測定の自動化をし多数
のＤＡコンバータを測定する場合の時間の短縮が図れる
効果がある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体テスト装置に利
用する。特に、ディジタルアナログ変換器（以下、ＤＡ
コンバータという）のテスト装置に関する。
用する。特に、ディジタルアナログ変換器（以下、ＤＡ
コンバータという）のテスト装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＤＡコンバータの特性を決める主
なパラメータに歪み率およびリニアリティがある。歪み
率に関しては、図４に示すように、ローパスフィルタ４
２により被測定器のＤＡコンバータ４１から出力される
周波数以上の信号をカットするが、実際には完全にはカ
ットできず高周波成分が残り、これが歪みの原因にな
る。そして、ローパスフィルタ４２の出力を歪み率計４
３に入力する。歪み率計４３により決められたサイン波
形をＤＡコンバータ４１の出力として歪み率計４３に入
力することにより歪み率を測定することができる。ま
た、リニアリティに関しては、サイン波データにかかわ
らず任意のディジタル値をＤＡコンバータ４１に入力
し、その出力のアナログ値をディジタルマルチメータ４
４で測定し、前記任意のディジタル値に対応したアナロ
グ期待値との誤差がどの程度あるかを測定評価する。
なパラメータに歪み率およびリニアリティがある。歪み
率に関しては、図４に示すように、ローパスフィルタ４
２により被測定器のＤＡコンバータ４１から出力される
周波数以上の信号をカットするが、実際には完全にはカ
ットできず高周波成分が残り、これが歪みの原因にな
る。そして、ローパスフィルタ４２の出力を歪み率計４
３に入力する。歪み率計４３により決められたサイン波
形をＤＡコンバータ４１の出力として歪み率計４３に入
力することにより歪み率を測定することができる。ま
た、リニアリティに関しては、サイン波データにかかわ
らず任意のディジタル値をＤＡコンバータ４１に入力
し、その出力のアナログ値をディジタルマルチメータ４
４で測定し、前記任意のディジタル値に対応したアナロ
グ期待値との誤差がどの程度あるかを測定評価する。
【０００３】しかし、いずれも種々の測定器を用い人間
の手により特性の評価を行っているので、リニアリティ
に関しては、図５に示すようにパターンジェネレータ５
１、通信機能を持ったディジタルマルチメータ５７をパ
ーソナルコンピュータ５８の制御により自動測定化が可
能であるが、歪み率に関しては、必ず歪み率計を使って
人手による特性評価を行わなければならず、多数のＤＡ
コンバータを測定しその良否を判定するような場合に人
手と時間がかかりすぎる欠点がある。
の手により特性の評価を行っているので、リニアリティ
に関しては、図５に示すようにパターンジェネレータ５
１、通信機能を持ったディジタルマルチメータ５７をパ
ーソナルコンピュータ５８の制御により自動測定化が可
能であるが、歪み率に関しては、必ず歪み率計を使って
人手による特性評価を行わなければならず、多数のＤＡ
コンバータを測定しその良否を判定するような場合に人
手と時間がかかりすぎる欠点がある。
【０００４】また、ＬＳＩの製造過程で大型テスタ等で
自動選別する場合では、リニアリティに関してはアナロ
グ専用テスタ等によりＤＡコンバータの出力のアナログ
値を測定してその結果より良否を判定している。歪み率
に関しても同様にアナログテスタ等に歪み率計を搭載し
測定する等の方法を取らなければならない。しかし、か
なりの規模のディジタル回路を有するＬＳＩに内蔵され
たＤＡコンバータの良否を判定する場合にアナログテス
タではディジタル回路の良否を判定するのには不十分な
場合がある。また、ディジタル専用テスタではアナログ
テスタに比べてアナログ値の精度が悪く、ＤＡコンバー
タの良否の判定が困難であるためにディジタル系の選別
とＤＡコンバータの選別とを分けなくてはならず、時間
がかかりすぎる欠点がある。
自動選別する場合では、リニアリティに関してはアナロ
グ専用テスタ等によりＤＡコンバータの出力のアナログ
値を測定してその結果より良否を判定している。歪み率
に関しても同様にアナログテスタ等に歪み率計を搭載し
測定する等の方法を取らなければならない。しかし、か
なりの規模のディジタル回路を有するＬＳＩに内蔵され
たＤＡコンバータの良否を判定する場合にアナログテス
タではディジタル回路の良否を判定するのには不十分な
場合がある。また、ディジタル専用テスタではアナログ
テスタに比べてアナログ値の精度が悪く、ＤＡコンバー
タの良否の判定が困難であるためにディジタル系の選別
とＤＡコンバータの選別とを分けなくてはならず、時間
がかかりすぎる欠点がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来のＤＡコンバータ
の評価および良否の判定法では特定の測定器を使用しな
ければならないので、自動化が困難であるばかりでな
く、大規模なディジタルＩＣに搭載された場合に、ディ
ジタル回路の良否の判定とＤＡコンバータの良否の判定
とを個別に行わなくてはならず、良否の判定に膨大な時
間がかかる欠点があった。
の評価および良否の判定法では特定の測定器を使用しな
ければならないので、自動化が困難であるばかりでな
く、大規模なディジタルＩＣに搭載された場合に、ディ
ジタル回路の良否の判定とＤＡコンバータの良否の判定
とを個別に行わなくてはならず、良否の判定に膨大な時
間がかかる欠点があった。
【０００６】本発明は、このような欠点を除去するもの
で、ＤＡコンバータ出力波形の歪み率測定を簡略的に行
える半導体テスト装置を提供することを目的とする。
で、ＤＡコンバータ出力波形の歪み率測定を簡略的に行
える半導体テスト装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、多数個の大規
模集積回路に装着され出力端子をもつディジタルアナロ
グ変換器を被測定対象とする半導体テスト装置におい
て、上記ディジタルアナログ変換器の出力波形から高調
波成分を抽出する高調波検出器と、この高調波検出器で
抽出された高調波成分を増幅する増幅器である高周波増
幅器と、この増幅器で増幅された高調波成分の実効値に
相当の直流電圧を生成する整流器と、この整流器で生成
された直流電圧と上記多数個の大規模集積回路のうちで
基準となるひとつに装着されるディジタルアナログ変換
器を別の手段で測定した歪み率との相関で求まる歪み率
をディジタル値として生成する電圧検出器とを備えたこ
とを特徴とする。
模集積回路に装着され出力端子をもつディジタルアナロ
グ変換器を被測定対象とする半導体テスト装置におい
て、上記ディジタルアナログ変換器の出力波形から高調
波成分を抽出する高調波検出器と、この高調波検出器で
抽出された高調波成分を増幅する増幅器である高周波増
幅器と、この増幅器で増幅された高調波成分の実効値に
相当の直流電圧を生成する整流器と、この整流器で生成
された直流電圧と上記多数個の大規模集積回路のうちで
基準となるひとつに装着されるディジタルアナログ変換
器を別の手段で測定した歪み率との相関で求まる歪み率
をディジタル値として生成する電圧検出器とを備えたこ
とを特徴とする。
【０００８】
【作用】被測定ＤＡコンバータの出力波形の基本波をハ
イパスフィルタでカットし、残った高調波成分を高周波
増幅器で増幅した後に整流器で整流して高調波の振幅の
大きさの相対値を直流電圧として取り出し、電圧検出器
その出力をディジタル値として検出する。
イパスフィルタでカットし、残った高調波成分を高周波
増幅器で増幅した後に整流器で整流して高調波の振幅の
大きさの相対値を直流電圧として取り出し、電圧検出器
その出力をディジタル値として検出する。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。図１は本発明の測定装置の構成図、図２
はディジタルテスタ上で実際の測定に使用する回路図を
示す。本発明の測定装置は、図１に示すように、測定対
象となるＤＡコンバータ１１、高調波検出器１２、高周
波増幅器１３、全波整流器１４、電圧検出器１５より構
成される。
して説明する。図１は本発明の測定装置の構成図、図２
はディジタルテスタ上で実際の測定に使用する回路図を
示す。本発明の測定装置は、図１に示すように、測定対
象となるＤＡコンバータ１１、高調波検出器１２、高周
波増幅器１３、全波整流器１４、電圧検出器１５より構
成される。
【００１０】この実施例は、図１に示すように、多数個
の大規模集積回路に装着され出力端子をもつディジタル
アナログ変換器を被測定対象とし、上記ディジタルアナ
ログ変換器の出力波形から高調波成分を抽出する高調波
検出器１２と、この高調波検出器１２で抽出された高調
波成分を増幅する増幅器である高周波増幅器１３と、こ
の増幅器１３で増幅された高調波成分の実効値に相当の
直流電圧を生成する整流器である全波整流器１４と、こ
の全波整流器１４で生成された直流電圧と上記多数個の
大規模集積回路のうちで基準となるひとつに装着される
ディジタルアナログ変換器を別の手段で測定した歪み率
との相関で求まる歪み率をディジタル値として生成する
電圧検出器１５とを備える。
の大規模集積回路に装着され出力端子をもつディジタル
アナログ変換器を被測定対象とし、上記ディジタルアナ
ログ変換器の出力波形から高調波成分を抽出する高調波
検出器１２と、この高調波検出器１２で抽出された高調
波成分を増幅する増幅器である高周波増幅器１３と、こ
の増幅器１３で増幅された高調波成分の実効値に相当の
直流電圧を生成する整流器である全波整流器１４と、こ
の全波整流器１４で生成された直流電圧と上記多数個の
大規模集積回路のうちで基準となるひとつに装着される
ディジタルアナログ変換器を別の手段で測定した歪み率
との相関で求まる歪み率をディジタル値として生成する
電圧検出器１５とを備える。
【００１１】次に、この実施例の動作を説明する。ディ
ジタル波形データをＤＡコンバータ１１に入力すること
により、その出力からは入力したデータに伴ったアナロ
グ波形が出力される。ＤＡコンバータ１１の出力波形の
高調波成分を高調波検出器１２により取り出し、利得Ａ
ｖを持った高周波増幅器１３で増幅することにより高調
波成分の実効値の約Ａｖ倍の電圧が得られる。そこに、
電圧検出器１５を接続すれば、高周波成分の大きさをデ
ィジタル信号に変えることができる。ＤＡコンバータ１
１を歪み率計で測定した歪み率と電圧検出器１５で検出
した電圧との相関を取ることにより本測定回路で歪み率
の絶対測定が可能になる。
ジタル波形データをＤＡコンバータ１１に入力すること
により、その出力からは入力したデータに伴ったアナロ
グ波形が出力される。ＤＡコンバータ１１の出力波形の
高調波成分を高調波検出器１２により取り出し、利得Ａ
ｖを持った高周波増幅器１３で増幅することにより高調
波成分の実効値の約Ａｖ倍の電圧が得られる。そこに、
電圧検出器１５を接続すれば、高周波成分の大きさをデ
ィジタル信号に変えることができる。ＤＡコンバータ１
１を歪み率計で測定した歪み率と電圧検出器１５で検出
した電圧との相関を取ることにより本測定回路で歪み率
の絶対測定が可能になる。
【００１２】次に、図２を用いて測定しなくてはならな
いＤＡコンバータの歪み率の良否を判定するのにディジ
タルテスタを使用する場合の応用例を説明する。この場
合の回路構成は、図１とほぼ同様でディジタルテスタか
らの波形データをラッチするデータラッチ２１、測定対
象となるＤＡコンバータ２２、ローパスフィルタ２３、
ハイパスフィルタ２４、高周波増幅器２５、全波整流器
２６、電圧検出器２７より構成される。まず、テスタド
ライブ端子よりテストパターンとしてのサイン波のデー
タをラッチ２１を介してＤＡコンバータ２２に入力す
る。このときにＤＡコンバータ２２にデータを同時に入
力するために図３に示すようなタイミングでクロックを
入力する。
いＤＡコンバータの歪み率の良否を判定するのにディジ
タルテスタを使用する場合の応用例を説明する。この場
合の回路構成は、図１とほぼ同様でディジタルテスタか
らの波形データをラッチするデータラッチ２１、測定対
象となるＤＡコンバータ２２、ローパスフィルタ２３、
ハイパスフィルタ２４、高周波増幅器２５、全波整流器
２６、電圧検出器２７より構成される。まず、テスタド
ライブ端子よりテストパターンとしてのサイン波のデー
タをラッチ２１を介してＤＡコンバータ２２に入力す
る。このときにＤＡコンバータ２２にデータを同時に入
力するために図３に示すようなタイミングでクロックを
入力する。
【００１３】ここで、ＤＡコンバータ２２のサンプリン
グ周波数をｆｓとするとＤＡコンバータ２２に入力する
ディジタルデータのサイン波の周波数はｆｓ／２以下に
する。また、サイン波のフーリエ級数展開より以下の式
が成り立つ。
グ周波数をｆｓとするとＤＡコンバータ２２に入力する
ディジタルデータのサイン波の周波数はｆｓ／２以下に
する。また、サイン波のフーリエ級数展開より以下の式
が成り立つ。
【００１４】
【数１】 この式より、基本波に対し高調波成分（ｎ≧２）の振幅
の増加により基本波形（ｎ＝１）が歪むことが分かる。
そこで、ローパスフィルタ２３で基本波の高調波成分以
外のノイズ成分と基本波に対し周波数の十分高い高調波
（ｎが大）をカットする。次に、高調波成分をハイパス
フィルタ２４により取り出す。この操作によりｎ＝１以
外の信号を取り出すことができ、それを高調波増幅器２
５で増幅し全波整流器２６で整流することによりＤＣ電
圧を得ることができる。その出力電圧と実際のＤＡコン
バータの歪み率との対応データ（歪み率が何％のときに
本発明の装置の全波整流器２６の出力電圧は何ｖになる
というようなデータ）により電圧検出器２７の検出電圧
を設定する。出力サイン波の歪みが増えるに従い高調波
成分が大きくなるとすれば、歪みの多いＤＡコンバータ
では全波整流器２６の出力電圧が大きくなり、電圧検出
器２７により設定検出電圧（＝歪み率）を越えるか否か
のディジタルデータに変換できる。そこで、電圧検出器
２７の設定電圧を越えた場合にはディジタルデータの
「１」、越えない場合にはディジタルデータの「０」に
相当する出力を出すようにしてディジタル専用テスタの
コンパレータ端子に接続する。サイン波のデータを入力
している期間のコンパレータ端子の期待値を「０」に設
定すれば、ＤＡコンバータの特性が良く高調波成分が小
さければ電圧検出器２７で検出されないので電圧検出器
２７の出力は「０」となり、良品に判定し、またＤＡコ
ンバータの特性が悪く高調波成分が大きいと電圧検出器
２７の出力は「１」となり、不良品に判定することがで
きる。
の増加により基本波形（ｎ＝１）が歪むことが分かる。
そこで、ローパスフィルタ２３で基本波の高調波成分以
外のノイズ成分と基本波に対し周波数の十分高い高調波
（ｎが大）をカットする。次に、高調波成分をハイパス
フィルタ２４により取り出す。この操作によりｎ＝１以
外の信号を取り出すことができ、それを高調波増幅器２
５で増幅し全波整流器２６で整流することによりＤＣ電
圧を得ることができる。その出力電圧と実際のＤＡコン
バータの歪み率との対応データ（歪み率が何％のときに
本発明の装置の全波整流器２６の出力電圧は何ｖになる
というようなデータ）により電圧検出器２７の検出電圧
を設定する。出力サイン波の歪みが増えるに従い高調波
成分が大きくなるとすれば、歪みの多いＤＡコンバータ
では全波整流器２６の出力電圧が大きくなり、電圧検出
器２７により設定検出電圧（＝歪み率）を越えるか否か
のディジタルデータに変換できる。そこで、電圧検出器
２７の設定電圧を越えた場合にはディジタルデータの
「１」、越えない場合にはディジタルデータの「０」に
相当する出力を出すようにしてディジタル専用テスタの
コンパレータ端子に接続する。サイン波のデータを入力
している期間のコンパレータ端子の期待値を「０」に設
定すれば、ＤＡコンバータの特性が良く高調波成分が小
さければ電圧検出器２７で検出されないので電圧検出器
２７の出力は「０」となり、良品に判定し、またＤＡコ
ンバータの特性が悪く高調波成分が大きいと電圧検出器
２７の出力は「１」となり、不良品に判定することがで
きる。
【００１５】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように、ＤＡコ
ンバータの歪み率に関し良否を判定する際に歪み率計を
使用せず判定でき、本発明の回路を使用することにより
自動化が実現し易くなり、測定時間の短縮が図れる効果
がある。
ンバータの歪み率に関し良否を判定する際に歪み率計を
使用せず判定でき、本発明の回路を使用することにより
自動化が実現し易くなり、測定時間の短縮が図れる効果
がある。
【図１】本発明実施例の構成を示すブロック構成図。
【図２】本発明実施例の応用例の構成を示すブロック構
成図。
成図。
【図３】図２に示す応用例の動作を示すタイミングチャ
ート。
ート。
【図４】従来例の構成を示すブロック構成図。
【図５】従来例の構成を示すブロック構成図。
１１ ＤＡコンバータ １２ 高調波検出器 １３ 高周波増幅器 １４ 全波整流器 １５ 電圧検出器 ２１ データラッチ ２２ ＤＡコンバータ ２３ ローパスフィルタ ２４ ハイパスフィルタ ２５ 高周波増幅器 ２６ 全波整流器 ２７ 電圧検出器 ４１ ＤＡコンバータ ４２ ローパスフィルタ ４３ 歪み率計 ４４ ディジタルマルチメータ ５１ パターンジェネレータ ５２ ＤＡコンバータ（被測定） ５３ ＤＡコンバータ（基準） ５４ ローパスフィルタ ５５ ローパスフィルタ ５６ アナログ演算器 ５７ ディジタルマルチメータ ５８ パーソナルコンピュータ
Claims (1)
- 【請求項１】 多数個の大規模集積回路に装着され出力
端子をもつディジタルアナログ変換器を被測定対象とす
る半導体テスト装置において、 上記ディジタルアナログ変換器の出力波形から高調波成
分を抽出する高調波検出器と、 この高調波検出器で抽出された高調波成分を増幅する増
幅器である高周波増幅器と、 この増幅器で増幅された高調波成分の実効値に相当の直
流電圧を生成する整流器と、 この整流器で生成された直流電圧と上記多数個の大規模
集積回路のうちで基準となるひとつに装着されるディジ
タルアナログ変換器を別の手段で測定した歪み率との相
関で求まる歪み率をディジタル値として生成する電圧検
出器とを備えたことを特徴とする半導体テスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3325988A JPH05160730A (ja) | 1991-12-10 | 1991-12-10 | 半導体テスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3325988A JPH05160730A (ja) | 1991-12-10 | 1991-12-10 | 半導体テスト装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05160730A true JPH05160730A (ja) | 1993-06-25 |
Family
ID=18182843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3325988A Pending JPH05160730A (ja) | 1991-12-10 | 1991-12-10 | 半導体テスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05160730A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007333478A (ja) * | 2006-06-13 | 2007-12-27 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 半導体集積回路の検査装置及びその検査方法 |
-
1991
- 1991-12-10 JP JP3325988A patent/JPH05160730A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007333478A (ja) * | 2006-06-13 | 2007-12-27 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 半導体集積回路の検査装置及びその検査方法 |
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