JPH0515494U - 電磁遮蔽板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】電磁遮蔽効果が高く、透視性が良好であり、し
かも導電膜の付着強度、耐擦過性、耐侯性に優れた電磁
遮蔽板を提供することを目的とする。 【構成】透明板状体に導電層を網目状に形成した電磁遮
蔽板において、該導電層は透明導電膜の上に無電解めっ
きを施した構造とし、該導電層の幅を１〜３ｍｍ、網目
間隔を５〜１０ｍｍとするとともに、該導電層の幅をｗ
（ｍｍ）としたときに、開口率を８０−１０ｗ（％）以
下としたことを特徴とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、電磁波を遮蔽し、電波障害を防止するための電磁遮蔽板に関するも のである。

【０００２】

【従来技術とその問題点】

従来、電磁遮蔽効果を高めるため金属線を織って網目状に形成した金属格子を ２枚の板の間に設けた合わせタイプあるいは複層タイプの電磁遮蔽ガラスがしら れているが、厚みが増すのは避けられず、しかも織った構造であるので、金属線 が接触していないか、接触不良部分があり電磁遮蔽効果を損なう恐れがあった。

【０００３】 また、実開昭６２−１８６４９８号には、透明基板の少なくとも片面に印刷さ れた、導電性微粒子を含むインキよりなる格子状の導電メッシュとで構成された 電磁遮蔽板が提案されている。

【０００４】 しかしながら、このような電磁遮蔽板は金属の粒子を含むインキにより導電性 メッシュを構成するものであるから、導電物が粗く電磁遮蔽効果を損なうばかり か、パターン間隔が明細書の記載によると、０．１〜３．０ｍｍであるので、透 視性が悪く窓ガラスなどとして使用するには不適当である。

【０００５】 本考案はこのような点に鑑みてなされたものであり、電磁遮蔽効果が高く、透 視性が良好であり、しかも導電膜の付着強度、耐擦過性、耐侯性に優れた電磁遮 蔽板を提供することを目的とする。

【０００６】

【問題点を解決するための手段】

本考案は透明板状体に導電層を網目状に形成した電磁遮蔽板において、該導電 層は透明導電膜の上に無電解めっきを施した構造とし、該導電層の幅を１〜３ｍ ｍ、網目間隔を５〜１０ｍｍとするとともに、該導電層の幅をｗ（ｍｍ）とした ときに、開口率を８０−１０ｗ（％）以下としたことを特徴とする。

【０００７】

【作用】

本発明はＩＴＯ膜、ＮＥＳＡ膜などの透明導電膜の上に無電解メッキ法で銅、 ニッケル、コバルトなどの金属をメッキすることにより、耐侯性、耐擦過性を向 上させるとともに、膜の付着強度も高め、さらに膜の抵抗を低減させ電磁遮蔽効 果をも高める。

【０００８】 また、導電層の幅を１〜３ｍｍ、網目間隔を５〜１０ｍｍとすることによって 、電磁遮蔽効果を低下させず、透視性をも充分確保することができるものである 。

【０００９】 また、実施例１の膜構成の導電層の幅を１ｍｍ、２ｍｍ、３ｍｍの場合につい て開口率と５００ＭＨｚにおける遮蔽効果との関係を測定したところ、図３に示 すような結果が得られた。なお、遮蔽効果はＫＥＣ（関西電子工業振興センター ）法により測定した。

【００１０】 この結果から明らかなように、開口率−遮蔽効果特性は直線的に変化しており 、しかも導電層の幅に対してほぼ等間隔で平行に変化しており、インテリジェン スビル等で要求される遮蔽性能３０ｄＢ以上を満足させるためには、該導電層の 幅をｗ（ｍｍ）としたときに、開口率を８０−１０ｗ（％）以下とすればよいこ とを見出した。

【００１１】

【実施例】

以下、図面を参照しながら、本考案を詳細に説明する。 図１、図２はそれぞれ本考案の実施例における電磁遮蔽板の一部を示す平面図 と図１のＡ−Ａ線における断面図である。

【００１２】 実施例１ 図１、図２に示すように、ソーダ石灰ガラスなどの厚さ１．１ｍｍ、２０ｃｍ 角の透明板状体１上にスパッタ法、真空蒸着着法、あるいはＣＶＤ法などにより ＩＴＯ膜、ＮＥＳＡなどの透明導電膜２を全面に形成し、通常のエッチング法に より透明導電膜の幅を２ｍｍ、網目の間隔を８ｍｍにパターニングする。

【００１３】 次いで、この、パターニングされた透明導電膜上に耐メッキレジストを塗布し 、硫酸銅・５水和物１０ｇ／ｌ、エチレンジアミン四酢酸３０ｇ／ｌ、ホルマリ ン３ｍｌ／ｌ、ゲルマニウム酸ナトリウム０．５ｇ／ｌ、ポリエチレングリコー ル２０ｍ１／ｌから構成されるめっき液を７０°Ｃに調整し、前記基板を浸積、 ０．１μｍ厚さの銅皮膜を全面にめっきし、透明導電膜が生成されていない部分 は銅めっき層の付着力が弱いので、その後水洗することにより、透明導電膜２に 銅のめっき層３が被覆された導電層４を、幅ｗを２ｍｍ、網目の間隔Ｌを８ｍｍ の網目状パターンとして形成する。

【００１４】 このようにして得られた電磁遮蔽板５は開口率が約５６．３％であり、５００ ＭＨｚにおける遮蔽効果はＫＥＣ法により測定したところ、約３１ｄＢとなり良 好な電磁遮蔽性能を示すとともに、透視性も良好であった。

【００１５】 実施例２ 実施例１同様、ソーダ石灰ガラスなどの厚さ１．１ｍｍ、２０ｃｍ角の透明板 状体１上に透明導電膜２を全面に形成し、通常のエッチング法により透明導電膜 の幅を１ｍｍ、網目の間隔を６ｍｍにパターニングする。

【００１６】 次いで、この、パターニングされた透明導電膜上に塩化ニッケル０．０２モル ／ｌ、酒石酸ナトリウム０．０２モル／ｌ、ヒドラジン１モル／ｌから構成され るめっき液を９０°Ｃに調整し、前記基板を浸積、０．１μｍ厚さのニッケル皮 膜を全面にめっきし、透明導電膜が生成されていない部分はニッケルめっき層の 付着力が弱いので、その後水洗することにより、透明導電膜２にニッケルのめっ き層３が被覆された導電層４を、幅ｗを１ｍｍ、網目の間隔Ｌを６ｍｍの網目状 パターンとして形成する。

【００１７】 このようにして得られた電磁遮蔽板５は開口率が約６９．４％であり、５００ ＭＨｚにおける遮蔽効果はＫＥＣ法により測定したところ、約３０ｄＢとなり良 好な電磁遮蔽性能を示すとともに、透視性も良好であった。

【００１８】 実施例３ 実施例１同様、ソーダ石灰ガラスなどの厚さ１．１ｍｍ、２０ｃｍ角の透明板 状体１上に透明導電膜２を全面に形成し、通常のエッチング法により透明導電膜 の幅を３ｍｍ、網目の間隔を１０ｍｍにパターニングする。 を５ｍｍにパターニングする 次いで、この、パターニングされた透明導電膜上に硫酸銅・５水和物１０ｇ／ ｌ、エチレンジアミン四酢酸３０ｇ／ｌ、ホルマリン３ｍｌ／ｌ、ゲルマニウム 酸ナトリウム０．５ｇ／ｌ、ポリエチレングリコール２０ｍ１／ｌから構成され るめっき液を７０°Ｃに調整し、前記基板を浸積、０．１μｍ厚さの銅皮膜を全 面にめっきし、さらに、塩化ニッケル０．０２モル／ｌ、酒石酸ナトリウム０． ０２モル／ｌ、ヒドラジン１モル／ｌから構成されるめっき液を９０°Ｃに調整 し、前記基板を浸積、０．１μｍ厚さのニッケル皮膜を全面にめっきし、透明導 電膜が生成されていない部分は銅めっき層とニッケルめっき層の付着力が弱いの で、その後水洗することにより、透明導電膜に銅とニッケルのめっき層が被覆さ れた導電層を、幅ｗを３ｍｍ、網目の間隔Ｌを１０ｍｍの網目状パターンとして 形成する。

【００１９】 このようにして得られた電磁遮蔽板は開口率が約４９％であり、５００ＭＨｚ における遮蔽効果はＫＥＣ法により測定したところ、約３１ｄＢとなり良好な電 磁遮蔽性能を示すとともに、透視性も良好であった。

【００２０】 以上、好適な実施例により説明したが、本考案はこれらに限定されるものでは なく、種々の応用が可能である。 透明板状体について、板ガラス以外にもアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂 等の透明な樹脂も採用することができる。

【００２１】 透明導電膜については、ＩＴＯ膜、ＮＡＳＡ膜等が使用できるが、無電解めっ き層との付着力が強いＩＴＯ膜が好ましい。 無電解めっき層については、銅めっき層、ニッケルめっき層以外にも、コバル トめっき層、パラジウムめっき層などを通常の方法により、成膜してもよい。

【００２２】 導電層のパターンについて、実施例に示したように、縦横の線条を組合せた格 子模様以外にも、斜めにクロスさせた格子模様、開口部を円形あるいは楕円形状 に形成した模様など各種に網目模様を採用することができる。この場合に網目の 間隔Ｌ、導電層の幅ｗは必ずしも同一とする必要はなく、ｗは１〜３ｍｍ、Ｌは ５〜１０ｍｍの範囲で開口率が８０−１０ｗ（％）以下を満足するように適宜選 択すればよい。

【００２３】 また、本実施例では、遮蔽性能を測定する便宜上、２０ｃｍ角のサイズの電磁 遮蔽板について説明したが、。厚さを３〜５ｍｍとして、１９００ｍｍ×２４０ ０ｍｍなど大型の電磁遮蔽板として、インテリジェンスビルなどに応用できるの は言うまでもない。

【００２４】

【考案の効果】

本考案の電磁遮蔽板は、電磁遮蔽効果が高いにもかかわらず、透視性が良好で あり、しかも導電膜の付着強度、耐擦過性、耐侯性に優れているので、合わせあ るいは複層構造の遮蔽板としては勿論単板ガラスなどに応用することができるも のである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例における電磁遮蔽板の一部を示
す平面図である。

【図２】実施例における図１のＡ−Ａ線における断面図
である。

【図３】本考案の実施例１の膜構成の導電層の幅を１ｍ
ｍ、２ｍｍ、３ｍｍの場合について開口率と５００ＭＨ
ｚにおける遮蔽効果との関係を示す特性図である。

【符号の説明】

１ 透明板状体 ２ 透明導電膜 ３ めっき層 ４ 導電層 ５ 電磁遮蔽板

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】透明板状体に導電層を網目状に形成した電
   磁遮蔽板において、該導電層は透明導電膜の上に無電解
   めっきを施した構造とし、該導電層の幅を１〜３ｍｍ、
   網目間隔を５〜１０ｍｍとするとともに、該導電層の幅
   をｗ（ｍｍ）としたときに、開口率を８０−１０ｗ
   （％）以下としたことを特徴とする電磁遮蔽板。