JPH05154719A - プローブピンの製造装置 - Google Patents
プローブピンの製造装置Info
- Publication number
- JPH05154719A JPH05154719A JP34034691A JP34034691A JPH05154719A JP H05154719 A JPH05154719 A JP H05154719A JP 34034691 A JP34034691 A JP 34034691A JP 34034691 A JP34034691 A JP 34034691A JP H05154719 A JPH05154719 A JP H05154719A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid level
- electrolytic bath
- lowered
- probe pin
- electrolytic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ピンを電解エッチングする電解槽の電解液の
液面制御が容易で且つ多様な電解条件に対応し得るプロ
ーブピンの製造装置を提供する。 【構成】 Ｐｄ合金、Ｂｅ−Ｃｕ合金等の金属線を陽極
とし、電解エッチング法によってプローブピンを製造す
る電解装置に於いて、電解槽の下部に可撓連結管にて前
記電解槽よりも断面積が小さく且つ長い垂直な細管を接
続し、この細管を減速機付電動機により上下させること
により電解槽の液面を制御するようにしたプローブピン
の製造装置。
液面制御が容易で且つ多様な電解条件に対応し得るプロ
ーブピンの製造装置を提供する。 【構成】 Ｐｄ合金、Ｂｅ−Ｃｕ合金等の金属線を陽極
とし、電解エッチング法によってプローブピンを製造す
る電解装置に於いて、電解槽の下部に可撓連結管にて前
記電解槽よりも断面積が小さく且つ長い垂直な細管を接
続し、この細管を減速機付電動機により上下させること
により電解槽の液面を制御するようにしたプローブピン
の製造装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣ回路の導通検査に
用いるプローブカード内の接触子、つまりプローブピン
を製造する装置に関する。
用いるプローブカード内の接触子、つまりプローブピン
を製造する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】プローブピンは、直径0.1 〜0.3mm程度
のピンの先端２〜５mmを円錐形に加工した後、カードに
装着される。プローブピンには、形状が均一で曲がりが
ないことが要求される為、通常電解エッチングによって
製造され、先端を円錐形に仕上げるべく一定の速度で液
面を下げながら、またはピンを電解液から引き上げなが
らの電解エッチングが行われている。即ち、電解開始時
にはピンの先端２〜５mmを電解液中に浸漬させておき、
次第に浸漬する部分が減少し、最後に電解液と接しなく
なる時点をもって電解終了とする方法である。電解時間
は、電流にもよるが10〜30分程度であり、液面を下げる
には定量ポンプを用いて電解液を汲み出す方式が一般的
である。
のピンの先端２〜５mmを円錐形に加工した後、カードに
装着される。プローブピンには、形状が均一で曲がりが
ないことが要求される為、通常電解エッチングによって
製造され、先端を円錐形に仕上げるべく一定の速度で液
面を下げながら、またはピンを電解液から引き上げなが
らの電解エッチングが行われている。即ち、電解開始時
にはピンの先端２〜５mmを電解液中に浸漬させておき、
次第に浸漬する部分が減少し、最後に電解液と接しなく
なる時点をもって電解終了とする方法である。電解時間
は、電流にもよるが10〜30分程度であり、液面を下げる
には定量ポンプを用いて電解液を汲み出す方式が一般的
である。
【０００３】ところで、プローブピンはその仕様によっ
て材質、径、加工する先端部の長さがまちまちである
為、電解液の汲み出しも含めた電解条件をその都度設定
しなければならない。しかも液面を下げる（またはピン
を引き上げる）速度は、毎分0.05〜0.5mm という割合で
ある為、制御が難しく、定量ポンプで電解液を汲み出す
以外の方法は適用しにくい。また、ポンプを使用した場
合、電解条件が異なれば、それに合わせて流量設定を変
えてやらなければならないが、流量可変のポンプでも設
定できる流量には限度がある為、多様な電解条件を１つ
のポンプで全てカバーすることができないという問題が
あった。
て材質、径、加工する先端部の長さがまちまちである
為、電解液の汲み出しも含めた電解条件をその都度設定
しなければならない。しかも液面を下げる（またはピン
を引き上げる）速度は、毎分0.05〜0.5mm という割合で
ある為、制御が難しく、定量ポンプで電解液を汲み出す
以外の方法は適用しにくい。また、ポンプを使用した場
合、電解条件が異なれば、それに合わせて流量設定を変
えてやらなければならないが、流量可変のポンプでも設
定できる流量には限度がある為、多様な電解条件を１つ
のポンプで全てカバーすることができないという問題が
あった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、電解
槽の電解液面の制御が容易で且つ多様な電解条件に対応
し得るプローブピンの製造装置を提供しようとするもの
である。
槽の電解液面の制御が容易で且つ多様な電解条件に対応
し得るプローブピンの製造装置を提供しようとするもの
である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明のプローブピンの製造装置は、Ｐｄ合金、Ｂｅ
−Ｃｕ合金等の金属線を陽極とし、電解エッチング法に
よってプローブピンを製造する電解装置に於いて、電解
槽に可撓連結管にて前記電解槽よりも断面積が小さく且
つ長い垂直な細管を接続し、この細管を減速機付電動機
により上下させることにより電解槽の液面を制御するよ
うにしたことを特徴とするものである。
の本発明のプローブピンの製造装置は、Ｐｄ合金、Ｂｅ
−Ｃｕ合金等の金属線を陽極とし、電解エッチング法に
よってプローブピンを製造する電解装置に於いて、電解
槽に可撓連結管にて前記電解槽よりも断面積が小さく且
つ長い垂直な細管を接続し、この細管を減速機付電動機
により上下させることにより電解槽の液面を制御するよ
うにしたことを特徴とするものである。
【０００６】
【作用】上記構成の本発明のプローブピンの製造装置
は、電解槽と可撓連結管で接続された細管の電解液面の
高さは、パスカルの原理によって同一となる。この状態
から減速機付電動機により細管を下降させると、液面を
同一高さに保とうとして電解槽より可撓連結管を通して
細管に電解液が流れ込み、電解槽の液面が低下する。液
面が下がる度合は次の式で与えられる。
は、電解槽と可撓連結管で接続された細管の電解液面の
高さは、パスカルの原理によって同一となる。この状態
から減速機付電動機により細管を下降させると、液面を
同一高さに保とうとして電解槽より可撓連結管を通して
細管に電解液が流れ込み、電解槽の液面が低下する。液
面が下がる度合は次の式で与えられる。
【０００７】
【外１】 ｈ ：細管の下降距離 Ｓ ：電解槽の断面積 Ｓ′：細管の断面積 ここでＳ：Ｓ′が100:１以上あれば近似的に
【０００８】
【外２】 とみなせるので、上式は
【０００９】
【外３】 と表わせる。従って、例えば液面を３mm下降させたけれ
ば電解槽と細管の断面積の比が100:１の装置の場合、30
0mm 細管を下降させてやれば良い。
ば電解槽と細管の断面積の比が100:１の装置の場合、30
0mm 細管を下降させてやれば良い。
【００１０】このように細管を大きく動かして僅かな液
面の変化を得ることができるので、液面の制御が容易で
ある。
面の変化を得ることができるので、液面の制御が容易で
ある。
【００１１】かかるプローブピンの製造装置によりプロ
ーブピンを製造すべく電解槽の電解液中にピンの先端を
２〜５mm浸漬させ、電解を行いながら細管を減速機付電
動機により次第に下降させることにより電解槽から細管
へ電解液が流れ込み、電解槽の液面が次第に下降し、ピ
ンの浸漬部分が減少し、最終的にピンの尖端が電解液と
接触しなくなる時点で電解が終了する。
ーブピンを製造すべく電解槽の電解液中にピンの先端を
２〜５mm浸漬させ、電解を行いながら細管を減速機付電
動機により次第に下降させることにより電解槽から細管
へ電解液が流れ込み、電解槽の液面が次第に下降し、ピ
ンの浸漬部分が減少し、最終的にピンの尖端が電解液と
接触しなくなる時点で電解が終了する。
【００１２】尚、細管を下降する速度は、電動機の回転
数及び／又は細管を吊垂した糸の巻取りプーリーの径を
変えることにより制御することができる。
数及び／又は細管を吊垂した糸の巻取りプーリーの径を
変えることにより制御することができる。
【００１３】電解槽は円筒形、桝形など断面が上下方向
で一定形状のものが用いられ、可撓連結管は電解槽の下
部に設けるのが良く、細管はガラス管などの径が上下方
向で一定した透明管が好ましい。
で一定形状のものが用いられ、可撓連結管は電解槽の下
部に設けるのが良く、細管はガラス管などの径が上下方
向で一定した透明管が好ましい。
【００１４】電解槽と細管の断面積の比は20：１〜100
0：１位が良く、 100：１（両者共円形の断面として内
径比10：１）、400 ：１（両者共円形の断面として内径
比20：１）等に設定しておくと、特に条件設定がし易
い。
0：１位が良く、 100：１（両者共円形の断面として内
径比10：１）、400 ：１（両者共円形の断面として内径
比20：１）等に設定しておくと、特に条件設定がし易
い。
【００１５】
【実施例】本発明のプローブピンの製造装置の一実施例
を図によって説明すると、図１に示すように内径100mm
、高さ200mm の円筒形ガラス容器を電解槽１とし、こ
の電解槽１の下部に設けた連結口２にシリコンチューブ
の可撓連結管３の一端を接続し、可撓連結管３の他端に
内径10mm、長さ600mm のガラス製細管４を連結し、この
ガラス製細管４を塩化ビニール板５に装着固定の上、塩
化ビニール板５をナイロン糸６で吊垂してガラス製細管
４を垂直にし、ナイロン糸６は減速機７付電動機８の出
力軸９上に設けた巻取りプーリー10に連結してある。
を図によって説明すると、図１に示すように内径100mm
、高さ200mm の円筒形ガラス容器を電解槽１とし、こ
の電解槽１の下部に設けた連結口２にシリコンチューブ
の可撓連結管３の一端を接続し、可撓連結管３の他端に
内径10mm、長さ600mm のガラス製細管４を連結し、この
ガラス製細管４を塩化ビニール板５に装着固定の上、塩
化ビニール板５をナイロン糸６で吊垂してガラス製細管
４を垂直にし、ナイロン糸６は減速機７付電動機８の出
力軸９上に設けた巻取りプーリー10に連結してある。
【００１６】前記電解槽１内には下部に陰極11をセット
した上、電解液（シアン化カリウム50ｇ／ｌ、水酸化カ
リウム20ｇ／ｌ、フェロシアン化カリウム50ｇ／ｌ、界
面活性剤５ml／ｌ）12を１ｌを入れて50℃に保ち、上部
に直径 0.2mmのＰｄ合金のピン13を陽極として４本セッ
トし、その先端を電解液12中に３mm浸漬した。そして0.
5Ａの電流で20分間電解し、この電解中に電動機８を駆
動し、減速機７にて減速してナイロン糸６を繰り出し、
塩化ビニール板５に装着固定されたガラス製細管４を15
mm／分の割合で下降させ、20分で 300mm下降させた。そ
の結果、電解槽１中の電解液12が可撓連結管３を通して
ガラス製細管４に流れ込み、電解槽１の液面が３mm低下
してピン13と接触しなくなり、電解が終了した。
した上、電解液（シアン化カリウム50ｇ／ｌ、水酸化カ
リウム20ｇ／ｌ、フェロシアン化カリウム50ｇ／ｌ、界
面活性剤５ml／ｌ）12を１ｌを入れて50℃に保ち、上部
に直径 0.2mmのＰｄ合金のピン13を陽極として４本セッ
トし、その先端を電解液12中に３mm浸漬した。そして0.
5Ａの電流で20分間電解し、この電解中に電動機８を駆
動し、減速機７にて減速してナイロン糸６を繰り出し、
塩化ビニール板５に装着固定されたガラス製細管４を15
mm／分の割合で下降させ、20分で 300mm下降させた。そ
の結果、電解槽１中の電解液12が可撓連結管３を通して
ガラス製細管４に流れ込み、電解槽１の液面が３mm低下
してピン13と接触しなくなり、電解が終了した。
【００１７】次に他の実施例について説明すると、前記
実施例と同一の装置の電解槽１に、Ｂｅ−Ｃｕ合金のピ
ン13を陽極としてセットし、その先端を電解液12中に３
mm浸漬した。そして 0.5Ａの電流で 2.5分間電解し、こ
の電解中に電動機10の回転数を前記実施例の８倍に上
げ、ガラス製細管４を120mm/分の割合で下降させ、2.5
分間 300mm下降させた。その結果、電解槽１中の電解液
12が可撓連結管３を通してガラス製細管４に流れ込み、
電解槽１の液面が３mm低下してピン13と接触しなくな
り、電解が終了した。
実施例と同一の装置の電解槽１に、Ｂｅ−Ｃｕ合金のピ
ン13を陽極としてセットし、その先端を電解液12中に３
mm浸漬した。そして 0.5Ａの電流で 2.5分間電解し、こ
の電解中に電動機10の回転数を前記実施例の８倍に上
げ、ガラス製細管４を120mm/分の割合で下降させ、2.5
分間 300mm下降させた。その結果、電解槽１中の電解液
12が可撓連結管３を通してガラス製細管４に流れ込み、
電解槽１の液面が３mm低下してピン13と接触しなくな
り、電解が終了した。
【００１８】以上のようにして電解エッチングが行われ
て製造されたプローブピンは形状の整った良好なもので
あった。
て製造されたプローブピンは形状の整った良好なもので
あった。
【００１９】
【発明の効果】以上の通り本発明のプローブピンの製造
装置は、電解槽に接続した細管の動きによって電解槽内
の電解液の液面制御を容易に行えるので、形状の整った
プローブピンを容易に得ることができる。また電解条件
の変化に対応できるので、種々の仕様のプローブピンを
容易に製造できる。
装置は、電解槽に接続した細管の動きによって電解槽内
の電解液の液面制御を容易に行えるので、形状の整った
プローブピンを容易に得ることができる。また電解条件
の変化に対応できるので、種々の仕様のプローブピンを
容易に製造できる。
【図１】本発明のプローブピンの製造装置の一実施例を
示す図である。
示す図である。
１ 電解槽 ３ 可撓連結管 ４ ガラス製細管 ９ 減速機 10 電動機 11 陰極 12 電解液 13 ピン
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｐｄ合金、Ｂｅ−Ｃｕ合金等の金属線を
陽極とし、電解エッチング法によってプローブピンを製
造する電解装置に於いて、電解槽の下部に可撓連結管に
て前記電解槽よりも断面積が小さく且つ長い垂直な細管
を接続し、この細管を減速機付電動機により上下させる
ことにより電解槽の液面を制御するようにしたことを特
徴とするプローブピンの製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34034691A JPH05154719A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | プローブピンの製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34034691A JPH05154719A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | プローブピンの製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05154719A true JPH05154719A (ja) | 1993-06-22 |
Family
ID=18336060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34034691A Pending JPH05154719A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | プローブピンの製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05154719A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008149886A1 (ja) | 2007-06-06 | 2008-12-11 | Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. | プローブピン用材料 |
| WO2009107289A1 (ja) | 2008-02-27 | 2009-09-03 | 田中貴金属工業株式会社 | 硬度、加工性、並びに、防汚特性に優れたイリジウム合金 |
| WO2010137690A1 (ja) | 2009-05-29 | 2010-12-02 | 田中貴金属工業株式会社 | 接触抵抗、防汚特性に優れるプローブピン用途に好適な銀合金 |
| US9297833B2 (en) | 2011-02-08 | 2016-03-29 | Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. | Rhodium alloy having excellent hardness, processability and antifouling properties and suitable for wire rod for probe pins |
-
1991
- 1991-11-29 JP JP34034691A patent/JPH05154719A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008149886A1 (ja) | 2007-06-06 | 2008-12-11 | Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. | プローブピン用材料 |
| EP2159581A1 (en) * | 2007-06-06 | 2010-03-03 | Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. | Material for probe pin |
| EP2159581A4 (en) * | 2007-06-06 | 2011-06-29 | Tanaka Precious Metal Ind | MATERIAL FOR PROBE POINT |
| US8310254B2 (en) | 2007-06-06 | 2012-11-13 | Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. | Probe pin |
| WO2009107289A1 (ja) | 2008-02-27 | 2009-09-03 | 田中貴金属工業株式会社 | 硬度、加工性、並びに、防汚特性に優れたイリジウム合金 |
| US9063173B2 (en) | 2008-02-27 | 2015-06-23 | Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. | Iridium alloy excellent in hardness, workability and anti-contamination properties |
| WO2010137690A1 (ja) | 2009-05-29 | 2010-12-02 | 田中貴金属工業株式会社 | 接触抵抗、防汚特性に優れるプローブピン用途に好適な銀合金 |
| US8591805B2 (en) | 2009-05-29 | 2013-11-26 | Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. | Silver alloy having excellent contact resistance and antifouling property and suitable for use in probe pin |
| US9297833B2 (en) | 2011-02-08 | 2016-03-29 | Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. | Rhodium alloy having excellent hardness, processability and antifouling properties and suitable for wire rod for probe pins |
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