JPH05150838A - 移動テーブルの制御方法および制御装置 - Google Patents
移動テーブルの制御方法および制御装置Info
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- JPH05150838A JPH05150838A JP3310892A JP31089291A JPH05150838A JP H05150838 A JPH05150838 A JP H05150838A JP 3310892 A JP3310892 A JP 3310892A JP 31089291 A JP31089291 A JP 31089291A JP H05150838 A JPH05150838 A JP H05150838A
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- Japan
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- moving table
- gain
- target position
- control
- mobile table
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、移動テーブルをフィードバック制御
で高速に、かつ高精度に位置決めできる移動テーブルの
制御方法および制御装置を提供する。 【構成】移動テーブル２１の目標位置ｘ0 と現在位置ｘ
との偏差Δｘ＝（ｘ0 −ｘ）を零に制御するフィードバ
ック制御ループを備えた移動テーブルの制御装置におい
て、一定の期間Δｔ毎に、期間Δｔ内の｜ｘ0−ｘ｜ま
たは（ｘ0 −ｘ）2 の平均値をＣＰＵ２４で求め、求め
られた平均値が予め定められた値より小さいときにフィ
ードバック制御ループに介挿されたアッテネータ２６の
ゲインを１段階大きくしている。
で高速に、かつ高精度に位置決めできる移動テーブルの
制御方法および制御装置を提供する。 【構成】移動テーブル２１の目標位置ｘ0 と現在位置ｘ
との偏差Δｘ＝（ｘ0 −ｘ）を零に制御するフィードバ
ック制御ループを備えた移動テーブルの制御装置におい
て、一定の期間Δｔ毎に、期間Δｔ内の｜ｘ0−ｘ｜ま
たは（ｘ0 −ｘ）2 の平均値をＣＰＵ２４で求め、求め
られた平均値が予め定められた値より小さいときにフィ
ードバック制御ループに介挿されたアッテネータ２６の
ゲインを１段階大きくしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、移動テーブルを高速
に、かつ高精度に位置決めする移動テーブルの制御方法
および制御装置に関する。
に、かつ高精度に位置決めする移動テーブルの制御方法
および制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、超ＬＳＩの製造過程には
露光装置を用いる工程がある。露光装置の使用によっ
て、マスクに描かれている電子回路パターンがウェハ上
に転写される。このような露光工程では、パターンの微
細化に伴って、マスクとウェハとの位置合わせを高速度
に、かつ高精度に行う必要が生じている。すなわち、ウ
ェハを支持した移動テーブルを高速に移動させるととも
に高精度に位置決めする制御技術が必要となっている。
露光装置を用いる工程がある。露光装置の使用によっ
て、マスクに描かれている電子回路パターンがウェハ上
に転写される。このような露光工程では、パターンの微
細化に伴って、マスクとウェハとの位置合わせを高速度
に、かつ高精度に行う必要が生じている。すなわち、ウ
ェハを支持した移動テーブルを高速に移動させるととも
に高精度に位置決めする制御技術が必要となっている。
【０００３】ところで、従来は図５に示すように、通常
のフィードバック制御によって移動テーブルの位置決め
を行う方式が採用されている。すなわち、移動テーブル
１をモータ２の出力で駆動するとともに、移動テーブル
１の近傍に移動テーブル１の現在位置ｘを計測するレー
ザ干渉計３を設けている。そして、システムあるいは装
置全体の動作を管理するコンピュータ（以下、ＣＰＵと
略称する。）からレーザ干渉計３の制御部に目標位置ｘ
0 が与えられと、レーザ干渉計３の制御部は計測された
現在位置ｘと目標位置ｘ0 との偏差（ｘ0 −ｘ）に比例
したデジタル信号を出力する。このデジタル信号はＤＡ
コンバータ５によってアナログ信号に変換された後、比
例回路や積分回路で構成された補償回路７を経由してパ
ワーアンプ７に入力される。そして、パワーアンプ７の
出力がモータ２に与えられ、これによって移動テーブル
１が目標位置ｘ0 に位置決めされる。
のフィードバック制御によって移動テーブルの位置決め
を行う方式が採用されている。すなわち、移動テーブル
１をモータ２の出力で駆動するとともに、移動テーブル
１の近傍に移動テーブル１の現在位置ｘを計測するレー
ザ干渉計３を設けている。そして、システムあるいは装
置全体の動作を管理するコンピュータ（以下、ＣＰＵと
略称する。）からレーザ干渉計３の制御部に目標位置ｘ
0 が与えられと、レーザ干渉計３の制御部は計測された
現在位置ｘと目標位置ｘ0 との偏差（ｘ0 −ｘ）に比例
したデジタル信号を出力する。このデジタル信号はＤＡ
コンバータ５によってアナログ信号に変換された後、比
例回路や積分回路で構成された補償回路７を経由してパ
ワーアンプ７に入力される。そして、パワーアンプ７の
出力がモータ２に与えられ、これによって移動テーブル
１が目標位置ｘ0 に位置決めされる。
【０００４】しかしながら、上記のように構成された従
来の移動テーブル制御方式では次のような問題があっ
た。すなわち、移動テーブルや駆動系には摩擦が存在し
ているので、この摩擦に打勝って精密な位置決めを行う
には制御系ループのゲインを大きくする必要がある。し
かし、ゲインを大きくすると、移動テーブルの機械系と
制御系の剛性とで決まる固有振動数で移動テーブルが振
動し、この振動が発散するなどし、高速度で、かつ高精
度な位置決めが困難であった。
来の移動テーブル制御方式では次のような問題があっ
た。すなわち、移動テーブルや駆動系には摩擦が存在し
ているので、この摩擦に打勝って精密な位置決めを行う
には制御系ループのゲインを大きくする必要がある。し
かし、ゲインを大きくすると、移動テーブルの機械系と
制御系の剛性とで決まる固有振動数で移動テーブルが振
動し、この振動が発散するなどし、高速度で、かつ高精
度な位置決めが困難であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述の如く、従来の移
動テーブル制御方式では、高速度で、かつ高精度な位置
決めを行うことが困難であった。そこで本発明は、上述
した不具合を解消できる移動テーブルの制御方法および
制御装置を提供することを目的としている。
動テーブル制御方式では、高速度で、かつ高精度な位置
決めを行うことが困難であった。そこで本発明は、上述
した不具合を解消できる移動テーブルの制御方法および
制御装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る制御方法では、移動テーブルをフィー
ドバック制御で目標位置ｘ0 へ位置決めするに当たり、
上記移動テーブルの目標位置ｘ0 と現在位置ｘとの偏差
Δｘ＝（ｘ0 −ｘ）の減少に対応させて制御ループのゲ
インを増大させるようにしている。
に、本発明に係る制御方法では、移動テーブルをフィー
ドバック制御で目標位置ｘ0 へ位置決めするに当たり、
上記移動テーブルの目標位置ｘ0 と現在位置ｘとの偏差
Δｘ＝（ｘ0 −ｘ）の減少に対応させて制御ループのゲ
インを増大させるようにしている。
【０００７】また、本発明に係る制御装置では、移動テ
ーブルを駆動する駆動手段と、前記移動テーブルの現在
位置ｘを計測する計測手段と、前記移動テーブルの目標
位置ｘ0 と現在位置ｘとの偏差Δｘ＝（ｘ0 −ｘ）を零
にすべく前記駆動手段を制御するフィードバック制御ル
ープとを備えたものにおいて、一定の期間Δｔ毎に、こ
の期間Δｔ内の｜ｘ0 −ｘ｜または（ｘ0 −ｘ）2 の平
均値を求める手段と、この手段によって求められた平均
値が予め定められた値より小さいときに前記フィードバ
ック制御ループのゲインを１段階大きくする手段とを備
えている。
ーブルを駆動する駆動手段と、前記移動テーブルの現在
位置ｘを計測する計測手段と、前記移動テーブルの目標
位置ｘ0 と現在位置ｘとの偏差Δｘ＝（ｘ0 −ｘ）を零
にすべく前記駆動手段を制御するフィードバック制御ル
ープとを備えたものにおいて、一定の期間Δｔ毎に、こ
の期間Δｔ内の｜ｘ0 −ｘ｜または（ｘ0 −ｘ）2 の平
均値を求める手段と、この手段によって求められた平均
値が予め定められた値より小さいときに前記フィードバ
ック制御ループのゲインを１段階大きくする手段とを備
えている。
【０００８】
【作用】ころがり形のガイドやボールねじなどの摩擦要
素を備えた移動テーブル系では次のような現象が起こ
る。すなわち、図５に示した従来の制御系を使い、制御
系のゲインを一定にして20μｍのステップ応答（ｘ0 −
ｘ＝20μｍ）を行なわせると、移動テーブルは図２に示
すように振動しながら目標位置に近付く。この条件で、
さらに制御系のゲインを大きくすると、振動が発散す
る。しかし、同じゲインでも1 μｍのステップ応答（ｘ
0 −ｘ＝1 μｍ）では、図３に示すように振動はほとん
ど生じない。ゲインをさらに大きくしても振動は発散し
ない。このような現象は移動テーブルや駆動系に摩擦が
ある場合に生じる。
素を備えた移動テーブル系では次のような現象が起こ
る。すなわち、図５に示した従来の制御系を使い、制御
系のゲインを一定にして20μｍのステップ応答（ｘ0 −
ｘ＝20μｍ）を行なわせると、移動テーブルは図２に示
すように振動しながら目標位置に近付く。この条件で、
さらに制御系のゲインを大きくすると、振動が発散す
る。しかし、同じゲインでも1 μｍのステップ応答（ｘ
0 −ｘ＝1 μｍ）では、図３に示すように振動はほとん
ど生じない。ゲインをさらに大きくしても振動は発散し
ない。このような現象は移動テーブルや駆動系に摩擦が
ある場合に生じる。
【０００９】したがって、図２に示す20μｍのステップ
応答において、移動テーブルが目標値に近付き、（ｘ0
−ｘ）の絶対値｜ｘ0 −ｘ｜が、たとえば1 μｍ程度に
近付いたときから制御系のゲインを大きくしても振動は
発散しない。本発明では、この現象を利用し、目標位置
ｘ0 と現在位置ｘとの偏差Δｘ＝（ｘ0 −ｘ）の減少に
対応させて制御ループのゲインを増大させるようにして
いる。したがって、より高速で、より高精度な位置決め
が可能となる。
応答において、移動テーブルが目標値に近付き、（ｘ0
−ｘ）の絶対値｜ｘ0 −ｘ｜が、たとえば1 μｍ程度に
近付いたときから制御系のゲインを大きくしても振動は
発散しない。本発明では、この現象を利用し、目標位置
ｘ0 と現在位置ｘとの偏差Δｘ＝（ｘ0 −ｘ）の減少に
対応させて制御ループのゲインを増大させるようにして
いる。したがって、より高速で、より高精度な位置決め
が可能となる。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照しながら実施例を説明す
る。図１には本発明の一実施例に係る移動テーブルの制
御装置が示されている。この制御装置は、0.05μｍオー
ダの精度が要求される位置決めの場合に使用できる。
る。図１には本発明の一実施例に係る移動テーブルの制
御装置が示されている。この制御装置は、0.05μｍオー
ダの精度が要求される位置決めの場合に使用できる。
【００１１】図中２１は移動テーブルを示している。移
動テーブル２１はモータ２２の出力で駆動される。移動
テーブル２１の近傍には移動テーブル２１の現在位置ｘ
を計測するレーザ干渉計２３が設けられている。そし
て、システムあるいは装置全体の動作を管理するＣＰＵ
２４からレーザ干渉計２３の制御部に目標位置ｘ0 が与
えられと、レーザ干渉計２３の制御部は計測された現在
位置ｘと目標位置ｘ0 との偏差（ｘ0 −ｘ）に対応した
デジタル信号を出力する。
動テーブル２１はモータ２２の出力で駆動される。移動
テーブル２１の近傍には移動テーブル２１の現在位置ｘ
を計測するレーザ干渉計２３が設けられている。そし
て、システムあるいは装置全体の動作を管理するＣＰＵ
２４からレーザ干渉計２３の制御部に目標位置ｘ0 が与
えられと、レーザ干渉計２３の制御部は計測された現在
位置ｘと目標位置ｘ0 との偏差（ｘ0 −ｘ）に対応した
デジタル信号を出力する。
【００１２】このデジタル信号は、一方においてはＤＡ
コンバータ２５によってアナログ信号に変換された後、
アッテネータ２６、加算器２７、比例回路や積分回路で
構成された補償回路２８を経由してパワーアンプ２９に
入力される。そして、パワーアンプ２９の出力がモータ
２２に入力として与えられる。なお、この例では系の安
定性を向上させるために、モータ２２に速度発電機３０
を連結し、この速度発電機３０の出力を加算器２７のマ
イナス入力端に導入している。
コンバータ２５によってアナログ信号に変換された後、
アッテネータ２６、加算器２７、比例回路や積分回路で
構成された補償回路２８を経由してパワーアンプ２９に
入力される。そして、パワーアンプ２９の出力がモータ
２２に入力として与えられる。なお、この例では系の安
定性を向上させるために、モータ２２に速度発電機３０
を連結し、この速度発電機３０の出力を加算器２７のマ
イナス入力端に導入している。
【００１３】レーザ干渉計２３の制御部から出力された
デジタル信号は、他方においてはＣＰＵ２４に入力され
る。ＣＰＵ２４は、偏差（ｘ0 −ｘ）に対応したデジタ
ル信号を入力し、これを演算処理し、この処理結果に基
いてアッテネータ２６のゲインを変更する機能を備えて
いる。すなわち、ＣＰＵ２４には、ゲインを変更する位
置ａ1 ，ａ2 ，ａ3 ，ａ4 ，………（ただし、ａ1 ＞ａ
2 ＞ａ3＞ａ4 ＞…）の情報と、アテネータ２６のゲイ
ンＡ1 ，Ａ2 ，Ａ3 ，Ａ4 ，………（ただし、Ａ1 ＜Ａ
2 ＜Ａ3 ＜Ａ4 ＜…）の情報とが予め記憶されている。
ＣＰＵ２４は、（ｘ0 −ｘ）に対応したデジタル信号が
入力されると、1/1000秒毎に、その個々の値であるΔｘ
i ＝（ｘ0 −ｘ）を取り込む。そして、ｎ個取込む毎
に、つまりΔｔの期間に亘って取込む毎にΔｘi の絶対
値｜Δｘi ｜の平均値｜Δｘ｜AVを計算する。 ｜Δｘ｜AV＝｛Δｘ1 ＋Δｘ2 ＋………Δｘn ｝／ｎ …(1) 次に、以下の判定基準にしたがってアッテネータ２６の
ゲインＡを変更制御する。
デジタル信号は、他方においてはＣＰＵ２４に入力され
る。ＣＰＵ２４は、偏差（ｘ0 −ｘ）に対応したデジタ
ル信号を入力し、これを演算処理し、この処理結果に基
いてアッテネータ２６のゲインを変更する機能を備えて
いる。すなわち、ＣＰＵ２４には、ゲインを変更する位
置ａ1 ，ａ2 ，ａ3 ，ａ4 ，………（ただし、ａ1 ＞ａ
2 ＞ａ3＞ａ4 ＞…）の情報と、アテネータ２６のゲイ
ンＡ1 ，Ａ2 ，Ａ3 ，Ａ4 ，………（ただし、Ａ1 ＜Ａ
2 ＜Ａ3 ＜Ａ4 ＜…）の情報とが予め記憶されている。
ＣＰＵ２４は、（ｘ0 −ｘ）に対応したデジタル信号が
入力されると、1/1000秒毎に、その個々の値であるΔｘ
i ＝（ｘ0 −ｘ）を取り込む。そして、ｎ個取込む毎
に、つまりΔｔの期間に亘って取込む毎にΔｘi の絶対
値｜Δｘi ｜の平均値｜Δｘ｜AVを計算する。 ｜Δｘ｜AV＝｛Δｘ1 ＋Δｘ2 ＋………Δｘn ｝／ｎ …(1) 次に、以下の判定基準にしたがってアッテネータ２６の
ゲインＡを変更制御する。
【００１４】
【数１】 次に、上記のように構成された装置の動作を説明する。
【００１５】ＣＰＵ２４から目標位置ｘ0 がレーザ干渉
計２３の制御部に与えられると、制御部から位置偏差
（ｘ0 −ｘ）に対応したデジタル信号が出力され、この
出力に基いて移動テーブル２１は目標位置ｘ0 に向かっ
て移動を開始する。
計２３の制御部に与えられると、制御部から位置偏差
（ｘ0 −ｘ）に対応したデジタル信号が出力され、この
出力に基いて移動テーブル２１は目標位置ｘ0 に向かっ
て移動を開始する。
【００１６】このとき、ＣＰＵ２４には（ｘ0 −ｘ）に
対応したデジタル信号が入力される。ＣＰＵ２４は、時
々刻々、(1) 式の計算を行い、(2) 式から(6) 式の判定
を繰り返す。この結果、制御系のゲインは、Ａ1 からＡ
2 へ、Ａ2 からＡ3 へ、Ａ3からＡ4 へと順に大きな値
となる方向へ切換えられる。この場合、移動テーブル２
１に外乱が加わり、位置偏差（ｘ−ｘi）が大きくなる
と、アッテネータ２６のゲインＡも｜Δｘ｜AVの値に応
じて変化するので振動が発散することはない。移動テー
ブル２１の移動に伴って、（ｘ0 −ｘ）が減少し、これ
によってモータ２２の入力も小さくなり、ついには目標
位置ｘ0 への位置決めが行われる。
対応したデジタル信号が入力される。ＣＰＵ２４は、時
々刻々、(1) 式の計算を行い、(2) 式から(6) 式の判定
を繰り返す。この結果、制御系のゲインは、Ａ1 からＡ
2 へ、Ａ2 からＡ3 へ、Ａ3からＡ4 へと順に大きな値
となる方向へ切換えられる。この場合、移動テーブル２
１に外乱が加わり、位置偏差（ｘ−ｘi）が大きくなる
と、アッテネータ２６のゲインＡも｜Δｘ｜AVの値に応
じて変化するので振動が発散することはない。移動テー
ブル２１の移動に伴って、（ｘ0 −ｘ）が減少し、これ
によってモータ２２の入力も小さくなり、ついには目標
位置ｘ0 への位置決めが行われる。
【００１７】このように、移動テーブル２１が目標位置
ｘ0 から離れているときには制御ループのゲインＡを小
さな値に設定し、目標位置ｘ0 に接近するにつれて制御
ループのゲインＡを大きな値に設定するようにしている
ので、振動を発散させることなく、移動テーブル２１を
高速かつ高精度に位置決めすることができる。
ｘ0 から離れているときには制御ループのゲインＡを小
さな値に設定し、目標位置ｘ0 に接近するにつれて制御
ループのゲインＡを大きな値に設定するようにしている
ので、振動を発散させることなく、移動テーブル２１を
高速かつ高精度に位置決めすることができる。
【００１８】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではない。すなわち、上記実施例ではＣＰＵ２４
において、1/1000秒毎に（ｘ0 −ｘ）を取込むようにし
ているが、この時間間隔に限られるものではなく、移動
テーブル２１の振動周期より十分に短い時間間隔であれ
ばよい。また、｜Δｘ｜AVを計算するための時間間隔Δ
ｔについては、たとえば図２に示すような振動の最も小
さい固有振動数の周期Ｔの1/2 以上であればよい。
るものではない。すなわち、上記実施例ではＣＰＵ２４
において、1/1000秒毎に（ｘ0 −ｘ）を取込むようにし
ているが、この時間間隔に限られるものではなく、移動
テーブル２１の振動周期より十分に短い時間間隔であれ
ばよい。また、｜Δｘ｜AVを計算するための時間間隔Δ
ｔについては、たとえば図２に示すような振動の最も小
さい固有振動数の周期Ｔの1/2 以上であればよい。
【００１９】また、上述した実施例では、アッテネータ
２６を用いて制御ループのゲインＡを変更しているが、
図４に示すように、（ｘ0 −ｘi）の値をＣＰＵ２４に
取込み、このＣＰＵ２４内で前述した(1) 式の計算と
(2) 〜(6) 式の判定とを行わせ、この判定結果に基いて
ＤＡコンバータ２５へ次のような入力Ｂを与えるように
してもよい。ただし、Ａ1 ＜Ａ2 ＜Ａ3 ＜Ａ4 ＜…であ
る。
２６を用いて制御ループのゲインＡを変更しているが、
図４に示すように、（ｘ0 −ｘi）の値をＣＰＵ２４に
取込み、このＣＰＵ２４内で前述した(1) 式の計算と
(2) 〜(6) 式の判定とを行わせ、この判定結果に基いて
ＤＡコンバータ２５へ次のような入力Ｂを与えるように
してもよい。ただし、Ａ1 ＜Ａ2 ＜Ａ3 ＜Ａ4 ＜…であ
る。
【００２０】
【数２】 さらに、(1) 式の代りに、 ｜Δｘ｜AV 2 ＝｛Δｘ1 2 ＋Δｘ2 2 ＋………Δｘn 2 ｝／ｎ …(12) を用い、以下の判定基準にしたがってゲインＡを変更し
てもよい。
てもよい。
【００２１】
【数３】
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
移動テーブルの位置に応じて制御ループのゲインを最適
に設定できるので、高速で高精度な位置決めを実現でき
る。
移動テーブルの位置に応じて制御ループのゲインを最適
に設定できるので、高速で高精度な位置決めを実現でき
る。
【図１】本発明の一実施例に係る移動テーブルの制御装
置のブロック構成図、
置のブロック構成図、
【図２】通常のフィードバック制御における20μｍのス
テップ応答波形図、
テップ応答波形図、
【図３】通常のフィードバック制御における1 μｍのス
テップ応答波形図、
テップ応答波形図、
【図４】本発明の別の実施例に係る移動テーブルの制御
装置のブロック構成図、
装置のブロック構成図、
【図５】従来の移動テーブルの制御装置のブロック構成
図。
図。
２１…移動テーブル、 ２２…モー
タ、２３…レーザ干渉計、２４…コンピュータ、２５…
ＤＡコンバータ、 ２６…アッテネー
タ、２８…補償要素、 ２９…パ
ワーアンプ。
タ、２３…レーザ干渉計、２４…コンピュータ、２５…
ＤＡコンバータ、 ２６…アッテネー
タ、２８…補償要素、 ２９…パ
ワーアンプ。
Claims (3)
- 【請求項１】移動テーブルをフィードバック制御で目標
位置ｘ0 へ位置決めするに当たり、上記移動テーブルの
目標位置ｘ0 と現在位置ｘとの偏差Δｘ＝（ｘ0 −ｘ）
の減少に対応させて制御ループのゲインを増大させるよ
うにしたことを特徴とする移動テーブルの制御方法。 - 【請求項２】移動テーブルを駆動する駆動手段と、前記
移動テーブルの現在位置ｘを計測する計測手段と、前記
移動テーブルの目標位置ｘ0 と現在位置ｘとの偏差Δｘ
＝（ｘ0 −ｘ）を零にすべく前記駆動手段を制御するフ
ィードバック制御ループとを備えた移動テーブルの制御
装置において、一定の期間Δｔ毎に、この期間Δｔ内の
｜ｘ0 −ｘ｜または（ｘ0 −ｘ）2 の平均値を求める手
段と、この手段によって求められた平均値が予め定めら
れた値より小さいときに前記フィードバック制御ループ
のゲインを１段階大きくする手段とを具備してなること
を特徴とする移動テーブルの制御装置。 - 【請求項３】前記期間Δｔは、前記移動テーブルの機構
と制御系とによって決まる固有振動数のうち、振動数が
最も小さい固有振動数の周期をＴとしたとき、Ｔ／２よ
り大きな値に設定されていることを特徴とする請求項２
に記載の移動テーブルの制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3310892A JPH05150838A (ja) | 1991-11-26 | 1991-11-26 | 移動テーブルの制御方法および制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3310892A JPH05150838A (ja) | 1991-11-26 | 1991-11-26 | 移動テーブルの制御方法および制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05150838A true JPH05150838A (ja) | 1993-06-18 |
Family
ID=18010641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3310892A Pending JPH05150838A (ja) | 1991-11-26 | 1991-11-26 | 移動テーブルの制御方法および制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05150838A (ja) |
-
1991
- 1991-11-26 JP JP3310892A patent/JPH05150838A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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