JPH0514909U - 静電容量型湿度センサー - Google Patents
静電容量型湿度センサーInfo
- Publication number
- JPH0514909U JPH0514909U JP6715791U JP6715791U JPH0514909U JP H0514909 U JPH0514909 U JP H0514909U JP 6715791 U JP6715791 U JP 6715791U JP 6715791 U JP6715791 U JP 6715791U JP H0514909 U JPH0514909 U JP H0514909U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode plate
- humidity sensor
- upper electrode
- sensitive material
- lower electrode
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型軽量かつ取扱容易な静電容量型湿度セン
サーを提供する。 【構成】 絶縁性基板１，２の上に下部電極板３を固定
し、この上に感湿材４を介して上部電極板５を固定して
なる湿度センサーにおいて、上記上部電極板５を下部電
極板３より小さくし、かつ上部電極板５の一端にその端
子部５−２を感湿材４上に設けたこと。
サーを提供する。 【構成】 絶縁性基板１，２の上に下部電極板３を固定
し、この上に感湿材４を介して上部電極板５を固定して
なる湿度センサーにおいて、上記上部電極板５を下部電
極板３より小さくし、かつ上部電極板５の一端にその端
子部５−２を感湿材４上に設けたこと。
Description
【０００１】
本考案は、静電容量型湿度センサーに関する。
【０００２】
空調システム等の制御に適用されている湿度センサーとしては、従来、感湿材 を上部電極と下部電極とによりサンドイッチしてコンデンサーを形成してなる静 電容量型が分解能がよいものとして広く知られている。 これは、図３平面図及び側面図に示すように、ガラス基板１４の上に下部電極 板３を固定しその上に感湿材４を介して上部電極板５を固定した構造であり、図 ４に示すような構造のものも知られている。
【０００３】
しかしながら、この種の静電容量型湿度センサーはガラス基板上に形成されて いるものが多く、また一部Ｓｉ基板上に形成されているものがあるが、いずれの ものも基板上に信号処理部を設け電気信号をとり出すことは不可能な構造となっ ているので、取扱いが不便であると共に、関係機器を含めて形状が大きくなって しまう。
【０００４】 本考案はこのような事情に鑑みて提案されたもので、小型軽量かつ取扱容易な 静電容量湿度センサーを提供することを目的とする。
【０００５】
そのために本考案は、絶縁性基板上に下部電極板を固定し、この上に感湿材を 介して上部電極板を固定してなる湿度センサーにおいて、上記上部電極板を下部 電極板より小さくし、かつ上部電極板の一端にその端子部を感湿材上に設けたこ とを特徴とする。
【０００６】
このような構成によれば、Ｓｉ基板による寄生容量が低減されかつＳｉ基板面 上部からの電極とり出しが可能となる。
【０００７】
本考案の一実施例を図面について説明すると、図１はその平面図及び側面図、 図２は図１の静電容量型湿度センサーの等価回路図である。 上図において、図３と同一の符号はそれぞれ同図と同一の部材を示し、まず図 １において、１はＳｉ基板で信号処理部となる電気回路を形成する部分であり、 ２はＳｉ基板１と下部電極板３を電気的に絶縁する絶縁膜、４は感湿材で上部電 極板５と下部電極板３にはさみ込まれて静電容量型湿度センサーを形成する。こ こで、上部電極板５は湿度を通すように透湿性電極となっている。６は上部電極 板５の端子部である。 次に、図２は図１の等価回路であり、７は静電容量型湿度センサー、８〜１１ はそれぞれＳｉ基板１を通して形成される寄生静電容量である。 このような構造において、上部電極５は図２の寄生容量８が入り込まないよう に下部電極３よりも面積を小さくした構造にしており、電気絶縁膜２の部分まで かからない構造となっている。つまり、図２の電極面積５−１が構造的にゼロに なっている。 また端子部６は図２の寄生容量１０の影響を極力低減させるために感湿材４と 接触する上部電極板５の面積５−２を小さくした構造となっている。上記のよう に構成された湿度センサーではＳｉ基板による寄生容量が低減され電極とり出し が基板上面から可能となる。
【０００８】
このような構造によれば、Ｓｉ基板による寄生容量の影響を極力少なくした構 造でかつ電極とり出しが基板上面としているためセンサー駆動を同一Ｓｉ基板上 に制作可能となり湿度センサーの形状が大幅に小形になる。 要するに本考案によれば、絶縁性基板上に下部電極板を固定し、この上に感湿 材を介して上部電極板を固定してなる湿度センサーにおいて、上記上部電極板を 下部電極板より小さくし、かつ上部電極板の一端にその端子部を感湿材上に設け たことにより、小型軽量かつ取扱容易な静電容量湿度センサーを得るから、本考 案は産業上極めて有益なものである。
【図１】本考案の一実施例を示す平面図及び側面図であ
る。
る。
【図２】図１の静電用量型湿度センサーの等価回路図で
ある。
ある。
【図３】従来の静電容量型湿度センサーを示す平面図及
び側面図である。
び側面図である。
【図４】図３の変形例を示す同じく平面図及び側面図で
ある。
ある。
１ Ｓｉ基板 ２ 電気絶縁膜 ３ 下部電極板 ４ 感湿材 ５ 上部電極板 ５−１ 上部電極板の電気絶縁膜接触面積の感湿材接触
面積 ５−２ 端子部の感湿材接触面積 ６ 上部電極板の端子部 ７ 静電容量型センサー部 ８〜１１ 寄生容量 １２ 信号処理回路
面積 ５−２ 端子部の感湿材接触面積 ６ 上部電極板の端子部 ７ 静電容量型センサー部 ８〜１１ 寄生容量 １２ 信号処理回路
Claims (1)
- 【請求項１】 絶縁性基板上に下部電極板を固定し、こ
の上に感湿材を介して上部電極板を固定してなる湿度セ
ンサーにおいて、上記上部電極板を下部電極板より小さ
くし、かつ上部電極板の一端にその端子部を感湿材上に
設けたことを特徴とする静電容量型湿度センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6715791U JPH0514909U (ja) | 1991-07-30 | 1991-07-30 | 静電容量型湿度センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6715791U JPH0514909U (ja) | 1991-07-30 | 1991-07-30 | 静電容量型湿度センサー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0514909U true JPH0514909U (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=13336783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6715791U Pending JPH0514909U (ja) | 1991-07-30 | 1991-07-30 | 静電容量型湿度センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0514909U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003021246A1 (fr) * | 2001-08-31 | 2003-03-13 | Kurabe Industrial Co., Ltd. | Capteur d'humidite capacitif et son procede de fabrication |
| KR20150141932A (ko) * | 2013-01-11 | 2015-12-21 | 메아 프랑스 | 반도체 회로 상에 통합된 용량성 센서 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03163344A (ja) * | 1989-11-22 | 1991-07-15 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 容量素子 |
-
1991
- 1991-07-30 JP JP6715791U patent/JPH0514909U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03163344A (ja) * | 1989-11-22 | 1991-07-15 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 容量素子 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003021246A1 (fr) * | 2001-08-31 | 2003-03-13 | Kurabe Industrial Co., Ltd. | Capteur d'humidite capacitif et son procede de fabrication |
| KR20150141932A (ko) * | 2013-01-11 | 2015-12-21 | 메아 프랑스 | 반도체 회로 상에 통합된 용량성 센서 |
| CN105264365A (zh) * | 2013-01-11 | 2016-01-20 | 精量电子（法国）公司 | 集成到半导体电路上的电容性传感器 |
| JP2016504595A (ja) * | 2013-01-11 | 2016-02-12 | メアス フランスＭｅａｓ Ｆｒａｎｃｅ | 半導体回路上に一体化された容量センサ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19951107 |