JPH05142224A - 排ガス処理装置の塩素ガスによる破過を検知する方法 - Google Patents
排ガス処理装置の塩素ガスによる破過を検知する方法Info
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- JPH05142224A JPH05142224A JP35353191A JP35353191A JPH05142224A JP H05142224 A JPH05142224 A JP H05142224A JP 35353191 A JP35353191 A JP 35353191A JP 35353191 A JP35353191 A JP 35353191A JP H05142224 A JPH05142224 A JP H05142224A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、排ガス処理装置の塩素ガス
による破過を的確に検知する方法を提供することにあ
る。 【構成】 担体にヨウ化カリウムを担持させた担持物と
澱粉溶液とを接触させて得られる澱粉コーティングの破
過検知剤を、吸着剤または反応処置剤が充填された排ガ
ス処理装置の気体排出口近傍に充填し、該検知剤の呈色
により排ガス処理装置の塩素ガスによる破過を検知する
方法に関する。
による破過を的確に検知する方法を提供することにあ
る。 【構成】 担体にヨウ化カリウムを担持させた担持物と
澱粉溶液とを接触させて得られる澱粉コーティングの破
過検知剤を、吸着剤または反応処置剤が充填された排ガ
ス処理装置の気体排出口近傍に充填し、該検知剤の呈色
により排ガス処理装置の塩素ガスによる破過を検知する
方法に関する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、排ガス処理装置の塩素
ガスによる破過を検知する方法に関するものである。
ガスによる破過を検知する方法に関するものである。
【０００２】
【従来技術及びその問題点】近年、半導体工業におい
て、例えばアルミニウムなどをドライエッチングする
際、ドライエッチングガスとして塩素ガスが単独で、あ
るいは他のエッチングガスや不活性ガスと混合されてし
ばしば使用されている。そのドライエッチング廃ガスを
無毒化するのに活性炭の如き吸着剤を充填した気体吸着
装置が用いられている。このような装置は、吸着剤が一
定量の物質を吸着すると破過し、気体排出口から塩素ガ
スが経時的に濃度を増加させながら流出し、大気汚染な
どの問題を引き起こすことになる。このため吸着剤の破
過を的確に検知することが必要である。
て、例えばアルミニウムなどをドライエッチングする
際、ドライエッチングガスとして塩素ガスが単独で、あ
るいは他のエッチングガスや不活性ガスと混合されてし
ばしば使用されている。そのドライエッチング廃ガスを
無毒化するのに活性炭の如き吸着剤を充填した気体吸着
装置が用いられている。このような装置は、吸着剤が一
定量の物質を吸着すると破過し、気体排出口から塩素ガ
スが経時的に濃度を増加させながら流出し、大気汚染な
どの問題を引き起こすことになる。このため吸着剤の破
過を的確に検知することが必要である。
【０００３】従来、塩素ガスを検知する方法として、
（１）検知管法や（２）ヨウ化カリウムを担体に担持さ
せた担持物の呈色を利用する方法などが知られている。
しかしながらドライエッチング廃ガス吸着装置の破過を
検知するために前述した（１）の方法を採用した場合
は、しばしば吸着装置から排出される廃ガスをサンプリ
ングして塩素ガスの有無を確認しなければならないとい
う煩雑さがあり、また（２）の方法の場合は、高濃度の
塩素ガス、あるいは多量の空気、窒素ガスなどを吸着装
置に流通させた場合、吸着装置の破過により一度呈色し
た担持物（検知剤）が経時的に退色（白色）し、破過す
る前の色相に戻るため、吸着剤の破過を見落とすことが
あり、吸着装置に充填された吸着剤の破過を正確に検知
するためには検知剤の色相をしばしば観測しなければな
らないといった問題点を有していた。
（１）検知管法や（２）ヨウ化カリウムを担体に担持さ
せた担持物の呈色を利用する方法などが知られている。
しかしながらドライエッチング廃ガス吸着装置の破過を
検知するために前述した（１）の方法を採用した場合
は、しばしば吸着装置から排出される廃ガスをサンプリ
ングして塩素ガスの有無を確認しなければならないとい
う煩雑さがあり、また（２）の方法の場合は、高濃度の
塩素ガス、あるいは多量の空気、窒素ガスなどを吸着装
置に流通させた場合、吸着装置の破過により一度呈色し
た担持物（検知剤）が経時的に退色（白色）し、破過す
る前の色相に戻るため、吸着剤の破過を見落とすことが
あり、吸着装置に充填された吸着剤の破過を正確に検知
するためには検知剤の色相をしばしば観測しなければな
らないといった問題点を有していた。
【０００４】さらに前記（２）の方法を改良するものと
して（３）特開昭６１−２３９１６２号公報には、担体
にヨウ化カリウムを担持させた担持物をアクリル樹脂や
セルロース誘導体によりコーティングして得られる検知
剤の呈色を利用する方法が提案されている。しかしなが
ら該公報の場合には退色現象は見られないものの、検知
剤表面における呈色が一様ではなく一部まだらとなる場
合があり、破過を正確に検知するのが難しかった。
して（３）特開昭６１−２３９１６２号公報には、担体
にヨウ化カリウムを担持させた担持物をアクリル樹脂や
セルロース誘導体によりコーティングして得られる検知
剤の呈色を利用する方法が提案されている。しかしなが
ら該公報の場合には退色現象は見られないものの、検知
剤表面における呈色が一様ではなく一部まだらとなる場
合があり、破過を正確に検知するのが難しかった。
【０００５】
【問題点を解決するための手段】本発明者らは、前記問
題点を解決するために鋭意検討を行った結果、極微量の
塩素ガスに対しても鋭敏に一様に呈色し、しかも一度呈
色すると容易に退色しない優れた破過検知剤を見い出
し、本発明に到った。
題点を解決するために鋭意検討を行った結果、極微量の
塩素ガスに対しても鋭敏に一様に呈色し、しかも一度呈
色すると容易に退色しない優れた破過検知剤を見い出
し、本発明に到った。
【０００６】本発明は、担体にヨウ化カリウムを担持さ
せた担持物と澱粉溶液とを接触させて得られる澱粉コー
ティングの破過検知剤を、吸着剤または反応処置剤が充
填された排ガス処理装置の気体排出口近傍に充填し、該
検知剤の呈色により排ガス処理装置の塩素ガスによる破
過を検知する方法に関するものである。
せた担持物と澱粉溶液とを接触させて得られる澱粉コー
ティングの破過検知剤を、吸着剤または反応処置剤が充
填された排ガス処理装置の気体排出口近傍に充填し、該
検知剤の呈色により排ガス処理装置の塩素ガスによる破
過を検知する方法に関するものである。
【０００７】本発明で使用する担体としては、担体の色
相が白色ないしは透明なものが色相の変化をはっきり区
別でき、破過の確認が容易であるので好ましい。好適な
担体としては、例えばα−アルミナ、シリカ、シリカア
ルミナなどを挙げることができる。担体の形状は球状、
粒状、破砕粒、成型体などいずれでも使用することがで
きる。
相が白色ないしは透明なものが色相の変化をはっきり区
別でき、破過の確認が容易であるので好ましい。好適な
担体としては、例えばα−アルミナ、シリカ、シリカア
ルミナなどを挙げることができる。担体の形状は球状、
粒状、破砕粒、成型体などいずれでも使用することがで
きる。
【０００８】担体にヨウ化カリウムを担持させる方法と
しては、公知の方法、例えばヨウ化カリウム水溶液と担
体とを接触させて担持した後、空気雰囲気下、乾燥させ
るという方法を採用することができる。ヨウ化カリウム
を担持させた担持物を澱粉水溶液と接触させて澱粉をコ
ーティングする方法としては、スプレー噴霧法、浸漬法
などを挙げることができる。具体的には、例えば浸漬法
の場合、ヨウ化カリウムを担持させた担持物を澱粉水溶
液に浸漬した後に、引き上げ、室温〜１２０℃で空気雰
囲気下、乾燥することにより、塩素ガス破過検知剤を調
製することができる。澱粉のコーティング量は、ヨウ化
カリウムを担持させた担持物１００重量部に対して０．
２〜２０重量部、好ましくは０．５〜１０重量部になる
ようにコーティングさせるのがよい。
しては、公知の方法、例えばヨウ化カリウム水溶液と担
体とを接触させて担持した後、空気雰囲気下、乾燥させ
るという方法を採用することができる。ヨウ化カリウム
を担持させた担持物を澱粉水溶液と接触させて澱粉をコ
ーティングする方法としては、スプレー噴霧法、浸漬法
などを挙げることができる。具体的には、例えば浸漬法
の場合、ヨウ化カリウムを担持させた担持物を澱粉水溶
液に浸漬した後に、引き上げ、室温〜１２０℃で空気雰
囲気下、乾燥することにより、塩素ガス破過検知剤を調
製することができる。澱粉のコーティング量は、ヨウ化
カリウムを担持させた担持物１００重量部に対して０．
２〜２０重量部、好ましくは０．５〜１０重量部になる
ようにコーティングさせるのがよい。
【０００９】本発明で使用する排ガス処理装置は、気体
導入口と気体排出口とを有する容器に吸着剤または反応
処理剤を充填したものであればよい。該装置の吸着剤と
しては、特に制限はなく、例えば活性炭、活性アルミ
ナ、シリカゲル、二酸化チタン、ベントナイト、酸性白
土、ケイソウ土、炭酸カルシウムなどを好適に挙げるこ
とができる。また反応処理剤としては、例えば金属酸化
物、具体的には酸化鉄、酸化マンガンなどを挙げること
ができる。
導入口と気体排出口とを有する容器に吸着剤または反応
処理剤を充填したものであればよい。該装置の吸着剤と
しては、特に制限はなく、例えば活性炭、活性アルミ
ナ、シリカゲル、二酸化チタン、ベントナイト、酸性白
土、ケイソウ土、炭酸カルシウムなどを好適に挙げるこ
とができる。また反応処理剤としては、例えば金属酸化
物、具体的には酸化鉄、酸化マンガンなどを挙げること
ができる。
【００１０】本発明の排ガス処理装置から塩素ガスの破
過を検知する方法は、例えば図１に示したように気体導
入口１および気体排出口２を有する容器３に吸着剤４を
充填した排ガス処理装置の気体排出口近傍に、塩素ガス
破過検知剤５を充填した内部が透視できる容器からなる
塩素ガス破過検知部６を設置し、塩素ガス破過検知剤の
塩素ガスによる呈色（白色から黄褐色に呈色）を確認す
ることにより実施することができる。
過を検知する方法は、例えば図１に示したように気体導
入口１および気体排出口２を有する容器３に吸着剤４を
充填した排ガス処理装置の気体排出口近傍に、塩素ガス
破過検知剤５を充填した内部が透視できる容器からなる
塩素ガス破過検知部６を設置し、塩素ガス破過検知剤の
塩素ガスによる呈色（白色から黄褐色に呈色）を確認す
ることにより実施することができる。
【００１１】本発明で使用する塩素ガス破過検知剤は、
塩化水素ガス、三塩化ホウ素ガスなどの共存ガスによっ
て何ら呈色を妨げられたり、影響されたりすることはな
く、塩素ガス検知感度は０．１ｐｐｍである。
塩化水素ガス、三塩化ホウ素ガスなどの共存ガスによっ
て何ら呈色を妨げられたり、影響されたりすることはな
く、塩素ガス検知感度は０．１ｐｐｍである。
【００１２】
【実施例】以下に、実施例および比較例を示し、本発明
をさらに具体的に説明する。 実施例１ ヨウ化カリウム１２０ｇを水１６０ｇに溶解し、これに
α−アルミナ担体（平均粒径３ｍｍ、住友アルミニウム
精錬（株）、商品名ＮＫＨＤ−２４）３００ｇを添加し
てヨウ化カリウムを担体に担持後、空気雰囲気下、８０
℃の温度で２０時間乾燥した。澱粉４０ｇを水５００ｇ
に加熱溶解し、前記担体をこの水溶液に１分間浸漬し引
き上げた後、空気雰囲気下、８０℃の温度で２０時間乾
燥し、塩素ガス破過検知剤を調製した。
をさらに具体的に説明する。 実施例１ ヨウ化カリウム１２０ｇを水１６０ｇに溶解し、これに
α−アルミナ担体（平均粒径３ｍｍ、住友アルミニウム
精錬（株）、商品名ＮＫＨＤ−２４）３００ｇを添加し
てヨウ化カリウムを担体に担持後、空気雰囲気下、８０
℃の温度で２０時間乾燥した。澱粉４０ｇを水５００ｇ
に加熱溶解し、前記担体をこの水溶液に１分間浸漬し引
き上げた後、空気雰囲気下、８０℃の温度で２０時間乾
燥し、塩素ガス破過検知剤を調製した。
【００１３】内部に１ｍｍ径の分散板を有する直径６０
ｍｍ、長さ４００ｍｍのパイレックス硝子製排ガス処理
装置に吸着剤（粒状活性炭：３ｍｍ径×約４ｍｍ長）を
７０６ｍｌ（２５０ｍｍ層高）充填し、該排ガス処理装
置の気体排出口近傍に実施例１で調製した検知剤をパイ
レックス硝子製の容器に充填した塩素ガス破過検知部を
設置した。前記排ガス処理装置に塩素ガス３ｖｏｌ％、
窒素ガス９７ｖｏｌ％のガス組成からなるモデル排ガス
を６８０ｍｌ／分の供給速度で流通した。気体排出口近
傍の排出ガスを随時サンプリングし、ガス組成を検知管
法により定量しつつ、塩素ガス破過検知剤の色相の変化
を観察した。流通を始めてから１７１０分経過後に排出
ガス中に塩化水素ガス（塩素ガスが吸着剤中に含有され
る水分と反応して発生すると考えられる）を２ｐｐｍ検
出したが、塩素ガス破過検知剤の色相（白色）の変化は
見られなかった。１７４０分経過後に排出ガス中に塩素
ガスを０．５ｐｐｍ検出した。この時点で、塩素ガス破
過検知剤は該検知部の入口から黄褐色に変化し始め、１
７５０分後には完全に黒褐色に変化した。さらに流通を
続けたが、１８５０分経過後においても色相の変化はな
く、退色現象は全く観察されなかった。
ｍｍ、長さ４００ｍｍのパイレックス硝子製排ガス処理
装置に吸着剤（粒状活性炭：３ｍｍ径×約４ｍｍ長）を
７０６ｍｌ（２５０ｍｍ層高）充填し、該排ガス処理装
置の気体排出口近傍に実施例１で調製した検知剤をパイ
レックス硝子製の容器に充填した塩素ガス破過検知部を
設置した。前記排ガス処理装置に塩素ガス３ｖｏｌ％、
窒素ガス９７ｖｏｌ％のガス組成からなるモデル排ガス
を６８０ｍｌ／分の供給速度で流通した。気体排出口近
傍の排出ガスを随時サンプリングし、ガス組成を検知管
法により定量しつつ、塩素ガス破過検知剤の色相の変化
を観察した。流通を始めてから１７１０分経過後に排出
ガス中に塩化水素ガス（塩素ガスが吸着剤中に含有され
る水分と反応して発生すると考えられる）を２ｐｐｍ検
出したが、塩素ガス破過検知剤の色相（白色）の変化は
見られなかった。１７４０分経過後に排出ガス中に塩素
ガスを０．５ｐｐｍ検出した。この時点で、塩素ガス破
過検知剤は該検知部の入口から黄褐色に変化し始め、１
７５０分後には完全に黒褐色に変化した。さらに流通を
続けたが、１８５０分経過後においても色相の変化はな
く、退色現象は全く観察されなかった。
【００１４】澱粉をコーテイングしなかった以外は、実
施例１と同様な方法により塩素ガス破過検知剤を調製し
た。該検知剤を使用し、実施例２と同様な方法によりモ
デル排ガスを流通して検知剤の色相の変化を観察した。
流通を始めて１６８０分後に排出ガス中に塩素ガスを
１．５ｐｐｍ検出した。この時点で、塩素ガス破過検知
剤は該検知部の入口から黄褐色に変化し始め、１７００
分後には全体が黒褐色に変化した。さらに、流通を続け
たところ、１７１５分経過後に該検知剤の検知部入口近
傍が黄褐色に変化し始め、徐々に退色し１８２０分後に
は全体が薄黄色に変化し、１９００分後にはほぼ白色に
なり、退色現象が認められた。
施例１と同様な方法により塩素ガス破過検知剤を調製し
た。該検知剤を使用し、実施例２と同様な方法によりモ
デル排ガスを流通して検知剤の色相の変化を観察した。
流通を始めて１６８０分後に排出ガス中に塩素ガスを
１．５ｐｐｍ検出した。この時点で、塩素ガス破過検知
剤は該検知部の入口から黄褐色に変化し始め、１７００
分後には全体が黒褐色に変化した。さらに、流通を続け
たところ、１７１５分経過後に該検知剤の検知部入口近
傍が黄褐色に変化し始め、徐々に退色し１８２０分後に
は全体が薄黄色に変化し、１９００分後にはほぼ白色に
なり、退色現象が認められた。
【００１５】
【発明の効果】本発明の方法で使用する塩素ガス破過検
知剤は、ドライエッチングガスとして塩素ガスを使用し
た場合の廃ガスを無毒化する排ガス処理装置から極微量
の塩素ガスが流出する時点で直ちに黄褐色に呈色し、し
かも退色現象がみられないため、該装置の排出口近傍に
検知剤層を設置することにより、該装置から塩素ガスの
破過を正確に検知することができる。また該検知剤は、
塩化水素、三塩化ホウ素などの共存ガスによって何ら呈
色を妨げられたり、影響されたりすることがない。この
ため該排ガス処理装置の吸着剤の交換時期を正確に、か
つ容易に検知することができるという特長を有する。
知剤は、ドライエッチングガスとして塩素ガスを使用し
た場合の廃ガスを無毒化する排ガス処理装置から極微量
の塩素ガスが流出する時点で直ちに黄褐色に呈色し、し
かも退色現象がみられないため、該装置の排出口近傍に
検知剤層を設置することにより、該装置から塩素ガスの
破過を正確に検知することができる。また該検知剤は、
塩化水素、三塩化ホウ素などの共存ガスによって何ら呈
色を妨げられたり、影響されたりすることがない。この
ため該排ガス処理装置の吸着剤の交換時期を正確に、か
つ容易に検知することができるという特長を有する。
【図１】本発明の塩素ガスを用いるドライエッチング廃
ガスの排ガス処理装置および塩素ガス破過検知部の例を
示した図である。
ガスの排ガス処理装置および塩素ガス破過検知部の例を
示した図である。
１ 気体導入口 ２ 気体排出口 ３ 容器 ４ 吸着剤 ５ 塩素ガス破過検知剤 ６ 塩素ガス破過検知部
Claims (1)
- 【請求項１】 担体にヨウ化カリウムを担持させた担
持物と澱粉溶液とを接触させて得られる澱粉コーティン
グの破過検知剤を、吸着剤または反応処置剤が充填され
た排ガス処理装置の気体排出口近傍に充填し、該検知剤
の呈色により排ガス処理装置の塩素ガスによる破過を検
知する方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3353531A JP2823101B2 (ja) | 1991-11-15 | 1991-11-15 | 排ガス処理装置の塩素ガスによる破過を検知する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3353531A JP2823101B2 (ja) | 1991-11-15 | 1991-11-15 | 排ガス処理装置の塩素ガスによる破過を検知する方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05142224A true JPH05142224A (ja) | 1993-06-08 |
| JP2823101B2 JP2823101B2 (ja) | 1998-11-11 |
Family
ID=18431469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3353531A Expired - Lifetime JP2823101B2 (ja) | 1991-11-15 | 1991-11-15 | 排ガス処理装置の塩素ガスによる破過を検知する方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2823101B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5927250A (ja) * | 1982-08-06 | 1984-02-13 | Japan Carlit Co Ltd:The | 残留塩素の測定方法 |
| JPS612073A (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-08 | Yokohama Metsukin Kogyo Kk | 次亜塩素酸塩中の有効塩素量の測定に用いられる指示薬 |
| JPS61239162A (ja) * | 1985-04-16 | 1986-10-24 | Ube Ind Ltd | 気体吸着装置の塩素ガスによる破過を検知する方法 |
-
1991
- 1991-11-15 JP JP3353531A patent/JP2823101B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5927250A (ja) * | 1982-08-06 | 1984-02-13 | Japan Carlit Co Ltd:The | 残留塩素の測定方法 |
| JPS612073A (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-08 | Yokohama Metsukin Kogyo Kk | 次亜塩素酸塩中の有効塩素量の測定に用いられる指示薬 |
| JPS61239162A (ja) * | 1985-04-16 | 1986-10-24 | Ube Ind Ltd | 気体吸着装置の塩素ガスによる破過を検知する方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2823101B2 (ja) | 1998-11-11 |
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