JPH05139829A - 圧電磁器組成物 - Google Patents
圧電磁器組成物Info
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- JPH05139829A JPH05139829A JP4121401A JP12140192A JPH05139829A JP H05139829 A JPH05139829 A JP H05139829A JP 4121401 A JP4121401 A JP 4121401A JP 12140192 A JP12140192 A JP 12140192A JP H05139829 A JPH05139829 A JP H05139829A
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Abstract
に至るまでの電気機械結合係数の低下率及び、機械的品
質係数Qmが小さく、耐熱性に優れ、かつ、機械的強度
が大きい圧電磁器組成物を得る。 【構成】 チタン酸ジルコン酸鉛の、Pb原子の0.1
〜8モル%をBa,Sr及びCaの少なくとも1種で置
換し、これにSb,Nb及びTaの少なくとも1種をそ
れぞれSb2O3,Nb2O5,Ta2O5に換算して0.5
〜1.9重量%添加し、かつ、Cr,Fe,Mnの少な
くとも1種をそれぞれCr2O3,Fe2O3,Mn02に
換算して0.1〜0.8重量%添加し、さらに、Si,
Geの少なくとも1種をそれぞれSiO2,GeO2に換
算して0.001〜0.25重量%添加する。
Description
タ、セラミック発振子などの圧電セラミック素子の材料
として用いられる圧電磁器組成物に関する。
電磁器として、従来より、チタン酸ジルコン酸鉛(Pb
(TiXZr1-X)O3)を主成分とする圧電磁器が広く
用いられおり、その圧電特性を改善するために種々の微
量添加物を添加した圧電磁器が用いられている。
が平坦で、位相歪が小さいセラミックフィルタ用の圧電
磁器としては、機械的品質係数Qmの小さいことが要求
される。そして、このQm値の小さい圧電磁器として
は、チタン酸ジルコン酸鉛(Pb(TiXZr1-X)
O3)に添加物として、酸化ニオブ、酸化アンチモン、
酸化タンタルなどを添加した圧電磁器が知られている。
m値の小さい圧電磁器組成物は、アクチュエータ用とし
て圧電d定数を増大させたものや、広帯域フィルタ用と
して、電気機械結合係数Kを増大させることを主たる目
的とするものが多く、耐熱性が不十分で、表面実装型の
セラミックフィルタ素子として使用した場合、リフロー
はんだ付け工程で高温にさらされると、電気機械結合係
数Kが大幅に低下し、フィルタ特性が大きく劣化すると
いう問題点がある。
組成物は、一般に機械的強度が弱く、フィルタ素子とし
て加工する工程で、割れや欠けが発生しやすいという問
題点がある。
あり、機械的強度が大きく、機械的品質係数Qmが小さ
く、かつ、高温での電気機械結合係数Kの低下率が小さ
い圧電磁器組成物、特に、群遅延時間特性が平坦で位相
歪が小さく、かつ、表面実装に対応することが可能なセ
ラミックフィルタ素子用の圧電磁器組成物を提供するこ
とを目的とする。
3(但し、X=0.48〜0.55)で表されるチタン
酸ジルコン酸鉛の、Pb原子の0.1〜8モル%をB
a,Sr及びCaからなる群より選ばれる少なくとも1
種で置換し、これにSb,Nb及びTaからなる群より
選ばれる少なくとも1種をそれぞれSb2O3,Nb
2O5,Ta2O5に換算して0.5〜1.9重量%添加
し、かつ、Cr,Fe,Mnからなる群より選ばれる少
なくとも1種をそれぞれCr2O3,Fe2O3,Mn02
に換算して0.1〜0.8重量%添加し、さらに、S
i,Geからなる群より選ばれる少なくとも1種をそれ
ぞれSiO2,GeO2に換算して0.001〜0.25
重量%添加してなることを特徴とする。
は、相転移境界線(MPB)よりも正方晶系強誘電体相
(tetragonal相)側のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)
に、これをソフト化させるSb,Nb,Taの少なくと
も1種を添加し、さらに、これにPZTをハード化させ
るCr,Fe,Mnの少なくとも1種を微量添加するこ
とにより、電気機械結合係数Kを実用程度に大きくし、
かつ、高温でのKの低下率を小さくするとともに機械的
品質係数Qmを小さくし、さらに、Si,Geの少なく
とも1種を微量添加することにより機械的強度も同時に
向上させたものであり、電気機械結合係数Kが大きく、
耐熱性に優れ、かつ、機械的品質係数Qmの小さい圧電
磁器組成物を提供するものである。
フィルタ素子用の材料として特に優れた性質を有してお
り、上記の組成で、あるいは必要に応じて他の成分や他
の材料と組み合わせることにより、好適なセラミックフ
ィルタ素子材料として用いることができる。
この発明をより具体的に説明する。まず、圧電磁器組成
物の構成材料であるPbO,TiO2,ZrO2,SrC
O3,CaCO3,BaCO3,Sb2O3,Cr2O3,F
e2O3,Mn02,SiO2,GeO2などの諸成分を所
定の割合で秤取し、これに水を加えボールミルを用いて
湿式混合する。そして、湿式混合により得られた混合物
を乾燥した後、800〜900℃で2時間仮焼し、この
仮焼材料をボールミルを用いて湿式粉砕することにより
調整粉末を得た。
ルアルコールなどの粘結材を添加し、プレス成型を行な
った後、1150〜1250℃の温度で2時間保持し、
焼成を行なった。このようにして得られた磁器を直径1
0mm、厚さ1mmの円板状に研磨し、両端面に銀電極を焼
き付けした後、80℃の絶縁オイル中で30分間、2〜
3kV/mmの電界で分極処理を行ない圧電磁器を得た。
なお、比較のため、上記実施例と同様の操作でこの発明
の範囲外の圧電磁器(比較用)を製造した。
例の圧電磁器及び比較用圧電磁器について、径方向の振
動の電気機械結合係数Kp、機械的品質係数Qm、キュ
リー温度Tcの測定を行なった。表1に組成を変化させ
た場合の各組成における測定結果を示す。
れぞれ、下記の式(1): Pb1-YAY(TiXZr1-X)O3+B+C+D ……(1) における各成分とその添加割合を示している。すなわ
ち、AはPbと置換した元素の種類(Sr,Ba,C
a)とその割合(モル比)を示しており、Bは添加物の
種類(Sb2O3,Nb2O5,Ta2O5)とその添加割合
(重量%)、Cは添加物の種類(Cr2O3,Fe2O3,
Mn02)とその添加割合(重量%)、Dは添加物の種
類(SiO2,GeO2)とその添加割合(重量%)を示
している。また、表1において、*印を付したものはこ
の発明の範囲外の圧電磁器(比較例)を示している。
いての測定結果より、Sr,Ba,Caの置換量が合わ
せて8モル%を越えるとキュリー温度Tcが250℃以
下となることがわかった。
材料として使用する場合には、共振周波数Fr及び反共
振周波数Faの温度変化率が小さいことが不可欠であ
る。そこで、下記の式(2): Pb1-YAY(TiXZr1-X)O3+1.0wt%Sb2O3+ 0.3wt%Cr2O3+0.05wt%SiO2 ……(2) で表され、かつ、Yの値をY=0.00、Y=0.0
3、Y=0.05と変化させた圧電磁器について、−2
0〜80℃における共振周波数Frの温度変化率(Fr
−TC(温度係数)と表記)と、Tiのモル比Xとの関
係を調べた。その結果を図1に示す。
BaまたはCa)が、合わせて0.1モル%未満の場合
(図1ではY=0.00モル%)には、組成(Tiのモ
ル比X)の変化に対するFrの温度変化率(Fr−T
C)の変動が大きく、Frの温度変化率(Fr−TC)
の絶対値を100ppm/℃以下に抑えることが非常に困
難になることがわかった。一方、Sr,BaまたはCa
が合わせて0.1モル%を越えると(図1では3モル%
及び5モル%)と、Frの温度変化率(Fr−TC)の
変動幅が小さくなることがわかった。
重量%未満であると異常粒成長を起こし、均一な焼成を
行なうことができずにQm値が400より高くなり、一
方、添加量が1.9重量%を越えるとキュリー温度Tc
が250℃以下となることがわかった。
値(すなわち、(TiXZr1-X)のXの値)について
は、X<0.48ではTcの低下により耐熱性が悪化
し、X>0.55では電気機械結合係数Kpが40%以
下に低下することがわかった。
電磁器組成物(試料No.17)と、Cr,Fe,Mnの
添加量が0.1重量%未満のこの発明の範囲外の比較例
(試料No.33)の、温度に対する電気機械結合係数K
pの変化の関係を示す。図2に示す2つの材料(試料)
は、そのキュリー温度Tc及び電気機械結合係数Kpが
ほぼ等しい材料を選択したものであるが、Cr,Fe,
Mnを0.1重量%以上添加したこの発明の圧電磁器組
成物は、比較例に比べてキュリー点付近に至るまで(特
に250℃付近で)の電気機械結合係数Kpの低下割合
が小さく、セラミックフィルタ素子材料として、極めて
耐熱性に優れていることがわかった。
重量%を越えると、Qm値が400以上と高くなり、か
つ、電気機械結合係数Kpが40%以下に低下すること
がわかった。
る圧電磁器組成物についての3点曲げ強度試験の結果を
示すものであり、下記の式(3): Pb0.95Ba0.05(Ti0.49Zr0.51)O3+1.0wt%Sb2O3+ 0.4wt%Cr2O3+ZD(ただし、DはSiO2またはGeO2) ……(3) で表される組成物のZの値(SiO2またはGeO2の添
加量(重量%))を変化させて測定した、3点曲げ強度
(抗折強度)τとZの値との関係を示す線図である。
GeO2)の添加量が合わせて0.001重量%未満の
場合、τが1000kg/cm2以下と機械的強度が低下
していることがわかる。
結合係数Kpが40%以下に低下してしまうことがわか
った。したがって、Si,Geの添加量は、SiO2,
GeO2に換算して0.001〜0.25重量%の範囲
が好ましい。
物は、電気機械結合係数Kが実用程度に大きく、かつ、
共振周波数及び反共振周波数の温度変化率が小さく、機
械的品質係数Qmの値を、(例えば、400以下の)低
い領域で任意に選択することが可能であるため、セラミ
ックフィルタ(圧電フィルタ)素子用の圧電磁器として
用いた場合に、その群遅延時間(GDT)特性が平坦
で、しかも位相歪の小さいものをその用途に応じて任意
に選択することができるという効果がある。
の機械的品質係数Qmの小さい圧電磁器に比べて機械的
強度が大きいため、セラミックフィルタ素子に加工する
工程で生じる割れや欠けの発生を抑制して製品の歩留り
を大幅に向上させることができる。
リー温度が250℃以上と高く、かつ、キュリー温度付
近に至るまでの電気機械結合係数Kの低下割合が小さ
い。したがって、この発明にかかる圧電磁器を、リフロ
ーはんだなどにより表面実装されるフィルタ素子材料と
して用いた場合、高温(〜250℃)にさらされること
による特性劣化、特にフィルタの通過帯域のずれ、及び
通過帯域幅の減少を小さく抑えることができるため、表
面実装用のセラミックフィルタ素子材料として特に有用
である。
置換量に対する、Ti,Zrのモル比と、Fr−TC
(−20〜80℃における共振周波数Frの温度変化
率)との関係を示す線図である。
温度と電気機械結合係数Kpの関係を示す線図である。
関係を示す線図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 Pb(TiXZr1-X)O3(但し、X=
0.48〜0.55)で表されるチタン酸ジルコン酸鉛
の、Pb原子の0.1〜8モル%をBa,Sr及びCa
からなる群より選ばれる少なくとも1種で置換し、これ
にSb,Nb及びTaからなる群より選ばれる少なくと
も1種をそれぞれSb2O3,Nb2O5,Ta2O5に換算
して0.5〜1.9重量%添加し、かつ、Cr,Fe,
Mnからなる群より選ばれる少なくとも1種をそれぞれ
Cr2O3,Fe2O3,Mn02に換算して0.1〜0.
8重量%添加し、さらに、Si,Geからなる群より選
ばれる少なくとも1種をそれぞれSiO2,GeO2に換
算して0.001〜0.25重量%添加してなることを
特徴とする圧電磁器組成物。 - 【請求項2】 Pb(TiXZr1-X)O3(但し、X=
0.48〜0.55)で表されるチタン酸ジルコン酸鉛
の、Pb原子の0.1〜8モル%をBa,Sr及びCa
からなる群より選ばれる少なくとも1種で置換し、これ
にSb,Nb及びTaからなる群より選ばれる少なくと
も1種をそれぞれSb2O3,Nb2O5,Ta2O5に換算
して0.5〜1.9重量%添加し、かつ、Cr,Fe,
Mnからなる群より選ばれる少なくとも1種をそれぞれ
Cr2O3,Fe2O3,Mn02に換算して0.1〜0.
8重量%添加し、さらに、Si,Geからなる群より選
ばれる少なくとも1種をそれぞれSiO2,GeO2に換
算して0.001〜0.25重量%添加してなることを
特徴とするセラミックフィルタ素子材料用の圧電磁器組
成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12140192A JP3221049B2 (ja) | 1991-07-23 | 1992-04-14 | 圧電磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3-206423 | 1991-07-23 | ||
JP20642391 | 1991-07-23 | ||
JP12140192A JP3221049B2 (ja) | 1991-07-23 | 1992-04-14 | 圧電磁器組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05139829A true JPH05139829A (ja) | 1993-06-08 |
JP3221049B2 JP3221049B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=26458774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12140192A Expired - Lifetime JP3221049B2 (ja) | 1991-07-23 | 1992-04-14 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3221049B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6051157A (en) * | 1997-12-09 | 2000-04-18 | Tdk Corporation | Piezoelectric ceramic composition |
US6402981B1 (en) | 1999-09-20 | 2002-06-11 | Tdk Corporation | Composition of piezoelectric porcelain |
CN114075073A (zh) * | 2020-08-17 | 2022-02-22 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种PZT-Pb(Sb1/2Nb1/2)三元系压电陶瓷材料及其制备方法和应用 |
-
1992
- 1992-04-14 JP JP12140192A patent/JP3221049B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6051157A (en) * | 1997-12-09 | 2000-04-18 | Tdk Corporation | Piezoelectric ceramic composition |
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CN114075073A (zh) * | 2020-08-17 | 2022-02-22 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种PZT-Pb(Sb1/2Nb1/2)三元系压电陶瓷材料及其制备方法和应用 |
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JP3221049B2 (ja) | 2001-10-22 |
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