JPH05135384A - 光学ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光ディスクの記録再生装置に用いる光学ヘッ
ドであって、トラッキング制御およびフォーカシング制
御を互いに干渉することなく正確に行うことができると
ともに、トラッキング駆動部を小型、軽量化して応答特
性を改善し、さらに全体を小型、軽量とする。 【構成】 光源１、ガルバノミラー２、光検出器３，４
をシリコン基板５に一体的に設けた光学ユニット９と、
対物レンズ１１とを支持部材１０に装着し、この支持部
材を、フォーカシングコイル１９，２０を含む駆動装置
によってフォーカシング方向に移動させ、ガルバノミラ
ーをトラッキングエラー信号に基づいて回動させてトラ
ッキング制御を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は光ディスクや光磁気ディ
スクのような光学式記録媒体を使用する情報記録／再生
装置における光学ヘッドに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】上述した光学ヘッドを用いる情報記録／
再生装置においては、半導体レーザ等の光源から出射さ
れるレーザビームを対物レンズによって収束して光学式
記録媒体上にスポットとして照射し、記録媒体で反射さ
れ、記録情報によって変調されたレーザビームを対物レ
ンズで集光して光検出器で検出することによって情報の
再生を行っている。従来の光学ヘッドでは、対物レン
ズ、半導体レーザ、ビームスプリッタ、光検出器などの
多くの光学部品を必要とするため、光学ヘッドを小型化
し、軽量化することは困難であった。

【０００３】光学ヘッドを小型化し、軽量化するための
提案の一つとして、例えば特開平1-273238号公報には、
レーザダイオード、光検出器およびレーザダイオードか
ら出射するレーザビームを対物レンズへ向けて反射する
反射面を有するとともに記録媒体で反射され、対物レン
ズで集光されたレーザビームを前記反射面を透過させて
光検出器へ導くプリズムとを半導体基板に一体的に設
け、さらにこの半導体基板を対物レンズと一緒に支持部
材に取り付けた光学ヘッドが開示されている。このよう
に半導体基板と対物レンズとを支持手段に固定して設け
ることによって対物レンズとその他の光学部材との位置
ずれが起こりにくくなる。また、このような光学ヘッド
においては、情報の記録および再生を正しく行うために
は、トラッキングおよびフォカーシングを行う必要があ
る。すなわち、光検出器で検出された光情報からトラッ
キングエラー信号およびフォーカシングエラー信号を検
出し、これらのエラー信号に基づいてトラッキングアク
チュエータおよびフォーカシングアクチュエータを駆動
して対物レンズをトラッキング方向およびフォーカシン
グ方向に駆動するようにしている。

【０００４】上述した特開昭1-273238号公報に記載され
た従来の光学ヘッドにおいては、上述したようにレーザ
ダイオード、光検出器およびプリズムを一体的に設けた
半導体基板と、対物レンズとを支持部材によって支持
し、この支持部材全体をトラッキングアクチュエータお
よびフォーカシングアクチュエータによってトラッキン
グ方向およびフォーカシング方向に駆動するようにして
いる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
光学ヘッドにおいては、半導体基板および対物レンズを
支持する支持部材を、トラッキング方向およびフォーカ
シング方向の２軸方向に移動できるように構成してい
る。すなわち、トラッキング方向に移動させる軸と、フ
ォーカシング方向に移動させる軸とが共通となってい
る。したがって、トラッキング制御のための移動と、フ
ォーカシング制御のための移動とが相互に干渉し合い、
正確なトラッキング制御およびフォーカシング制御を行
うことができない欠点がある。

【０００６】さらに、トラッキング制御に関しては、半
導体基板および対物レンズを支持する支持部材全体をト
ラッキング方向に駆動する構成としているが、支持部材
全体の重量は相当重くなり、したがってトラッキング駆
動手段としても大きな力量を発生できるものが必要とな
り、大型で重くなり、特に厚さ方向の寸法が大きくなる
欠点がある。また、小型軽量という点で考えると大きな
駆動力を発生させることにも限度があるため、トラッキ
ング制御の感度にも小型化からの制限で十分に大きくと
れず、高速の制御を行うことができない欠点もあった。

【０００７】本発明の目的は上述した従来の欠点を除去
し、トラッキング制御およびフォーカシング制御を互い
に干渉することなく正確に行うことができ、さらにトラ
ッキング駆動手段を小型、軽量とすることができるとと
もに高感度および高速のトラッキング制御を行うことが
できる光学ヘッドを提供しようとするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明による光学ヘッド
は、光源、光検出器および光源から出射される光ビーム
をトラッキング方向に偏向させるガルバノミラーを一体
的に構成した半導体基板と、前記ガルバノミラーで偏向
された光ビームを記録媒体上に照射する対物レンズと、
前記半導体基板および対物レンズを対物レンズの光軸と
平行なフォーカシング方向に移動可能に保持する支持手
段と、この支持手段をフォーカシングエラー信号に基づ
いて前記フォーカシング方向に駆動するフォーカシング
駆動手段と、前記ガルバノミラーをトラッキングエラー
信号に基づいて駆動するトラッキング駆動手段とを具え
ることを特徴とするものである。

【０００９】

【作用】このような本発明による光学ヘッドによれば、
トラッキング制御は半導体基板に設けたガルバノミラー
を駆動することによって行い、フォーカシング制御は支
持手段を駆動することによって行うので、トラッキング
の駆動軸およびフォーカシングの駆動軸とは独立したも
のとなり、互いに干渉することはなくなり、正確なトラ
ッキング制御およびフォーカシング制御を行うことがで
きる。また、トラッキング制御は小型、軽量のガルバノ
ミラーを駆動するものであるから、その駆動手段も小
型、軽量とすることができるとともに感度および応答速
度を向上することができる。

【００１０】

【実施例】図１および図２は本発明による光学ヘッドの
第１の実施例の構成を示す平面図および断面図である。
レーザビームを出射するレーザダイオード１、このレー
ザビームをトラッキング方向に偏向するガルバノミラー
２および光検出器３，４を一体的に設けたシリコン基板
５と、互いに対向する表面に回折格子６およびホログラ
ム７を設けたガラズブロック８とを有する光学ユニット
９を、保持部材１０の一端の近傍に取り付ける。この保
持部材１０の他端の近傍には対物レンズ１１およびミラ
ー１２を固着する。光学ユニット９から放射される光ビ
ームはミラー１２で上方へ反射されて対物レンズ１１に
入射し、そこで収束されて光学式記録媒体１３の上に微
小スポットとして投射される。記録媒体１３で反射され
た光ビームは対物レンズ１１で集光され、ミラー１２で
反射されて光学ユニット９に入射される。

【００１１】光学ユニット９、対物レンズ１１およびミ
ラー１２を支持する保持部材１０を、ベース１４に対し
て対物レンズの光軸と平行なフォーカシング方向に移動
可能に支持するために、ベースと一体に設けた立ち上が
り部材１４ａに一端を固着し、他端を保持部材１０に固
着した４本の弾性ワイヤを設ける。図１においては、保
持部材１０のそれぞれの側に配置したワイヤをそれぞれ
符号１５および１６で示す。また、保持部材１０をフォ
ーカシング方向に駆動するために、ベース１４に第１お
よび第２のヨーク１７および１８を取り付け、これらの
ヨークの一方の脚を、保持部材に固着した第１および第
２のフォーカシングコイル１９および２０にそれぞれ通
す。また、これらのヨーク１７および１８の他方の脚の
内面には永久磁石２１および２２をそれぞれ固着し、フ
ォーカシングコイル１９および２０を通る磁束を発生さ
せる。したがって、これらのフォーカシングコイル１９
および２０にフォーカシングエラー信号に応じた電流を
流すことによってフォーカシングコイルにはフォーカシ
ング方向の力が発生し、保持部材１０をワイヤ１５およ
び１６の弾性力に抗してフォーカシング方向に駆動して
フォーカシング制御を行うことができる。

【００１２】図３は光学ユニット９の詳細な構成を示す
平面図である。シリコン基板５に凹部を形成し、その底
面にレーザダイオード１を、レーザビームが水平方向に
出射するように固着する。凹部の一側面をほぼ４５度の
角度の傾斜面とし、ここにガルバノミラー２を配置する
とともにこのガルバノミラーを記録媒体１３に形成され
た情報トラックの接線方向と平行な軸線を中心として回
動させて、レーザビームをトラッキング方向に偏向させ
るトラッキング駆動用静電モータを設ける。この駆動モ
ータについては、後に説明する。

【００１３】シリコン基板５の前面には光軸を挟むよう
に第１および第２の光検出器３および４を取り付ける。
これらの光検出器３および４の各々は３個の受光素子を
有しており、さらにその中央の受光素子は３分割された
受光領域を有している。ガラズブロック８の裏面には、
回折格子６を取り付け、レーザダイオード１から出射さ
れ、ガルバノミラー２で反射されたレーザビームを回折
するように構成する。本例では０次、＋１次および−１
次のレーザビームを利用して情報の読み取り、フォーカ
シングエラーおよびトラッキングエラーの検出を行うも
のである。ガラスブロック８の表面にはホログラム７を
取り付ける。このホログラム８は、記録媒体１３で反射
されたレーザビームをさらに回折するための回折格子
と、フォーカシングエラーを検出するためにレーザビー
ムに非点収差を与える光学素子の機能を備えている。

【００１４】レーザダイオード１から放射され、ガルバ
ノミラー２で反射されたレーザビームは回折格子６で回
折され、その０次、＋１次および−１次ビームを取り出
し、図２に示すようにミラー１２で上方に向け反射さ
せ、対物レンズ１１で収束して記録媒体１３に３個のレ
ーザビームスポットとして照射する。これら３個のレー
ザビームスポットは、０次ビームによる中央のスポット
が情報トラックの中央に位置し、＋１次および−１次ビ
ームによるスポットが同一情報トラックの左右両側縁に
位置するようにする。記録媒体１３で反射された３本の
レーザビームは対物レンズ１１で集光され、ミラー１２
で反射されて、再び光学ユニット９に戻される。

【００１５】光学ユニット９においては、３本のレーザ
ビームはホログラム７によって回折されるとともに非点
収差が与えられる。回折された光ビームの内、＋１次お
よび−１次ビームをそれぞれ第１および第２の光検出器
３および４にそれぞれ入射させ、０次ビームは使用しな
い。このようにして回折格子６によって回折された０次
ビームの戻りビームをホログラム７で回折させた＋１次
および−１次ビームを受光する中央の受光素子の出力信
号を処理して情報信号およびフォーカシングエラー信号
を取り出し、回折格子６によって回折された＋１次およ
び−１次ビームの戻りビームをホログラム７で回折させ
て得られるそれぞれの＋１次および−１次ビームを受光
する両端の受光素子の出力信号を処理してトラッキング
エラー信号を取り出すことができる。これらの光検出器
３および４の出力信号を処理する回路の一部をシリコン
基板５内に形成することもできる。このような光検出器
３および４の構成およびこれらの信号を取り出すための
回路構成はそれぞれ周知であるのでこれ以上詳細には説
明しない。

【００１６】図４はガルバノミラー２を駆動するトラッ
キング駆動モータの一例の構成を示すものである。図４
Ａに示すように、シリコン基板５の表面を選択的にエッ
チングして回動軸２ａによって回動自在に支持されたミ
ラー基台２ｂを形成し、このミラー基台の表面に反射膜
２ｃをコーティングする。また、図４Ｂに示すようにミ
ラー基台２ｂの裏面には電極２ｄを形成するとともにこ
の電極と対向するように２個の対向電極２ｅおよび２ｆ
をシリコン基板の表面に設ける。したがって、電極２ｄ
と対向電極２ｅとの間に電圧Ｅ１を印加するか電極２ｄ
と対向電極２ｆとの間に電圧Ｅ２を印加することによっ
てこれらの電極の間には吸引力が作用することになり、
この電圧を選択的に印加することによってミラー基台２
ｂは回動軸２ａを中心として回動することになる。この
ように静電モータとも称されるトラッキング駆動手段に
よって、記録媒体１３の情報トラックの接線方向と平行
な方向に延在させた回動軸２ａを中心として、ミラー基
台を回動させることによってレーザビームをトラッキン
グ方向に偏向させることができ、したがってトラッキン
グエラー信号に基づいて電圧Ｅ１またはＥ２を電極２ｄ
と対向電極２ｅとの間または電極２ｄと対向電極２ｆと
の間に印加することによってトラッキング制御を行うこ
とができる。

【００１７】上述したように本発明による光学ヘッドに
おいては、レーザダイオード１、ガルバノミラー２およ
び光検出器３および４を一体的に設けたシリコン基板５
を含む光学ユニット９と、対物レンズ１１と、ミラー１
２とを保持部材１０で支持し、この保持部材をフォーカ
シング方向に変位させるフォーカシングコイル１９，２
０、ヨーク１７，１８、永久磁石２１，２２を含むフォ
ーカシング駆動手段でフォーカシング方向に駆動してフ
ォーカシング制御を行い、トラッキング制御はシリコン
基板５に設けた静電モータ方式の駆動手段によってガル
バノミラー２をトラッキング方向に駆動して行うように
したので、フォーカシング制御用の駆動軸とトラッキン
グ制御用の駆動軸とは互いに独立したものとなり、これ
らフォーカシング駆動とトラッキング駆動が相互に干渉
するようなことはなく、正確なフォーカシング制御およ
びトラッキング制御を行うことができる。また、トラッ
キング制御はきわめて小さなガルバノミラー２を静電モ
ータによって駆動して行っているので、感度および応答
性は良好となる。

【００１８】図５は本発明による光学ヘッドの第２の実
施例の構成を示すものである。本例において第１の実施
例と同様の部分には同一の符号を付けて示し、その詳細
な説明は重複するので省略する。本例においてはレーザ
ダイオード１、ガルバノミラー２および光検出器３０を
一体的に設けたシリコン基板５を保持部材１０の上面に
設ける。このようにシリコン基板１０を上面に設けるこ
とによって放熱特性が良好となる。また、光学ユニット
９にはさらにプリズム３１を設け、レーザダイオード１
から出射されるレーザビームをこのプリズムの反射面で
反射させた後ガルバノミラー２に入射させるように構成
する。また、ガルバノミラー２で反射されたレーザビー
ムを保持部材１０に固着したミラー３２によって水平方
向に向けた後、水平面に対して４５度の角度を成すよう
に保持部材１０に固着された反射面３３ａを有する非球
面対物レンズ３３に入射させる。このとき、レンズ面３
３ｃで平行とすることで光量損失を防ぐようになってい
る。その後、レンズ面３３ｂで記録媒体１３に集光す
る。

【００１９】記録媒体１３からの戻りレーザビームは対
物レンズ３３で集光され、反射面３３ａで水平方向に偏
向されてミラー３２に入射し、ガルバノミラー２を介し
てプリズム３１に入射し、このプリズムの反射面で反射
された後、光検出器３０に入射するように構成する。保
持部材は一対の弾性材料より成るばね部材３４によって
ベース１４に対してフォーカシング方向に変位可能に支
持する。保持部材１０をフォーカシング方向に駆動する
ための駆動手段は、前例と同様にベース１４に固着した
ヨーク１７，１８と、それぞれのヨークの脚に通すよう
に保持部材に固着したフォーカシングコイル１９および
２０と、ヨークの他方の脚に固着した永久磁石２１，２
２とを以て構成するが、前例とはこれらの配置が相違し
ているだけである。

【００２０】図６は本発明による光学ヘッドの第３の実
施例の構成を示すものである。本例において前述した実
施例と同様の部分には同一の符号を付けて示し、その詳
細な説明は省略する。本例においては、光源、ガルバノ
ミラー、光検出器を一体的に設けたシリコン基板５を有
する光学ユニット９および反射面を有する非球面対物レ
ンズ３３を保持部材１０に取り付け、この保持部材を４
本のワイヤ１５，１６（図６では片側のワイヤ１５のみ
が見えている）によってフォーカシング方向に変位可能
に支持する。この場合、これらのワイヤ１５，１６の一
端を保持部材１０に連結する位置を保持部材の重心の位
置と一致するようにする。このように構成することによ
って保持部材１０をフォーカシング方向に駆動するとき
に、保持部材の不所望の回動を抑止することができる。

【００２１】図７は本発明による光学ヘッドの第４の実
施例の構成を示すものである。本例においても前例と同
様の部分には同じ符号を付けて示し、その詳細な説明は
省略する。光学ユニット９、ミラー３１および反射面３
３ａを有する非球面対物レンズ３３を保持部材１０に装
着し、この保持部材をワイヤによってベース１４に対し
てフォーカシング方向に変位可能に支持するとともにフ
ォーカシング方向に駆動するためにフォーカシングコイ
ル、ヨーク、永久磁石より成るフォーカシング駆動手段
を設ける点は第３の実施例と同様である。また、前例で
は図示していないが、ベース１４をトラッキング方向に
移動させて所望のトラックへのシークを行うように構成
されている。本例では、光学ユニット９に設けたガルバ
ノミラーを情報トラックの接線方向を軸として回動して
トラッキング制御を行うだけでなく、ガルバノミラーの
表面に対して垂直な方向にも変位可能として光路長を変
えてフォーカシング制御をも行うように構成する。

【００２２】図８Ａおよび８Ｂはこのようにトラッキン
グ方向およびフォーカシング方向に変位可能に構成した
ガルバノミラー４１の構造を示す断面図および平面図で
ある。本例でもシリコン基板を選択的にエッチングして
情報トラックの接線方向に延在する連結部４１ａおよび
４１ｂを介してシリコン基板に連結されたミラー基台４
１ｃを設け、このミラー基台の表面に反射面４１ｄを被
着する。ミラー基台４１ｃの表面には表面電極４２ａお
よび４２ｂを設け、裏面には裏面電極４３ａおよび４３
ｂを設け、これら表面電極および裏面電極とそれぞれ対
向するように表面対向電極４４ａ，４４ｂおよび４５
ａ，４５ｂを設ける。

【００２３】表面電極４２ａと表面対向電極４４ａとの
間に電圧Ｅ１を印加するとともに裏面電極４３ｂと裏面
対向電極４５ｂとの間に電圧Ｅ４を印加することによっ
てこれらの電極対の間に静電引力が作用し、ミラー基台
４１ｃを軸線Ｏ−Ｏを中心として図８Ａにおいて時計方
向に回動させることができ、また表面電極４２ｂと表面
対向電極４４ｂとの間に電圧Ｅ２を印加するとともに裏
面電極４３ａと裏面対向電極４５ａとの間に電圧Ｅ３を
印加することによってこれらの電極対の間に静電引力が
作用し、ミラー基台４１ｃを軸線Ｏ−Ｏを中心として図
８Ａにおいて反時計方向に回動させることができる。こ
のようにトラッキングエラー信号に応じた電圧Ｅ１，Ｅ
４またはＥ２，Ｅ３を上述したように印加することによ
ってミラー基台４１ｃを軸線Ｏ−Ｏを中心として回動さ
せてトラッキング制御を行うことができる。さらに、表
面電極４２ａと表面対向電極４４ａとの間に電圧Ｅ１を
印加するとともに表面電極４２ｂと表面対向電極４４ｂ
との間に電圧Ｅ２を印加することによってこれらの電極
対の間に静電引力が作用し、ミラー基台４１ｃをその平
面に垂直な方向に移動させることができ、これによって
フォーカシング制御を行うことができる。

【００２４】上述したように、本例においては、ガルバ
ノミラーを構成する反射面４１ｄをトラッキング方向お
よびフォーカシング方向に変位させるものであり、この
ためミラー基台４１ｃを支持する連結部４１ａおよび４
１ｂは、ミラー基台がこれら両方向に容易に変位できる
ような構造としている。

【００２５】さらに、本例においては、フォーカシング
コイルに電流を流して保持部材１０全体をフォーカシン
グ方向に駆動するとともにガルバノミラーの電極に電圧
を印加してガルバノミラーをその表面に対して垂直な方
向に変位させてフォーカシング制御を行うが、これらの
フォーカシングコイルおよび電極に供給する信号を作成
する回路を図９に示す。図９において、記録媒体から反
射されたレーザビームを受光する光検出器５１の出力信
号を信号処理回路５２で処理してフォーカシングエラー
信号を作成し、このフォーカシングエラー信号を低域通
過フィルタ５３に通して低域成分を抽出するとともに高
域通過フィルタ５４に通して高域成分を抽出する。低域
フィルタ５３から得られるフォーカシングエラー信号の
低域成分を第１の駆動回路５５に供給してフォーカシン
グエラー信号の低域成分に応じた電流を発生させ、これ
をフォーカシングコイル５６に供給する。また高域フィ
ルタ５４から得られるフォーカシングエラー信号の高域
成分を第２の駆動回路５７に供給し、この高域成分に応
じた電圧を発生させ、これを上述した表面電極４２ａ、
表面対向電極４４ａおよび表面電極４２ｂ、表面対向電
極４４ｂより成るフォーカシング用静電モータ５８に印
加する。このようにフォーカシングエラー信号の低域成
分および高域成分に応じたフォーカシング制御信号を作
成し、これらをそれぞれフォーカシングコイルおよびフ
ォーカシング用静電モータに供給することによって駆動
系の高次共振を少なくすることができ、より正確なフォ
ーカシング制御を行うことができる。

【００２６】本発明は上述した実施例にのみ限定される
ものではなく、幾多の変更や変形が可能である。例え
ば、光学ユニットの構成は上述したものに限られず、種
々の構成が可能である。また、保持部材を移動可能に支
持する機構やこれをフォーカシング方向に駆動する機構
についても種々の構成が可能である。

【００２７】

【発明の効果】上述したように、本発明の光学ヘッドに
よれば、トラッキング制御は半導体基板に一体的に設け
たガルバノミラーを記録媒体の情報トラックの接線方向
に延在する軸線を中心として回動させることによって行
い、フォーカシング制御は半導体基板および対物レンズ
を保持する保持部材をフォーカシング方向に移動させる
ことによって行うようにしたので、これらトラッキング
駆動およびフォーカシング駆動を互いに独立に行うこと
ができ、したがって互いに干渉することはなくなり、ト
ラッキング制御およびフォーカシング制御を正確に行う
ことができる。また、トラッキング制御は半導体基板と
一体的に設けたきわめて小さなガルバノミラーを回動さ
せて行うので、その駆動手段を含めて全体を小型、軽量
とすることができる。さらに、第４の実施例において
は、フォーカシング制御をフォーカシングエラー信号の
低域成分で保持部材をフォーカシング方向に移動させる
だけでなく、ガルバノミラーをフォーカシングエラー信
号の高域成分で、その表面に垂直な方向に移動させるこ
とによって行うようにしたので、駆動系の高次共振を抑
止することができ、フォーカシング制御特性をさらに改
善することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明による光学ヘッドの第１実施例
の構成を示す平面図である。

【図２】図２は、同じく第１実施例の構成を示す断面図
である。

【図３】図３は、同じくその光学ユニットの詳細な構成
を示す断面図である。

【図４】図４ＡおよびＢは、同じくそのガルバノミラー
駆動手段の構成を示す斜視図および断面図である。

【図５】図５は、本発明による光学ヘッドの第２実施例
の構成を示す線図的断面図である。

【図６】図６は、本発明による光学ヘッドの第３実施例
の構成を示す線図的断面図である。

【図７】図７は、本発明による光学ヘッドの第４実施例
の構成を示す線図的断面図である。

【図８】図８ＡおよびＢは、同じくそのガルバノミラー
の詳細な構成を示す断面図および平面図である。

【図９】図９は、同じくガルバノミラー駆動回路の構成
を示す回路図である。

【符号の説明】

１ レーザダイオード ２ ガルバノミラー ３ 光検出器 ４ 光検出器 ５ シリコン基板 ６ 回折格子 ７ ホログラム ８ ガラズブロック ９ 光学ユニット １０ 保持部材 １１ 対物レンズ １２ ミラー １３ 記録媒体 １４ ベース １５ ワイヤ １６ ワイヤ １７ ヨーク １８ ヨーク １９ フォーカシングコイル ２０ フォーカシングコイル ２１ 永久磁石 ２２ 永久磁石 ２ａ 回動軸 ２ｂ ミラー基台 ２ｃ 反射面 ２ｄ 電極 ２ｅ，２ｆ 対向電極 ３０ 光検出器 ３１ プリズム ３２ ミラー ３３ 非球面対物レンズ ３４ ばね部材 ４１ａ，４１ｂ 連結部 ４１ｃ ミラー基台 ４１ｄ 反射面 ４２ａ，４２ｂ 表面電極 ４３ａ，４３ｂ 裏面電極 ４４ａ，４４ｂ 表面対向電極 ４５ａ，４５ｂ 裏面対向電極 ５１ 光検出器 ５２ 信号処理回路 ５３ 低域通過フィルタ ５４ 高域通過フィルタ ５５ 第１駆動回路 ５６ フォーカシングコイル ５７ 第２駆動回路 ５８ フォーカシング用静電モータ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光源、光検出器および光源から出射され
   る光ビームをトラッキング方向に偏向させるガルバノミ
   ラーを一体的に設けた半導体基板と、前記ガルバノミラ
   ーで偏向された光ビームを記録媒体上に照射する対物レ
   ンズと、前記半導体基板および対物レンズを対物レンズ
   の光軸と平行なフォーカシング方向に移動可能に支持す
   る支持手段と、この支持手段をフォーカシングエラー信
   号に基づいて前記フォーカシング方向に駆動するフォー
   カシング駆動手段と、前記ガルバノミラーをトラッキン
   グエラー信号に基づいて駆動するトラッキング駆動手段
   とを具えることを特徴とする光学ヘッド。
2. 【請求項２】 前記半導体基板上に、ガルバノミラーを
   フォーカシング方向に駆動するフォーカシング用モータ
   を設け、前記フォーカシングエラー信号の低域成分によ
   って前記フォーカシング駆動手段を駆動するとともにフ
   ォーカシングエラー信号の高域成分によって前記半導体
   基板上に設けられたフォーカシング用モータを駆動する
   よう構成したことを特徴とする請求項１記載の光学ヘッ
   ド。