JPH0513445B2 - - Google Patents
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- JPH0513445B2 JPH0513445B2 JP60215239A JP21523985A JPH0513445B2 JP H0513445 B2 JPH0513445 B2 JP H0513445B2 JP 60215239 A JP60215239 A JP 60215239A JP 21523985 A JP21523985 A JP 21523985A JP H0513445 B2 JPH0513445 B2 JP H0513445B2
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- JP
- Japan
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- scanning
- scale
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- measuring
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- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/3473—Circular or rotary encoders
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、測定目盛を有するスケールと、測定
目盛に対して調整可能で、走査目盛を有する走査
ユニツトとを備えた、相対的に運動可能な二つの
対象物の位置の測定のための位置測定装置にし
て、測定目盛に対する走査目盛の正確な付設は被
測定対象の組立面によつて行われるものに関す
る。
目盛に対して調整可能で、走査目盛を有する走査
ユニツトとを備えた、相対的に運動可能な二つの
対象物の位置の測定のための位置測定装置にし
て、測定目盛に対する走査目盛の正確な付設は被
測定対象の組立面によつて行われるものに関す
る。
（産業上の利用分野）
いわゆる組立式角度測定装置として組付けられ
た装置としてメーカによつて提供されるのではな
く、むしろその構造群は使用の際にはじめてその
機械に連結されるような位置測定装置が公知であ
る。この機械で位置測定を非常に正確にしようと
すれば位置測定装置は相応した精度にされていな
ければならず、このことは組立コスト及び調整コ
ストの著しい増大につながる。
た装置としてメーカによつて提供されるのではな
く、むしろその構造群は使用の際にはじめてその
機械に連結されるような位置測定装置が公知であ
る。この機械で位置測定を非常に正確にしようと
すれば位置測定装置は相応した精度にされていな
ければならず、このことは組立コスト及び調整コ
ストの著しい増大につながる。
目盛板ユニツトは角度目盛を担持するスケール
から成り、スケールは必要な精度で心立て軸段部
上に貼付けられる。この目盛板ユニツトは作業者
によつて機械軸上に組付けられかつ円弧状に心立
てされる。走査目盛が角度目盛に対して非常に正
確に調整されなければならない走査ユニツトは機
械の組立面に組付けられる。このことは走査ユニ
ツトの組立ストツパによつて行われ、組立てスト
ツパは正確に仕上げられた機械側の組立軸段部に
設けられる。従つてこの組立軸段部はそのように
正確に仕上げられなければならない、何故ならば
スケールの円弧からの偏位は測定誤差につながる
からである。
から成り、スケールは必要な精度で心立て軸段部
上に貼付けられる。この目盛板ユニツトは作業者
によつて機械軸上に組付けられかつ円弧状に心立
てされる。走査目盛が角度目盛に対して非常に正
確に調整されなければならない走査ユニツトは機
械の組立面に組付けられる。このことは走査ユニ
ツトの組立ストツパによつて行われ、組立てスト
ツパは正確に仕上げられた機械側の組立軸段部に
設けられる。従つてこの組立軸段部はそのように
正確に仕上げられなければならない、何故ならば
スケールの円弧からの偏位は測定誤差につながる
からである。
原則としてスケールの心立て軸段部は理想的な
調整補助手段である。しかし走査ユニツトの組立
ストツパは軸段部に当接しなければならないの
で、心立て軸段部と組立ストツパとの間の摩擦に
基づく心立て軸段部の補助措置は決定的なもので
ある。
調整補助手段である。しかし走査ユニツトの組立
ストツパは軸段部に当接しなければならないの
で、心立て軸段部と組立ストツパとの間の摩擦に
基づく心立て軸段部の補助措置は決定的なもので
ある。
この理由から、機械連結として度々製造可能性
の限界につき当る機械メーカでは、組立軸段部の
正確な製造が困難である、そのわけは大抵数ミク
ロン（μｍ）の公差が要求されるからである。
の限界につき当る機械メーカでは、組立軸段部の
正確な製造が困難である、そのわけは大抵数ミク
ロン（μｍ）の公差が要求されるからである。
（解決されるべき課題）
従つて本発明の課題は上記の欠点を回避し、正
確な調整のために必要な構造的特徴が測定機メー
カによつて考慮されているような位置測定装置を
創造することである。
確な調整のために必要な構造的特徴が測定機メー
カによつて考慮されているような位置測定装置を
創造することである。
（課題の解決のための手段）
この課題は構成群が走査ユニツトの案内中で組
立面に対して垂直方向に位置調整可能かつ各位置
でねじによつて走査ユニツトに係止可能であり、
そして走査ユニツトは目盛板ユニツトの心立て軸
段部にストツパが当接するまで目盛板ユニツトの
中心に対してラジアル方向に移動されかつこの位
置でステータ上にねじによつて固定され、そして
走査ユニツトは、走査目盛と測定目盛との間が走
査距離になつた際にストツパが測定目盛に平行に
された心立て軸段部から解放されることによつて
解決される。
立面に対して垂直方向に位置調整可能かつ各位置
でねじによつて走査ユニツトに係止可能であり、
そして走査ユニツトは目盛板ユニツトの心立て軸
段部にストツパが当接するまで目盛板ユニツトの
中心に対してラジアル方向に移動されかつこの位
置でステータ上にねじによつて固定され、そして
走査ユニツトは、走査目盛と測定目盛との間が走
査距離になつた際にストツパが測定目盛に平行に
された心立て軸段部から解放されることによつて
解決される。
（発明の効果）
本発明による位置決め装置の特別の利点は機械
メーカが従来と同様に目盛板ユニツトを機械の円
弧上に心立てすればよく、かつ走査ユニツトの組
立のために比較的大きな公差の固定ねじ孔を設け
ることにある。測定目盛に対する走査ユニツトの
走査目盛の正確な調整は組立てストツパ及び走査
ユニツトに組込まれた案内によつて行われ、その
際測定目盛と走査目盛との間の正確な走査間隔は
市販のフイルムによつて簡単な方法で確定され
る。
メーカが従来と同様に目盛板ユニツトを機械の円
弧上に心立てすればよく、かつ走査ユニツトの組
立のために比較的大きな公差の固定ねじ孔を設け
ることにある。測定目盛に対する走査ユニツトの
走査目盛の正確な調整は組立てストツパ及び走査
ユニツトに組込まれた案内によつて行われ、その
際測定目盛と走査目盛との間の正確な走査間隔は
市販のフイルムによつて簡単な方法で確定され
る。
（実施例及び作用）
図示の実施例に基いて本発明を詳しく説明す
る。
る。
第１図において角度測定装置１が示されてお
り、装置は詳しく図示しない機械に組付けられて
いる。角度測定装置１によつて機械のステータ３
に対する軸２の回転が測定される。このために軸
２上に目盛板ユニツト４が組付けられかつ円弧上
に心立てされている。目盛板ユニツト４はスケー
ル４ａから成り、スケール上に測定目盛として角
度目盛４ｂが付設されている。スケール４ａは円
弧として形成されており、かつ心立て軸段部４ｃ
上に正確に心立てされて貼付けられている。軸２
上への目盛板ユニツト４の組付及び心立ては公知
の手段によつて行われ、それ故ここでは詳しく説
明しない。
り、装置は詳しく図示しない機械に組付けられて
いる。角度測定装置１によつて機械のステータ３
に対する軸２の回転が測定される。このために軸
２上に目盛板ユニツト４が組付けられかつ円弧上
に心立てされている。目盛板ユニツト４はスケー
ル４ａから成り、スケール上に測定目盛として角
度目盛４ｂが付設されている。スケール４ａは円
弧として形成されており、かつ心立て軸段部４ｃ
上に正確に心立てされて貼付けられている。軸２
上への目盛板ユニツト４の組付及び心立ては公知
の手段によつて行われ、それ故ここでは詳しく説
明しない。
角度目盛４ｂは公知の方法で走査ユニツト５に
よつて走査される。そのために走査ユニツト５は
他の公知の走査要素５ａの外に一つの走査目盛５
ｂを有し、走査目盛は半径方向にも軸線方向にも
角度目盛４ｂに対して正確に調整されなければな
らない。
よつて走査される。そのために走査ユニツト５は
他の公知の走査要素５ａの外に一つの走査目盛５
ｂを有し、走査目盛は半径方向にも軸線方向にも
角度目盛４ｂに対して正確に調整されなければな
らない。
走査目盛５ｂの半径方向の調整はストツパ５ｃ
によつて行われ、ストツパと共に走査目盛５ｂは
一つの構造群５ｄを形成する。軸線方向の調整は
ステータ３の組立面に対して垂直の方向に向いた
案内６中を構造群５ｄが移動することによつて行
われる。
によつて行われ、ストツパと共に走査目盛５ｂは
一つの構造群５ｄを形成する。軸線方向の調整は
ステータ３の組立面に対して垂直の方向に向いた
案内６中を構造群５ｄが移動することによつて行
われる。
前記の方法でピツチ円ユニツト４が組立てられ
かつ調整された後、ステータ３の組立面３ａにね
じ７によつて走査ユニツト５が取付けられる。ス
テータ３における相応したねじ孔の位置は機械メ
ーカによつて容易に確保されることのできる比較
的大きい公差を有する。走査ユニツト５はねじ７
のための貫通孔を有し、その結果走査ユニツト５
は一定の範囲で組立面３ａ上の運動可能であり、
従つて調整可能である。
かつ調整された後、ステータ３の組立面３ａにね
じ７によつて走査ユニツト５が取付けられる。ス
テータ３における相応したねじ孔の位置は機械メ
ーカによつて容易に確保されることのできる比較
的大きい公差を有する。走査ユニツト５はねじ７
のための貫通孔を有し、その結果走査ユニツト５
は一定の範囲で組立面３ａ上の運動可能であり、
従つて調整可能である。
調整過程の第一歩は半径方向における走査ユニ
ツト５の位置決めであり、このことは第２図によ
つて明らかにされる。ねじ８によつて走査ユニツ
ト５に構造群５ｄが固定されている。ステータ３
の組立面３ａ上に走査ユニツト５を固定するため
のねじ７は容易にねじ込まれ、その結果走査ユニ
ツト５は正しく組立面３ａ上に移動可能である。
ツト５の位置決めであり、このことは第２図によ
つて明らかにされる。ねじ８によつて走査ユニツ
ト５に構造群５ｄが固定されている。ステータ３
の組立面３ａ上に走査ユニツト５を固定するため
のねじ７は容易にねじ込まれ、その結果走査ユニ
ツト５は正しく組立面３ａ上に移動可能である。
走査ユニツト５は、走査ユニツト５のＶ形スト
ツパ５ｃが目盛板ユニツト４の中心軸段部４ｃに
当接するまで目盛板ユニツト４を中心に向つて半
径方向に移動される。その際生ずる二点当接は正
確なラジアル及び中心のセンタリングを保持す
る。続いてねじ７が締めつけられ、その結果走査
ユニツト５はこの位置でステータ３上にしつかり
固定される。
ツパ５ｃが目盛板ユニツト４の中心軸段部４ｃに
当接するまで目盛板ユニツト４を中心に向つて半
径方向に移動される。その際生ずる二点当接は正
確なラジアル及び中心のセンタリングを保持す
る。続いてねじ７が締めつけられ、その結果走査
ユニツト５はこの位置でステータ３上にしつかり
固定される。
ねじ８は構造群５ｄが案内６中でステータ３の
組立面３ａに垂直に移動される程弛められる。第
２図においてこのことは構造群５ｄの図平面への
移動が行われることを意味する。構造群５ｄは図
示しないばねを介して自動的にスケール４ａに向
つて動かされるように予圧される。走査ユニツト
５はスリツト９を有し、スリツトを通つて外方か
ら所定の厚さのフイルムがスケール４ａ又は角度
目盛４ｂと走査目盛５ｂとの間に挿入されること
ができる。フイルム１０の厚さは角度目盛４ｂと
走査目盛５ｂとの間の必要な正確な走査間隔に相
当する。構造群５ｄの運動は構造群５ｄとスケー
ル４ａとの間のフイルム１０の締付まで行われ
る。その後ねじ８は締めつけられ、そしてフイル
ム１０はスリツト９から引離される。
組立面３ａに垂直に移動される程弛められる。第
２図においてこのことは構造群５ｄの図平面への
移動が行われることを意味する。構造群５ｄは図
示しないばねを介して自動的にスケール４ａに向
つて動かされるように予圧される。走査ユニツト
５はスリツト９を有し、スリツトを通つて外方か
ら所定の厚さのフイルムがスケール４ａ又は角度
目盛４ｂと走査目盛５ｂとの間に挿入されること
ができる。フイルム１０の厚さは角度目盛４ｂと
走査目盛５ｂとの間の必要な正確な走査間隔に相
当する。構造群５ｄの運動は構造群５ｄとスケー
ル４ａとの間のフイルム１０の締付まで行われ
る。その後ねじ８は締めつけられ、そしてフイル
ム１０はスリツト９から引離される。
第３図から角度目盛４ｂと走査目盛５ｂが正確
な走査間隔で向い合つて位置することが明らかで
ある。ステータ３の組立面３ａに対して垂直に構
造群５ｄを調整する際に、Ｖ形ストツパ５ｃは心
立て軸段部４ｃから滑動し、その結果心立て軸段
部を解放する。それによつて角度測定装置は組立
てられ、かつ調整される。正確に整直された心立
て軸段部４ｃは、好適な調整補助部材として利用
され、かつ自由にされ、その結果測定運転中心立
て軸段部４ｃとストツパ５ｃとの間の障害のある
摩擦は生じ得ない。
な走査間隔で向い合つて位置することが明らかで
ある。ステータ３の組立面３ａに対して垂直に構
造群５ｄを調整する際に、Ｖ形ストツパ５ｃは心
立て軸段部４ｃから滑動し、その結果心立て軸段
部を解放する。それによつて角度測定装置は組立
てられ、かつ調整される。正確に整直された心立
て軸段部４ｃは、好適な調整補助部材として利用
され、かつ自由にされ、その結果測定運転中心立
て軸段部４ｃとストツパ５ｃとの間の障害のある
摩擦は生じ得ない。
更に本発明による位置測定装置では組立及び調
整の際敏感な測定子及び測定時計の煩しい操作が
残される。必要なフイルムは測定装置に付設さ
れ、かつ印刷された保証書として他の機能を充足
する。
整の際敏感な測定子及び測定時計の煩しい操作が
残される。必要なフイルムは測定装置に付設さ
れ、かつ印刷された保証書として他の機能を充足
する。
本発明は角度測定装置に限られず、むしろ種々
の構成要素の形態によつて直線測定機にも使用さ
れることができる。
の構成要素の形態によつて直線測定機にも使用さ
れることができる。
第１図は組立てられた角度測定装置の断面図、
第２図は第１図の−線に沿う断面図、そして
第３図は調整された状態を示す図である。 図中符号、３ａ……組立面、４ａ……スケー
ル、４ｂ……測定目盛、４ｃ……ストツパ面、５
……走査ユニツト、５ｂ……走査目盛、５ｃ……
ストツパ、５ｄ……構造群、Ｘ……測定方向。
第２図は第１図の−線に沿う断面図、そして
第３図は調整された状態を示す図である。 図中符号、３ａ……組立面、４ａ……スケー
ル、４ｂ……測定目盛、４ｃ……ストツパ面、５
……走査ユニツト、５ｂ……走査目盛、５ｃ……
ストツパ、５ｄ……構造群、Ｘ……測定方向。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 相対運動可能な２つの対象物の位置測定装置
にして、その１つの対象物は測定目盛４ｂを備え
たスケール４ａを、そして他の対象物は測定目盛
４ｂに対して垂直方向に調整可能で、走査目盛５
ｂを有する少なくとも１つの走査ユニツト５を有
し、その際測定されるべき対象物は測定目盛４ｂ
に対する走査目盛５ｂの正確に平行な調整のため
の組立面３ａを有し、その際走査ユニツト５は測
定スケール４ａに対して平行でありかつ測定方向
に垂直に作用するストツパ５ｃを有し、このスト
ツパは走査目盛５ｂと共に１つの構成群５ｄを形
成する、前記位置測定装置において、 構成群５ｄは走査ユニツト５の案内６中で組立
面３ａに対して垂直方向に位置調整可能かつ各位
置でねじ８によつて走査ユニツト５に係止可能で
あり、そして走査ユニツト５は目盛板ユニツト４
の心立て軸段部４ｃにストツパ５ｃが当接するま
で目盛板ユニツト４の中心に対してラジアル方向
に移動されかつこの位置でステータ３上にねじ７
によつて固定され、そして走査ユニツト５は、走
査目盛５ｂと測定目盛４ｂとの間が走査距離にな
つた際にストツパ５ｃが測定目盛４ｂに平行にさ
れた心立て軸段部４ｃから解放されることを特徴
とする前記測定装置。 ２ 測定目盛４ｂが心立て軸段部４ｃと共に目盛
板ユニツト４を形成する角度目盛であり、走査ユ
ニツト５のストツパ５ｃがＶ形に形成されており
かつ走査ユニツト５の半径方向の調整のために、
心立て軸段部４ｃに二点で当接する、特許請求の
範囲第１項記載の位置測定装置。 ３ 走査ユニツト５の案内６に案内された構造群
５ｄが運動方向Ｚにばねによつて予圧されてい
る、特許請求の範囲第１項記載の位置測定装置。 ４ 走査間隔の調整のための目盛４ｂの方向であ
つて、組立面３ａに対して垂直の方向の構造群５
ｄの運動がスケール４ａと構造群５ｄとの間への
間隔フイルム１０の挿入によつて規制される、特
許請求の範囲第１項記載の位置測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3437515.5 | 1984-10-12 | ||
| DE3437515A DE3437515C2 (de) | 1984-10-12 | 1984-10-12 | Positionsmeßeinrichtung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6195206A JPS6195206A (ja) | 1986-05-14 |
| JPH0513445B2 true JPH0513445B2 (ja) | 1993-02-22 |
Family
ID=6247777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60215239A Granted JPS6195206A (ja) | 1984-10-12 | 1985-09-30 | 位置測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4663851A (ja) |
| EP (1) | EP0177711B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6195206A (ja) |
| AT (1) | ATE56822T1 (ja) |
| DE (2) | DE3437515C2 (ja) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3713548A1 (de) * | 1987-04-23 | 1988-11-03 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Montageverfahren fuer eine positionsmesseinrichtung |
| DE19645605A1 (de) * | 1996-11-06 | 1998-05-07 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung und Verfahren zur Montage eines Abtastelementes einer Positionsmeßeinrichtung |
| DE19803360C2 (de) * | 1997-02-10 | 2002-01-10 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren zur Montage einer Positionsmeßeinrichtung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| DE19816827B4 (de) | 1998-04-16 | 2009-06-18 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Vormontierte Winkelmeßvorrichtung |
| DE19826423A1 (de) * | 1998-06-16 | 1999-12-23 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| DE19831744A1 (de) * | 1998-07-15 | 2000-01-20 | Zeiss Carl Fa | Stellvorrichtung |
| DE19836003A1 (de) | 1998-08-08 | 2000-02-10 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren zur Montage einer Positionsmeßeinrichtung und Positioniermittel zur Montage |
| DE19839028C1 (de) * | 1998-08-27 | 2000-02-10 | Asm Automation Sensorik Messte | Meßseil-Wegsensor |
| DE10022555A1 (de) * | 2000-05-10 | 2001-11-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Winkelmeßeinrichtung |
| DE10046818B4 (de) | 2000-09-20 | 2008-02-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
| DE10056947A1 (de) | 2000-11-17 | 2002-05-23 | Optolab Licensing Gmbh | Verfahren und Anordnung zur Montage von Messsystemen |
| DE10137014B4 (de) * | 2001-07-30 | 2010-04-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
| US6919558B2 (en) | 2002-06-10 | 2005-07-19 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Positioning apparatus and assembly thereof |
| DE10310369C5 (de) * | 2003-02-19 | 2016-07-21 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optisches Meßsystem |
| DE102004035299B4 (de) * | 2004-07-21 | 2015-07-09 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Montagehilfe einer Positionsmesseinrichtung |
| CH699977A8 (de) * | 2008-11-25 | 2010-08-31 | Baumer Innotec Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Anordnen eines Gehäuses in einer vorgegebenen Lage relativ zu einem Referenzobjekt |
| JP6291167B2 (ja) * | 2013-03-21 | 2018-03-14 | ハイデンハイン株式会社 | リニアエンコーダおよびリニアエンコーダの調整方法 |
| ES2618855T3 (es) * | 2014-10-14 | 2017-06-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Dispositivo de medición de posición con dispositivo para la compensación de errores por dilatación térmica de una regla graduada |
| DE102018217934A1 (de) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | Dr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschränkter Haftung | Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Positionsmesseinrichtung |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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