DE19826423A1 - Positionsmeßeinrichtung - Google Patents
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Abstract
Bei einer Positionsmeßeinrichtung ist die Abtastplatte (7.3) zur MoirE-Einstellung an einem Halter (6) drehbar gelagert. Eine Feder (8) drückt die Abtastplatte (7.3) an zwei Anschlagflächen (A2, A3) einer V-förmigen Aufnahme sowie gleichzeitig an eine ebene Auflagefläche (A1) des Halters (6).
Description
Die Erfindung betrifft eine Positionsmeßeinrichtung gemäß dem Oberbegriff
des Patentanspruches 1.
Aus der DE 25 08 510 C3 ist eine derartige Positionsmeßeinrichtung be
kannt. Zur Moiré-Justierung einer Abtastplatte einer inkrementalen Längen
meßeinrichtung ist diese an einem Halter angebracht, der über eine in
V-Nuten gelagerte Walze schwenkbar ist. Die Drehachse der Walze verläuft
senkrecht zur Teilungsebene des Maßstabes. Nach erfolgter Justierung wird
der Halter durch Ausgießen der V-Nuten mit Klebstoff an einem Trägerteil
fixiert.
Eine präzise Justierung der Abtastplatte ist schwierig durchführbar.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Positionsmeßeinrichtung zu
schaffen, bei der die Moiré-Einstellung der Abtastplatte auf einfache Weise
mit einfachen Mitteln präzise ermöglicht wird.
Diese Aufgabe wird durch die Positionsmeßeinrichtung gemäß dem Patent
anspruch 1 gelöst.
Die Vorteile dieser Positionsmeßeinrichtung sind, daß die Abtastplatte wäh
rend der Justierung immer mit konstanter Kraft an Anschlagflächen gedrängt
wird, an denen sie drehbar gelagert ist.
Vorteilhafte Ausführungen der Erfindung sind in den abhängigen Patentan
sprüchen angegeben.
Anhand der Zeichnungen werden zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung
näher erläutert.
Es zeigt
Fig. 1 eine Winkelmeßeinrichtung im Schnitt,
Fig. 2 einen Schnitt II-II der Winkelmeßeinrichtung gemäß Fig. 1,
Fig. 3 einen Teilschnitt III-III der Winkelmeßeinrichtung gemäß Fig. 1,
Fig. 4 einen Schnitt IV-IV der Winkelmeßeinrichtung gemäß Fig. 3
und
Fig. 5 einen Schnitt IV-IV entsprechend Fig. 3 einer weiteren
Winkelmeßeinrichtung.
In den Fig. 1 bis 4 ist ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung dar
gestellt. Diese Positionsmeßeinrichtung in Form einer Winkelmeßeinrichtung
weist eine Teilscheibe 1 auf, die auf einer Nabe 2 angebracht ist und mit ei
ner Welle 3 eines zu messenden ersten Objektes, insbesondere eines Mo
tors verbunden ist.
Ein Stator 4 der Winkelmeßeinrichtung ist auf einer Anbaufläche eines
zweiten Objektes 5 befestigt. Auf dem Stator 4 ist ein Halter 6 mit einer Ab
tasteinrichtung 7 vorgesehen. Diese Abtasteinrichtung 7 besteht aus einer
Lichtquelle 7.1, einer Kollimatoroptik 7.2, einer Abtastplatte 7.3 und licht
empfindlichen Detektoren 7.4 bis 7.6.
Während des Betriebes der Winkelmeßeinrichtung ist die relative Winkellage
des ersten Objektes 3 gegenüber dem zweiten Objekt 5 zu ermitteln. Hierzu
wird die inkrementale Teilung der Teilscheibe 1 von einer Abtastteilung T der
Abtastplatte 7.3 abgetastet. Das Licht der Lichtquelle 7.1 wird durch die Re
lativbewegung beider Teilungen positionsabhängig moduliert und dieses
modulierte Licht von mehreren Detektoren 7.4, 7.5, 7.6 erfaßt. Diese Detek
toren 7.4 bis 7.6 erzeugen beispielsweise drei um jeweils 120° gegeneinan
der phasenverschobene sinusförmige Abtastsignale. In nicht gezeigter
Weise können auch vier Detektoren vorgesehen sein, die jeweils um 90°
gegeneinander phasenverschobene Abtastsignale erzeugen.
Bei der Montage der Abtasteinrichtung 7 an dem zweiten Objekt 5 muß die
Abtastteilung der Abtastplatte 7.3 in einem fest vorgegebenen Winkel zur
Teilung der Teilscheibe 1 eingestellt werden. Die Anbauflächen können nicht
so exakt bearbeitet werden, daß die geforderte Lagebeziehung eingehalten
wird. Aus diesem Grund ist die Abtastplatte 7.3 relativ zum Halter 6 justierbar
gelagert. Durch Beobachtung der Abtastsignale wird die Lage der
Abtastplatte 7.3 exakt eingestellt.
Die Abtastplatte 7.3 ist über eine senkrecht zur Teilungsebene E der
Abtastteilung T verlaufenden Drehachse D drehbar gelagert. Hierzu weist
der Halter 6 eine ebene Auflagefläche A1 auf, auf der die gefaßte
Abtastplatte 7.3 aufliegt. Um die Lagebeziehung in radialer Richtung R
während der Justierung konstant zu halten, sind am Halter 6 zwei weitere
Anschlagflächen A2, A3 vorgesehen. Diese weiteren Anschlagflächen A2,
A3 bilden eine V-förmige Aufnahme in radialer Richtung R für die
Abtastplatte 7.3.
Die Abtastplatte 7.3 wird mittels einer Feder 8 an alle drei zueinander ge
neigten Anschlagflächen A1, A2, A3 gleichzeitig angedrückt. Hierzu stützt
sich die Feder 8 am Halter 6 ab und drückt die Abtastplatte 7.3 in die V-för
mige Aufnahme mit den zwei Anschlagflächen A2, A3. Die Feder 8 ist so
angebracht, daß eine Kraftkomponente auch quer zur Auflagefläche A1 wirkt
und die Abtastplatte 7.3 somit auch auf die Auflagefläche A1 gedrückt wird.
Die Feder 8 ist in Fig. 3 in Draufsicht dargestellt.
Zur Grobjustierung ist am Halter 6 zumindest eine Markierung 9.1 ange
bracht, die mit einer Markierung 9.2 der Abtastplatte 7.3 in Übereinstimmung
zu bringen ist. Zur Verdrehung der Abtastplatte 7.3 ist eine Ausnehmung 10
vorgesehen, in welche ein Werkzeug oder eine Justiervorrichtung eingreifen
kann.
Nach erfolgter Justierung - auch Moiré-Einstellung genannt - wird die Ab
tastplatte 7.3 am Halter 6 starr fixiert. Dies kann beispielsweise durch Ver
gießen mit Klebstoff erfolgen.
Zur Einstellung der radialen Lage der Abtastplatte 7.3 ist der Halter 6 im
Stator 4 in einer radial verlaufenden Führung 11 spielfrei verstellbar gelagert.
Hierzu sind am Halter 6 zwei parallel zueinander verlaufende Führungsflä
chen F1, F2 angebracht, die während der Einstellung spielfrei an korrespon
dierenden Flächen F3, F4 des Stators 4 gleiten. Nach erfolgter radialer Ein
stellung des Halters 6 wird der Halter 6 am Stator 4 unverrückbar fixiert. Dies
kann mittels Spannpratzen 12, 13 erfolgen.
Im ersten Ausführungsbeispiel wird die Abtastplatte 7.3 an die drei An
schlagflächen A1, A2, A3 gedrängt, indem sich die Feder 8 an zumindest
einem Punkt P1 am Halter 6 abstützt, die Feder 8 radial davon beabstandet
an der Abtastplatte 7.3 an zumindest einem Punkt P2, P3 angreift und diese
Angriffspunkte P2, P3 entlang der Drehachse D vom Punkt P1 beabstandet
sind. Die resultierende Kraftkomponente der Feder 8 ist in Richtung aller drei
Anschlagflächen A1, A2, A3 gerichtet.
Beim zweiten Ausführungsbeispiel liegen die Angriffspunkte P1 und P2, P3
in einer Ebene, die parallel zur Auflagefläche A1 ausgerichtet ist. Die
Abtastplatte 7.3 wird auf die Auflagefläche A1 gedrängt, indem zumindest
eine der Anschlagflächen A2, A3 der V-förmigen Aufnahme in Richtung der
Auflagefläche A1 geneigt ist, mit ihr also einen spitzen Winkel einschließt.
Für gleichwirkende Teile wurden in beiden Ausführungsbeispielen die
gleichen Bezugszeichen verwendet.
Die Erfindung kann bei Winkel- und Längenmeßeinrichtungen eingesetzt
werden, wobei die Teilung inkremental oder absolut codiert ausgeführt sein
kann. Das Abtastprinzip kann lichtelektrisch (Auflicht oder Durchlicht), ma
gnetisch, kapazitiv oder induktiv sein.
In den beschriebenen Beispielen ist die Abtastplatte 7.3 relativ zu den De
tektoren 7.4 bis 7.6 verdrehbar gelagert. In nicht gezeigter Weise können die
Detektoren 7.4 bis 7.6 an der Abtastplatte 7.3 vorgesehen sein, oder diese in
Form von strukturierten Detektoren bilden.
Claims (9)
1. Positionsmeßeinrichtung mit einem Teilungsträger (1), der von einer
Abtasteinrichtung (7) abtastbar ist, wobei die Abtasteinrichtung (7) eine
Abtastplatte (7.3) mit einer Abtastteilung (T) aufweist, welche sich an
einem Anschlag (A2, A3) eines Halters (6) abstützt und der Anschlag
(A2, A3) die Lage der Abtastplatte (7.3) in einer Ebene parallel zur Tei
lungsebene (E) der Abtastteilung (T) festlegt und ein Drehlager bildet, in
welchem die Abtastplatte (7.3) zur Justierung über eine senkrecht zur
Teilungsebene (E) verlaufende Drehachse (D) schwenkbar gelagert ist,
dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastplatte (7.3) mittels einer Feder
(8) an den Anschlag (A2, A3) gedrängt wird.
2. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß am Halter (6) ein weiterer Anschlag (A1) vorgesehen ist, der in ei
ner Richtung entlang der Drehachse (D) wirksam ist, und daß die Ab
tastplatte (7.3) mittels einer einzigen Feder (8) an beide Anschläge (A1,
A2, A3) gedrängt wird.
3. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß der das Drehlager bildende Anschlag (A2, A3)
eine V-förmige Aufnahme mit zwei zueinander geneigten Flächenberei
chen (A2, A3) ist, die parallel zur Drehachse (D) verlaufen.
4. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß sich die Feder (8) zumindest an einem ersten Punkt (P1) im Bereich
der V-förmigen Aufnahme am Halter (6) abstützt und zumindest annä
hernd gegenüberliegend an zumindest einem weiteren Punkt (P2, P3)
an der Abtastplatte (7.3) angreift, wobei die beiden Punkte (P1, P2, P3)
entlang dem Drehachse (D) voneinander beabstandet sind.
5. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß der das Drehlager bildende Anschlag (A2, A3)
eine V-förmige Aufnahme mit zwei zueinander geneigten Flächenberei
chen (A2, A3) ist, von denen zumindest einer mit der den weiteren An
schlag (A1) bildenden Fläche einen spitzen Winkel einschließt.
6. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß sich die Feder (8) zumindest an einem ersten Punkt (P1) im Bereich
der V-förmigen Aufnahme am Halter (6) abstützt und zumindest annä
hernd gegenüberliegend an zumindest einem weiteren Punkt (P2, P3)
an der Abtastplatte (7.3) angreift.
7. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 4 oder Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die Feder eine U-förmig gebogene Drahtfeder (8)
ist, dessen eine Schenkel am ersten Punkt (P1) und dessen
gegenüberliegender Schenkel am weiteren Punkt (P2, P3) angreift.
8. Positionsmeßeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der Teilungsträger eine Teilscheibe (4)
einer Winkelmeßeinrichtung ist, und daß der Halter (6) in einem Stator
(4) radial in Richtung (R) der Drehachse der Teilscheibe (1) in einer Li
nearführung (11) verschiebbar gelagert ist.
9. Positionsmeßeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der Teilungsträger eine Teilscheibe (1)
einer Winkelmeßeinrichtung ist, und daß der Anschlag (A2, A3) die Lage
der Abtastplatte (7.3) in radialer Richtung (R) hin zur der Drehachse der
Teilscheibe (1) sowie in Umfangsrichtung festlegt, und daß weiterhin die
Feder (8) die Abtastplatte (7.3) in radialer Richtung (R) an den Anschlag
(A2, A3) drängt.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998126423 DE19826423A1 (de) | 1998-06-16 | 1998-06-16 | Positionsmeßeinrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
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DE1998126423 DE19826423A1 (de) | 1998-06-16 | 1998-06-16 | Positionsmeßeinrichtung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19826423A1 true DE19826423A1 (de) | 1999-12-23 |
Family
ID=7870816
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1998126423 Withdrawn DE19826423A1 (de) | 1998-06-16 | 1998-06-16 | Positionsmeßeinrichtung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19826423A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19945099A1 (de) * | 1999-09-21 | 2001-03-22 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Winkelmesseinrichtung und Verwendung dieser Winkelmesseinrichtung in einer Spindelanordnung |
DE10046818A1 (de) * | 2000-09-20 | 2002-03-28 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung |
DE10329375B4 (de) * | 2003-06-30 | 2020-06-10 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Abtastbaueinheit einer Positionsmesseinrichtung |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2810341C2 (de) * | 1978-03-10 | 1980-01-31 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
DE3229846A1 (de) * | 1982-08-11 | 1984-02-16 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengen- oder winkelmesseinrichtung |
DE3437515A1 (de) * | 1984-10-12 | 1986-04-17 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmesseinrichtung |
DE3624485A1 (de) * | 1986-07-19 | 1988-01-21 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung |
DE4138310A1 (de) * | 1990-11-26 | 1992-05-27 | Fagor S Coop Ltda | Verbesserungen an der verbindung zwischen dem lesekopf und der abtasteinheit bei vorrichtungen zur linearen messung |
DE9210318U1 (de) * | 1992-08-01 | 1992-10-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De | |
DE3327266C2 (de) * | 1982-07-28 | 1993-08-19 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokio/Tokyo, Jp |
-
1998
- 1998-06-16 DE DE1998126423 patent/DE19826423A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2810341C2 (de) * | 1978-03-10 | 1980-01-31 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
DE3327266C2 (de) * | 1982-07-28 | 1993-08-19 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokio/Tokyo, Jp | |
DE3229846A1 (de) * | 1982-08-11 | 1984-02-16 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengen- oder winkelmesseinrichtung |
DE3437515A1 (de) * | 1984-10-12 | 1986-04-17 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmesseinrichtung |
DE3624485A1 (de) * | 1986-07-19 | 1988-01-21 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung |
DE4138310A1 (de) * | 1990-11-26 | 1992-05-27 | Fagor S Coop Ltda | Verbesserungen an der verbindung zwischen dem lesekopf und der abtasteinheit bei vorrichtungen zur linearen messung |
DE9210318U1 (de) * | 1992-08-01 | 1992-10-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19945099A1 (de) * | 1999-09-21 | 2001-03-22 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Winkelmesseinrichtung und Verwendung dieser Winkelmesseinrichtung in einer Spindelanordnung |
US6470577B1 (en) | 1999-09-21 | 2002-10-29 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Angle measuring system and use of this angle measuring system in a spindle arrangement |
DE19945099B4 (de) * | 1999-09-21 | 2008-09-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Winkelmesseinrichtung und Verwendung dieser Winkelmesseinrichtung in einer Spindelanordnung |
DE10046818A1 (de) * | 2000-09-20 | 2002-03-28 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung |
US6941240B2 (en) | 2000-09-20 | 2005-09-06 | Dr. Johannes Heidenhem Gmbh | Position measuring device |
DE10046818B4 (de) * | 2000-09-20 | 2008-02-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
DE10329375B4 (de) * | 2003-06-30 | 2020-06-10 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Abtastbaueinheit einer Positionsmesseinrichtung |
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